一种方镜拆卸工装的制作方法

1.本实用新型涉及光刻机工件台技术领域，特别是涉及一种方镜拆卸工装。


背景技术：

2.光刻机是集成电路制造的关键设备，光刻机工件台是决定光刻机产率、套刻精度等核心指标的重要分系统。高端光刻机工件台一般采用双频激光干涉仪与方镜组成反馈定位传感系统，工件台方镜的面形精度影响工件台同步及扫描定位精度，进而影响光刻机套刻精度与产率，因此高端光刻机对工件台方镜的面形加工检测精度以及安装、拆卸提出了很高要求。
3.现有的65nm双工件台方镜拆卸时需靠人工双手夹持方镜指定位置完成，存在方镜掉落、磕碰等风险，并且不符合现场标准作业规范要求，因此针对方镜拆卸需设计拆卸工装辅助拆卸。


技术实现要素：

4.本实用新型要解决的技术问题是提供一种方镜拆卸工装，在工件台维护过程中方镜拆卸作业过程中，可在保证方镜表面清洁的前提下，提高方镜拆卸作业的安全性，此外，还通过4个方镜镶嵌件设计了4个导向杆作为方镜拆卸工装的防呆装置，提高了方镜拆卸作业效率和拆卸工装的可操作性。
5.为了解决上述技术问题，本申请提供了如下技术方案：
6.一种方镜拆卸工装，包括顶盖，所述顶盖上表面的左右两侧各设有一个把手，所述顶盖的中央设有顶部吸盘面保护板，所述顶部吸盘面保护板的左右两侧各设有两个衬套锁紧螺母，所述顶部吸盘面保护板的前后两侧各设有两个导向衬套锁紧螺母；
7.位于方镜拆卸工装下方的方镜的上表面设有与四个衬套锁紧螺母、四个导向衬套锁紧螺母的位置相对应的八个方镜镶嵌件，其中与四个导向衬套锁紧螺母的位置相对应的四个方镜镶嵌件上各装有一个导向杆。
8.进一步的，所述顶盖的下底面设有与四个衬套锁紧螺母的位置相对应的四个衬套；所述顶盖的下底面设有与四个导向衬套锁紧螺母的位置相对应的四个导向衬套。
9.进一步的，螺钉销依次穿过衬套锁紧螺母、衬套，并与方镜镶嵌件相连，从而将方镜拆卸工装与方镜固定在一起。
10.进一步的，所述顶盖的四角各设有一个顶部传感器保护板。
11.与现有技术相比，本实用新型的方镜拆卸工装至少具有以下有益效果：
12.本实用新型的方镜拆卸工装通过导向杆放置在方镜上，降低了安装过程中发生磕碰的风险，提高了安装效率；采用防护板对方镜吸盘的吸附面及传感器面进行防护，降低了镜面污染及异物掉落损坏方镜的风险；利用方镜自带的8个镶嵌件作为连接接口(4个镶嵌件安装导向杆，4个镶嵌件通过m4螺钉销与方镜拆卸工装连接紧固)，通过衬套与方镜镶嵌件接触支撑作为方镜拆卸工装与方镜安装到位的标志，既满足了方镜拆卸工装的可实现
性，又避免了重新设计方镜拆卸接口，从而规避了方镜结构改造的风险成本。
13.下面结合附图对本实用新型的方镜拆卸工装作进一步说明。
附图说明
14.图1为本实用新型方镜拆卸工装的安装爆炸图；
15.图2为本实用新型方镜拆卸工装的底面示意图；
16.图3为本实用新型方镜拆卸工装的示意图；
17.图4为本实用新型方镜拆卸工装安装后的示意图。
18.其中，1-螺钉销，2-把手，3-顶盖、4-顶部吸盘面保护板、5-顶部传感器保护板、6-导向杆，7-方镜，8-方镜镶嵌件，9-衬套锁紧螺母、10-导向衬套锁紧螺母、11-导向衬套、12-衬套。
具体实施方式
19.如图1-4所示，一种方镜拆卸工装，包括顶盖3，所述顶盖3上表面的左右两侧各设有一个把手2，所述顶盖3的中央设有顶部吸盘面保护板4，所述顶部吸盘面保护板4的左右两侧各设有两个衬套锁紧螺母9，所述顶部吸盘面保护板4的前后两侧各设有两个导向衬套锁紧螺母10；
20.位于方镜拆卸工装下方的方镜7的上表面设有与四个衬套锁紧螺母9、四个导向衬套锁紧螺母10的位置相对应的八个m4的方镜镶嵌件8，其中与四个导向衬套锁紧螺母10的位置相对应的四个方镜镶嵌件8上各装有一个导向杆6。
21.顶盖3的下底面设有与四个衬套锁紧螺母9的位置相对应的四个衬套12；所述顶盖3的下底面设有与四个导向衬套锁紧螺母10的位置相对应的四个导向衬套11。顶盖3的四角各设有一个顶部传感器保护板5。
22.m4的螺钉销1依次穿过衬套锁紧螺母9、衬套12，并与方镜镶嵌件8相连，从而将方镜拆卸工装与方镜7固定在一起。
23.该方镜拆卸工装通过方镜表面的8个m4方镜镶嵌件作为连接接口，其中4个作为导向杆的安装接口，另外4个作为方镜固定接口，实现方镜与方镜拆卸工装的安装及固定。
24.安装过程中通过4个导向杆将方镜拆卸工装放置在方镜正上方，方镜拆卸工装底部8个衬套(4个导向衬套11和4个衬套12)与m4方镜镶嵌件接触后安装到位，并用4个m4螺钉销将方镜拆卸工装与方镜连接紧固；拆卸过程中，两只手扶住方镜拆卸工装的两个把手，两手同步对把手施加竖直向上的力，实现方镜与工件台的分离拆卸。
25.同时，工装在顶盖设置了吸盘面保护板和4个传感器保护板，作为方镜吸盘吸附面和4个传感器面防护装置，防止拆卸过程中方镜吸盘吸附面及传感器被污染或磕碰。
26.以上所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本实用新型权利要求书确定的保护范围内。


技术特征：
1.一种方镜拆卸工装，其特征在于：包括顶盖(3)，所述顶盖(3)上表面的左右两侧各设有一个把手(2)，所述顶盖(3)的中央设有顶部吸盘面保护板(4)，所述顶部吸盘面保护板(4)的左右两侧各设有两个衬套锁紧螺母(9)，所述顶部吸盘面保护板(4)的前后两侧各设有两个导向衬套锁紧螺母(10)；位于方镜拆卸工装下方的方镜(7)的上表面设有与四个衬套锁紧螺母(9)、四个导向衬套锁紧螺母(10)的位置相对应的八个方镜镶嵌件(8)，其中与四个导向衬套锁紧螺母(10)的位置相对应的四个方镜镶嵌件(8)上各装有一个导向杆(6)。2.根据权利要求1所述的方镜拆卸工装，其特征在于：所述顶盖(3)的下底面设有与四个衬套锁紧螺母(9)的位置相对应的四个衬套(12)；所述顶盖(3)的下底面设有与四个导向衬套锁紧螺母(10)的位置相对应的四个导向衬套(11)。3.根据权利要求2所述的方镜拆卸工装，其特征在于：螺钉销(1)依次穿过衬套锁紧螺母(9)、衬套(12)，并与方镜镶嵌件(8)相连，从而将方镜拆卸工装与方镜(7)固定在一起。4.根据权利要求3所述的方镜拆卸工装，其特征在于：所述顶盖(3)的四角各设有一个顶部传感器保护板(5)。

技术总结
本实用新型涉及光刻机工件台技术领域，具体为一种方镜拆卸工装，包括顶盖，所述顶盖上表面的左右两侧各设有一个把手，所述顶盖的中央设有顶部吸盘面保护板，所述顶部吸盘面保护板的左右两侧各设有两个衬套锁紧螺母，所述顶部吸盘面保护板的前后两侧各设有两个导向衬套锁紧螺母；位于方镜拆卸工装下方的方镜的上表面设有与四个衬套锁紧螺母、四个导向衬套锁紧螺母的位置相对应的八个方镜镶嵌件，其中与四个导向衬套锁紧螺母的位置相对应的四个方镜镶嵌件上各装有一个导向杆。在工件台维护过程中方镜拆卸作业过程中，可在保证方镜表面清洁的前提下，提高方镜拆卸作业的安全性。提高方镜拆卸作业的安全性。提高方镜拆卸作业的安全性。


技术研发人员：李孔孔 张明
受保护的技术使用者：北京华卓精科科技股份有限公司
技术研发日：2022.02.22
技术公布日：2022/9/5