承载装置及检测设备的制作方法

1.本技术涉及检测技术领域，尤其涉及一种承载装置及承载系统。


背景技术：

2.在对待测件进行检测过程中，需要通过承载装置对待测件进行承载后，保证待测件的承载位置后再对待测件进行检测，在现有技术中，对待测件的承载方式包括真空吸附式承载以及气浮式承载，其中气浮式承载能够避免待测件直接与承载装置接触，从而避免了待测件被承载装置划伤。但是通过气浮式承载装置承载待测件时，经常会出现气浮压力不稳定导致待测件的位置发生偏移的情况，从而降低了承载装置对待测件的承载效率以及对待测件的检测效率。


技术实现要素：

3.本技术实施例提供一种承载装置及检测设备。
4.第一方面，本技术实施例提供一种承载装置，所述承载装置包括承载本体与多个边缘夹持组件，所述多个边缘夹持组件设于所述承载本体的周侧，所述边缘夹持组件包括夹持件以及移动装置，所述移动装置与所述夹持件连接，用于带动所述夹持件沿着所述承载装置本体的径向方向移动。
5.可选的，所述移动装置包括第一位移台、所述夹持件设于所述第一位移台上，所述夹持件在所述第一位移台的带动下沿所述承载本体的径向方向移动。
6.可选的，所述第一位移台为气动位移台，所述气动位移台包括进气通道、位移台以及出气通道，所述位移台与所述夹持件连接，所述进气通道的一端与外部气源连通，另一端与所述位移台连通，所述位移台还与所述出气通道连通。
7.可选的，所述气动位移台还包括第一气压调节阀，所述第一气压调节阀与所述进气通道连通，所述第一气压调节阀用于调节进入所述进气通道的气体压力。
8.可选的，所述气动位移台还包括第二气压调节阀，所述第二气压调节阀与所述出气通道连通，所述第二气压调节阀用于调节进入所述出气通道的气体压力。
9.可选的，所述移动装置还包括固定台、固定座以及第二位移台，所述固定台设于所述第一位移台上，所述第二位移台设于所述固定台上，所述固定座与所述第二位移台滑动连接，所述第二位移台用于带动所述固定座沿所述承载本体的径向方向移动。
10.可选的，所述移动装置还包括导向板，所述导向板设于所述固定台上，所述导向板用于限制所述固定座的移动方向。
11.可选的，所述移动装置还包括弹性调节装置，所述弹性调节装置的两端分别与所述固定座与所述固定台连接，所述弹性调节装置的弹性形变方向与所述夹持件的移动方向相同。
12.可选的，所述移动装置还包括调节杆，所述调节杆的两端分别与所述固定座与所述弹性调节装置连接，所述弹性调节装置的另一端与所述固定台连接。
13.第二方面，本技术实施例提供一种检测设备，所述检测设备包括如上述任一项实施方式所述的检测平台。
14.可以看出，在本技术中，所述承载装置包括承载本体与多个边缘夹持组件，所述多个边缘夹持组件设于所述承载本体的周侧，所述边缘夹持组件包括夹持件以及移动装置，所述移动装置与所述夹持件连接，用于带动所述夹持件沿着所述承载装置本体的径向方向移动。通过所述边缘夹持组件，对放置在所述承载本体上的所述待测件进行夹紧，从而方便对所述待测件进行定位，避免所述承载装置在承载所述待测件时，所述待测件发生位置偏移，造成所述承载装置的承载效率降低的问题，提高了对待测件的检测效率。
附图说明
15.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
16.图1是本技术实施例提供的一种承载装置的结构示意图；
17.图2是本技术实施例提供的一种边缘夹持组件的结构示意图；
18.图3是本技术实施例提供的一种边缘夹持组件的俯视图；
19.图4是本技术实施例提供的一种边缘夹持组件的侧视图。
20.附图标号说明：
21.标号名称标号名称10承载本体413出气通道20边缘夹持组件50固定台30夹持件60固定座40移动装置70第二位移台41第一位移台80导向板411进气通道90弹性调节装置412位移座100调节杆
具体实施方式
22.为了使本技术领域的人员更好地理解本技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。
23.以下分别进行详细说明。
24.本技术的说明书和权利要求书及所述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”和“第四”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单
元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
25.在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本技术的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
26.请参见图1至图4，图1是承载装置的结构示意图。
27.所述承载装置包括承载本体10以及多个边缘夹持组件20，所述多个边缘夹持组件20设于所述承载装本体的周侧，其中，所述边缘夹持组件20能够沿所述承载本体10的径向方向移动，当待测件放置于所述承载本体10上时，所述边缘夹持组件20靠近所述承载本体10的中心的一侧与所述待测件抵接，并向所述待测件施加压力，从而通过所述边缘夹持组件20对所述待测件进行固定。
28.其中，所述边缘夹持组件20包括夹持件30以及移动装置40，所述移动装置40与所述夹持件30连接，所述移动装置40用于带动所述夹持件30沿着所述承载装置本体的径向方向移动，从而调节所述夹持件30与所述承载本体10的中心之间的距离，方便对所述承载装置上的所述待测件进行夹紧。
29.在本技术中，所述承载装置包括承载本体10与多个边缘夹持组件20，所述多个边缘夹持组件20设于所述承载本体10的周侧，所述边缘夹持组件20包括夹持件30以及移动装置 40，所述移动装置40与所述夹持件30连接，用于带动所述夹持件30沿着所述承载装置本体的径向方向移动。通过所述边缘夹持组件20，对放置在所述承载本体10上的所述待测件进行夹紧，从而方便对所述待测件进行定位，避免所述承载装置在承载所述待测件时，所述待测件发生位置偏移，造成所述承载装置的承载效率降低的问题，提高了对待测件的检测效率。
30.在可选的实施方式中，所述移动装置40包括第一位移台41、所述夹持件30设于所述第一位移台41上，所述夹持件30在所述第一位移台41的带动下沿所述承载本体10的径向方向移动。其中，所述第一位移台41为滑轨位移台或其他能够移动的装置。
31.优选实施方式中，所述第一位移台41为气动位移台，所述气动位移台包括进气通道411、位移座412以及出气通道413，所述位移座412与所述夹持件30连接，所述进气通道411的一端与外部气源连通，另一端与所述位移座412连通，所述位移座412还与所述出气通道413 连通，具体的，当需要移动所述夹持件30的位置时，从所述外部气源向所述进气通道411注入气体，所述位移座412在气体的压力作用下移动，并同时带动所述夹持件30进行移动，进入所述位移座412的气体从所述出气通道413排出。通过所述气动位移台，能够根据进入所述进气通道411的气体压力调整所述位移座412的移动位置，调整所述夹持件30的位置以及所述夹持件30对所述待测件的夹持力度，从而方便用户通过气体压力对所述承载装置进行控制。
32.在可选的实施方式中，所述气动位移台还包括第一气压调节阀，所述第一气压调节阀用于调节进入所述进气通道411的气体压力，具体的，当进入所述进气通道411的气体压力越大时，所述位移座412向所述承载本体10的中心位置的移动力量越大，因此所述夹持件30 抵接所述待测件的压力越大，当进入所述进气通道411的气体压力越小时，所述位移座412 向所述承载本体10的中心位置的移动力量越小，所述夹持件30抵接所述待测件的压
力越小。当所述夹持件30夹持所述待测件的压力过大时，容易造成所述待测件损坏，当所述夹持件 30坚持所述待测件的压力过小时，无法对所述待测件进行夹紧，因此为了避免这一情况，当所述外部起源进入所述进气通道411的气体压力过大时，通过所述第一气压调节阀对进入所述进气通道411的气体压力进行调节，从而方便调整所述夹持件30对所述待测件的夹持压力。
33.在可选的实施方式中，所述气动位移台还包括第二气压调节阀，所述第二气压调节阀与所述出气通道413连通，所述第二气压调节阀用于调节进入所述出气通道413的气体压力。可以理解的是，当进入所述进气通道411的气体压力越大时，所述位移座412向所述承载本体10的中心位置的移动力量越大，因此所述夹持件30抵接所述待测件的压力越大，当进入所述进气通道411的气体压力越小时，所述位移座412向所述承载本体10的中心位置的移动力量越小，所述夹持件30抵接所述待测件的压力越小。当所述夹持件30夹持所述待测件的压力过大时，容易造成所述待测件损坏，当所述夹持件30坚持所述待测件的压力过小时，无法对所述待测件进行夹紧，因此为了避免这一情况，当从所述出气通道413排出的气体压力过大时，通过所述第二气压调节阀对进入所述进气通道411的气体压力进行调节，从而方便调整所述夹持件30对所述待测件的夹持压力。
34.在可选的实施方式中，所述移动装置40还包括固定台50、固定座60以及第二位移台70，所述固定台50设于所述第一位移台41上，所述第二位移台70设于所述固定台50上，所述固定座60与所述第二位移台70滑动连接，所述第二位移台70用于带动所述固定座60沿所述承载本体10的径向方向移动。具体的，所述固定台50位于所述第一位移台41上，所述第一位移台41用于带动所述固定台50沿所述承载本体10的径向方向移动，所述移动装置40 还包括第二位移台70，所述第二位移台70用于带动所述夹持件30沿所述承载本体10的径向方向移动。具体的，所述第一位移台41用于调整所述固定台50的位置，并且避免所述固定台50上的夹持件30对所述待测件的夹持压力过大。在调整所述第一位移台41后，还可以通过所述第二位移台70对所述固定座60的位置进行调节，由于所述固定座60与所述夹持件 30连接，从而通过所述第二位移台70带动所述固定座60以及所述夹持件30共同沿所述承载本体10的径向方向移动。
35.在可选的实施方式中，所述移动装置40还包括导向板80，所述导向板80设于所述固定台50上，所述导向板80用于限制所述固定座60的移动方向。具体的，所述第二位移台70 在带动所述固定座60沿承载本体10的径向方向移动时，所述固定座60在移动过程中容易出现移动方向发生偏转的情况，为了避免这一情况，所述固定座60上设有导向板80，在一具体实施方式中，所述固定座60上设有两个相对设置的导向板80，所述固定座60位于两个所述导向板80之间，两个相对设置的所述导向板80之间的距离略大于所述固定座60垂直于所述导向板80的尺寸，从而避免所述固定座60在两个所述导向板80之间晃动。
36.在可选的实施方式中，所述移动装置40还包括弹性调节装置90，所述弹性调节装置90 的两端分别与所述固定座60与所述固定台50连接，所述弹性调节装置90的弹性形变方向与所述夹持件30的移动方向相同。具体的，当所述固定座60带动所述夹持件30移动时，所述固定座60与所述固定台50相对滑动，当所述移动装置40包括所述弹性调节装置90时，所述弹性调节装置90给予所述夹持件30具有靠近或远离所述承载本体10的的趋势，从而能够进一步通过所述弹性调节装置90的弹力，调整所述夹持件30对所述待测件的夹持力度。
优选实施方式中，所述弹性调节装置90为弹簧。
37.在可选的实施方式中，当所述夹持件30与所述承载本体10的中心的距离大于所述待测件的半径时，所述弹性调节装置90产生向所述承载本体10的中心一侧拉动的拉力，从而使所述固定座60具有向承载本体10的中心移动的趋势。
38.在可选的实施方式中，所述移动装置40还包括调节杆100，所述调节杆100的两端分别与所述固定座60以及所述弹性调节装置90连接，具体的，所述调节杆100用于调节所述固定座60与所述弹性调节装置90之间的距离，具体的，当所述调节杆100的靠近所述固定座 60的一端与所述固定座60的一端距离较远时，所述弹性调节装置90的拉力较大，当所述调节杆100的靠近所述固定座60的一端与所述固定座60的一端距离较近时，所述弹性调节装置90的拉力减小，从而方便调节所述弹性调节装置90拉动所述固定座60的拉力，从而调节所述夹持件30对所述待测件的夹持的压力。
39.本实用新型还提出一种检测设备，所述检测设备包括如上述任一实施方式所述的光源组件，该光源组件的具体结构参照上述实施例，由于该光源组件采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。
40.以上所述的具体实施方式，对本技术实施例的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本技术实施例的具体实施方式而已，并不用于限定本技术实施例的保护范围，凡在本技术实施例的技术方案的基础之上，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包括在本技术实施例的保护范围之内。