一种防止光学镀膜翻转检测异常的定位装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体激光器腔面双面镀膜翻转检测的技术领域，尤其涉及一种防止光学镀膜翻转检测异常的定位装置。


背景技术：

2.激光器腔面镀膜工序中会用涉及到腔面的双面镀膜，在经过单面镀膜后，要进行定位翻转，进行另一面的镀膜，而在第二面的镀膜过程中，会引入膜料在定位装置上定位面膜层的生成，而这一膜层的生成则会带来下次定位检测异常的风险。定位检测异常的原理为：红光检测，定位检测是要靠定位检测面的红光反射收集信号和数据收集，来判断定位的数量，而在其表面生成的膜层会带来不同程度对红光的吸收或者散射，信息和数据收集不准确，造成定位检测异常，而这种定位翻转异常则需要开腔室，进行手动翻转，对产品带来不可预估的可靠性风险。
3.例如公告号为cn211036092u的实用新型申请中，公开了一种镀膜载具及其定位结构，该镀膜载具包括承载部及转轴、工件盘。该申请的承载部由转轴的旋转轴线区分为两侧；所承载部一侧的外周面上设置有定位部，且承载部上设置有配重部，该配重部偏心设置于承载部上定位部所在的一侧，以使得承载部重心偏向定位部所在一侧；工件盘上对应于镀膜载具开设有安装缺口，该安装缺口沿工件盘的轴向贯穿所述工件盘；工件盘上对应于转轴开设有定位孔，承载部通过转轴转动设置于所述工件盘上，镀膜载具在工件盘上具有两个工位；工件盘上对应于两个工位上所述定位部均开设有定位槽。该申请镀膜过程中镀膜载具倾斜的问题，以保证镀膜的均匀性，但并没有解决镀膜过程中容易在定位装置上镀膜的技术问题。


技术实现要素：

4.针对现有镀膜过程中容易在定位装置上镀膜，造成定位检测风险的技术问题，本实用新型提出一种防止光学镀膜翻转检测异常的定位装置，有效防止膜料在附着在定位装置表面，提升了定位准确性。
5.为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：一种防止光学镀膜翻转检测异常的定位装置，其特征在于，包括红光定位检测面、防定位镀膜盖板和定位板，防定位镀膜盖板设置在红光定位检测面的头部，定位板与红光定位检测面相连接，定位板与镀膜夹具相匹配。
6.所述红光定位检测面与定位板之间的过渡处夹角为90
°
。
7.所述定位板上设置有定位孔，定位孔为圆形孔洞，定位孔的圆心与定位板的中心相重合。
8.所述防定位镀膜盖板包括防定位镀膜左盖板、防定位镀膜右盖板和上表面防定位镀膜盖板，防定位镀膜左盖板与防定位镀膜右盖板对称设置在红光定位检测面两侧，上表面防定位镀膜盖板设置在红光定位检测面顶部；防定位镀膜左盖板和防定位镀膜右盖板均
与上表面防定位镀膜盖板相连接。
9.所述防定位镀膜左盖板和防定位镀膜右盖板为大小相同的矩形盖板，防定位镀膜左盖板一侧长边与红光定位检测面侧边相连接，防定位镀膜右盖板一侧长边与红光定位检测面侧边相连接。
10.所述上表面防定位镀膜盖板为矩形盖板，上表面防定位镀膜盖板的短边长度大于防定位镀膜左盖板和防定位镀膜右盖板的短边长度，上表面防定位镀膜盖板的长边与红光定位检测面的头部短边相连接，防定位镀膜左盖板和防定位镀膜右盖板的顶部分别与上表面防定位镀膜盖板的两侧相连接。
11.所述上表面防定位镀膜盖板与定位板平行设置。
12.采用上述结构的本实用新型，利用防定位镀膜盖板对红光定位检测面进行保护，有效防止膜料在镀膜过程在定位装置表面的生成，防止红光在被镀膜吸收导致定位检测错误，遏制了定位信息收集不到异常的发生，从而降低了产品二次开腔室手动翻转带来的可靠性风险。本实用新型设计简单，制作成本低廉且便于操作。
附图说明
13.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
14.图1为本实用新型的结构示意图。
15.图2为本实用新型工作时的原理示意图。
16.图3为本实用新型图2翻转示意图。
17.图中，1为红光定位检测面，2为防定位镀膜左盖板，3为防定位镀膜右盖板，4为上表面防定位镀膜盖板，5为定位孔，6为红光检测仪，7为红光，8为定位装置，9为镀膜夹具，10为坩埚，11为膜料。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.如图1所示，一种防止光学镀膜翻转检测异常的定位装置，包括红光定位检测面1、防定位镀膜盖板和定位板，防定位镀膜盖板设置在红光定位检测面1的头部，定位板通与红光定位检测面1相连接，红光定位检测面1与定位板之间的过渡处夹角为90
°
。
20.其中，防定位镀膜盖板包括防定位镀膜左盖板2、防定位镀膜右盖板3和上表面防定位镀膜盖板4，防定位镀膜左盖板2与防定位镀膜右盖板3对称设置在红光定位检测面1两侧，上表面防定位镀膜盖板4设置在红光定位检测面1顶部。防定位镀膜左盖板2和防定位镀膜右盖板3为大小相同的矩形盖板，防定位镀膜左盖板2一侧长边与红光定位检测面1侧边相连接，防定位镀膜右盖板3一侧长边与红光定位检测面1侧边相连接。该防定位镀膜左盖
板2和防定位镀膜右盖板3的作用为有效阻拦红光定位检测面1侧面蒸发磨料。上表面防定位镀膜盖板4为矩形盖板，上表面防定位镀膜盖板4的短边长度大于防定位镀膜左盖板2和防定位镀膜右盖板3的短边长度，工艺时如图3，镀膜材料由防定位镀膜盖板4到定位孔5的方向以气态形式覆盖，防定位镀膜盖板4短边长度大于防定位镀膜左盖板2和右盖板3，才可有效防止工艺时蒸发材料进入到检测面1，上表面防定位镀膜盖板4的长边与红光定位检测面1的头部短边相连接，防定位镀膜左盖板2和防定位镀膜右盖板3的顶部与上表面防定位镀膜盖板4的两侧相连接，上表面防定位镀膜盖板4与定位板平行设置。上表面防定位镀膜盖板4的主要作用为阻挡顶部蒸发膜料，利用定位孔5可将定位装置固定在夹具的指定位置，确保每一个定位装置都固定在夹具的固定位置，保证了一致性。本技术利用防定位镀膜盖板对红光定位检测面进行保护，有效防止膜料在镀膜过程在其表面的生成，防止红光在被镀膜吸收导致定位检测错误，遏制了定位信息收集不到异常的发生，从而降低了产品二次开腔室手动翻转带来的可靠性风险。定位板上设置有定位孔5，定位孔5为圆形孔洞，定位孔5的圆心与定位板的中心相重合。
21.如图2所示，在镀膜前，首先利用定位孔5将定位装置固定在镀膜夹具9的固定位置，以此保证每次镀膜操作是定位装置都在镀膜夹具9的同一位置。然后，调整红光检测仪6发出红光7，红光7扫射定位装置8的红光定位检测面1，定位检测面1对入射的红光7进行反射，被反射的红光7进入红光检测仪6，确认定位装置的状态后，镀膜夹具9发生翻转到图3所示状态，然后进行另外一面的镀膜。
22.如图3所示，镀膜过程中，膜料11从坩埚10中蒸发成气体状态自下而上游离在真空腔室中，定位装置8上防定位镀膜左盖板2、防定位镀膜右盖板3以及上表面防定位镀膜盖板4，均起到了不同方向的保护，从而得以防止膜料在红光定位检测面1表面形成的作用。在进行下个镀膜周期时，镀膜夹具9再到图2所示状态，定位装置8上的红光定位检测面1还能保持完好的无膜料状态，才得以反复使用。
23.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。