一种辅助换件装置的制作方法

1.本实用新型属于蚀刻设备领域，特别涉及一种辅助换件装置。


背景技术：

2.蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，且蚀刻技术可以分为湿蚀刻和干蚀刻两类。蚀刻所用的设备腔体在进行保养时必须进行上部腔体的零件更换，而需更换的包覆零件是沉重且昂贵的，在更换时往往需要额外的人工投入，更换起来费时费力。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种辅助换件装置，以便于快速便捷地进行蚀刻腔体的保养。
4.为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：
5.本实用新型提供的一种辅助换件装置，其至少包括：
6.支座；
7.转轴，连接于所述支座，且允许所述转轴在所述支座内转动；
8.支撑件，连接于所述转轴，且允许所述支撑件沿所述转轴的轴向滑动；以及
9.定位结构，固定连接于所述转轴和所述支撑件。
10.在本实用新型一实施例中，所述转轴的一端设置有固定件，且所述固定件位于所述支座的一侧，且与所述转轴可拆卸连接。
11.在本实用新型一实施例中，所述支座包括固定环和支板，所述支板连接于所述固定环的一侧。
12.在本实用新型一实施例中，所述转轴的一端连接有调节螺杆，所述调节螺杆连接于一所述固定环内，所述转轴的另一端连接于另一所述固定环内。
13.在本实用新型一实施例中，所述调节螺杆的杆径小于所述转轴的轴径。
14.在本实用新型一实施例中，所述支撑件一侧固定有挡块，且所述挡块设置于远离所述支板的一侧。
15.在本实用新型一实施例中，所述转轴上设置有滑孔，所述支撑件滑动连接于所述滑孔内。
16.在本实用新型一实施例中，所述支撑件滑动套接于所述转轴的外部。
17.在本实用新型一实施例中，所述定位结构包括定位杆，所述定位杆连接于所述支撑件和所述转轴且贯穿所述支撑件和所述转轴。
18.在本实用新型一实施例中，所述转轴上设置有多个定位孔，所述定位杆连接在所述定位孔内。
19.在本实用新型一实施例中，所述定位结构包括限位件，所述限位件可拆卸连接于所述定位杆，且所述限位件抵接连接于所述转轴或所述支撑件的外壁。
20.在本实用新型一实施例中，所述定位杆的一端设置有限位板，所述限位板抵接连接于所述转轴或所述支撑件的外壁，且所述限位板设置在与所述限位件相对的一侧。
21.如上所述，本实用新型提供了一种辅助换件装置，用于蚀刻设备中，以便于更换蚀刻设备的腔体和盖体零件，从而对蚀刻设备进行保养。通过本发明的辅助换件装置，能够快速且省力地更换蚀刻设备的零件，且辅助装置装配简单便捷，可以便捷地实现蚀刻设备盖体与腔体之间的角度调节，并适用于多种尺寸的蚀刻设备。本实用新型的辅助换件装置能够节省人力资源，提升蚀刻设备换件保养的便捷性。
22.当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
23.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
24.图1为本实用新型所述换件装置的结构示意图。
25.图2为本实用新型所述换件装置的左视图。
26.图3为转轴和定位环的装配结构示意图。
27.图4为转轴的一种内部结构示意图。
28.图5为滑动座和定位杆的一种连接结构。
29.图6为滑动座和定位杆的另一种连接结构。
30.图7为滑动座和定位杆的再一种连接结构。
31.标号说明：1辅助换件装置，10固定环，101第一固定环，102第二固定环，11支板，2转轴，201空腔，202滑孔，203调节螺杆，204固定螺杆，205旋钮，206定位孔，3支撑件，30滑动座，301支架，4定位结构，40定位杆，401限位板，50限位件，60固定件，601垫片，70挡块。
具体实施方式
32.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
33.在半导体制程中，蚀刻使用物理或化学技术移除未被掩膜遮挡保护的薄膜材料等，通过这一移除的过程形成材料的图形。蚀刻使用过等离子体撞击材料本体，或是使用化学材料与材料反应去除材料，这些过程均需在蚀刻腔体内进行。因此，本实用新型提供一种辅助更换装置，可以应用于如蚀刻设备中，例如是半导体设备的蚀刻腔体，以便于掀盖更换蚀刻腔体的包覆零件以及对蚀刻腔体的壳体设备进行保养。
34.请参阅图1和图2所示，本实用新型提供了一种辅助换件装置1，辅助换件装置1包括支座、转动连接于支座的转轴2、可拆卸连接于转轴2一端的固定件60、滑动连接于转轴2的支撑件3、连接于转轴2和支撑件3的定位结构4。其中，支座为辅助换件装置1的机架，可用于放置设备壳体，且可用于确定辅助换件装置1的位置。转轴2贯穿支座，通过转轴2的转动，
带动支撑件3的转动，从而调节设备的开盖角度。固定件60连接在支座的一侧，以固定转轴2的位置，当设备开盖角度合适时，通过固定件60固定住支撑件3的位置，使支撑件3和支座之间呈夹角设置，且夹角小于例如90
°
。定位结构4用于固定支撑件3和转轴2，使支撑件3能随转轴2同步转动。本实用新型不限定支座的数量。在本实施例中，支座为例如2个，以提升转轴2转动的稳定性，从而稳定支撑设备壳体和设备腔体。在其他实施例中，支座也可以是例如1个、例如3个、例如4个等等。本实用新型不限定支撑件3的数量。在本实施例中，支撑件3为例如2个，根据设备盖体的不同面积，调节支撑件3沿着转轴2的轴向移动，使支撑件3能稳定支撑设备盖体的掀起，以便于进行设备保养。在其他实施例中，支撑件也可以是例如3个、例如4个等等，在支撑面积允许的情况下，支撑件3也可以是例如1个。
35.请参阅图1和图2所示，在本实用新型一实施例中，支座包括多个固定环10和固定连接于固定环10的支板11。固定环10和支板11为辅助换件装置1的机架，固定环10用于固定支撑件3，以支撑设备盖体，支板11用于固定设备腔体。本实用新型中，不限定固定环10的数量。在本实施例中，固定环10为例如2个，即支座包括第一固定环101和第二固定环102。转轴2的一端连接于第一固定环101，另一端连接于第二固定环102，从而稳定地支撑转轴2转动。在其他实施例中，转轴2所连接的固定环10也可以是例如3个、例如4个等等，且多个固定环10沿着转轴2间隔分布。
36.请参阅图1和图3所示，在本实用新型一实施例中，转轴2的一端连接有调节螺杆203，转轴2的另一端与调节螺杆203分别连接于固定环10内。其中，调节螺杆203的杆径小于转轴2的轴径，以便于转动转轴2时，能通过转轴2的端面与固定环10抵接，限制转轴2的转动角度。在本实施例中，调节螺杆203通过螺纹连接于第一固定环101内。转轴2与调节螺杆203相对的一端连接有固定螺杆204，且转轴2靠近固定螺杆204的一端通过螺纹连接于第二固定环102内。固定螺杆204的一端位于第二固定环102内，固定螺杆204的另一端连接于固定件60。其中，调节螺杆203的杆径大于固定螺杆204的杆径，以便于通过固定件60固定转轴2的位置，灵活地改变固定件60的强度、尺寸、配件等，以适应不同的支撑强度。
37.请参阅图1-图3所示，在本实用新型一实施例中，第一固定环101和第二固定环102的截面呈圆环形，且第一固定环101和第二固定环102的环孔内设置有内螺纹。其中，第一固定环101的环孔孔径大于第二固定环102的环孔孔径。调节螺杆203的一端连接有旋钮205。扭动旋钮205，通过第二固定环102和调节螺杆203的螺纹连接，转轴2随之转动，且调节螺杆203和固定螺杆204沿着转轴2的轴向移动。其中，旋钮205的直径大于调节螺杆203的杆径，旋钮205和转轴2的轴肩对调节螺杆203的移动进行限位，以限制转轴2的转动角度为例如0
°
～90
°
。
38.请参阅图1-图4所示，在本实用新型一实施例中，转轴2内设置有空腔201，以降低辅助换件装置1的整体重量。而支撑件3包括滑动座30和连接于滑动座30的支架301。其中，滑动座30滑动连接于转轴2，在本实施例中，调节滑动座30沿着转轴2移动，以调整支架301的位置，从而改变例如2个支架301之间的间距，以支撑不同尺寸的设备盖体。而转轴2上设置有连通空腔201的多个定位孔206，且转轴2与滑动座30之间连接有定位结构4。定位结构4连接于定位孔206，以实现对滑动座30的定位。其中，支架301为半圆环形，调节滑动座30沿着转轴2移动，使例如支架301的位置与设备盖体的大小适配，以适应对圆形的设备盖体的支撑，提升支撑件3支撑设备盖体的稳定性，并且能减轻转轴2支撑重量。
39.请参阅图5-图7所示，在本实用新型一实施例中，定位结构4包括定位杆40和限位件50，定位杆40的一端连接有限位板401，另一端连接于限位件50。定位杆40连接在定位孔206内，且定位杆40贯穿滑动座30与转轴2。其中定位杆40可以是螺栓，也可以是铆钉、销钉等结构件。限位件50可以是螺母，也可以是自锁工具，例如自锁螺母，例如是用于固定定位杆40位置的焊接件或胶粘件。
40.请参阅图3-图6所示，在本实用新型一实施例中，转轴2上设置有连通空腔201的滑孔202，滑动座30滑动连接于滑孔202内，定位孔206呈中心对称设置在滑动座30的两侧。本实用新型不限定滑动座30的端部是否位于空腔201内。在本实施例中，滑孔202有例如2个且呈中心对称设置。滑动座30为板状且贯穿转轴2，以便于通过滑动座30伸出转轴2的端部，稳定滑动座30在滑孔202内的移动，从而稳定地调节滑动座30的位置。在定位结构4中，定位孔206贯穿转轴2和滑动座30。限位板401抵接于转轴2的轴壁，限位件50抵接于转轴2与限位板401相对的轴壁上。在其他实施例中，滑孔202可以是例如1个。滑动座30为板状，且滑动座30的端部位于空腔201内，以便于将定位杆40安装进定位孔206内。
41.请参阅图3和图7所示，在本实用新型的再一实施例中，滑动座30滑动套接于转轴2的外部，转轴2贯穿滑动座30，使滑动座30的调节更加便捷，并提升支撑件3对设备盖体的支撑能力。在本实施例中，定位孔206位于滑动座30内部，且滑动座30上设置有与所述定位孔206对应的通孔302。通过定位孔206和通孔302的配合，定位滑动座30在转轴2上的位置。在定位结构4中，限位板401抵接在滑动座30的一侧，限位件50连接于滑动座30与限位板401相对的一侧。其中，本实用新型不限定滑动座30的外形，在本实施例中，滑动座30可以是为长方体形，以便于限位板401和限位件50的定位和夹紧。
42.请参阅图1和图2所示，在本实用新型一实施例中，调节滑动座30与定位孔206的位置对应，往定位孔206内插入定位杆40，并固定好限位件50，以固定连接定位杆40、滑动座30和转轴2。转动旋钮205，带动转轴2和支撑件3共同转动，以调整支架301和支板11的夹角，便于更换设备盖体和设备腔体内的零件，并进行多种保养操作。
43.请参阅图1和图3所示，在本实用新型一实施例中，固定件60可以是螺母，也可以是自锁工具例如自锁螺母等等。第一固定环101的一侧连接有垫片601，且垫片601套接在固定螺杆204上。固定件60连接在固定螺杆204上，且固定件60连接于垫片601。垫片601可以是弹性簧片，以提升固定件60与固定螺杆204连接的稳定程度。
44.请参阅图1和图2所示，在本实用新型一实施例中，滑动座30远离支板11的一侧固定有挡块70。在本实施例中，设备盖体放置在支架301上，且为远离支板11的一侧。挡块70支连接于支架301，且设备盖体放置在挡块70上。其中，在本实施例中，挡块70可以是长方体，也可以呈柱状。在其他实施例中，挡块70用以支撑设备盖体的侧壁可以是内凹的弧面，以提升支撑圆形设备盖体的稳定性。
45.本实用新型提供了一种辅助换件装置，用于蚀刻设备中，以便于更换蚀刻设备的腔体和盖体零件，从而对蚀刻设备进行保养。通过本发明的辅助换件装置，能够快速且省力地更换蚀刻设备的零件，且辅助装置装配简单便捷，可以便捷地实现蚀刻设备盖体与腔体之间的角度调节，并适用于多种尺寸的蚀刻设备。本实用新型的辅助换件装置能够节省人力资源，提升蚀刻设备换件保养的便捷性。
46.在本说明书的描述中，参考术语“本实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结
合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
47.以上公开的本实用新型实施例只是用于帮助阐述本实用新型。实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。