一种应用于大尺寸面板吸附的静电吸盘的制作方法

本申请涉及静电吸盘，特别涉及一种应用于大尺寸面板吸附的静电吸盘。

背景技术：

1、在面板行业，大尺寸的面板(一般尺寸超过600mm×600mm)由于重力的作用下存在下垂，某些特定工艺要求面板在真空环境下要吸附平整后才能进行装配，并且不允许接触其工艺面。这就带来一个问题，产品放置在真空腔室上方，如何不触碰工艺面的情况下吸附平整。相同类似的大尺寸产品也具有相同的问题。

2、现有的静电吸盘由于尺寸限制，无法实现大尺寸面板的平整吸附。

技术实现思路

1、本申请提供了一种应用于大尺寸面板吸附的静电吸盘，可以在真空环境下实现大尺寸面板的平整吸附。

2、本申请提供一种应用于大尺寸面板吸附的静电吸盘，包括：

3、基座，设有容纳槽和贴合面；静电吸附件,可移动设于容纳槽内用于对面板进行静电吸附；驱动机构，设置于基座上且与静电吸附件连接用于驱动静电吸附件在所述容纳槽内移动；控制器，与所述驱动机构和所述静电吸附件分别电连接，用于控制驱动机构运动及使所述静电吸附件产生静电吸附力；其中，所述静电吸附件至少设有两个,所述驱动机构数量与所述静电吸附件相同且与所述静电吸附件一一对应，所述静电吸附件设有吸附面，在驱动机构驱动下，所述吸附面具有凸出所述贴合面的第一状态和与所述贴合面平顺形成完整曲面的第二状态。

4、上述技术方案，将静电吸盘分成不同区块的静电吸附件，通过采用多个静电吸附件对面板的不同区域进行吸附，在面板在重力作用变形的情况下，不同的静电吸附件与对应的面板不同区域可以更好的贴合，有效避免了传统一体式静电吸盘只能吸附一种产品状态的缺陷。另外，这种结构也有利于静电吸盘的维修，只需将损坏的静电吸附件拆卸维修或者更换即可，不用将整个静电吸盘拆卸维修，降低了维修成本，也提升了维修的效率。在对产品的平整度要求不高的情况下，个别的静电吸附件的损坏不会影响整体静电吸盘的吸附装配，可以在不影响生产的情况下进行维修更换，不影响正常的生产加工，灵活性更好。

5、进一步的方案，在所述第二状态下，所述面板伏贴于所述吸附面和所述贴合面形成的曲面上。

6、通过采用上述技术方案，吸附完成后，静电吸附件收纳于基座内且吸附面和贴合面形成与面板表面相适应的平顺的曲面，在吸附后，通过面板与吸附曲面贴合，可以对面板变形的区域进行校正，提高面板贴合组装的质量。

7、进一步的方案，在所述第二状态下，所述吸附面和所述贴合面形成的曲面为平面。

8、通过采用上述技术方案，可以对大尺寸的平面面板进行吸附，因为平面的面板在重力的情况下更容易变形，而且一般平面的面板贴合的平整度要求较高，常规的静电吸盘无法实现平面的面板在变形的情况下的吸附，本方案可以很好地解决这个问题。

9、进一步的方案,控制器连接有电源的正极和负极，每个所述静电吸附件分别连接所述正极或负极。

10、通过采用上述技术方案，不同的静电吸附件连接不同极性的电极，在吸附完成后可以方便的进行电量中和，降低面板吸附后表面带有静电所产生的潜在风险。

11、进一步的方案，相邻所述静电吸附件连接的电极的极性相反。

12、通过采用上述技术方案，通过相邻静电吸附件连接的电极的极性相反设置，在面板不同区域对应静电吸附件的表面也会产生相邻的区域的电荷极性相反，由此既可以实现静电吸附，也能更快地中和面板表面的电荷，减小静电残留。

13、进一步的方案，所述基座的贴合面分成偶数个区域，每个区域内的所述静电吸附件连接的电源电极的极性相同。

14、通过采用上述技术方案，偶数个区域可以更好的中和正负电荷，同区域内的电荷极性相同，可以实现相邻大区域的正负电荷不同设置且大区域内多个静电吸附件小面积的静电吸附。吸附方案更加灵活，可以根据不同的产品需求采用不同的组合方案，方案简单可靠。

15、进一步的方案，相邻的所述区域的所述静电吸附件连接的电源电极的极性相反。

16、通过采用上述技术方案，相邻大区域的正负电荷交叉可以更好的中和正负电荷且实现大区域内多个静电吸附件小面积的静电吸附。可以根据不同的产品需求采用不同的组合方案，方案简单可靠。

17、进一步的方案，在所述基座和所述静电吸附件之间设有绝缘件。

18、通过采用上述技术方案，可以实现不同静电吸附件之间及静电吸附件与基座之间的绝缘，更好的保证静电吸附力。

19、进一步的方案，所述驱动机构设有固定端和驱动端，所述固定端固定连接于所述基座上，所述驱动端与所述静电吸附件连接。

20、通过采用上述技术方案，驱动机构固定在基座上以驱动静电吸附件运动，驱动可靠，安装方便，便于维修。

21、进一步的方案，所述控制器分别控制每个所述驱动机构以实现每个所述静电吸附件移动的不同行程。

22、通过采用上述技术方案，静电吸盘可以更灵活通过不同的驱动机构驱动不同静电吸附件实现不同运动，针对面板变形的不同区域实现静电吸附件的不同移动行程以与面板更好的贴合，吸附更可靠，效果更好。

23、综上所述，本申请具有以下至少一种有益技术效果：

24、1、本申请应用于大尺寸面板吸附的静电吸盘，结构简单，吸附力均匀，吸附更可靠。

25、2、本申请应用于大尺寸面板吸附的静电吸盘，可以实现大尺寸易变形的产品的吸附和产品形状的矫正，使贴合的效率质量更高。

26、3、本申请应用于大尺寸面板吸附的静电吸盘，不同静电吸附件和不同区域可以实现不同极性的电荷，使泄放电更简单方便，实用更安全可靠。

技术特征：

1.一种应用于大尺寸面板吸附的静电吸盘，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的应用于大尺寸面板吸附的静电吸盘，其特征在于，在所述第二状态下，所述面板伏贴于所述吸附面和所述贴合面形成的曲面上。

3.根据权利要求2所述的应用于大尺寸面板吸附的静电吸盘，其特征在于，在所述第二状态下，所述吸附面和所述贴合面形成的曲面为平面。

4.根据权利要求1所述的应用于大尺寸面板吸附的静电吸盘，其特征在于，控制器连接有电源的正极和负极，每个所述静电吸附件分别连接所述正极或负极。

5.根据权利要求4所述的应用于大尺寸面板吸附的静电吸盘，其特征在于，相邻所述静电吸附件连接的电极的极性相反。

6.根据权利要求4所述的应用于大尺寸面板吸附的静电吸盘，其特征在于，所述基座的贴合面分成偶数个区域，每个区域内的所述静电吸附件连接的电源电极的极性相同。

7.根据权利要求6所述的应用于大尺寸面板吸附的静电吸盘，其特征在于，相邻的所述区域的所述静电吸附件连接的电源电极的极性相反。

8.根据权利要求1所述的应用于大尺寸面板吸附的静电吸盘，其特征在于，在所述基座和所述静电吸附件之间设有绝缘件。

9.根据权利要求1所述的应用于大尺寸面板吸附的静电吸盘，其特征在于，所述驱动机构设有固定端和驱动端，所述固定端固定连接于所述基座上，所述驱动端与所述静电吸附件连接。

10.根据权利要求9所述的应用于大尺寸面板吸附的静电吸盘，其特征在于，所述控制器分别控制每个所述驱动机构以实现每个所述静电吸附件移动的不同行程。

技术总结
本申请公开了一种应用于大尺寸面板吸附的静电吸盘，包括基座，设有容纳槽和贴合面；静电吸附件,可移动设于容纳槽内用于对面板进行静电吸附；驱动机构，设置于基座上且与静电吸附件连接用于驱动静电吸附件在容纳槽内移动；控制器，与驱动机构和静电吸附件分别电连接，用于控制驱动机构运动及使静电吸附件产生静电吸附力；其中，静电吸附件至少设有两个,驱动机构数量与静电吸附件相同且与静电吸附件一一对应，静电吸附件设有吸附面，在驱动机构驱动下，吸附面具有凸出贴合面的第一状态和与贴合面平顺形成完整曲面的第二状态。本申请的应用于大尺寸面板吸附的静电吸盘，以在真空环境下实现大尺寸面板的平整吸附。

技术研发人员：陈高龙,奉洛阳,廖林
受保护的技术使用者：成都骏创科技有限公司
技术研发日：20221221
技术公布日：2024/1/12