用于转运晶片或芯片托盘的转运机的机械手的制作方法

本发明涉及在芯片制造和测试过程中用于转运晶片或芯片托盘的转运机，尤其涉及用于转运晶片或芯片托盘的转运机的机械手。

背景技术：

1、在半导体工业中，无论是芯片制造还是芯片测试过程中，许多设备都具有转运机，转运机用于将装载有晶片的托盘运送到芯片制造设备中进行装配并且将装载制造好的芯片的托盘从芯片制造设备中运出，转运机也用于将装载有芯片的托盘运送到芯片测试设备中以便对芯片进行测试、以及将装载有测试过的芯片的托盘从芯片测试设备中运出。

2、转运机具有安装在机械臂上并且能够在沿着各个方位移动的机械手，当机械手被移动到合适位置时可以将装载有晶片或者芯片的托盘夹住，以便将装载有晶片或者芯片的托盘转运到合适位置。图1示意性地显示了现有的用于转运晶片或芯片托盘的转运机的机械手。如图1所示，机械手1包括安装到部分地示出的机械臂3上的气缸组件5、以及可移动地安装在气缸组件5相反端部的一对夹持臂7，每个夹持臂7上可以设置有容纳槽7a。夹持臂7在气缸作用下可以相互相向移动以便将装载晶片或者芯片的托盘9接收在容纳槽7a中并且将托盘9紧紧夹住，或者在气缸作用下可以相互远离地移动以便松开托盘9。如图1所示，托盘9上具有多个用于容纳晶片或芯片的凹槽9a。由于机械臂的位置难以精细地调整，在机械手1夹持托盘9的过程中夹持臂7上的容纳槽7a很难与托盘9精确地对准，在机械手1夹住托盘9进行转运的过程中机械手要进行高速的长距离移动，这些都可能导致容纳在托盘9上的凹槽9a中的晶片或芯片从凹槽中振出、移出、被损坏、甚至从托盘上飞出，从而导致成品率降低、甚至设备停机，尤其是对于轻薄规格的晶片或芯片而言，这样情况更加严重。

3、因此，需要对现有的用于转运晶片或芯片托盘的转运机的机械手进行改进。

技术实现思路

1、本发明的目的就是要提出一种用于转运晶片或芯片托盘的转运机的机械手。根据本发明的用于转运晶片或芯片托盘的转运机的机械手可以克服上述现有技术中的至少一种缺陷。

2、根据本发明的一方面，提供一种用于转运晶片或芯片托盘的转运机的机械手，包括：

3、安装到机械臂上的气缸组件；以及

4、可移动地安装在所述气缸组件相反端部的一对夹持臂，所述夹持臂在气缸作用下能够相互相向移动以夹住所述托盘或者相互远离地移动以松开所述托盘；

5、其特征在于，所述机械手还包括设置在所述一对夹持臂之间并且安装在所述气缸组件上的盖板，所述盖板朝向要夹持的所述托盘的一侧具有平坦的表面，并且所述盖板被设置成在所述机械手夹住所述托盘时盖在所述托盘上。

6、优选地，所述盖板由抗静电材料制成并且具有与所述托盘大体相同的长宽尺寸。

7、优选地，所述盖板被可浮动地安装在所述气缸组件上。

8、优选地，所述机械手还包括：

9、固定地安装在所述气缸组件上的主框架；

10、穿过所述盖板和所述主框架以将所述盖板安装到所述主框架上的多个引导销，每个所述引导销与所述盖板固定地连接、并且能够相对于所述主框架移动；以及

11、设置在每个所述引导销上并且位于所述盖板与所述主框架之间的弹簧，所述弹簧总是趋于将所述盖板推到远离所述主框架的位置。

12、优选地，所述引导销在下端固定地连接到所述盖板上，在上端通过定位件相对所述主框架可移动地定位。

13、优选地，在所述盖板上设置向下开口的沉孔，所述引导销的下端不从所述盖板的底表面露出地容纳在所述沉孔中。

14、优选地，所述主框架是平板、并且通过相对地设置在所述气缸组件的两侧的一对l形连接件被固定地连接到所述气缸组件上。

15、优选地，所述机械手还包括用于感测晶片或者芯片位置异常的感测警报系统。

16、优选地，所述感测警报系统包括：

17、设置在所述主框架上并且与所述转运机的可编程逻辑控制器电连通的传感器组件；以及

18、固定地连接到所述引导销从所述主框架露出的一端上并且能够随着所述引导销移动的触发杆，在所述弹簧将所述盖板推到远离所述主框架的位置时所述触发杆与所述传感器组件上的传感器保持接触。

19、优选地，所述感测警报系统被设置成在所述触发杆与所述传感器组件上的传感器脱离接触时实时地将触发信号发送到所述可编程逻辑控制器，从而触发所述转运机发出警报。

20、优选地，所述传感器组件通过具有细长安装槽并且固定到所述主框架上的安装架被安装到所述主框架上。

21、优选地，对于对角相对的两个所述引导销设置感测警报系统。

22、优选地，所述夹持臂上设置有用于接收所述托盘的容纳槽。

23、根据本发明的用于转运晶片或芯片托盘的转运机的机械手，由于在一对夹持臂之间设置了在机械手夹住托盘时盖在托盘上的盖板，可以将轻微移位的晶片或者芯片推回到托盘上的凹槽中、并且可以防止晶片或者芯片从托盘上的凹槽中移位或者飞出。因而，可以提高芯片成品率并且可以避免设备停机。

技术特征：

1.一种用于转运晶片或芯片托盘的转运机的机械手，包括：

2.根据权利要求1所述的用于转运晶片或芯片托盘的转运机的机械手，其特征在于，所述盖板由抗静电材料制成并且具有与所述托盘大体相同的长宽尺寸。

3.根据权利要求1所述的用于转运晶片或芯片托盘的转运机的机械手，其特征在于，所述盖板被可浮动地安装在所述气缸组件上。

4.根据权利要求3所述的用于转运晶片或芯片托盘的转运机的机械手，其特征在于，所述机械手还包括：

5.根据权利要求4所述的用于转运晶片或芯片托盘的转运机的机械手，其特征在于，所述引导销在下端固定地连接到所述盖板上，在上端通过定位件相对所述主框架可移动地定位。

6.根据权利要求4所述的用于转运晶片或芯片托盘的转运机的机械手，其特征在于，在所述盖板(11)上设置向下开口的沉孔，所述引导销(15)的下端不从所述盖板的底表面露出地容纳在所述沉孔中。

7.根据权利要求4所述的用于转运晶片或芯片托盘的转运机的机械手，其特征在于，所述主框架是平板、并且通过相对地设置在所述气缸组件的两侧的一对l形连接件(21)被固定地连接到所述气缸组件上。

8.根据权利要求4所述的用于转运晶片或芯片托盘的转运机的机械手，其特征在于，所述机械手还包括用于感测晶片或者芯片位置异常的感测警报系统。

9.根据权利要求8所述的用于转运晶片或芯片托盘的转运机的机械手，其特征在于，所述感测警报系统包括：

10.根据权利要求9所述的用于转运晶片或芯片托盘的转运机的机械手，其特征在于，所述感测警报系统被设置成在所述触发杆与所述传感器组件上的传感器脱离接触时实时地将触发信号发送到所述可编程逻辑控制器，从而触发所述转运机发出警报。

11.根据权利要求8所述的用于转运晶片或芯片托盘的转运机的机械手，其特征在于，对于对角相对的两个所述引导销设置感测警报系统。

12.根据权利要求10所述的用于转运晶片或芯片托盘的转运机的机械手，其特征在于，所述传感器组件通过具有细长安装槽(27a)并且固定到所述主框架(13)上的安装架(27)被安装到所述主框架上。

13.根据权利要求4所述的用于转运晶片或芯片托盘的转运机的机械手，其特征在于，所述夹持臂上设置有用于接收所述托盘的容纳槽(7a)。

技术总结
提供一种用于转运晶片或芯片托盘的转运机的机械手，包括：安装到机械臂上的气缸组件；以及可移动地安装在所述气缸组件相反端部的一对夹持臂，所述夹持臂在气缸作用下能够相互相向移动以夹住所述托盘或者相互远离地移动以松开所述托盘；其特征在于，所述机械手还包括设置在所述一对夹持臂之间并且安装在所述气缸组件上的盖板，所述盖板朝向要夹持的所述托盘的一侧具有平坦的表面，并且所述盖板被设置成在所述机械手夹住所述托盘时盖在所述托盘上。根据本发明,可以将轻微移位的晶片或者芯片推回到托盘上的凹槽中、并且可以防止晶片或者芯片从托盘上的凹槽中移位或者飞出。因而，可以提高芯片成品率并且可以避免设备停机。

技术研发人员：周宣名,夷长江
受保护的技术使用者：英特尔产品（成都）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13