具有不等连杆长度臂的机器人的制作方法

所公开的实施例涉及具有不等连杆长度臂的机器人并且特别地涉及具有不等连杆长度的一个或多个臂的机器人，各臂支撑一个或多个基底。

背景技术：

1、用于诸如与半导体、led、太阳能、mems或其他装置的制造相关联应用的真空、大气和受控环境处理利用机器人技术和其他形式的自动化技术将基底和与基底相关联的承载件运送到存储地点、处理地点或其他地点和从存储地点、处理地点或其他地点运送基底和与基底相关联的承载件。基底的这种运送可以是用运送一个或多个基底的单个臂或者用每个臂运送一个或多个基底的多个臂来移动单独的基底、成组的基底。大部分的例如与半导体制造相关联的制造是在占地和体积非常珍贵的清洁或真空环境中完成的。此外，大部分的自动化运送是在如下情况下进行的，其中运送次数的最小化造成循环时间的减小和相关联的设备的吞吐量的增加和利用率的增加。因此，存在提供一种基底运送自动化的需求，该基底运送自动化对于给定范围的运送应用要求最小占地和工作空间体积并且以最小化的运送次数。

技术实现思路

1、以下
技术实现要素：
仅仅旨在示例性的。发明内容不旨在限制权利要求。

2、依照示例性实施例的一个方面，一种运送设备具有至少一个驱动器；具有第一上臂、第一前臂和第一末端执行器的第一机器手臂。第一上臂在第一转动轴线处被连接至至少一个驱动器。第二机器手臂具有第二上臂、第二前臂和第二末端执行器。第二上臂在与第一转动轴线隔开的第二转动轴线处被连接至至少一个驱动器。第一和第二机器手臂被配置成将末端执行器定位在第一撤回位置用于使位于末端执行器上的基底至少部分地一个堆叠在另一个上。第一和第二机器手臂被配置成使末端执行器从第一撤回位置沿着至少部分地一个位于另一个的正上方的平行的第一路径在第一方向上伸展。第一和第二机器手臂被配置成使末端执行器沿着不是一个位于另一个上方的彼此隔开的第二路径在至少一个第二方向上伸展。第一上臂和第一前臂具有不同的有效长度。第二上臂和第二前臂具有不同的有效长度。

3、依照示例性实施例的另一方面，提供一种方法，其包括：提供包括第一上臂、第一前臂和第一末端执行器的第一机器手臂，其中第一上臂和第一前臂具有不同的有效长度；提供包括第二上臂、第二前臂和第二末端执行器的第二机器手臂，其中第二上臂和第二前臂具有不同的有效长度；将第一上臂在第一转动轴线处连接至至少一个驱动器；和将第二上臂在与第一转动轴线隔开的第二转动轴线处连接至至少一个驱动器，其中第一和第二机器手臂被配置成将末端执行器定位在第一撤回位置用于使位于末端执行器上的基底至少部分地一个堆叠在另一个上，其中第一和第二机器手臂被配置成使末端执行器从第一撤回位置沿着至少部分地一个位于另一个的正上方的平行的第一路径在第一方向上伸展，并且其中第一和第二机器手臂被配置成使末端执行器沿着不是一个位于另一个上方的彼此隔开的第二路径在至少一个第二方向上伸展。

4、依照示例性实施例的另一方面，提供一种方法，其包括：将第一和第二机器手臂的相应第一末端执行器和第二末端执行器定位在第一撤回位置用于使位于末端执行器上的基底至少部分地一个堆叠在另一个上，其中第一机器手臂包括第一上臂、第一前臂和第一末端执行器，其中第一上臂在第一转动轴线处被连接至至少一个驱动器，并且其中第二机器手臂包括第二上臂、第二前臂和第二末端执行器，其中第二上臂在与第一转动轴线隔开的第二转动轴线处被连接至至少一个驱动器；移动第一和第二机器手臂以使末端执行器从第一撤回位置沿着至少部分地一个位于另一个的正上方的平行的第一路径在第一方向上移动；和移动第一和第二机器手臂以使末端执行器移动以使末端执行器沿着不是一个位于另一个上方的彼此隔开的第二路径在至少一个第二方向上伸展。

5、依照示例性实施例的另一方面，一种运送设备具有：第一机器手臂，包括第一上臂、第一前臂和第一末端执行器；第二机器手臂，包括第二上臂、第二前臂和第二末端执行器；和驱动器，被连接至第一和第二机器手臂，其中第一上臂在第一转动轴线处被连接至驱动器，其中第二上臂在与第一转动轴线隔开的第二转动轴线处被连接至驱动器，其中驱动器包括用于使第一和第二上臂转动的仅三个马达，其中第一和第二机器手臂被配置成将末端执行器定位在第一撤回位置用于使位于末端执行器上的基底至少部分地一个堆叠在另一个上，其中第一和第二机器手臂被配置成使末端执行器从第一撤回位置沿着至少部分地一个位于另一个的正上方的平行的第一路径在第一方向上伸展，并且其中第一和第二机器手臂被配置成使末端执行器沿着不是一个位于另一个上方的彼此隔开的第二路径在至少一个第二方向上伸展。

6、依照示例性实施例的另一方面，一种方法包括：将第一和第二机器手臂的相应第一末端执行器和第二末端执行器定位在第一撤回位置用于使位于末端执行器上的基底至少部分地一个堆叠在另一个上，其中第一机器手臂包括第一上臂、第一前臂和第一末端执行器，其中第一上臂在第一转动轴线处被连接至驱动器，并且其中第二机器手臂包括第二上臂、第二前臂和第二末端执行器，其中第二上臂在与第一转动轴线隔开的第二转动轴线处被连接至驱动器；移动第一和第二机器手臂以使末端执行器从第一撤回位置沿着至少部分地一个位于另一个的正上方的平行的第一路径在第一方向上移动；移动第一和第二机器手臂以使末端执行器移动以使末端执行器沿着不是一个位于另一个上方的彼此隔开的第二路径在至少一个第二方向上伸展；使第一和第二机器手臂围绕与第一和第二转动轴线隔开的第三转动轴线一起转动，其中从第一撤回位置在第一方向上的移动、使末端执行器在至少一个第二方向上伸展的移动和转动利用驱动器的仅三个马达。

7、依照示例性实施例的另一方面，一种方法包括：提供包括第一上臂、第一前臂和第一末端执行器的第一机器手臂；提供包括第二上臂、第二前臂和第二末端执行器的第二机器手臂；将第一上臂在第一转动轴线处连接至驱动器；和将第二上臂在与第一转动轴线隔开的第二转动轴线处连接至驱动器，其中第一和第二机器手臂被配置成将末端执行器定位在第一撤回位置用于使位于末端执行器上的基底至少部分地一个堆叠在另一个上，其中第一和第二机器手臂被配置成被转动以使末端执行器从第一撤回位置沿着至少部分地一个位于另一个的正上方的平行的第一路径在第一方向上伸展，并且其中第一和第二机器手臂被配置成被转动以使末端执行器沿着不是一个位于另一个上方的彼此隔开的第二路径在至少一个第二方向上伸展，其中驱动器包括用于使第一和第二机器手臂转动以使末端执行器伸展和用于使第一和第二机器手臂围绕与第一和第二转动轴线隔开的第三转动轴线转动的仅三个马达。

8、依照示例性实施例的另一方面，一种设备包括：第一机器手臂，包括第一上臂、第一前臂和第一末端执行器；第二机器手臂，包括第二上臂、第二前臂和第二末端执行器；和驱动器，被连接至第一和第二机器手臂，其中第一上臂在第一转动轴线处被连接至驱动器，其中第二上臂在与第一转动轴线隔开的第二转动轴线处被连接至驱动器，其中驱动器包括用于使第一和第二上臂转动的五个马达，其中马达中的第一个被连接至第一和第二机器手臂以使第一和第二臂围绕与第一和第二转动轴线隔开的第三转动轴线转动，其中马达中的第二和第三个被连接至第一机器手臂以使第一上臂和第一前臂分别地转动，并且其中马达中的第四和第五个被连接至第二机器手臂以使第二上臂和第二前臂与第一机器手臂独立地分别地转动，其中第一和第二机器手臂被配置成将末端执行器定位在第一撤回位置用于使位于末端执行器上的基底至少部分地一个堆叠在另一个上，其中第一和第二机器手臂被配置成使末端执行器从第一撤回位置沿着至少部分地一个位于另一个的正上方的平行的第一路径在第一方向上伸展，并且其中第一和第二机器手臂被配置成使末端执行器沿着不是一个位于另一个上方的彼此隔开的第二路径在至少一个第二方向上伸展。

9、依照示例性实施例的另一方面，一种方法包括：将第一和第二机器手臂的相应第一末端执行器和第二末端执行器定位在第一撤回位置用于使位于末端执行器上的基底至少部分地一个堆叠在另一个上，其中第一机器手臂包括第一上臂、第一前臂和第一末端执行器，其中第一上臂在第一转动轴线处被连接至驱动器，并且其中第二机器手臂包括第二上臂、第二前臂和第二末端执行器，其中第二上臂在与第一转动轴线隔开的第二转动轴线处被连接至驱动器；移动第一和第二机器手臂以使末端执行器从第一撤回位置沿着至少部分地一个位于另一个的正上方的平行的第一路径在第一方向上移动；移动第一和第二机器手臂以使末端执行器移动以使末端执行器沿着不是一个位于另一个上方的彼此隔开的第二路径在至少一个第二方向上伸展；使第一和第二机器手臂围绕与第一和第二转动轴线隔开的第三转动轴线一起转动，其中从第一撤回位置在第一方向上的移动、使末端执行器在至少一个第二方向上伸展的移动和转动利用驱动器的五个马达，其中马达中的第一个被连接至第一和第二机器手臂以使第一和第二臂围绕第三转动轴线转动，其中马达中的第二和第三个被连接至第一机器手臂以使第一上臂和第一前臂分别地转动，并且其中机器手臂中的第四和第五个被连接至第二机器手臂以使第二上臂和第二前臂与第一机器手臂独立地分别地转动。

10、依照示例性实施例的另一方面，一种方法包括：提供包括第一上臂、第一前臂和第一末端执行器的第一机器手臂；提供包括第二上臂、第二前臂和第二末端执行器的第二机器手臂；将第一上臂在第一转动轴线处连接至驱动器；和将第二上臂在与第一转动轴线隔开的第二转动轴线处连接至驱动器，其中第一和第二机器手臂被配置成将末端执行器定位在第一撤回位置用于使位于末端执行器上的基底至少部分地一个堆叠在另一个上，其中第一和第二机器手臂被配置成被转动以使末端执行器从第一撤回位置沿着至少部分地一个位于另一个的正上方的平行的第一路径在第一方向上伸展，并且其中第一和第二机器手臂被配置成被转动以使末端执行器沿着不是一个位于另一个上方的彼此隔开的第二路径在至少一个第二方向上伸展，其中驱动器包括用于使第一和第二机器手臂转动以使末端执行器伸展和用于使第一和第二机器手臂围绕与第一和第二转动轴线隔开的第三转动轴线转动的五个马达，其中马达中的第一个被连接至第一和第二机器手臂以使第一和第二臂围绕第三转动轴线转动，其中马达中的第二和第三个被连接至第一机器手臂以使第一上臂和第一前臂分别地转动，并且其中机器手臂中的第四和第五个被连接至第二机器手臂以使第二上臂和第二前臂与第一机器手臂独立地分别地转动。

11、依照示例性实施例的另一方面，一种设备包括：第一机器手臂，包括第一上臂、第一前臂和第一末端执行器；第二机器手臂，包括第二上臂、第二前臂和第二末端执行器；和驱动器，被连接至第一和第二机器手臂，其中第一上臂在第一转动轴线处被连接至驱动器，其中第二上臂在与第一转动轴线隔开的第二转动轴线处被连接至驱动器，其中驱动器包括用于使第一和第二上臂转动的四个马达，其中马达中的第一个被连接至第一上臂，其中马达中的第二个被连接至第二上臂，其中马达中的第三个被连接至第一前臂，其中马达中的第四个被连接至第二前臂，其中第三和第四马达在与第一和第二轴线隔开的公共轴线上对齐，其中第一马达在第一轴线上对齐并且其中第二马达在第二轴线上对齐，其中第一和第二机器手臂被配置成将末端执行器定位在第一撤回位置用于使位于末端执行器上的基底至少部分地一个堆叠在另一个上，其中第一和第二机器手臂被配置成使末端执行器从第一撤回位置沿着至少部分地一个位于另一个的正上方的平行的第一路径在第一方向上伸展，并且其中第一和第二机器手臂被配置成使末端执行器沿着不是一个位于另一个上方的彼此隔开的第二路径在至少一个第二方向上伸展。