一种探针料夹针器的制作方法

本发明涉及半导体设备，具体涉及一种探针料夹针器。

背景技术：

1、探针是一种用于半导体行业的关键测试工具，用于在晶圆或芯片生产过程中接触测试电子器件的性能。在进行探针自动化生产设备产品设计时，需要有对探针料进行夹持的部件，而市场上并无适合的对探针料进行夹持的装置，因此探针自动化生产设备有关技术人员希望有一种新的装置，对上述问题进行改善和解决。

技术实现思路

1、有鉴于此，提供一种探针料夹针器，其可以对探针料进行夹持和松开，并能满足探针自动化设备的需求，极大地增强了用户使用的体验感。

2、一种探针料夹针器，用于对探针料全自动加工时夹住探针料，所述探针料夹针器包括夹针外壳、压紧轴、夹针压簧、夹针杠杆、杠杆销轴和复位簧。

3、进一步地，所述夹针外壳一端具有夹针头，所述夹针杠杆通过所述杠杆销轴与所述夹针外壳旋转铰链连接，所述夹针外壳远离所述夹针头的另一端设有轴向压紧孔，所述压紧轴能滑动地安装于所述轴向压紧孔中，所述压紧轴一端露于所述夹针外壳，所述压紧轴露于所述夹针外壳的一端具有顶头，所述夹针压簧套装安装于所述压紧轴露于所述夹针外壳的一端，所述夹针压簧在所述压紧轴移动时不能通过所述顶头，所述复位簧紧密接触套装安装于所述夹针外壳和所述夹针杠杆的外侧。

4、进一步地，所述夹针头外侧设有压针槽，所述夹针杠杆一端具有夹紧头，所述夹紧头能进入所述压针槽，所述夹紧头能与所述压针槽的槽面接触压紧，所述夹紧头用于夹紧置于所述压针槽中的所述探针料，所述夹针杠杆另一端具有接触凸起端，所述压紧轴位于所述夹针外壳内的一端具有接触斜面端，所述顶头不受外力时，所述顶头压紧所述夹针压簧使所述接触斜面端与所述接触凸起端紧密挤压接触，所述接触斜面端与所述接触凸起端紧密挤压接触使所述夹针杠杆的所述夹紧头进入所述压针槽夹紧所述探针料，所述顶头受外力时，所述接触斜面端与所述接触凸起端脱离，所述夹紧头与所述压针槽的槽面脱离接触，所述夹紧头松开所述探针料。

5、进一步地，所述复位簧位于所述杠杆销轴与所述接触凸起端之间的位置。

6、进一步地，所述夹针头还具有夹针孔，所述夹针孔用于穿入所述探针料，所述压针槽使所述夹针孔分为两段，所述夹针孔的两段都用于对所述探针料径向定位。

7、在一些具体实施方案中，所述顶头受外力推压时所述接触斜面端与所述接触凸起端脱开接触，所述外力为气缸移动部或电缸移动部或电机驱动的机构活动部产生。

8、在一些具体实施方案中，所述夹针外壳具有定位环，所述夹针杠杆具有凸起限位，所述定位环和所述凸起限位使所述复位簧位于所述杠杆销轴与所述接触凸起端之间的位置。

9、进一步地，所述复位簧能弹性伸缩变形，所述复位簧在所述接触斜面端与所述接触凸起端紧密挤压接触或脱开时所述复位簧都紧密接触套装安装于所述夹针外壳和所述夹针杠杆的外侧，所述复位簧在所述接触斜面端与所述接触凸起端脱开时通过杠杆作用使所述夹紧头抬起而松开所述探针料。

10、优选地，所述接触斜面端具有大径端和小颈端，所述大径端和所述小颈端之间是颈缩部，所述颈缩部有斜面或光滑曲面，所述接触凸起端位于所述颈缩部与所述轴向压紧孔端部之间，在所述顶头不受外力时所述接触凸起端与所述颈缩部接触。

11、在一些具体实施方案中，所述接触斜面端滑动时不能通过所述接触凸起端，所述接触凸起端使所述压紧轴滑动地安装于所述轴向压紧孔中而不从所述轴向压紧孔中穿出。

12、在一些优选实施方案中，所述夹针杠杆是金属构件，所述夹紧头至少在末端具有弹性结构。

13、在一些优选实施方案中，所述夹针孔朝向探针料进入侧具有导引角，所述导引角用于使探针料进入所述夹针孔，所述夹针孔能容纳所述探针料进入。

14、优选地，所述顶头与所述压紧轴为一体成型结构或所述顶头通过螺纹连接或螺纹顶丝顶紧连接或穿销钉连接或铆钉连接固定安装于所述压紧轴，所述顶头位于所述压紧轴露于所述夹针外壳的一端最外侧，所述夹针头与所述夹针外壳为一体成型结构或所述夹针头通过螺纹连接或螺纹顶丝顶紧连接或穿销钉连接或铆钉连接固定安装于所述夹针外壳，所述夹针头位于所述夹针外壳一端。

15、上述探针料夹针器，其可在由自动化部件如气缸或电缸或电机驱动的机构等控制下对探针料进行夹持和松开，从而达到了满足在探针的全自动生产时能够提供对探针料进行自动夹持和松开的技术效果，因此具有广泛的应用前景。

技术特征：

1.一种探针料夹针器，用于对探针料全自动加工时夹住探针料，其特征在于，所述探针料夹针器包括夹针外壳、压紧轴、夹针压簧、夹针杠杆、杠杆销轴和复位簧；

2.如权利要求1所述的探针料夹针器，其特征在于，所述夹针头还具有夹针孔，所述夹针孔用于穿入所述探针料，所述压针槽使所述夹针孔分为两段，所述夹针孔的两段都用于对所述探针料径向定位。

3.如权利要求1所述的探针料夹针器，其特征在于，所述顶头受外力推压时所述接触斜面端与所述接触凸起端脱开接触，所述外力为气缸移动部或电缸移动部或电机驱动的机构活动部产生。

4.如权利要求1所述的探针料夹针器，其特征在于，所述夹针外壳具有定位环，所述夹针杠杆具有凸起限位，所述定位环和所述凸起限位使所述复位簧位于所述杠杆销轴与所述接触凸起端之间的位置。

5.如权利要求3所述的探针料夹针器，其特征在于，所述复位簧能弹性伸缩变形，所述复位簧在所述接触斜面端与所述接触凸起端紧密挤压接触或脱开时所述复位簧都紧密接触套装安装于所述夹针外壳和所述夹针杠杆的外侧，所述复位簧在所述接触斜面端与所述接触凸起端脱开时通过杠杆作用使所述夹紧头抬起而松开所述探针料。

6.如权利要求1所述的探针料夹针器，其特征在于，所述接触斜面端具有大径端和小颈端，所述大径端和所述小颈端之间是颈缩部，所述颈缩部有斜面或光滑曲面，所述接触凸起端位于所述颈缩部与所述轴向压紧孔端部之间，在所述顶头不受外力时所述接触凸起端与所述颈缩部接触。

7.如权利要求1所述的探针料夹针器，其特征在于，所述接触斜面端滑动时不能通过所述接触凸起端，所述接触凸起端使所述压紧轴滑动地安装于所述轴向压紧孔中而不从所述轴向压紧孔中穿出。

8.如权利要求1所述的探针料夹针器，其特征在于，所述夹针杠杆是金属构件，所述夹紧头至少在末端具有弹性结构。

9.如权利要求2所述的探针料夹针器，其特征在于，所述夹针孔朝向探针料进入侧具有导引角，所述导引角用于使探针料进入所述夹针孔，所述夹针孔能容纳所述探针料进入。

10.如权利要求1所述的探针料夹针器，其特征在于，所述顶头与所述压紧轴为一体成型结构或所述顶头通过螺纹连接或螺纹顶丝顶紧连接或穿销钉连接或铆钉连接固定安装于所述压紧轴，所述顶头位于所述压紧轴露于所述夹针外壳的一端最外侧，所述夹针头与所述夹针外壳为一体成型结构或所述夹针头通过螺纹连接或螺纹顶丝顶紧连接或穿销钉连接或铆钉连接固定安装于所述夹针外壳，所述夹针头位于所述夹针外壳一端。

技术总结
本发明涉及一种探针料夹针器，用于对探针料全自动加工时夹住探针料，探针料夹针器包括夹针外壳、压紧轴、夹针压簧、夹针杠杆、杠杆销轴和复位簧。夹针外壳一端具有夹针头，夹针杠杆通过杠杆销轴与夹针外壳旋转铰链连接，夹针外壳远离夹针槽的另一端设有轴向压紧孔，压紧轴能滑动地安装于轴向压紧孔中，压紧轴一端露于夹针外壳，压紧轴露于夹针外壳的一端具有顶头，夹针压簧套装安装于压紧轴露于夹针外壳的一端，夹针压簧在压紧轴移动时不能通过顶头，复位簧紧密接触套装安装于夹针外壳和夹针杠杆的外侧。所述探针料夹针器解决了探针全自动生产设备设计时，市场上无适合的对探针料夹持装置的技术问题。

技术研发人员：刘志广
受保护的技术使用者：深圳市道格特科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/5