光罩夹持装置的制作方法

本技术涉及半导体器件制作的，尤其涉及一种半导体器件制作过程中用于夹持光罩的光罩夹持装置。

背景技术：

1、随着电子技术的发展，半导体器件的应用越来越广泛。半导体器件制作时往往需要使用光蚀刻技术在半导体上形成所需要的图案，为了将图案设置在晶圆等半导体器件上，通常需要使用光罩。现有的光罩通常是一块基本上透明的板体，由于光罩使用过程中需要取放，为了避免手直接触碰光罩，通常设置一个用于夹持光罩的光罩夹持装置，使用光罩夹持装置来夹持光罩并移动光罩。

2、参见图1，现有的光罩具有手持部10以及夹持部20，夹持部20设置在手持部10的一端，手持部10包括一根长条状的杆，操作人员可以握持手持部10远离夹持部20的一端。夹持部20包括连接杆21以及两个夹持臂22、23，两个夹持臂22、23分别位于连接杆21的两端，其中，夹持臂22固定在连接杆21远离手持部10的一端，夹持臂22与连接杆21固定，不可以相对于连接杆21运动。夹持臂23设置在靠近手持部10的一端，夹持臂23可以相对于连接杆21运动，从而改变两个夹持臂22、23之间的距离。

3、光罩夹持装置还设置有一个操控杆12，操控杆12铰接在手持部10靠近夹持部20的一端，操控杆12可以相对于手持部10转动，操控杆12转动时将带动夹持臂23转动，例如，当操作人员握持操控杆12的末端并使当操控杆12的末端朝向手持部10运动时，夹持臂23的末端向远离夹持臂22的方向运动，使得两个夹持臂22、23之间的距离增加，方便对光罩的夹取。当操作人员松开操控杆12时，夹持臂23将恢复至初始状态并夹持光罩。

4、在取放光罩时，首先握持操控杆12使得两个夹持臂22、23相互张开，将光罩置于两个夹持臂22、23之间。在夹持光罩后松开操控杆12，使得夹持臂22、23夹紧光罩，并带动光罩移动。但如果光罩移动过程中，操作人员误触碰到操控杆12将导致夹持臂23意外张开，导致光罩掉落而造成光罩损坏。

5、为了避免夹持光罩移动过程中误触碰操控杆12，光罩夹持装置上设置有锁止件13，参见图2与图3，锁止件13设置在手持部10上，并且可以在第一位置与第二位置之间转动，例如图2所示，锁止件13处于第一位置，此时，锁止件13限制操控杆12的转动，从而防止夹持臂23张开。如图3所示，锁止件13处于第二位置，此时，锁止件13不会限制操控杆12的转动，夹持臂23可以在操控杆12的带动下转动。为此，当夹持光罩移动过程中，需要将锁止件13转动至第一位置。

6、然而，由于一些操作人员的操作不慎，容易在夹持光罩时忘记转动锁止件13，或者将锁止件13转动不到位，导致锁止件13并未限制操控杆12的转动，如果在移动光罩过程中不慎触碰到操控杆12，将导致夹持臂23意外打开而造成光罩损坏。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种能够提示锁止件的锁止状态的光罩夹持装置。

2、为了实现上述的目的，本实用新型提供的光罩夹持装置包括手持部以及夹持部，夹持部位于手持部的一端，夹持部具有两个夹持臂，该光罩夹持装置还设置有调节两个夹持臂之间距离的操控杆，操控杆的一端铰接在夹持部的一端；在操控杆的铰接位置设置有锁止件，锁止件可以在第一位置与第二位置之间运动，当锁止件在第一位置时锁定操控杆；其中，该光罩夹持装置还设置有锁止指示件，当锁止件在第一位置时锁止指示件为第一指示状态，当锁止件离开第一位置时锁止指示件为第二指示状态。

3、由上述方案可见，通过在光罩夹持装置上设置锁止指示件，只有锁止件在第一位置时，即锁止件处于将操控杆锁定的位置，锁止指示件将处于第一指示状态，操作人员可以根据锁止指示件的指示状态来确定操控杆是否已经被锁定，避免因锁止件没有到达锁定位置就移动光罩，从而有效避免光罩移动过程中意外掉落。

4、一个优选的方案是，锁止指示件包括一个用电器件，该光罩夹持装置还设置有向用电器件供电的电源。

5、由此可见，锁止指示件可以是led灯或者蜂鸣器等用电器件，用电器件能够发出清晰的指示信号，例如灯光或者声音，能够清晰的给操作人员指示。

6、一个优选的方案是，用电器件与电源之间设置有开关装置，开关装置由锁止件驱动开关状态的变化。

7、由此可见，当锁止件转动时可以带动开关装置的转动，从而实现开关装置的状态改变，在开关装置的状态改变后，可以改变用电器件的供电状态，进而实现锁止指示件的指示状态的改变。

8、进一步的方案是，开关装置包括一块金属片，金属片与锁止件固定连接，金属片跟随锁止件的转动而转动。

9、可见，使用金属片的导电性能实现电源与用电器件之间的电连接状态的改变，可以方便的实现开关作用。

10、进一步的方案是，用电器件包括一个发光装置；第一指示状态为发光装置发光状态，第二指示状态为发光装置不发光状态。

11、通过发光装置的发光状态来指示锁止件已经处于锁定位置，操作人员能够非常直观的了解锁止件的状态。

12、可选的方案是，用电器件包括一个蜂鸣器；第一指示状态为蜂鸣器的工作驱动状态，第二指示状态为蜂鸣器静止状态。

13、通过蜂鸣器发出的声音指示锁止件的状态，操作人员能够非常直观的了解锁止件的状态。

14、更进一步的方案是，锁止件设置在手持部的第一侧壁上，锁止指示件设置在手持部的第二侧壁上。

15、可见，锁止件与锁止指示件分别设置在手持部的两个不同侧壁上，能够充分利用手持部各个不同侧壁上的空间，有利于光罩夹持装置的小型化。

16、更进一步的方案是，电源设置在手持部内。

17、更进一步的方案是，锁止指示件设置在手持部靠近夹持部的一端，电源设置在手持部远离夹持部的一端。

18、可见，锁止指示件与夹持部之间的距离较小，方便用户观察锁止指示件的指示状态，将电源设置在远离夹持部的一端，可以充分利用手持部内部的空间，并有利于更换电源。

19、更进一步的方案是，该光罩夹持装置还设置有电源开关，电源开关电连接在电源与用电器件之间。

20、由此可见，在光罩夹持装置长时间不使用的时候，可以关闭电源开关，从而减少电源的放电情况，延长电源的使用寿命。

21、可选的方案是，电源开关设置在手持部的第三侧壁上；第一侧壁与第二侧壁相邻布置，第二侧壁与第三侧壁相邻布置。

22、可见，电源开关、锁止件、锁止指示件分别设置在手持部三个不同的侧壁上，充分利用手持部各个侧壁设置不同的部件，有利于光罩夹持装置的小型化。

技术特征：

1.光罩夹持装置，包括：

2.根据权利要求1所述的光罩夹持装置，其特征在于：

3.根据权利要求2所述的光罩夹持装置，其特征在于：

4.根据权利要求3所述的光罩夹持装置，其特征在于：

5.根据权利要求2至4任一项所述的光罩夹持装置，其特征在于：

6.根据权利要求2至4任一项所述的光罩夹持装置，其特征在于：

7.根据权利要求2至4任一项所述的光罩夹持装置，其特征在于：

8.根据权利要求7所述的光罩夹持装置，其特征在于：

9.根据权利要求8所述的光罩夹持装置，其特征在于：

10.根据权利要求7所述的光罩夹持装置，其特征在于：

11.根据权利要求10所述的光罩夹持装置，其特征在于：

技术总结
本技术公开一种光罩夹持装置，包括手持部以及夹持部，夹持部位于手持部的一端，夹持部具有两个夹持臂，该光罩夹持装置还设置有调节两个夹持臂之间距离的操控杆，操控杆的一端铰接在夹持部的一端；在操控杆的铰接位置设置有锁止件，锁止件可以在第一位置与第二位置之间运动，当锁止件在第一位置时锁定操控杆；其中，该光罩夹持装置还设置有锁止指示件，当锁止件在第一位置时锁止指示件为第一指示状态，当锁止件离开第一位置时锁止指示件为第二指示状态。本技术能够方便操作人员直观了解锁止件的状态，避免夹取光罩时光罩意外掉落。

技术研发人员：吴汉勇,谢俊
受保护的技术使用者：英诺赛科（珠海）科技有限公司
技术研发日：20230207
技术公布日：2024/1/15