一种高精度光学检测运动平台的制作方法

本技术涉及高精密运动平台，具体为一种高精度光学检测运动平台。

背景技术：

1、运动平台是精密机械中的关键部件之一，它为微光刻技术、数控加工、生物技术、ic封装设备、纳米表面形貌测量等领域提供一个能够实现精密定位和精确运动的载物平台，现有技术中，光学检测运动平台的定位移动准确性有待提高，在进行高精度的移动时会出现一些偏差，影响光学检测的结果。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种高精度光学检测运动平台，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高精度光学检测运动平台，包括底座，其特征在于：所述底座上设有一组相同的固定平台，所述固定平台分别固定于底座的两侧，所述固定平台之间设有移动平台，所述移动平台包括第一壳体，所述第一壳体内设有第一直线电机，所述第一直线电机包括第一定子与第一动子，所述第一动子上固定有安装侧板，所述第一直线电机的一侧设有第一导轨，所述第一导轨上设有第一滑块，所述第一滑块固定于安装侧板内侧，所述第一壳体的上方设有第二导轨，所述第二导轨上设有第二滑块，所述第二滑块均固定于第一动子下方，所述第一壳体的一侧设有第一拖链支架，所述第一拖链支架上设有第一拖链，所述第一动子的一侧设有第一连接板，所述第一拖链的上端固定于第一连接板上。

3、优选的，所述固定平台包括第二壳体，所述第二壳体内设有第二直线电机，所述第二直线电机包括第二定子与第二动子，所述第二壳体的上方设有第三导轨，所述第三导轨上设有两个第三滑块，所述第二壳体的一侧设有第二拖链支架，所述第二拖链支架上设有第二拖链，所述第二动子的一侧设有第二连接板，所述第二拖链的上端固定于第二连接板上。

4、优选的，所述第一壳体两端均设有两个连接座，所述移动平台即通过连接座连接至固定平台的第三滑块上。

5、优选的，所述固定平台的两端设有支撑脚，所述支撑脚侧边设有固定平台阻挡座。

6、优选的，所述第一壳体的两端设有移动平台阻挡座。

7、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，设计新颖，利用合理的机械结构，巧妙发挥各要素内在潜力，通过设置x、y两个方向的直线电机，使运动平台可在两个方向上移动，由直线电机控制运动平台的移动，提高定位精密度，使光学检测结果更加准确。

技术特征：

1.一种高精度光学检测运动平台，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上设有一组相同的固定平台(2)，所述固定平台(2)分别固定于底座(1)的两侧，所述固定平台(2)之间设有移动平台(3)，所述移动平台(3)包括第一壳体(31)，所述第一壳体(31)内设有第一直线电机(32)，所述第一直线电机(32)包括第一定子(321)与第一动子(322)，所述第一动子(322)上固定有安装侧板(33)，所述第一直线电机(32)的一侧设有第一导轨(341)，所述第一导轨(341)上设有第一滑块(351)，所述第一滑块(351)固定于安装侧板(33)内侧，所述第一壳体(31)的上方设有第二导轨(342)，所述第二导轨(342)上设有第二滑块(352)，所述第二滑块(352)均固定于第一动子(322)下方，所述第一壳体(31)的一侧设有第一拖链支架(361)，所述第一拖链支架(361)上设有第一拖链(362)，所述第一动子(322)的一侧设有第一连接板(363)，所述第一拖链(362)的上端固定于第一连接板(363)上。

2.根据权利要求1所述的一种高精度光学检测运动平台，其特征在于：所述固定平台(2)包括第二壳体(21)，所述第二壳体(21)内设有第二直线电机(22)，所述第二直线电机(22)包括第二定子(221)与第二动子(222)，所述第二壳体(21)的上方设有第三导轨(23)，所述第三导轨(23)上设有两个第三滑块(24)，所述第二壳体(21)的一侧设有第二拖链支架(25)，所述第二拖链支架(25)上设有第二拖链(26)，所述第二动子(222)的一侧设有第二连接板(27)，所述第二拖链(26)的上端固定于第二连接板(27)上。

3.根据权利要求1所述的一种高精度光学检测运动平台，其特征在于：所述第一壳体(31)两端均设有两个连接座(4)，所述移动平台(3)即通过连接座(4)连接至固定平台(2)的第三滑块(24上。

4.根据权利要求1所述的一种高精度光学检测运动平台，其特征在于：所述固定平台(2)的两端设有支撑脚(5)，所述支撑脚(5)侧边设有固定平台阻挡座(6)。

5.根据权利要求1所述的一种高精度光学检测运动平台，其特征在于：所述第一壳体(31)的两端设有移动平台阻挡座(7)。

技术总结
本技术公开了一种高精度光学检测运动平台，包括底座，所述底座上设有一组相同的固定平台，所述固定平台分别固定于底座的两侧，所述固定平台之间设有移动平台；本技术结构简单，设计新颖，使运动平台可在两个方向上移动，由直线电机控制运动平台的移动，提高定位精密度，使光学检测结果更加准确。

技术研发人员：徐锦标,廖福,顾伟
受保护的技术使用者：江苏准信精密技术有限公司
技术研发日：20230317
技术公布日：2024/1/14