转子取放工装及磁悬浮设备的制作方法

本技术涉及磁悬浮，尤其是一种转子取放工装及磁悬浮设备。

背景技术：

1、磁悬浮装置或磁悬浮旋转驱动器具有高洁净，无析出，无颗粒，无动密封，性能优越的特点，在生物化学、医疗、半导体制造等超纯净驱动领域具有良好的应用前景。

2、在半导体制造中，一方面，晶圆的洁净度很重要,因为晶圆表面的洁净度会影响后续半导体工艺及产品的合格率，为了达到超洁净的需要，硅或其他半导体材料的晶圆必须在受控的超清洁气氛中处理。比如，在晶圆的制造过程中，一个制造步骤是在离子注入掺杂之后对晶圆进行退火。掺杂在晶体结构上施加应变，如果应力不能得到快速释放,将导致离子掺杂的电阻率发生不希望的变化。目前，通常采用快速热处理工艺(rtp)进行退火处理。再一方面，晶圆的处理均匀性很重要,为了产生均匀性,通常在处理晶圆时要围绕晶圆中心的垂直轴或z轴旋转晶圆。旋转还用于其他晶圆处理,例如化学气相沉积、热处理、离子注入掺杂和其他技术掺杂。为了满足半导体工艺制造中超洁净和处理均匀性等的严苛要求，半导体热处理设备最佳采用无接触旋转驱动的磁悬浮转台。磁悬浮转台包括磁悬浮定子和磁悬浮转子，磁悬浮定子用于产生磁场以驱动磁悬浮转子旋转和悬浮。根据两者的相对位置差异，可以分为内转子的磁悬浮转台和外转子的磁悬浮转台。

3、参见图1，一种内转子的磁悬浮装置，包括转子120’和定子110’，定子110’围绕转子120’设置，转子120’在定子110’围成的腔室内旋转和悬浮。定子110’通常包括沿腔室周边设置的永磁体111’，永磁体111’用于提供永磁偏置磁场。在转子不工作时，该磁场仍作用于转子120’上，使定子110’和转子120’之间产生磁吸力。因此，在将转子120’装配到定子110’的腔室中或将转子120’从定子110’的腔室中取出时，需要克服磁吸力。特别是具有多层凸缘结构的转子，永磁偏置磁场的磁吸力特别大，这个磁吸力可达到400n。为此，专利文献cn116345956a提出了一种转子取放工装及磁悬浮设备，解决了磁悬浮转子取放困难的问题，能够实现快速且方便的装卸转子，避免装卸过程中转子发生偏移碰撞，便于装机和维护，提高装机及维护效率及降低人工成本。其中，对于两层凸缘结构的转子，永磁偏置磁场的磁吸力不是特别大，单个操作人员如果施加一定的力也可以实现转子的取放，虽然专利文献cn116345956a仍可以满足这一需要，但是对于一些永磁偏置磁场不是特别大的应用场景，仍有进一步改善方案以更好的解决磁悬浮转子不方便取放，以及转子取放过程中发生偏移的问题。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种转子取放工装及磁悬浮设备，应用于磁悬浮定子永磁偏置磁场不是特别大的场景，能够实现快速且方便的取放转子的功能，并可避免取放过程中转子发生偏移碰撞，提高装机及维护效率。

2、根据本实用新型的一方面，提供一种转子取放工装，转子取放工装包括桥臂和间隔设置的第一直臂和第二直臂，所述桥臂固接于所述第一直臂和所述第二直臂之间，所述第一直臂上形成有第一夹口，所述第二直臂上形成有第二夹口，所述第一夹口和所述第二夹口设置在一旋转平面内，所述第一夹口的一端配置为第一开口端，所述第二夹口的一端配置为第二开口端，所述第一开口端与所述第二开口端均朝向所述旋转平面的同一旋转方向上。

3、进一步的，所述桥臂、所述第一直臂和所述第二直臂均呈平板状；或者所述桥臂呈弧板状，所述第一直臂和所述第二直臂均呈平板状。

4、进一步的，所述桥臂的一端与所述第一直臂的第一端固定连接，所述桥臂的另一端与所述第二直臂的第一端固定连接；或者所述桥臂的一端与所述第一直臂的中部固定连接，所述桥臂的另一端与所述第二直臂的中部固定连接；或者所述第一直臂的第一端和第二直臂的第一端均与所述桥臂的中部固定连接。

5、进一步的，所述第一夹口形成于所述第一直臂的第二端，所述第二夹口形成于所述第二直臂的第二端。

6、进一步的，所述桥臂、所述第一直臂和所述第二直臂构成的整体为一体成型的刚性体。

7、进一步的，所述桥臂、所述第一直臂和所述第二直臂构成的整体为由刚性钣金件一体折弯成型的刚性体。

8、进一步的，所述桥臂、所述第一直臂和所述第二直臂中的至少一个的两侧或一侧形成有折弯边。

9、进一步的，所述第一夹口的长度不小于所述第一直臂的宽度的二分之一和/或所述第二夹口的长度不小于所述第二直臂的宽度的二分之一。

10、进一步的，所述第一夹口用于夹持接触的部位配置为防磨材料和/或所述第二夹口用于夹持接触的部位配置为防磨材料。

11、进一步的，所述第一直臂包括第一连接件和与所述第一连接件固接的第一夹持件，所述第二直臂包括第二连接件和与所述第二连接件固接的第二夹持件，所述桥臂固接于所述第一连接件和所述第二连接件之间，所述第一夹口形成于所述第一夹持件上，所述第二夹口形成于所述第二夹持件上。

12、进一步的，所述第一夹持件为非金属材料和/或所述第二夹持件为非金属材料。

13、进一步的，所述第一连接件与所述第一夹持件可拆卸固定连接和/或所述第二连接件与所述第二夹持件可拆卸固定连接。进一步的，所述第一直臂上形成有第三夹口，所述第二直臂上形成有第四夹口，所述第三夹口的一端配置为第三开口端，所述第四夹口的一端配置为第四开口端，所述第一开口端与所述第三开口端背向设置，所述第二开口端与所述第四开口端背向设置。

14、进一步的，所述桥臂上形成有接合部。

15、进一步的，所述转子取放工装还包括运动机构，所述桥臂通过所述接合部与所述运动机构的动部固定连接。

16、根据本实用新型的另一方面，提供一种磁悬浮设备，包括磁悬浮装置，所述磁悬浮装置包括磁悬浮定子和磁悬浮转子，所述磁悬浮定子产生磁场以驱动所述磁悬浮转子旋转和悬浮，所述磁悬浮设备还包括所述的转子取放工装。

17、进一步的，所述磁悬浮定子围绕所述磁悬浮转子设置，所述磁悬浮转子为环形转子，所述环形转子的外侧设有背向所述旋转轴线延伸的至少两个凸缘，所述至少两个凸缘沿环周方向间隔设置。

18、进一步的，所述第一夹口的材料的硬度不大于所述凸缘的材料的硬度和/或所述第二夹口的材料的硬度不大于所述凸缘的材料的硬度。

19、本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：本实用新型提出了一种转子取放工装及磁悬浮设备，基于磁悬浮装置的磁悬浮转子的结构特点，创新设计了一种转子取放工装，该转子取放工装借助间隔设置的两个直臂(第一直臂和第二直臂)，实现了同时插入磁悬浮转子的凸缘之间的间隙内的功能，再经由开口端在旋转平面内朝向同一旋转方向设置的两个夹口，实现了同时夹持住磁悬浮转子的凸缘的功能，通过两个直臂及固接于两个直臂之间的桥臂，实现了方便取放磁悬浮转子的功能。本实用新型转子取放工装，在转子取放过程中，虽然有永磁偏置磁场的磁吸力作用在磁悬浮转子上，但是，通过直臂或桥臂提取磁悬浮转子的整体，一方面，操作人员能够以握持的方式施加较大的力，从而方便克服永磁偏置磁场的磁吸力。另一方面，操作人员握持桥臂或直臂，便于在提取过程中保持平衡，从而避免转子取放过程中转子发生倾斜碰撞，提高装机及维护效率。