一种晶圆机械臂用承载机构的制作方法

本技术涉及晶圆加工的，特别是涉及一种晶圆机械臂用承载机构。

背景技术：

1、随着经济的发展、社会的进步，人们对精密电子仪器的需求日益增长，集成电路的发展尤为迅速，晶圆作为集成电路的一种基础材料，在现代生产中的作用也越来越重要，晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品。晶圆在制造加工过程中，需要通过机械手臂进行位置的更改，因此机械手臂上需要晶圆承载装置。经检索，现有技术公开号cn212587473u提出的一种新型半导体生产用机械手臂上的晶圆承载装置，包括：载台本体，所述载台本体整体呈矩形结构设置且内部设有孔槽，所述孔槽呈圆柱形结构设置且孔槽的上端内径大于下端内径，所述载台本体的表面设有平台且平台的侧面设有挡块。本实用新型晶圆于平面的方式坐落在平台上，并与挡块之间相互接触，挡块与平台之间呈110度斜坡，可以把晶圆的位置固定在载台本体上，孔槽和挡块之间形成与晶圆半径一样的圆弧，并与晶圆之间相互贴合，在高速运动的过程中，因为圆弧半径和晶圆半径一样，同时边上有倾斜的挡块，可以把晶圆固定在载台本体上，避免产生相对运动和摩擦，也就不会产生颗粒，从而提高制程的质量。但是在运输过程中机械臂大多通过控制翻转角度来实现晶圆的翻转，的可靠性难以很好的保证，如果碰撞，则容易导致晶圆脱落，造成晶圆碎片、刮伤等问题，并且移动不同规格的晶圆时稳定性较差，适用性较差。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本实用新型提供一种提高移动时的稳定性，避免发生碰撞，导致晶圆脱落，提高适用性，能够对晶圆保护，防止夹持臂对晶圆外缘造成磨损的晶圆机械臂用承载机构。

2、本实用新型的一种晶圆机械臂用承载机构，包括c型承载框和连接头，c型承载框的左侧壁上安装有连接头，连接头上设置有键槽，与机械臂连接；还包括防护机构、转动机构、夹持机构和缓冲组件，防护机构安装在c型承载框的前后两端，转动机构安装在c型承载框的内壁，夹持机构安装在转动机构上，夹持机构上安装有缓冲组件；通过防护机构能够对c型承载框的前后两端进行防护，避免发生碰撞，导致晶圆脱落，通过转动机构能够增大翻转角度来实现晶圆的翻转，提高实用性，夹持机构能够对不同规格的晶圆进行夹持移动，提高移动时的稳定性，提高适用性，缓冲组件能够对晶圆水平方向上的作用力进行缓冲，也能够实现对晶圆的保护，可以防止夹持臂对晶圆外缘造成磨损现象。

3、优选的，防护机构包括多个阻尼杆、多个缓冲弹簧和两个防护板，c型承载框的前后两端侧壁上均匀排列开设有多个安装槽，多个阻尼杆分别固定安装在安装槽内，阻尼杆的另一端固定安装有防护板，缓冲弹簧套装在阻尼杆的外壁上，缓冲弹簧的一端与安装槽连接，缓冲弹簧的一端与防护板的侧壁连接；通过防护板能够对c型承载框的前后两端进行防护，发生碰撞时，阻尼杆和缓冲弹簧对撞击力进行缓冲吸收，防止震动过大导致晶圆脱落。

4、优选的，还包括防护板的左端设置为圆弧状；防护板左端设置为圆弧状，能够对c型承载框的两角进行防护，增大防护面积，提高实用性。

5、优选的，转动机构包括伺服电机、转框和转座，伺服电机固定安装在c型承载框的内部后端，伺服电机的输出端与转框后端固定连接，转框的前端通过转座转动安装在c型承载框的内壁前端；使用时通过伺服电机带动转框在转座上转动，能够增大翻转角度来实现晶圆的翻转，提高实用性。

6、优选的，夹持机构包括多个小型电动伸缩杆和两个夹板，多个小型电动伸缩杆分别均匀排列安装在转框的前后两端，小型电动伸缩杆相对的一端分别固定安装有夹板；通过多个小型电动伸缩杆带动两个夹板相互靠近，对晶圆进行夹持，能够对不同规格的晶圆进行夹持移动，提高移动时的稳定性，提高适用性。

7、优选的，缓冲组件包括多个伸缩杆、两个载板和多个弹簧，两个夹板相对的一端开设有缓冲槽，多个伸缩杆均匀排列安装在缓冲槽内，伸缩杆的一端固定安装有载板，弹簧套装在伸缩杆的外壁上，弹簧的一端与缓冲槽内壁连接，弹簧的另一端与载板的外壁连接；夹板相互靠近时，带动两个载板相互靠近，载板与晶圆接触时压缩伸缩杆和弹簧，对晶圆水平方向上的作用力进行缓冲，也能够实现对晶圆的保护，可以防止夹持臂对晶圆外缘造成磨损现象。

8、优选的，还包括载板相对的一端开设有多个相对设置的定位槽；通过定位槽可以把晶圆固定在两个载板之间，使晶圆和载板之间不会产生相对运动，晶圆和载板之间不会产生摩擦，从而提高产品的质量。

9、与现有技术相比本实用新型的有益效果为：通过防护机构能够对c型承载框的前后两端进行防护，避免发生碰撞，导致晶圆脱落，通过转动机构能够增大翻转角度来实现晶圆的翻转，提高实用性，夹持机构能够对不同规格的晶圆进行夹持移动，提高移动时的稳定性，提高适用性，缓冲组件能够对晶圆水平方向上的作用力进行缓冲，也能够实现对晶圆的保护，可以防止夹持臂对晶圆外缘造成磨损现象。

技术特征：

1.一种晶圆机械臂用承载机构，包括c型承载框(1)和连接头(2)，c型承载框(1)的左侧壁上安装有连接头(2)，连接头(2)上设置有键槽，与机械臂连接；其特征在于，还包括防护机构、转动机构、夹持机构和缓冲组件，防护机构安装在c型承载框(1)的前后两端，转动机构安装在c型承载框(1)的内壁，夹持机构安装在转动机构上，夹持机构上安装有缓冲组件。

2.如权利要求1所述的一种晶圆机械臂用承载机构，其特征在于，防护机构包括多个阻尼杆(3)、多个缓冲弹簧(4)和两个防护板(5)，c型承载框(1)的前后两端侧壁上均匀排列开设有多个安装槽，多个阻尼杆(3)分别固定安装在安装槽内，阻尼杆(3)的另一端固定安装有防护板(5)，缓冲弹簧(4)套装在阻尼杆(3)的外壁上，缓冲弹簧(4)的一端与安装槽连接，缓冲弹簧(4)的一端与防护板(5)的侧壁连接。

3.如权利要求2所述的一种晶圆机械臂用承载机构，其特征在于，还包括防护板(5)的左端设置为圆弧状。

4.如权利要求1所述的一种晶圆机械臂用承载机构，其特征在于，转动机构包括伺服电机(6)、转框(7)和转座(8)，伺服电机(6)固定安装在c型承载框(1)的内部后端，伺服电机(6)的输出端与转框(7)后端固定连接，转框(7)的前端通过转座(8)转动安装在c型承载框(1)的内壁前端。

5.如权利要求4所述的一种晶圆机械臂用承载机构，其特征在于，夹持机构包括多个小型电动伸缩杆(9)和两个夹板(10)，多个小型电动伸缩杆(9)分别均匀排列安装在转框(7)的前后两端，小型电动伸缩杆(9)相对的一端分别固定安装有夹板(10)。

6.如权利要求5所述的一种晶圆机械臂用承载机构，其特征在于，缓冲组件包括多个伸缩杆(11)、两个载板(12)和多个弹簧(13)，两个夹板(10)相对的一端开设有缓冲槽，多个伸缩杆(11)均匀排列安装在缓冲槽内，伸缩杆(11)的一端固定安装有载板(12)，弹簧(13)套装在伸缩杆(11)的外壁上，弹簧(13)的一端与缓冲槽内壁连接，弹簧(13)的另一端与载板(12)的外壁连接。

7.如权利要求6所述的一种晶圆机械臂用承载机构，其特征在于，还包括载板(12)相对的一端开设有多个相对设置的定位槽(14)。

技术总结
本技术涉及晶圆加工的技术领域，特别是涉及一种晶圆机械臂用承载机构，其提高移动时的稳定性，避免发生碰撞，导致晶圆脱落，提高适用性，能够对晶圆保护，防止夹持臂对晶圆外缘造成磨损；包括C型承载框和连接头，C型承载框的左侧壁上安装有连接头，连接头上设置有键槽，与机械臂连接；还包括防护机构、转动机构、夹持机构和缓冲组件，防护机构安装在C型承载框的前后两端，所述防护机构包括多个阻尼杆、多个缓冲弹簧和两个防护板，转动机构安装在C型承载框的内壁，所述转动机构包括伺服电机、转框和转座，夹持机构安装在转动机构上，所述夹持机构包括多个小型电动伸缩杆和两个夹板，夹持机构上安装有缓冲组件。

技术研发人员：王亮,邵淑兰,章晓丹,史小旖
受保护的技术使用者：众芯联达半导体科技（大连）有限公司
技术研发日：20230915
技术公布日：2024/4/17