检测夹具的制作方法

本公开涉及晶棒晶向检测，具体地，涉及一种检测夹具。

背景技术：

1、各种人工晶体需要在一定的晶向角加工成薄片，而晶棒的硬度较高，造成加工费时费力，原材料的价格也相对较高，因此，需要在加工前测量晶棒的晶向偏差或测量待加工晶棒要加工晶面的晶向位置，并利用磨削设备将晶棒柱面加工出参考边或刻痕，然后按测定角度值将晶棒粘接在料板上，而上述操作过程中，晶棒角度的检测尤为重要，一旦发生偏差，不仅影响粘接精度，也严重影响后续单晶硅切片精度，导致晶体切片制品的不合格率较高。

2、而现有技术中，对晶棒进行晶向的寻找方式，通常为手动对晶棒进行旋转，在找到晶向位置后，需要人手对晶棒进行扶撑然后划出刻痕，而这种方式会导致晶向的测量位置不准确。

技术实现思路

1、本公开的目的是提供一种检测夹具，该检测夹具可以对晶棒找到需要的晶向值时对晶棒进行固定，以提高测量晶向位置的准确性，以至少部分地解决上述技术问题。

2、为了实现上述目的，本公开提供一种检测夹具，包括：底座；夹持机构，具有第一位置和第二位置，在所述第一位置，所述夹持机构与所述底座围成容纳空间，使得待夹持的晶棒能够放入所述容纳空间或者使得位于所述容纳空间的晶棒能够转动；在所述第二位置，所述夹持机构和所述底座用于夹紧处于所述容纳空间的晶棒；以及锁止机构，分别连接于所述底座和所述夹持机构，所述锁止机构被配置为切换所述夹持机构的所述第一位置和所述第二位置。

3、可选地，所述底座包括第一安装孔，所述夹持机构包括第二安装孔，所述锁止机构包括穿设于所述第一安装孔和所述第二安装孔的紧固件，以及连接在所述底座与所述夹持机构之间的的弹性件。

4、可选地，所述第一安装孔构造为第一螺纹孔，所述紧固件构造为穿过所述第二安装孔后螺接于所述第一螺纹孔的第一螺纹件，所述弹性件套接于所述第一螺纹件，且所述弹性件的两端分别抵接于所述底座和所述夹持机构。

5、可选地，所述弹性件构造为弹簧。

6、可选地，所述第一螺纹孔在所述底座上间隔地布置多个，所述第二安装孔在所述夹持机构上间隔地布置多个，所述第一螺纹孔、所述第二安装孔与所述锁止机构的数量一一对应。

7、可选地，所述底座相对的两侧设有朝向所述夹持机构方向翻折的凸起，所述夹持机构包括两个夹持块，两个所述夹持块分别通过所述锁止机构连接于两个所述凸起，两个所述凸起相对的两面、所述底座的表面以及两个所述夹持块的内表面共同围成所述容纳空间。

8、可选地，所述两个夹持块相互靠近的边缘共同形成开口。

9、可选地，所述两个夹持块在所述开口处设有圆弧过渡。

10、可选地，所述底座的表面设有垫块。

11、可选地，所述垫块可拆卸地连接于所述底座。

12、通过上述技术方案，即本公开所提供的检测夹具，在需要对晶棒进行夹持并进行晶向的寻找时，可以先将夹持机构调整至第一位置，将晶棒插入容纳空间后，可以对晶棒进行旋转，并通过检测仪器对插入容纳空间的晶棒进行晶向检测，待晶棒经过微调旋转并通过检测仪器寻找到需要的晶向值时，通过锁止机构将夹持机构从第一位置切换至第二位置，进而将晶棒被夹持机构和底座夹紧，以固定晶棒，进而便于后续对晶棒划出刻痕，提高了测量晶向位置的准确性。

13、本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

技术特征：

1.一种检测夹具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的检测夹具，其特征在于，所述底座包括第一安装孔，所述夹持机构包括第二安装孔，所述锁止机构包括穿设于所述第一安装孔和所述第二安装孔的紧固件，以及连接在所述底座与所述夹持机构之间的弹性件。

3.根据权利要求2所述的检测夹具，其特征在于，所述第一安装孔构造为第一螺纹孔，所述紧固件构造为穿过所述第二安装孔后螺接于所述第一螺纹孔的第一螺纹件，所述弹性件套接于所述第一螺纹件，且所述弹性件的两端分别抵接于所述底座和所述夹持机构。

4.根据权利要求3所述的检测夹具，其特征在于，所述弹性件构造为弹簧。

5.根据权利要求4所述的检测夹具，其特征在于，所述第一螺纹孔在所述底座上间隔地布置多个，所述第二安装孔在所述夹持机构上间隔地布置多个，所述第一螺纹孔、所述第二安装孔与所述锁止机构的数量一一对应。

6.根据权利要求1所述的检测夹具，其特征在于，所述底座相对的两侧设有朝向所述夹持机构方向翻折的凸起，所述夹持机构包括两个夹持块，两个所述夹持块分别通过所述锁止机构连接于两个所述凸起，两个所述凸起相对的两面、所述底座的表面以及两个所述夹持块的内表面共同围成所述容纳空间。

7.根据权利要求6所述的检测夹具，其特征在于，所述两个夹持块相互靠近的边缘共同形成开口。

8.根据权利要求7所述的检测夹具，其特征在于，所述两个夹持块在所述开口处设有圆弧过渡。

9.根据权利要求1所述的检测夹具，其特征在于，所述底座的表面设有垫块。

10.根据权利要求9所述的检测夹具，其特征在于，所述垫块可拆卸地连接于所述底座。

技术总结
本公开涉及一种检测夹具，包括底座、夹持机构以及锁止机构，夹持机构具有第一位置和第二位置，在第一位置，夹持机构与底座围成容纳空间，使得待夹持的晶棒能够放入容纳空间或者使得位于容纳空间的晶棒能够转动；在第二位置，夹持机构和底座用于夹紧处于容纳空间的晶棒；锁止机构分别连接于底座和夹持机构，锁止机构被配置为切换夹持机构的第一位置和第二位置。该检测夹具可以对晶棒找到需要的晶向值时对晶棒进行固定，以提高测量晶向位置的准确性。

技术研发人员：罗勋,李学东,方勇,翟虎
受保护的技术使用者：新疆蓝晶新材料科技有限公司
技术研发日：20230913
技术公布日：2024/5/9