本申请涉及机械加工,具体而言,涉及一种静压转台。
背景技术:
1、静压转台在安装时需要进行调高调平,当静压转台上的负载变化后,静压转台仍需要进行调高调平,此时对静压转台的调平调高是为了解决负载变化带来的静压转台的高度下降或偏移水平面的问题。然而,相关技术中静压转台的调高调平产生的误差较大,导致静压转台的加工精度下降。
技术实现思路
1、本申请的主要目的在于提供一种静压转台,以至少解决相关技术中静压转台的调高调平产生的误差较大的问题。
2、根据本申请的一个方面,提供了一种静压转台,包括:
3、底座;
4、转台,所述转台设置于所述底座;
5、调节机构,所述调节机构包括第一调节组件、第二调节组件以及电场发生组件,所述第一调节组件可拆卸地设置于所述底座和所述转台之间,所述第二调节组件的第一端设置于所述转台,所述第二调节组件的第二端抵止于所述第一调节组件,所述电场发生组件位于所述底座与所述转台之间,所述电场发生组件用于在所述第一调节组件的外周产生电场;
6、其中,沿所述静压转台的高度方向,所述电场发生组件改变电场的强度时,所述第二调节组件具有沿靠近所述转台的方向凸起,以使所述转台沿背离所述底座方向运动的第一运动状态,或具有沿背离所述转台的方向收缩,以使所述转台沿靠近所述底座方向运动的第二运动状态;
7、所述第二调节组件具有受外力作用沿第一转动方向转动,并使所述转台沿背离所述底座的方向运动的第三运动状态,以及具有受外力作用沿与所述第一转动方向相反的第二转动方向转动,并使所述转台沿靠近所述底座的方向运动的第四运动状态。
8、进一步地,所述第一调节组件包括:
9、支撑部件;
10、伸缩部件,所述伸缩部件可伸缩地设置于所述支撑部件;
11、压电部件,所述压电部件至少位于支撑部件与伸缩部件之间;
12、其中,所述电场发生组件产生的电场的强度增大时,所述压电部件沿靠近伸缩部件的方向凸起,以使所述伸缩部件沿所述转台的高度方向凸起;所述电场发生组件产生的电场的强度减小时,所述压电部件沿背离所述伸缩部件的方向收缩,以使所述伸缩部件沿所述转台的高度方向收缩。
13、进一步地,所述支撑部件包括支撑座和支撑板,所述支撑座内开设有安装槽,所述伸缩部件可伸缩地设置在所述安装槽内,所述压电部件的一端固定在所述安装槽内,所述压电部件的另一端抵止于所述伸缩部件,所述支撑板固定设置于所述伸缩部件的顶部。
14、进一步地,所述伸缩部件包括风琴结构件;和/或,
15、所述压电部件包括压电陶瓷块;和/或,
16、所述第一调节组件包括多种不同型号的调节垫片,各不同型号的所述调节垫片的厚度不同,各不同型号的所述调节垫片可拆卸且可择一地安装在所述底座和所述转台之间。
17、进一步地,所述转台上开设有第一通孔,所述第二调节组件可拆卸地设置于所述第一通孔,所述第二调节组件上设置有第一调节孔,所述第一调节孔沿所述转台的高度方向贯穿所述第二调节组件;
18、所述调节机构还包括操控件,所述操控件可拆卸地连接于所述第一调节孔,所述操控件受外力作用以使所述第二调节组件切换至所述第三运动状态或所述第四运动状态。
19、进一步地,所述转台上开设有避让窗口,所述避让窗口开设于所述转台的外侧壁,所述避让窗口与所述第一通孔连通;
20、所述第二调节组件的外侧面上开设有第二调节孔,所述操控件可穿设于所述避让窗口并可拆卸地连接于所述第二调节孔,所述操控件受外力作用以使所述第二调节组件切换至所述第三运动状态或所述第四运动状态。
21、进一步地,所述第二调节组件包括拉紧螺母,沿所述转台的高度方向,所述拉紧螺母具有依次连接的:
22、承载段,所述承载段抵止于所述第一调节组件;
23、第一螺纹段,所述第一螺纹段连接于所述承载段背离所述底座的一侧,所述第一螺纹段螺接于所述第一通孔;
24、调节段,所述调节段连接于所述第一螺纹段背离所述底座的一侧,所述第二调节孔开设于所述调节段;
25、第二螺纹段,所述第二螺纹段连接于所述调节段背离所述底座的一侧,所述第二螺纹段螺接于所述第一通孔。
26、进一步地,沿所述静压转台的高度方向,所述拉紧螺母的长度a满足关系式:50mm≤a≤52mm;
27、所述第一螺纹段和/或所述第二螺纹段的外径满足关系式:18mm≤r1≤22mm;和/或,
28、沿所述静压转台的高度方向,所述第一螺纹段和/或所述第二螺纹段的长度b满足关系式:13mm≤b≤17mm;和/或,
29、所述调节段和/或所述承载段的外径r2满足关系式:16mm≤r2≤20mm;和/或,
30、沿所述静压转台的高度方向,所述调节段和/或所述承载段的长度c满足关系式:10mm≤c≤14mm。
31、进一步地,所述静压转台还包括:
32、监测组件,所述监测组件设置在所述底座和所述转台之间,所述监测组件至少用于监测所述转台的上表面的平整度以及所述底座和所述转台之间的距离;
33、控制器,所述控制器与所述监测组件以及所述电场发生组件均电连接,所述控制器至少用于根据所述监测组件监测的数据,以调节所述电场发生组件产生的电场强度。
34、进一步地,所述转台与所述底座之间具有多个安装区域,多个所述安装区域沿所述转台的周向间隔设置,各所述调节机构一一对应地设置于所述安装区域;
35、所述监测组件包括平整度监测元件和多个位移监测元件,所述平整度监测元件用于监测所述转台的上表面的平整度,多个所述位移监测元件沿所述转台的周向间隔设置于所述转台的下表面,各所述位移监测元件与各所述安装区域一一对应,所述位移监测元件用于监测对应的所述安装区域中所述转台与所述底座之间的距离。
36、与相关技术相比较,本申请具有第一调节组件和第二调节组件,第二调节组件为粗调,即第二调节组件能使得转台调节到接近预定高度的范围,且使得转台的上表面接近于与水平面平行的范围。同时,本申请能够通过精细调节电场发生组件产生的电场强度,进而微调第二调节组件的凸起或收缩的程度,以便于对转台进行微调,从而在一定程度上降低静压转台调高调平过程中产生的误差。
1.一种静压转台,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的静压转台,其特征在于,所述第一调节组件(31)包括:
3.根据权利要求2所述的静压转台,其特征在于,所述支撑部件(311)包括支撑座(3111)和支撑板(3112),所述支撑座(3111)内开设有安装槽(31111),所述伸缩部件(312)可伸缩地设置在所述安装槽(31111)内,所述压电部件(313)的一端固定在所述安装槽(31111)内,所述压电部件(313)的另一端抵止于所述伸缩部件(312),所述支撑板(3112)固定设置于所述伸缩部件(312)的顶部。
4.根据权利要求2所述的静压转台,其特征在于,所述伸缩部件(312)包括风琴结构件(3121);和/或,
5.根据权利要求1至4中任一项所述的静压转台,其特征在于,所述转台(20)上开设有第一通孔,所述第二调节组件(32)可拆卸地设置于所述第一通孔,所述第二调节组件(32)上设置有第一调节孔(320),所述第一调节孔(320)沿所述转台(20)的高度方向贯穿所述第二调节组件(32);
6.根据权利要求5所述的静压转台,其特征在于,所述转台(20)上开设有避让窗口(21),所述避让窗口(21)开设于所述转台(20)的外侧壁,所述避让窗口(21)与所述第一通孔连通;
7.根据权利要求6所述的静压转台,其特征在于,所述第二调节组件(32)包括拉紧螺母,沿所述转台(20)的高度方向,所述拉紧螺母具有依次连接的:
8.根据权利要求7所述的静压转台,其特征在于,沿所述静压转台的高度方向,所述拉紧螺母的长度a满足关系式:50mm≤a≤52mm;
9.根据权利要求1至4中任一项所述的静压转台,其特征在于,所述静压转台还包括:
10.根据权利要求9所述的转台(20),其特征在于,所述转台(20)与所述底座(10)之间具有多个安装区域,多个所述安装区域沿所述转台(20)的周向间隔设置,各所述调节机构(30)一一对应地设置于所述安装区域;