一种在线安全关门系统的制作方法
【专利摘要】本发明讲述的是一种在线安全关门系统，该系统包括：控制器(1)、关门控制电路(2)、关门执行电路(3)、关门报警电路(4)，此系统可以监控机柜柜门自动安全关闭。说明书对本硬件电路进行了详细的说明，并给出具体实施方案。
【专利说明】
一种在线安全关门系统
技术领域
[0001]本发明是一种在线安全关门系统，通过检测机柜门电路系统的状态且可以控制机柜柜门安全自动关闭，进而达到提高电气安全及自动化性能的目的。
【背景技术】
[0002]集成电路制造技术及工艺是关乎国计民生的战略性工程，对保障国家安全和增强综合国力具有重大战略意义，是一种高新技术产业。
[0003]经过对低能大束流项目的指标参数和工艺要求分析，但由于工艺技术和工艺特点不同，从注入安全性方面和工艺调试方面提出了更高的要求，因此本发明提供了一种在线安全关门系统，确保注入工艺操作的安全性和可靠性。
【发明内容】
[0004]本发明是一种在线安全关门系统在离子注入机中的应用，采用气动隔离控制电路以及报警电路。
[0005]本发明通过以下技术方案实现:
[0006]1，一种在线安全关门系统，其图1 一种在线安全关门系统原理图包括:控制器
(I)、关门控制电路(2)、关门执行电路(3)、关门报警电路(4)，此系统可以监控机柜柜门自动安全关闭。其中控制器(I)，去检测关门控制电路⑵的状态；如果当关门控制电路⑵中门是打开状态，控制器⑴发出关门信号；关门执行电路⑶的条件满足，进而控制关门报警电路(4)的开启状态，从而使机柜柜门自动安全关闭。
[0007]2，此电路可以通过上位机控制器(I)在线检测关门控制电路的状态且可以控制机柜柜门自动安全关闭。从而达到监控电路电气安全性能的目的。
[0008]3，此电路可以通过关门报警电路中报警器发出报警声，提示操作人员门正在关闭，使关门动作更加安全，进而达到提高机柜柜门自动关闭安全性能的目的。
[0009]本发明具有如下优点:
[0010]本发明是一种在线安全关门系统，通过检测机柜门电路系统的状态且可以控制机柜柜门安全自动关闭，进而达到提高电气安全及自动化性能的目的。
【附图说明】
[0011]图1 一种在线安全关门系统原理图
【具体实施方式】
[0012]下面结合附图的具体实施例对本发明作进一步介绍，这些描述都是说明性的，本发明不限于此。本发明的范围仅由所附权利要求的范围所限定。
[0013]—种在线安全关门系统，其图1 一种在线安全关门系统原理图包括:控制器(1)、关门控制电路(2)、关门执行电路(3)、关门报警电路(4)，此系统可以监控机柜柜门自动安全关闭。工作流程:首先控制器(I)DOUTl发出关门命令；此时关门控制电路(2)中继电器Kl线包得电；关门执行电路(3)中Kl常开触点闭合，这时K2接触器得电、电磁阀得电；关门报警电路⑷中报警器发出报警声同时气动装置开始送气，机柜门慢慢关闭；当门关上后，门常开触点闭合，门常闭触点打开，KU K2接触器失电，报警停止，关门停止；同时向控制器
(I)DINl反馈门已经关门信号。所以通过此装置可以监控机柜柜门自动安全关闭。
[0014]以上所述已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
【主权项】
1.一种在线安全关门系统，其图1 一种在线安全关门系统原理图包括:控制器(1)、关门控制电路(2)、关门执行电路(3)、关门报警电路(4)，此系统可以监控机柜柜门自动安全关闭。工作流程:首先控制器(I)DOUTl发出关门命令；此时关门控制电路⑵中继电器Kl线包得电；关门执行电路⑶中Kl常开触点闭合，这时K2接触器得电、电磁阀得电；关门报警电路⑷中报警器发出报警声同时气动装置开始送气，机柜门慢慢关闭；当门关上后，门常开触点闭合，门常闭触点打开，KU K2接触器失电，报警停止，关门停止；同时向控制器(I)DINl反馈门已经关好信号。所以通过此装置可以监控机柜柜门自动安全关闭。2.如权利要求1所述一种在线安全关门系统如图1，其特征在于，此电路可以通过上位机电源控制器在线检测关门控制电路的状态且可以控制机柜柜门自动安全关闭。从而达到监控机柜柜门自动安全关闭的目的。3.如权利要求1所述，一种在线安全关门系统如图1，此电路可以通过关门报警电路中报警器发出报警声，提示操作人员门正在关闭，使关门动作更加安全，进而达到提高机柜柜门关闭安全性能的目的。
【文档编号】H01J37/317GK105888434SQ201410581887
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2014年10月27日
【发明人】丁振理
【申请人】北京中科信电子装备有限公司