专利名称：消除杂讯之cwdm滤光片的制作方法
技术领域：
本发明关于一种滤光片，尤其是一种消除杂讯之CWDM(coarsewavelength division multiplex)滤光片。
背景技术：
光滤波器，或者称滤光器(optical filter)是一种波长选择器件，在光纤通信系统和光传感器系统中有着重要应用。光滤波器分为无源和有源两大类型，无源光滤波器的基础是棱镜、衍射光栅和光谱(频率)滤波器；而有源光滤波器是无源器件和可调谐检波器的组合，每个检波器调谐到一个特定的频率。
无源光滤波器中有一种干涉膜型滤光器，其采用高、低折射率的材料以预先设计的厚度(通常为λ/4)沉积在玻璃等材质制成的基片上，以达到要求的波长响应特性。通常，介质膜干涉滤光器由每层厚度为λ/4的高折射率和低折射率的薄膜交迭制成，高折射率层内反射的光线的相位不会偏移，而低折射率层内反射的光线的相位则会偏移180°。由于光线行程的差异(2*λ/4的倍数)，逐次的反射光线在前面重迭复合，产生狭窄波长范围内的高强度反射光束，而在此波长范围以外的输出波长则会突然减小。这类滤光器可用作高通滤光器、低通滤光器或高反射层。而且，由于其光学特性取决于光学膜的反射、透射特性，其光学膜一般镀制成带通滤光片(band-passfilter)、低通或高通滤光片(low pass filter or high pass filter)或带止滤光片(band reject filter)。
中国实用新型专利ZL98223744.8提供了一种4.65微米的四半波窄带滤光片，它以三氧化二铝为基底，硒化锌及碲化铅为膜层材料，采用真空镀膜方法制造。膜系设计采用间隔层高级次、多半波结构；截止区域TMAX＜0.3％。但其适用于化工、环保、钢铁、煤矿及医学等微量一氧化碳气体分析领域。
利用先进的镀膜技术可将多层介质膜干涉滤光器制成超窄带型带通滤波器，由此可制作成密集型波分多任务器(DWDM，densewavelength division multiplexing)，其多任务信道间隔(channelspace)小于1nm。
中国专利申请CN01139082.4公开了一种超窄带通光学薄膜滤光片，包括在一光学玻璃基底上，依次真空蒸镀由低折射率的无序性膜层与高折射率的无序性膜层交替迭层多次组成的底层薄膜，由高折射率的无序性膜层与中间折射率的无序性膜层交替迭层多次组成的中间层薄膜，和由高折射率的无序性膜层与中间折射率的无序性膜层交替迭层多次组成的顶层薄膜。其无序性膜层是由随机涨落的方法产生的。
美国专利USP6,404,521则揭露了一种用于调整DWDM系统透光性的滤光系统，其采用N+1阶的光纤树形结构，当其与一个多层薄膜滤光器相结合时，可以实现光隔离功能。此多层薄膜滤光器可以采用法布里-珀罗标准具(FPE；Fabry-Perot Etalon)。
对于城域网，系统对单模光纤的传输衰减要求不高，也不需要使用光纤放大器。这样可以使用1200-1700nm的宽窗口，将相邻波长间隔放宽到10或20nm同样可以构成数十路的波分复用系统，此即粗波分复用(CWDM，coarse wavelength division multiplex)系统。在同一根光纤中传输的不同波长之间的间距是区分DWDM和CWDM的主要参数。DWDM系统的波长间距一般为200GHz(1.6nm)，100GHz(0.8nm)或50GHz(0.4nm)，将来的系统中可能会有更窄的间距。但是，CWDM技术则充分利用了城域网传输距离短的特点，不必受EDFA(Erbiumdoped fiber amplifier)放大波段的限制，而是可以在1310-1560nm的整个光纤传输窗口上，以比DWDM系统宽得多的波长间隔进行波分复用。
在多任务器(multiplexer)和解多任务器(demultiplexer)方面，DWDM和CWDM的造价差别主要是由于CWDM的滤波器包含的层数少，故CWDM滤波器的成本比DWDM滤波器的成本低。DWDM系统中使用的0.8nm滤波器一般大约有300层，而CWDM系统的20nm滤波器大约有150层。CWDM滤波器的成本比DWDM滤波器的成本要少50％。在CWDM系统中，相邻波长信道的间隔可放宽到20nm，因此可以使用廉价的多任务器、解多任务器等，从而得以降低CWDM系统的成本。
目前，广为使用的0.8信道间隔的DWDM系统中使用的波分多任务器就是采用多层膜干涉滤光器。较为理想的干涉膜滤光器是λ/4多层膜非等厚干涉带通滤波器，其设计思想是λ/4的多层膜由两个高反射的多层膜系(cavity)中间插入匹配层(coupling layer)构成的。两个高反射的多层膜迭加合成的膜系重迭区存在一个反射极小值，插入匹配层的作用是消去反射极小值，即达到反射带展宽。其高反射的多层膜由2n+1层低、高折射率相互交迭的厚度为四分之一中心波长的膜厚构成。
一般的光通讯CWDM滤光片大都采用四分之一波长堆迭数个结构相同的多层膜系而成，但在其1260nm-1640nm波段中除了此滤光片的所属信号外其它的波长范围会产生漏光或噪声。
发明内容
本发明的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种消除噪声之CWDM(coarse wavelength division multiplex)滤光片。
本发明的技术要点是提供一种消除噪声的CWDM滤光片，包括基板；第一部分，设于基板上，包括至少两个第一膜堆结构，且每一第一膜堆结构自基板侧包括一法布里-珀罗谐振腔结构与一第一耦合层；第二部分，设于第一部分上，包括至少两个第二膜堆结构，且每一第二膜堆结构于基板侧包括一(HnLH)结构与一第二耦合层，其中n为大于等于2的正整数，L表示λ0/4的低折射率膜层，H表示λ0/4的高折射率膜层，λ0表示噪声之中心波长；以及第一匹配层，夹挤于第一部分与第二部分之间。
第二耦合层为L，L表示λ0/4的低折射率膜层，λ0表示噪声之中心波长n＝2q，q为正整数。
第一匹配层为mH，m为正整数，H表示λ0/4的高折射率膜层，λ0表示噪声之中心波长。
本发明还包括一第二匹配层，设置于第二部分上。该第二匹配层自基板侧依序包括1.7239H及0.582L，且L表示λ0/4的低折射率膜层，H表示λ0/4的高折射率膜层，λ0表示噪声之中心波长。
每一法布里一珀罗谐振腔结构自基板侧依序为H’(L’H’)akL’(H’L’)aH’，且a为正整数，k为大于等于2的正整数，L’表示λ’0/4的低折射率膜层，H’表示λ’0/4的高折射率膜层，λ’0表示通过CWDM滤光片之中心波长，为1470nm。第一耦合层为L’。
第一部分自基板侧依序为H’(L’H’)26L(H’L’)2H’L’H’(L’H’)32L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)36L(H’L’)3H’L’H’(L’H’)34L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)36L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)34L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)36L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)32L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)26L’(H’L’)2H’L’。
第二部分为L(H2LH)L(H2LH)L(H4LH)L(H4LH)L(H4LH)L(H4LH)L(H4LH)L(H2LH)L(H2LH)L。
本发明消除噪声之CWDM滤光片还可以是，包括基板；第一部分，包括至少两第一膜堆结构，且每一第一膜堆结构自基板侧包括一第一膜堆、一空间层、一第二膜堆与一第一耦合层；第二部分，包括至少两个第二膜堆结构，且每一第二膜堆结构自基板侧包括一(HnLH)结构与一第二耦合层，其中n为大于等于2的正整数，L表示λ0/4的低折射率膜层，H表示λ0/4的高折射率膜层，λ0表示噪声之中心波长；以及第一匹配层，夹挤于第一部分与第二部分之间。
第一部分的第一膜堆与第二膜堆相对于空间层对称设置。空间层为kL’，k为大于等于2的正整数。
第一耦合层为L’。第二耦合层为L，L表示λ0/4的低折射率膜层，λ0表示噪声之中心波长。n＝2q，q为正整数。
第一匹配层为mH，m为正整数，H表示λ0/4的高折射率膜层，λ0表示噪声之中心波长。
本发明之CWDM滤光片还包括第二匹配层，设置于第二部分上。该第二匹配层自基板侧依序包括1.7239H及0.582L，且L表示λ0/4的低折射率膜层，H表示λ0/4的高折射率膜层，λ0表示噪声之中心波长。
其中，第一膜堆为H’(L’H’)a，且第二膜堆为(H’L’)aH’，其中a为正整数，L’表示λ’0/4的低折射率膜层，H’表示λ’0/4的高折射率膜层，λ’0表示通过CWDM滤光片之中心波长。
第二部分为L(H2LH)L(H2LH)L(H4LH)L(H4LH)L(H4LH)L(H4LH)L(H4LH)L(H2LH)L(H2LH)L。且，第一部分自基板侧依序为H’(L’H’)26L(H’L’)2H’L’H’(L’H’)32L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)36L(H’L’)3H’L’H’(L’H’)34L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)36L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)34L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)36L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)32L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)26L’(H’L’)2H’L’。
本发明CWDM滤光片的截止波长为短波1230nm-1457nm，长波1483nm-1640nm。
一般的光通讯CWDM滤光片大都采用四分之一波长堆迭数个结构相同的多层膜系而成，但在其1260nm-1640nm波段中除了此滤光片的所属信号外其它的波长范围会产生漏光或噪声。本发明消除噪声之CWDM滤光片在采用四分之一波长堆迭数个结构相同的谐振腔(cavity)的基础上，继续堆迭数个结构不同的四分之一波长的膜层，使其能够消除此漏光或噪声现象，从而可以在光通讯的波段范围内得到更广泛的应用。
图1是本发明消除杂讯之CWDM滤光片的膜层结构示意图；图2是本发明消除杂讯之CWDM滤光片的示意图；图3是本发明消除杂讯之CWDM滤光片的第一部分的光谱特性图；及图4是本发明消除杂讯之CWDM滤光片的光谱特性图。
具体实施例方式
现结合说明书附图，对本发明消除噪声之CWDM(coarsewavelength division multiplex)滤光片作进一步详细说明。
如图1和2所示，本发明关于一种消除噪声之CWDM滤光片1，包括基板10；设置在基板上的第一部分，包括至少两个第一膜堆结构，且每一第一膜堆结构自基板侧包括一法布里-珀罗谐振腔(Fabry-Perot cavity)结构与一第一耦合层；堆迭于第一部分上的第二部分，包括至少两个第二膜堆结构，且每一第二膜堆结构自基板侧包括一(HnLH)结构与一第二耦合层；以及第一匹配层，其夹挤于第一部分与第二部分之间。
第一部分的每一第一膜堆结构的法布里-珀罗谐振腔自基板侧包括一第一膜堆、一空间层(spacer layer)15、一第二膜堆与一第一耦合层(coupling layer)20，且第一膜堆与第二膜堆系相对于空间层15对称设置。第一膜堆为H’(L’H’)a，第二膜堆为(H’L’)aH’，空间层15为kL’。其中，a为正整数；L’表示λ’0/4的低折射率膜层；H’表示λ’0/4的高折射率膜层；λ’0表示通过CWDM滤光片之中心波长，为1470nm；k为大于等于2的正整数。
自基板侧依序，第一部分可表达为H’(L’H’)26L(H’L’)2H’L’H’(L’H’)32L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)36L(H’L’)3H’L’H’(L’H’)34L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)36L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)34L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)36L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)32L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)26L’(H’L’)2H’L’。
而对于第二部分的第二膜堆结构而言，n为大于等于2的正整数，可表示为n＝2q，q为正整数。L表示λ0/4的低折射率膜层，H表示λ0/4的高折射率膜层，λ0表示噪声之中心波长。其第一匹配层为mH，m为正整数，并且m最好为正偶数；H表示λ0/4的高折射率膜层，λ0表示噪声之中心波长。第二耦合层为L，L表示λ0/4的低折射率膜层，λ0表示噪声之中心波长。第二部分可表达为L(H2LH)L(H2LH)L(H4LH)L(H4LH)L(H4LH)L(H4LH)L(H4LH)L(H2LH)L(H2LH)L。
本发明还包括一第二匹配层，设置于第二部分上。其自基板侧依序包括1.7239H及0.582L，且L表示λ0/4的低折射率膜层，H表示λ0/4的高折射率膜层，λ0表示噪声之中心波长。
其中，第二部分的部分奇数或偶数层采用了偶数倍的四分之一波膜。具体来说，是第二部分的四分之一膜层结构的第137、140、144、148、152、156、160、164、168、172层，采用偶数倍的四分之一波长膜厚；例如可以是2和4倍。第二部分中交替堆迭的高、低折射率膜层的层数可以是40层、50层、或者60层，等等。具体层数可以根据具体要求和应用环境来确定，本发明以40层为较佳的实施膜层数。
在光通讯常用的八个信道中(1470nm、1490nm、1510nm、1530nm、1550nm、1570nm、1590nm、1610nm)，本发明主要是针对1470nm这个信道而言，其它信道的发明原则都是根据此信道所延伸的例如中心波长位移到1490nm的话也可适用本发明。因此，本发明第一部分的中心波长λ’0可为1470nm或者1490nm。
消除噪声之CWDM滤光片1的峰值透过率大于90％；且其截止波长为短波1230nm-1457nm，长波1483nm-1830nm。基板10表面的光直径为95mm、厚为10mm，可包括氧化硅、钡、锂、钠等元素的。低折射率膜层的材质可以采用氧化硅膜，高折射率膜层的材质可以是氧化膜。本发明CWDM滤光片1的各四分之一膜层(高折射率膜层、低折射率膜层等)及基板10的材料可以根据具体要求或条件来确定。
本发明消除噪声之CWDM滤光片1的正面膜系采用N0/(LHLH2LHL)1(H2L)1(HLH)1(4LHLH)5(2LHL)1(H2LHL2H)1(LH)36L(HL)3H(LH)32L(HL)3H(LH)46L(HL)4H(LH)34L(HL)3H(LH)46L(HL)4H(LH)34L(HL)3H(LH)46L(HL)4H(LH)32L(HL)3H(LH)36L(HL)2H/NS。背面膜系(抗反射膜)采用N0/LHLH/NS。
第一部分的相邻两个法布里-珀罗谐振腔结构之间以耦合层(coupling layer)连结。每个法布里-珀罗谐振腔结构由两个奇数或偶数层的多膜层结构(stack)组成。
如图1所示，本发明消除噪声之CWDM滤光片1的基板10上面分别依次以高折射率堆四分之一波长的第1膜层后，再堆迭低折射率四分之一波长的膜层，之后再依此顺序堆迭至第136层。其中，第6层以四分之一波长的低折射率膜层堆迭6次，第20层以四分之一波长的低折射率膜层堆迭2次，第36层以四分之一波长的低折射率膜层堆迭6次，第52层以四分之一波长的低折射率膜层堆迭4次，第68层以四分之一波长的低折射率膜层堆迭6次，第84层以四分之一波长的低折射率膜层堆迭4次，第100层以四分之一波长的低折射率膜层堆迭6次，第116层以四分之一波长的低折射率膜层堆迭2次，第130层以四分之一波长的低折射率膜层堆迭6次；即为本发明消除噪声之CWDM滤光片1用高、低折射率膜层以四分之一波膜堆迭第一阶段的设计，由此可得到本发明之第一部分，其光谱特性图如图3所示在1260nm-1288nm的波段有噪声。若要消除此噪声，则必须再加上第二阶段的膜层堆迭设计。
第一部分中，四分之一波长的波长为λ’0，如前所述为本发明之CWDM滤光片1的中心波长，可为1470nm或者1490nm。
第二阶段的设计为在第一阶段设计的最后一层上再以四分之一波膜堆迭，也就是在第136层上再以高、低折射率材料堆迭四分之一波长的膜层直至第174层为止，即得到第二部分。其中，第137层以四分之一波长的高折射率膜层堆迭2次，第140层以四分之一波长的低折射率膜层堆迭2次，第144层以四分之一波长的低折射率膜层堆迭2次，第148层以四分之一波长的低折射率膜层堆迭4次，第152层以四分之一波长的低折射率膜层堆迭4次，第156层以四分之一波长的低折射率膜层堆迭4次，第160层以四分之一波长的低折射率膜层堆迭4次，第164层以四分之一波长的低折射率膜层堆迭4次，第168层以四分之一波长的低折射率膜层堆迭2次，第172层以四分之一波长的低折射率膜层堆迭2次。最后，在第174层上面再分别以高、低折射率材料堆迭非四分之一波长的膜层175和176，作为整个膜堆的微调层，到此即完成整个滤光片的设计。其中，第175层为高折射率膜层，其膜厚为1.7239倍的四分之一波长；第176层为低折射率膜层，其膜厚为0.582倍的四分之一波长。
本发明的膜层结构整体亦可描述为
第一部分第1层设于玻璃基板10上，为高折射率膜层，膜厚为四分之一波长；第2层为低折射率膜层，堆迭于第1层高折射率膜层上，膜厚为四分之一波长；…第6层为低折射率膜层，堆迭于第5层膜层上，膜厚为6倍的四分之一波长；…第20层为低折射率膜层，堆迭于第19层膜层上，膜厚为2倍的四分之一波长；…第36层为低折射率膜层，堆迭于第35层膜层上，膜厚为6倍的四分之一波长；…第52层为低折射率膜层，堆迭于第51层膜层上，膜厚为4倍的四分之一波长；…第68层为低折射率膜层，堆迭于第67层膜层上，膜厚为6倍的四分之一波长；…第84层为低折射率膜层，堆迭于第83层膜层上，膜厚为4倍的四分之一波长；…第100层为低折射率膜层，堆迭于第99层膜层上，膜厚为4倍的四分之一波长；…第116层为低折射率膜层，堆迭于第115层膜层上，膜厚为2倍的四分之一波长；…第130层为低折射率膜层，堆迭于第129层膜层上，膜厚为6倍的四分之一波长。
第二部分第137层为高折射率膜层，堆迭于第136层膜层上，膜厚为2倍的四分之一波长；…第140层为低折射率膜层，堆迭于第139膜层上，膜厚为2倍的四分之一波长；…第144层为低折射率膜层，堆迭于第143层膜层上，膜厚为2倍的四分之一波长；…第148层为低折射率膜层，堆迭于第147层膜层上，膜厚为4倍的四分之一波长；…第152层为低折射率膜层，堆迭于第151层膜层上，膜厚为4倍的四分之一波长；…第156层为低折射率膜层，堆迭于第155层膜层上，膜厚为4倍的四分之一波长；…第160层为低折射率膜层，堆迭于第159层膜层上，膜厚为4倍的四分之一波长；…第164层为低折射率膜层，堆迭于第163层膜层上，膜厚为4倍的四分之一波长；…第168层为低折射率膜层，堆迭于第167层膜层上，膜厚为2倍的四分之一波长；…第172层为低折射率膜层，堆迭于第171层膜层上，膜厚为2倍的四分之一波长；…第175层为高折射率膜层，堆迭于第174层上，膜厚为1.7239倍的四分之一波长；第176层为低折射率膜层，堆迭于第175层上，膜厚为0.582倍的四分之一波长。
第二部分(其光谱特性图如图4所示)中，四分之一波长的波长为λ0，如前所述表示噪声之中心波长，其采用图3所示的第一部分光谱特性图中噪声所在的波段的中心波长。而对于本发明之滤光片而言，λ0大约为1270nm左右。
通常，四分之一波膜的膜厚是在nd＝λ/4时有一个极值，采用穿透式精度0.01％自动监控系统进行膜厚监控，也就是说在膜厚达到极值时(峰值或谷值)光控系统立刻停止监控。高折射率膜层的折射率一般为2.1-2.4，低折射率膜层的折射率一般为1.44。
一般的光通讯CWDM滤光片大都采用四分之一波长堆迭数个结构相同的多层膜系而成，但在其1260nm-1640nm波段中除了此滤光片的所属信号外其它的波长范围会产生漏光或噪声。本发明消除噪声之CWDM滤光片在采用四分之一波长堆迭数个结构相同的谐振腔(cavity)的基础上，继续堆迭数个结构不同的四分之一波长的膜层，使其能够消除此漏光或噪声现象(如图4所示)，从而可以在光通讯的波段范围内得到更广泛的应用。
权利要求
1.一种消除噪声之CWDM滤光片，包括基板；第一部分，设于基板上，包括至少两个第一膜堆结构，且每一第一膜堆结构自基板侧包括一法布里—珀罗谐振腔结构与一第一耦合层；第二部分，设于第一部分上，包括至少两个第二膜堆结构，且每一第二膜堆结构于基板侧包括一(HnLH)结构与一第二耦合层，其中n为大于等于2的正整数，L表示λ0/4的低折射率膜层，H表示λ0/4的高折射率膜层，λ0表示噪声之中心波长；以及第一匹配层，夹挤于第一部分与第二部分之间。
2.如权利要求1所述的消除噪声之CWDM滤光片，其中第二耦合层为L，L表示λ0/4的低折射率膜层，λ0表示噪声之中心波长。
3.如权利要求1所述的消除噪声之CWDM滤光片，其中n＝2q，q为正整数。
4.如权利要求1所述的消除噪声之CWDM滤光片，其中第一匹配层为mH，m为正整数，H表示λ0/4的高折射率膜层，λ0表示噪声之中心波长。
5.如权利要求1所述的消除噪声之CWDM滤光片，更包括第二匹配层，设置于第二部分上。
6.如权利要求1所述的消除噪声之CWDM滤光片，其中第二匹配层自基板侧依序包括1.7239H及0.582L，且L表示λ0/4的低折射率膜层，H表示λ0/4的高折射率膜层，λ0表示噪声之中心波长。
7.如权利要求1所述的消除噪声之CWDM滤光片，其中每一法布里—珀罗谐振腔结构自基板侧依序为H’(L’H’)akL’(H’L’)aH’，且a为正整数，k为大于等于2的正整数，L’表示λ’0/4的低折射率膜层，H’表示λ’0/4的高折射率膜层，λ’0表示通过CWDM滤光片之中心波长。
8.如权利要求7所述的消除噪声之CWDM滤光片，其中第一耦合层为L’。
9.如权利要求4所述的消除噪声之CWDM滤光片，其中m最好为正偶数。
10.如权利要求1所述的消除噪声之CWDM滤光片，其中其截止波长为短波1230nm-1457nm，长波1483nm-1640nm。
11.如权利要求10所述的消除噪声之CWDM滤光片，其中第二部分为L(H2LH)L(H2LH)L(H4LH)L(H4LH)L(H4LH)L(H4LH)L(H4LH)L(H2LH)L(H2LH)L。
12.如权利要求8所述的消除噪声之CWDM滤光片，其中第一部分自基板侧依序为H’(L’H’)26L(H’L’)2H’L’H’(L’H’)32L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)36L(H’L’)3H’L’H’(L’H’)34L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)36L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)34L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)36L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)32L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)26L’(H’L’)2H’L’。
13.如权利要求12所述的消除噪声之CWDM滤光片，其中λ’0为1470nm。
14.一种消除噪声之CWDM滤光片，包括基板；第一部分，包括至少两第一膜堆结构，且每一第一膜堆结构自基板侧包括一第一膜堆、一空间层、一第二膜堆与一第一耦合层；第二部分，包括至少两个第二膜堆结构，且每一第二膜堆结构自基板侧包括一(HnLH)结构与一第二耦合层，其中n为大于等于2的正整数，L表示λ0/4的低折射率膜层，H表示λ0/4的高折射率膜层，λ0表示噪声之中心波长；以及第一匹配层，夹挤于第一部分与第二部分之间。
15.如权利要求14所述的消除噪声之CWDM滤光片，其中第二耦合层为L，L表示λ0/4的低折射率膜层，λ0表示噪声之中心波长。
16.如权利要求14所述的消除噪声之CWDM滤光片，其中n＝2q，q为正整数。
17.如权利要求14所述的消除噪声之CWDM滤光片，其中第一匹配层为mH，m为正整数，H表示λ0/4的高折射率膜层，λ0表示噪声之中心波长。
18.如权利要求14所述的消除噪声之CWDM滤光片，更包括第二匹配层，设置于第二部分上。
19.如权利要求14所述的消除噪声之CWDM滤光片，其中第二匹配层自基板侧依序包括1.7239H及0.582L，且L表示λ0/4的低折射率膜层，H表示λ0/4的高折射率膜层，λ0表示噪声之中心波长。
20.如权利要求14所述的消除噪声之CWDM滤光片，其中，第一部分的第一膜堆与第二膜堆系相对于空间层对称设置。
21.如权利要求20所述的消除噪声之CWDM滤光片，其中第一膜堆为H’(L’H’)a，且第二膜堆为(H’L’)aH’，其中a为正整数，L’表示λ’0/4的低折射率膜层，H’表示λ’0/4的高折射率膜层，λ’0表示通过CWDM滤光片之中心波长。
22.如权利要求21所述的消除噪声之CWDM滤光片，其中空间层为kL’，k为大于等于2的正整数。
23.如权利要求22所述的消除噪声之CWDM滤光片，其中第一耦合层为L’。
24.如权利要求17所述的消除噪声之CWDM滤光片，其中m最好为正偶数。
25.如权利要求14所述的消除噪声之CWDM滤光片，其中其截止波长为短波1230nm-1457nm，长波1483nm-1640nm。
26.如权利要求25所述的消除噪声之CWDM滤光片，其中第二部分为L(H2LH)L(H2LH)L(H4LH)L(H4LH)L(H4LH)L(H4LH)L(H4LH)L(H2LH)L(H2LH)L。
27.如权利要求23所述的消除噪声之CWDM滤光片，其中第一部分自基板侧依序为H’(L’H’)26L(H’L’)2H’L’H’(L’H’)32L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)36L(H’L’)3H’L’H’(L’H’)34L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)36L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)34L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)36L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)32L’(H’L’)3H’L’H’(L’H’)26L’(H’L’)2H’L’。
28.如权利要求27所述的消除噪声之CWDM滤光片，其中λ’0为1470nm。
全文摘要
本发明关于一种消除噪声的CWDM滤光片，包括基板；设于基板上的第一部分，包括至少两个第一膜堆结构，且每一第一膜堆结构自基板侧包括一法布里一珀罗谐振腔结构与第一耦合层；设于第一部分上的第二部分，包括至少两个第二膜堆结构，且每一第二膜堆结构于基板侧包括一(HnLH)结构与一第二耦合层；以及第一匹配层，夹挤于第一部分与第二部分之间。再者，每一法布里―珀罗谐振腔结构自基板侧依序为H’(L’H’)
文档编号B32B17/06GK1734294SQ2004100591
公开日2006年2月15日 申请日期2004年8月10日 优先权日2004年8月10日
发明者张陈益升 申请人:亚洲光学股份有限公司