感光性层叠体的制造系统的制作方法

专利名称：感光性层叠体的制造系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种感光性层叠体的制造系统，其具备将基板预先加热到 规定温度的加热装置和在加热到规定温度的所述基板上贴合感光性板片 的层压装置。
背景技术：
例如，液晶面板用基板、印制布线用基板和PDP面板用基板通过将 具有感光材料(感光性树脂)层的感光性片体(感光性板片)贴合在基板 表面上而构成感光性层叠体。该感光性片体是在可挠性塑料支承体上依次 层叠感光材料层和保护膜。在制造上述感光性层叠体之际，通常，玻璃基板和树脂基板等基板被 预先加热到规定温度。并且，保护膜部分或整体被剥离的感光性板片和加 热过的基板被夹持在构成层压装置的一对层压辊之间进行加热，从而，感 光材料层被热压接在所述基板上。接下来，从基板剥离可挠性塑料支承体， 从而制造感光性层叠体。例如，特开平8—183146号公报所揭示的干抗蚀膜的层压方法中，如 图8所示，沿着由输送部6形成的基板7的输送方向配置基板预热部1、 层压部2、基板冷却部3、基板上膜切断部4及膜去除部5。基板预热部1在由预热加热器la将基板7加热到规定温度后，将该 基板7向层压部2送出。在层压部2中配置一对层压辊2a、 2b，在所述层 压辊2a、 2b间进给基板7和干抗蚀膜8。从而，干抗蚀膜8被热压接在基 板7上。不过，上述现有技术中，在基板预热部1和构成层压部2的层压辊 2a、 2b的基板插入侧之间(以下，也称为过渡部分)，由于基板7被暴露 在室内的空气中，因而所述基板7的温度容易降低。然而，层压时基板-7
的面内温度分布会对层压品质造成影响，所述基板7的面内温度均匀性对于维持层压品质很重要。因而，考虑在层压时必须确保基板7为期望温度，例如预估由室内空 气带来的温度降低，将所述基板7的设定温度设定得高于目标温度。然而， 由于过渡部分的基板7的输送速度变动，同时所述基板7周缘部的温度降 低大于中央部等原因，在所述过渡部分中的所述基板7的面内温度均匀性 降低。发明内容本发明的目的在于解决这种问题，提供一种感光性层叠体的制造系 统，其能够有效地阻止加热装置和层压装置的过渡部分的基板的温度降 低、同时能够提高所述基板的面内温度均匀性。本发明所涉及的感光性层叠体的制造系统，具备将基板预先加热到规 定温度的加热装置和在加热到规定温度的所述基板上贴合感光性板片的 层压装置。并且，在加热装置和层压装置之间配置有用于将基板向所述层压装置 的贴合处理位置输送的进给机构和用于将加热到规定温度的所述基板保 温直到所述贴合处理位置附近的保温机构。本发明中，在加热装置和层压装置之间，基板由进给机构输送到所述 层压装置的贴合处理位置，同时，由保温机构在规定温度下保温到所述贴 合处理位置附近。从而，能够有效地阻止加热装置和层压装置的过渡部分 的基板的温度降低、同时能够提高所述基板的面内温度均匀性。从而能够 良好且可靠地维持层压品质。通过附图和以下最佳实施方式例的联合说明，更进一步阐明上述目的 及其他目的、特征及优点。


图1是本发明第一实施方式的制造系统的概略构成图。图2是所述制造系统中所使用的长条状感光性板片的剖视图。　图3是在所述长条状感光性板片上粘接了粘接标签的状态的说明图。图4是所述制造系统的主要部分说明图。图5是所述制造系统的主要部分俯视说明图。图6是本发明的第二实施方式的制造系统的概略构成图。图7是本发明的第三实施方式的制造系统的概略构成图。图8是特开平8 — 183146号公报所揭示的干抗蚀膜的层压方法的说明图。具体实施方式

如图1所示，本发明第一实施方式的感光性层叠体的制造系统20，在 液晶或有机EL用彩色滤波器的制作过程中，进行的作业是将长条状感光 性板片22的感光性树脂层28 (后述)热转印到玻璃基板24上。如图2所示，制造系统20中使用的感光性板片22是将可挠性基体薄 膜(支承体)26、感光性树脂层(感光材料层)28和保护膜30层叠而构 成。如图1所示，制造系统20包括板片输出机构32，其收容有将感光 性板片22巻绕成辊状的感光性板片辊22a、并从该感光性板片辊22a输出 所述感光性板片22;加工机构36，其在输出的所述感光性板片22的保护 膜30上形成能够横向切断的半切部位34 (参照图2);标签粘接机构40， 其将一部分具有非粘接部38a的粘接标签38 (参照图3)粘接到保护膜30 上。在标签粘接机构40的下游配置有用于将感光性板片22从间歇进给 变成连续进给的贮存机构42、从所述感光性板片22以规定长度间隔剥离 保护膜30的剥离机构44、将玻璃基板24以加热到规定温度的状态向贴合 位置输送的加热装置45和将由于所述保护膜30的剥离而露出的感光性树 脂层28贴合在所述玻璃基板24上的层压装置46。还有，以下将利用层压 装置46在玻璃基板24上贴合有感光性板片22的被处理物只称为贴合基 板24a。在层压装置46的贴合位置的上游附近，配置检测机构47，其直接检　　测作为感光性板片22的边界位置的半切部位34，同时在所述层压装置46 的下游配置切断各玻璃基板24间的所述感光性板片22的基板间板片切断 机构48。在该基板间板片切断机构48的上游设置在运转开始时及运转结 束时使用的板片切断机构48a。在板片输出机构32的下游附近，配置将大致使用完的感光性板片22 的后端和新使用的感光性板片22的前端接合在一起的接合台49。在该接 合台49的下游配置膜端位置检测器51，用来控制由于感光性板片辊22a 的巻绕偏离而造成的横向的偏离。加工机构36配置在辊对50的下游，辊对50用来计算收容巻绕在板 片输出机构32中的感光性板片辊22a的辊直径。该加工机构36具备单个 的圆形刀片52，该圆形刀片52沿感光性板片22的横向移动，在所述感光 性板片22的规定位置形成半切部位34。如图2所示，半切部位34必须至少切断保护膜30，实际上为了可靠 地切断该保护膜30，而将圆形刀片52的切入深度设定到足以切入到感光 性树脂层28乃至可挠性基体薄膜26。半切部位34用来设定玻璃基板24的间隔，例如设定在向两侧的所述 玻璃基板24分别深入各10mm的位置。玻璃基板24间的由半切部位34 夹持的部分在后述的层压装置46中作为将感光性树脂层28呈框状贴合在 所述玻璃基板24上之际的掩模发挥作用。标签粘接机构40是为了与玻璃基板24间对应地保留保护膜30的残 留部分30b，而供给将剥离侧前方的剥离部分30aa和剥离侧后方的剥离部 分30ab连结的粘接标签38。如图2所示，保护膜30夹着残留部分30b 将先剥离的部分作为前方的剥离部分30aa，另一方面将后剥离的部分作为 后方的剥离部分30ab。如图3所示，粘接标签38呈长方形构成，由例如与保护膜30相同的 树脂材料形成。粘接标签38在中央部具有没有涂布粘接剂的非粘接部(包 括微粘接)38a,同时在该非粘接部38a两侧、即所述粘接标签38的纵向 两端部，具有与前方的剥离部分30aa粘接的第一粘接部38b和与后方的 剥离部分30ab粘接的第二粘接部38c。　 如图1所示，标签粘接机构40具备能够每隔规定间隔地贴合最多7 张粘接标签38的吸附衬垫54a 54g，同时，在基于所述吸附衬垫54a 54g 形成的所述粘接标签38的贴合位置，升降自如地配置用于从下方保持感 光性板片22的支承台56。贮存机构42具备浮辊61，其可吸收上游侧的感光性板片22的间歇输 送和下游侧的所述感光性板片22的连续输送的速度差，不过为了进一步 防止张力变动，由摆动自如的2串辊60构成。还有，辊60对应于贮存量 可以为1串或3串以上。配置在贮存机构42下游的剥离机构44具备吸入筒62，其是用来降低 感光性板片22的输出侧的张力变动，稳定层压时的张力。在吸入筒62的 附近配置剥离辊63，同时经由该剥离辊63从感光性板片22以锐角的剥离 角剥离的保护膜30，除残留部分30b以外，缠绕在保护膜巻绕部64上。在剥离机构44的下游侧配置有能够向感光性板片22施与张力的张力 控制机构66。张力控制机构66具备汽缸68，在该汽缸68的驱动作用下 使张力调节器70摆动变位，从而能够调整该张力调节器70滑动接触的感 光性板片22的张力。还有，张力控制机构66可以根据需要进行使用，也 可以删除。检测机构47具备激光传感器和光电传感器等光电传感器72，所述光 电传感器72直接检测半切部位34的楔状槽形状部和由于保护膜30的厚 度而产生的阶梯差、或由于这些的组合而产生的变化等，将该检测信号作 为边界位置信号。光电传感器72与支承辊73对置配置。还有，可以取代 光电传感器72而配置非接触变位计和CCD照相机等图像检测手段等。加热装置45如图4所示，包括用于将玻璃基板24沿箭头C方向输送 的输送机构74、沿着所述输送机构74的输送方向配置的多个、至少是第 一加热机构76及第二加热机构78。输送机构74具备沿箭头C方向排列的多个树脂制圆盘状输送辊80， 所述输送辊80配置在构成第一加热机构76的主体部76a内及构成第二加 热机构78的主体部78a内。第一加热机构76比第二加热机构78靠箭头C方向上游侧，设有载置
在基台82上的固定台84。在固定台84上如图4及图5所示，设置相互平 行、沿箭头C方向延伸的一对导轨86，主体部76a配置成能够在该导轨 86上沿箭头C方向进退规定距离Ll 。主体部76a在箭头C方向前端部及箭头C方向后端部分别设置联锁 装置(没有图示)，所述主体部76a被保持在进退位置。在主体部76a的 后退位置、即玻璃基板24的入口侧设置机器人护栏88。在主体部76a内 设有位于输送辊80上方、例如面板式的第一红外线加热器卯a。第二加热机构78具备主体部78a，所述主体部78a设有进给机构92， 其延伸到层压装置46附近、用于将玻璃基板24输送到所述层压装置46 的贴合处理位置；第三红外线加热器(保温机构)90c,其用于保温加热 到规定温度的所述玻璃基板24直到所述贴合处理位置附近；退避机构94， 其能够使所述主体部78a相对于所述层压装置46移动。在主体部78a上形成与后述框体96内连通的开口 98，同时在该主体 部78a内沿箭头C方向延伸设有位于多个输送辊80上方、例如面板式的 第二红外线加热器90b。此外，第一及第二红外线加热器90a、卯b也可以 使用热风加热器。在主体部78a的箭头C方向前端侧的侧面，固定有沿玻璃基板24横 向(图5中，箭头D方向)延伸的框体96。在框体96内沿箭头C方向配 置构成进给机构92的多个树脂制圆盘状输送辊80a，同时设有位于所述输 送辊80a上方、面板式第三红外线加热器90c (或热风加热器)。在框体 96上形成用于将玻璃基板24向层压装置46输出的开口 96a。退避机构94具备在基台82上相互平行并沿箭头D方向延伸的一对第 二导轨100，在该第二导轨100上能够沿箭头D方向进退地配置可动台 102。在可动台102的箭头D方向的进退位置设置没有图示的联锁装置， 能够在两位置保持所述可动台102。在可动台102上设置相互平行并沿箭头C方向延伸的一对导轨104， 在所述导轨104上能够沿箭头C方向进退地配置主体部78a。主体部78a 在箭头C方向前端位置接近层压装置46而固定，另一方面，在箭头C方 向后端位置能够固定。
主体部78a在箭头Cl方向移动规定距离LI后，能够沿导轨100向箭 头D方向移动。沿箭头Cl方向的移动距离LI设定为进给机构92向箭头 D方向移动之际不与层压装置46干涉的尺寸，同时，沿箭头D方向的移 动距离L2设定为作业者对所述层压装置46进行各种维修作业之际主体部 78a不会干涉的尺寸。还有，输送装置74中可以采用配置没有图示的空气悬浮板、玻璃基 板24被悬浮着沿箭头C方向输送的构成。如图1所示，在加热装置45的上游设有收容多个玻璃基板24的基板 储料器110。基板储料器110在投入及取出口以外的3个侧面上附设用于 除尘的风扇组件(或管道组件)112。风扇组件112对基板储料器110内 进行除电清洁空气的吹出。收容在基板储料器110中的各玻璃基板24被 设置在机器人114的手部114a上的吸附衬垫116吸附而取出，运入到加 热装置45。层压装置46具备上下配置、同时加热到规定温度的层压用橡胶辊 120a、 120b。在橡胶辊120a、 120b上滑动接触着支承辊122a、 122b，同 时，所述支承辊122b被辊夹紧部124按压向橡胶辊120b侧。在橡胶辊120a的附近能够移动地配置防止接触辊126，用于防止感光 性板片22接触到所述橡胶辊120a。在层压装置46的上游附近配置用于将 感光性板片22预先预备加热到规定温度的预备加热部127。该预备加热部 127具备例如红外线棒加热器等加热装置。在层压装置46和基板间板片切断机构48之间配置膜输送辊128a和 基板输送辊128b。在基板间板片切断机构48的下游侧配置冷却机构130， 同时在该冷却机构130的下游侧配置基体剥离机构132。冷却机构130在 经由基板间板片切断机构48将贴合基板24a间的感光性板片22切断后， 对该贴合基板24a供给冷风实施冷却处理。具体地说，设定冷风温度为10 °C,风量为1.0~2.0m3/min。还有，也可以不使用冷却机构130，而在后述 的感光性层叠体储料器146中自然冷却。另外，也可以取代冷风，而利用 室内风进行送风。配置在冷却机构130下游的基体剥离机构132具备从下方吸附贴合基板24a的多个吸附衬垫134，在该吸附衬垫134上吸附保持所述贴合基板 24a的状态下，经由机器手136将基体薄膜26及残留部分30b剥离。在吸 附衬垫134的上游、下游及两侧方，配置对贴合基板24a的层压部分整体 从4个方向的侧面喷射除电空气的除电吹风机(没有图示)。还有，进行 剥离时为了除尘可以将工作台垂直或将其倾斜、或者翻转。在基体剥离机构132的下游设置收容有多个感光性层叠体140的感光 性层叠体储料器146。经基体剥离机构132从贴合基板24a剥离了基体薄 膜26及残留部分30b的感光性层叠体140，被设置在机器人142的手部 142a上的吸附衬垫144吸附而取出，收容在感光性层叠体储料器146中。 还有，手部142a也可以不利用吸附、而使用例如利用摩擦进行的保持方 式。感光性层叠体储料器146在投入及取出口以外的3个侧面上附设用于 除尘的风扇组件(或管道组件)112。风扇组件112对感光性层叠体储料 器146内进行除电清洁空气的吹出。制造系统20中，板片输出机构32、加工机构36、标签粘接机构40、 贝亡存机构42、剥离机构44、张力控制机构66还有检测机构47配置在层 压装置46的上方，不过，也可以与此相反形成以下构成，即将所述板片 输出机构32到所述检测机构47配置在所述层压装置46的下方，感光性 板片22上下颠倒，将感光性树脂层28贴合在玻璃基板24下侧，另外也 可以将所述制造系统20整体在一直线上构成。制造系统20经由层压工序控制部150进行整体控制，在该制造系统 20的每个功能部都设有例如层压控制部152、基板加热控制部154及基体 剥离控制部156等，它们通过工序内网络相联系。层压工序控制部150与工厂网络相联系，进行来自没有图示的工厂 CPU的指示信息(条件设定和生产信息等)的生产管理和运行管理等用于 生产的信息处理。层压控制部152作为工序整体的中心执行各功能部的控制，构成根据 利用检测机构47检测的感光性板片22的半切部位34的位置信息控制例 如加热装置45的控制机构。i
基体剥离控制部156进行将基体薄膜26从由层压装置46供给的贴合 基板24a上剥离、再在下游工序中排出感光性层叠体140的动作控制，同 时操作控制所述贴合基板24a及所述感光性层叠体140的信息。制造系统20内经由隔壁160被分隔为第一净室162a和第二净室 162b。第一净室162a中收容板片输出机构32到张力控制机构66，第二净 室162b中收容检测机构47以后的机构。第一净室162a和第二净室162b 经由贯通部164连通。以下关于该制造系统20的动作进行说明。首先，如图1所示，在加工机构36中，圆形刀片52沿着感光性板片 22的横向移动，将该感光性板片22从保护膜30切入到感光性树脂层28 乃至基体薄膜26，形成半切部位34 (参照图2)。再有，感光性板片22 如图1所示，对应于保护膜30的残留部分30b的尺寸沿箭头A方向输送 后，停止，在圆形刀片52的移动作用下形成半切部位34。从而，在感光 性板片22上夹着残留部分30b设置前方的剥离部分30aa和后方的剥离部 分30ab (参照图2)。接下来，感光性板片22被输送到标签粘接机构40，保护膜30的规定 贴合部位配置在支承台56上。在标签粘接机构40中，利用吸附衬垫 54a 54g吸附保持规定张数的粘接标签38，各粘接标签38横跨保护膜30 的残留部分30b，与前方的剥离部分30aa和后方的剥离部分30ab粘接成 一体(参照图3)。粘接了例如7张粘接标签38的感光性板片22如图1所示，经由贮存 机构42在防止输出侧的张力变动之后向剥离机构44连续输送。在剥离机 构44中，感光性板片22的基体薄膜26被吸入筒62吸附保持，同时保护 膜30保留残留部分30b从所述感光性板片22被剥离。该保护膜30经由 剥离辊63以锐角的剥离角被剥离，并缠绕在保护膜巻绕部64。在剥离机构44的作用下，保护膜30保留残留部分30b从基体薄膜26 上剥离后，感光性板片22经由张力控制机构66进行张力调整，再经检测 机构47利用光电传感器72进行半切部位34的检测。根据半切部位34的检测信息，在膜输送辊128a的旋转作用下，感光 性板片22被定量地向层压装置46输送。那时，防止接触辊126在上方待 机，同时橡胶辊120b配置在下方。另一方面，加热装置45对应于层压装置46中的层压温度来设定第一 及第二加热机构76、 78内的加热温度。例如，若层压温度为ll(TC，则经 由第一及第二红外线加热器90a、 90b将第一及第二加热机构76、 78内的 加热温度设定在12(TC左右。于是，机器人114把持收容在基板储料器110中的玻璃基板24，将该 玻璃基板24运入第一加热机构76中。在第一加热机构76内，如图4所 示，在第一红外线加热器90a的加热作用下，玻璃基板24被升温后，经 由输送机构74将所述玻璃基板24向第二加热机构78进给。在第二加热机构78内，经由第二红外线加热器90b加热玻璃基板24， 该玻璃基板24以利用第三红外线加热器90c维持在规定温度的状态经由 进给机构92向层压装置46进给。层压装置46中，玻璃基板24对应于感 光性板片22的感光性树脂层28的贴合部分暂时配置在橡胶辊120a、 120b 之间。在此状态下，经由辊夹紧部124将支承辊122b及橡胶辊120b上升， 从而玻璃基板24以规定的冲压压力被夹入橡胶辊120a、 120b之间。再有， 在橡胶辊120a的旋转作用下，在该玻璃基板24上利用加热熔融转印(层 压)感光性树脂层28。在此，作为层压条件，速度为1.0m/min 10.0m/min、橡胶辊120a、 120b 的温度为80。C 150。C、所述橡胶辊120a、 120b的橡胶硬度为40度~90度， 该橡胶辊120a、 120b的冲压(线压)为50N/cm 400N/cm。若结束了经由橡胶辊120a、 120b在玻璃基板24上层压一张感光性板 片22，则所述橡胶辊120a的旋转停止，另一方面，层压了所述感光性板 片22的所述玻璃基板24、即贴合基板24a由基板输送辊128b夹紧。并且，橡胶辊120b向从橡胶辊120a间隔开的方向退避，解除夹紧， 同时开始基板输送辊128b的旋转，贴合基板24a沿箭头C方向定量输送， 感光性板片22的基板间位置移动到橡胶辊120a下方附近的规定扭置。另 一方面，经由加热装置45将下一个玻璃基板24向贴合位置输送。
若该下一个玻璃基板24的前端配置在橡胶辊120a、 120b间，则所述 橡胶辊120b上升，利用所述橡胶辊120a、 120b夹紧所述下一个玻璃基板 24和感光性板片22。并且，在橡胶辊120a、 120b及基板输送辊128b的 旋转作用下，开始层压，同时，贴合基板24a向箭头C方向输送。贴合基板24a沿箭头C方向定量输送，经由基板间板片切断机构48 切断玻璃基板24间的感光性板片22后，通过冷却机构130进行冷却，再 移送到基体剥离机构132。该基体剥离机构132中，在贴合基板24a被吸 附保持在吸附衬垫134上的状态下，经由机器手136剥离基体薄膜26及 残留部分30b，获得感光性层叠体140。那时，在吸附衬垫134的上游、下游及两侧方从4个方向的侧面向贴 合基板24a的层压部分整体喷射除电空气。还有，感光性层叠体140由机 器人142的手部142a保持，向感光性层叠体储料器146中收容规定数量。这种情况下，第一实施方式中，如图4所示，在加热装置45和层压 装置46之间，玻璃基板24经由构成进给机构92的输送辊80a被输送到 所述层压装置46的贴合处理位置，同时经由第三红外线加热器卯c在规 定的加热温度下保温到所述贴合处理位置附近。从而，能够有效地防止玻璃基板24在加热装置45和层压装置46的 过渡部分上的温度降低，同时能够提高所述玻璃基板24的面内温度均匀 性。从而，能够尽可能地阻止向感光性板片22和玻璃基板24之间巻入气 泡和所述感光性板片22发生褶皱等，能够良好且可靠地维持贴合基板24a 的层压品质。另外，在构成第二加热机构78的主体部78a的箭头C方向前端面设 置进给机构92，所述进给机构92接近层压装置46配置。从而，即使是采用特别薄壁且大型的玻璃基板24之际，也能够可靠 地保持该玻璃基板24的输送方向前端侧，能够在构成层压装置46的橡胶 辊120a、 120b之间顺畅且可靠地输送所述玻璃基板24。再有，在进行层压装置46的维修作业等之际，如以下，第一加热机 构76及第二加热机构78进行后退动作。即、第一加热机构76中，主体 部76a沿着第一导轨86向箭头Cl方向移动规定距离Ll，同时构成第二
加热机构78的主体部78a同样沿着第三导轨104向箭头Cl方向移动规定 距离L1。在此，第一加热机构76及第二加热机构78被施行联锁以阻止 向箭头C方向移动。接下来，在第二加热机构78中，主体部78a与可动台102—体沿着 第二导轨100向箭头D方向(参照图5)移动规定距离L2，施行联锁。从而，层压装置46中，在加热装置45侧形成用于维修作业的空间， 作业者能够使用该空间进行构成层压装置46的橡胶辊120a、 120b的清扫 和更换等维修作业。还有，第一实施方式中，玻璃基板24进行基于间歇进给的所谓分批 输送，不过并不限定于此，也能够适用于连续输送所述玻璃基板24的构 成。图6是本发明的第二实施方式的感光性层叠体的制造系统170的主要 部分说明图。还有，对于与第一实施方式的制造系统20相同的构成要素 附以相同参照符号，其详细的说明省略。另外，以下说明的第三实施方式 也同样，省略其详细说明。制造系统170具备加热装置172和层压装置46。加热装置172具备沿 着输送机构74的输送方向配置的至少第一加热机构174及第二加热机构 176。构成第一加热机构174的主体部174a固定在基台82上，同时构成 第二加热机构176的主体部176a固定在所述基台82上。该第二实施方式，除了特别是在不需要从加热装置172侧进行的层压 装置46维修作业之际能够良好地适用以外，能够获得与上述第一实施方 式同样的效果。图7是本发明的第三实施方式的感光性层叠体的制造系统190的主要 部分说明图。制造系统190具备加热装置45和层压装置192。层压装置192设有底 座构件194，在该底座构件194上配置支承台196。在该支承台196上支 承着框体198，同时，在所述框体198内设置多个输送辊80a及第三红外 线加热器90c。如此构成的第三实施方式中，收容输送辊80a及第三红外线加热器 90c的框体198经由支承台196安装在层压装置192侦ij。因而，除了有效 地简化加热装置45侧的构成以外，能够获得与上述第一实施方式同样的 效果。还有，第三实施方式中，采用了加热装置45，不过也可以取代它而采 用加热装置172。另外，使用了第二加热机构178，另一方面也可以取代 第一加热机构76而采用第一加热机构174。
权利要求
1. 一种感光性层叠体的制造系统，具备将基板(24)预先加热到规定温度的加热装置(45)和在加热到规定温度的所述基板(24)上贴合感光性板片(22)的层压装置(46)，所述感光性层叠体的制造系统的特征在于，在所述加热装置(45)和所述层压装置(46)之间配置进给机构(92)和保温机构(90c)，所述进给机构(92)用于将所述基板(24)向所述层压装置(46)的贴合处理位置输送；所述保温机构(90c)用于将加热到规定温度的所述基板(24)保温，直至所述贴合处理位置附近。
2. 根据权利要求l所述的感光性层叠体的制造系统，其特征在于， 所述加热装置(45)具备用于输送所述基板(24)的输送机构(74)和沿着所述输送机构(74)的输送方向配置的多个加热机构(78)，并且， 在与所述层压装置(46)邻接的配置在输送方向最下游的所述加热机 构(78)装设所述进给机构(92)及所述保温机构(90c)。
3. 根据权利要求2所述的感光性层叠体的制造系统，其特征在于， 所述加热机构(78)收容所述输送机构(74)及加热源(90b)，并且具备安装所述进给机构(92)及所述保温机构(90c)的主体部(78a)和 能够使所述主体部(78a)相对于所述层压装置(46)移动的退避机构(94)。
4. 根据权利要求3所述的感光性层叠体的制造系统，其特征在于， 所述退避机构(94)能够使所述主体部(78a)沿着接近及远离所述层压装置(46)的第一方向和与所述第一方向交叉的第二方向移动。
5. 根据权利要求l所述的感光性层叠体的制造系统，其特征在于， 所述进给机构(92)及所述保温机构(90c)装在所述层压装置(192)上。
6. 根据权利要求1 5中任意一项所述的感光性层叠体的制造系统，其 特征在于，所述保温机构具备加热器(90c)。
全文摘要
本发明的感光性层叠体的制造系统(20)，具备加热装置(45)和层压装置(46)。构成加热装置(45)的第二加热机构(78)在主体部(78a)上固定框体(96)，同时在所述框体(96)内配置延伸到层压装置(46)附近、用于将玻璃基板(24)向所述层压装置(46)的贴合处理位置输送的进给机构(92)和用于在规定温度下保温所述玻璃基板(24)直到所述贴合处理位置附近的第三红外线加热器(90c)。进给机构(92)具备多个输送辊(80a)。
文档编号B32B37/06GK101396896SQ200810161079
公开日2009年4月1日 申请日期2008年9月26日 优先权日2007年9月27日
发明者中泽直子, 远藤惠介 申请人:富士胶片株式会社