技术特征:
技术总结
提供一种液体分配设备及其检验方法,所述液体分配设备包含:载物台,基板能够安装在载物台上;板,其具有连接到载物台或安置在载物台外部的至少一部分;分配部分,其具有至少一部分以可移动方式安装在载物台和板之间以便分配液体材料;成像部分,其能够使液体材料分配到的部分成像;以及测量部分,其配置成根据通过成像部分成像的板上的液体材料的图像测量液体材料的大小,液体分配设备能够将精确数量的液体材料分配到基板上。
技术研发人员:黄净珉;尹轸铉;张宰荣;薛捧浩;千岁勋
受保护的技术使用者:灿美工程股份有限公司
技术研发日:2018.06.22
技术公布日:2019.01.01