技术特征：
技术总结
本申请涉及一种微滴沉积装置以及制造该装置的方法，装置包括歧管部件和致动器部件；致动器部件提供流体室的第一阵列，每个具有喷嘴和能够响应电信号促使流体微滴通过喷嘴在沉积方向上释放的压电致动器元件；第一阵列在垂直于沉积方向的阵列方向上从第一纵向端部延伸到相对的第二纵向端部；歧管部件在阵列方向上是长形的且包括第一和第二歧管室，歧管室在阵列方向上并排延伸，第一歧管室经第一阵列中的流体室中的每个流体连接到第二歧管室；歧管室中的至少一个的横截面面积在阵列方向上逐渐减小；歧管部件的垂直于阵列方向的横截面形状在阵列方向上变化，使得横截面的形心沿流体室的第一阵列的长度在沉积方向上与流体室的阵列保持大体恒定的距离。
技术研发人员：科林·布鲁克;阿林·里斯泰亚;迈克尔·沃尔什;克里斯·戈斯林
受保护的技术使用者：赛尔科技有限公司
技术研发日：2014.11.25
技术公布日：2019.01.25