一种基板及其吸附调节装置和喷墨打印设备的制作方法

本申请涉及显示面板生产的技术领域，具体涉及一种基板及其吸附调节装置和喷墨打印设备。

背景技术：

oled(organiclight-emittingdiode，有机发光二极管)显示设备因其轻薄、色彩鲜艳、可柔性弯曲等特点，现在已经成为高端手机、电视、手表等电子设备的首选设备。目前，采用喷墨打印方法制作oled产品的设备和工艺日趋成熟，具体地，可将用于制作oled显示基板的材料溶解在喷墨打印溶剂中形成喷墨打印墨水，通过喷墨打印装置中的喷头将喷墨打印墨水喷到玻璃基板上，打印像素图案。

在喷墨打印制造oled显示面板的过程中，基板的位置精度要求较高，在将基板传输到初始位置时，并不能定位到精确的位置。

技术实现要素：

鉴于上述的不足之处，本申请的目的在于提供一种基板及其吸附调节装置和喷墨打印设备，对基板的位置进行校正，使基板处于精确的位置。

为了实现上述目的，本申请提供的技术方案为：一种基板的吸附调节装置，设置于气浮平台一侧，带动所述基板在所述气浮平台上移动到喷头装置处进行喷墨打印，所述吸附调节装置包括：

第一固定板，所述第一固定板为固定的；

第二固定板，活动连接于所述第一固定板；

吸附结构，设置于所述第二固定板上，用于吸附所述基板；

检测结构，设置于所述第二固定板，用于检测所述基板所处的位置；

第一调节结构，连接于所述第一固定板与所述第二固定板之间，调节所述吸附结构的工作面与所述基板的输送方向的夹角；

第二调节结构，连接于所述第一固定板与所述第二固定板之间，调节所述吸附结构的水平度；

所述第一调节结构和第二调节结构根据所述检测结构所检测到的所述基板的位置信息，对所述基板进行调节。

进一步地，所述第一调节结构对称设置于所述吸附结构的两端对应的位置。

进一步地，所述第一调节结构包括固定座和电机，所述固定座固定于所述第一固定板；所述电机固定于所述固定座上，输出端与所述第二固定板连接。

进一步地，所述第一调节结构还包括位移传感器，固定于所述第二固定板上，位置与所述固定座相对应；所述固定座包括光栅，设置于与所述位移传感器相邻的面上，位置与所述位移传感器相对应。

进一步地，所述第二调节结构包括挠性弹片、浮动轴组件和调节螺栓，所述挠性弹片固定于所述第二固定板的中心位置；所述浮动轴组件与所述第一固定板和所述挠性弹片连接，所述挠性弹片嵌入所述浮动轴组件中，与所述浮动轴组件固定；所述调节螺栓穿过所述第二固定板抵在所述第一固定板上，围绕所述第一调节结构设置。

进一步地，所述调节螺栓设置于所述吸附结构的两侧位置，以及设置于所述挠性弹片远离所述吸附结构的一侧的中间对应位置。

进一步地，所述第一固定板包括移动导轨，所述第二固定板与所述移动导轨配合连接。

进一步地，所述检测结构包括微调机构和电荷耦合元件，所述微调机构设置于所述第二固定板上，用于调节所述电荷耦合元件；所述电荷耦合元件倒置安装在所述微调机构上，工作面对着所述基板，用于扫描所述基板的位置。

进一步地，所述吸附结构采用真空吸附。

本申请还提供的技术方案为：一种基板，用于如上所述的吸附调节装置，包括十字标靶，设置于所述基板的四个角落。

本申请还提供的技术方案为：一种喷墨打印设备，包括气浮平台、喷头装置、定位装置以及如上所述的吸附调节装置。

有益效果：

本申请在将所述基板传输到初始位置之后，所述吸附结构吸附住所述基板，防止基板产生偏移，再根据所述检测结构检测到的信息将基板调整到一个精确的位置和水平的状态，方便后续加工工序的对位，降低次品率，提高基板的生产良率；然后所述第一调节结构和第二调节结构对第二固定板进行调节，来对吸附结构进行调节，进而调整基板的位置，通过间接的调节方式，使调节过程更加平稳，防止基板和吸附结构脱离。

附图说明

所包括的附图用来提供对本申请实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本申请的实施方式，并与文字描述一起来阐释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：

图1是本申请的一实施例的一种喷墨打印设备的示意图；

图2是本申请的一实施例的一种吸附调节装置的结构的示意图；

图3是本申请的又一实施例的一种吸附调节装置的结构的示意图。

其中，1、基板；2、第二固定板；3、第一固定板；4、固定立板；5、微调机构；6、电荷耦合元件；9、电机；10、挠性弹片；11、调节螺栓；12、固定座；13、吸附结构；14、浮动轴组件；15、位移传感器；16、移动导轨；17、定位装置；100、吸附调节装置；200、喷墨打印设备；210、气浮平台；220、喷头装置。

具体实施方式

需要理解的是，这里所使用的术语、公开的具体结构和功能细节，仅仅是为了描述具体实施例，是代表性的，但是本申请可以通过许多替换形式来具体实现，不应被解释成仅受限于这里所阐述的实施例。

在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示相对重要性，或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，除非另有说明，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征；“多个”的含义是两个或两个以上。术语“包括”及其任何变形，意为不排他的包含，可能存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。

另外，“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系的术语，是基于附图所示的方位或相对位置关系描述的，仅是为了便于描述本申请的简化描述，而不是指示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，或是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

本申请是通过喷墨打印技术来生产oled显示面板。

下面参考附图和可选的实施例对本申请作进一步说明。

如图1所示，本申请实施例公开了一种喷墨打印设备200，包括定位装置17、气浮平台210、喷头装置220和基板1的吸附调节装置100，所述吸附调节装置100设置于气浮平台210一侧，带动所述基板1在所述气浮平台210上移动到喷头装置220处进行喷墨打印。如图2所示，所述基板1的吸附调节装置100包括第一固定板3、第二固定板2、吸附结构13、检测结构、第一调节结构和第二调节结构；所述第一固定板3为固定的；所述第二固定板2活动连接于所述第一固定板3；所述吸附结构13设置于所述第二固定板2上，用于吸附所述基板1；所述检测结构设置于所述第二固定板2，用于检测所述基板1所处的位置；所述第一调节结构连接于所述第一固定板3与所述第二固定板2之间，调节所述吸附结构13的工作面与所述基板1的输送方向的夹角；所述第二调节结构连接于所述第一固定板3与所述第二固定板2之间，调节所述吸附结构13的水平度；所述第一调节结构和第二调节结构根据所述检测结构所检测到的所述基板1的位置信息，对所述基板1进行调节。其中，所述基板1为玻璃基板；所述第一固定板3通过固定立板4固定。

本申请在将所述基板1传输到初始位置之后，所述吸附结构13吸附住所述基板1，防止基板1产生偏移，再根据所述检测结构检测到的信息将基板1调整到一个精确的位置和水平的状态，方便后续加工工序的对位，降低次品率，提高基板1的生产良率；然后所述第一调节结构和第二调节结构对第二固定板2进行调节，来对吸附结构13进行调节，进而调整基板1的位置，通过间接的调节方式，使调节过程更加平稳，防止基板1和吸附结构13脱离。

具体的，所述玻璃基板先输送到气浮平台，然后通过所述定位装置17将所述玻璃基板推到所述吸附结构13上，所述吸附结构13将所述玻璃基板吸附之后进行调整。所述气浮平台可以使玻璃基板浮起到空中，玻璃基板在移动的过程中不需要与平台接触，大大减少显示面板与平台的划擦伤、玻璃基板跑偏或着破碎的问题，不会产生粉尘，而且由于气体一直吹着，玻璃基板上不易附着粉尘，大大提高显示面板的生产良率。所述吸附结构13采用真空吸附，可以无损伤的吸附住玻璃基板，吸附区域为玻璃基板的边缘，类似于细长条，单侧接触使得玻璃基板不会变形。气浮平台输送的方向为y轴方向。

该吸附调节装置100的调节包括两部分，一个是吸附结构13的水平度调节，另一个是吸附结构13与y轴的平行度调节。

在一实施例中，所述第一调节结构对称设置于所述吸附结构13的两端对应的位置，使得对吸附结构13两端的调整更为均匀，方便于调控。所述第一调节结构包括固定座12和电机9，所述固定座12和电机9各有两个，一个电机9和一个固定座12配合使用，所述固定座12固定于所述第一固定板3，位于所述吸附结构13的两侧位置；所述电机9固定于所述固定座12上，电机9的输出端通过l型的隔板与所述第二固定板2连接；电机9通过l型板与第二固定板2连接，具体的，所述电机9为音圈电机。电机9伸缩的方向为x轴。一方面，由于第二固定板2比较大，l型板可以增大电机9与第二固定板2的接触面积，分散受力，使受力更为均匀，另一方面，由于第二固定板2是活动连接于第一固定板3的，电机9对第二固定板2的作用面积太小的话，在推或拉玻璃基板的过程中就容易使第二固定板2产生偏移，从而使得定位好的玻璃基板产生偏移，现在通过长度和第二固定板2厚度相同的l型板来传导推拉的力，使得第二固定板2受力均匀，运动过程中更为平稳，调节更为准确。通过吸附结构13两端的音圈电机配合工作，可以两端的音圈电机同步向外伸或向内缩，使玻璃基板向x轴平移一段距离，使玻璃基板到达预定的位置；或者，可以两端的音圈电机分别伸缩，使玻璃基板稍微转动，调节玻璃基板与y轴的夹角，使玻璃基板与y轴平行。

所述第一调节结构还包括位移传感器15，固定于所述第二固定板2上，位置与所述固定座12相对应；所述固定座12包括光栅，设置于与所述位移传感器15相邻的面上，位置与所述位移传感器15相对应。位移传感器15通过贴合在固定座12上的高精度光栅，准确读取各个音圈电机的输出位移，控制玻璃基板的平移距离或转动角度，最终将玻璃基板限制在允许误差范围内，实现精确定位，使得玻璃基板与y轴平行，方便后续加工工序的对位，降低次品率，提高基板1的生产良率。

在一实施例中，所述第二调节结构包括挠性弹片10、浮动轴组件14和调节螺栓11，所述挠性弹片10固定于所述第二固定板2的中心位置；所述浮动轴组件14与所述第一固定板3和所述挠性弹片10连接，所述挠性弹片10嵌入所述浮动轴组件14中，与所述浮动轴组件14固定；所述调节螺栓11穿过所述第二固定板2抵在所述第一固定板3上，所述调节螺栓11有三个，分别设置于所述吸附结构13的两侧，以及设置于所述挠性弹片10远离所述吸附结构13的一侧的中间对应位置。通过所述挠性弹片10、浮动轴组件14和调节螺栓11的配合，来调节玻璃基板的水平度，拧动所述吸附结构13两侧的调节螺栓11可以使第二固定板2绕x轴转动，即可以调节玻璃基板绕x轴转动，拧动所述挠性弹片10侧的调节螺栓11可以使第二固定板2绕y轴转动，即可以调节玻璃基板绕y轴转动。所述挠性弹片10提供一个回弹的力，始终将所述第二固定板2往初始状态拉紧，防止第二固定板2脱离出第一固定板3，并且将第一固定板3和第二固定板2之间拉紧，减小第二固定板2的晃动，使工作的运动过程更加平稳；调节三个调节螺栓11使玻璃基板调节到水平状态；将挠性弹片10设置在第二固定板2的中心位置，即与挠性弹片10连接的所述浮动轴组件14也设置在第二固定板2的中心位置，使得第二固定板2整块板的受力均匀，在移动的过程中更加平稳，调节更加准确。

进一步地，所述第一固定板3包括移动导轨16，所述第二固定板2与所述移动导轨16配合连接。通过移动导轨16引导所述第二固定板2运动，使所述第二固定板2的移动方向更加精确，防止走偏影响了玻璃基板的定位，保证玻璃基板的定位精确。

在一实施例中，所述检测结构包括微调机构5和电荷耦合元件6（charge-coupleddevice，ccd），所述微调机构5设置于所述第二固定板2上，用于调节所述电荷耦合元件6；所述电荷耦合元件6倒置安装在所述微调机构5上，工作面对着所述基板1，用于扫描所述基板1的位置。所述基板1包括十字标靶，设置于所述基板1的四个角落。通过所述电荷耦合元件6扫描识别出基板1的具体坐标位置，然后再根据扫描出的数据调节基板1的位置，使得基板1的水平度和与y轴的平行度处于预设范围之内，定位更加准确。

所述吸附调节装置100的水平度调节由操作者手动结合设备半自动模式来完成，具体调节方法为：吸附结构13设置两个十字标靶，f1和f2，第二固定板2上设置一个十字标靶f3，x轴滑台上设置高分辨率ccd和距离传感器，用x轴的高分辨率ccd定位十字标靶f1、f2和f3，得到其在xy坐标系内的位置posi(f1)、posi(f2)和posi(f3)，根据十字标靶位置posi(f1)、posi(f2)和posi(f3)，调用x轴滑台上的距离传感器得到十字标靶的高度z(f1)、z(f2)和z(f3)，以min{z(f1)，z(f2)，z(f3)}最小高度值为基准，调节调节螺栓11，反复多次最终让基板1的水平度在允许误差范围内。

所述吸附调节装置100与y轴平行度调节通过控制系统自动完成，具体调节方法为：x轴滑台上的高分辨率ccd定位吸附结构13上的十字标靶f1和f2，得到其在xy坐标系内的位置posi(f1)和posi(f2)，δx=x_posi(f1)-x_posi(f2),δx越小，吸附结构13与y轴平行度就越好，音圈电机联合动作，分别输出位移d1和d2，抵消δx，反复多次，最终使得吸附结构13与y轴平行度在允许误差范围内。计算机控制程序记录下音圈电机最终的位移df1和df2。

玻璃基板落到气浮平台的上料区，机械装置粗定位后，吸附结构13吸住玻璃基板沿着y轴运动，x轴滑台上的高分辨率ccd识别玻璃基板上的十字光标靶，从而确定玻璃基板在xy坐标系内的位置参数，计算出玻璃基板与y轴之夹角α。oled喷墨打印设备200要求喷墨液滴落点精度在微米级，xy轴定位精度要达到亚微米级，同时玻璃基板与y轴夹角α的控制通过一组音圈电机移动来实现，控制精度为毫弧度，只有这样才能保证喷墨液滴准确落入基板1的像素界定槽内。本申请提出的基板1的吸附调节装置100，可实现玻璃基板的无损伤夹持，同时保证纠偏后的玻璃基板所有像素界定槽的位置准确度，从而实现高精度的喷墨打印。

以上内容是结合具体的可选的实施方式对本申请所作的进一步详细说明，不能认定本申请的具体实施只局限于这些说明。对于本申请所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本申请的保护范围。