液滴喷出装置及液滴喷出方法与流程

1.本发明涉及液滴喷出装置及液滴喷出方法。


背景技术：

2.近年来，喷墨印刷技术在工业用工艺中的应用正在进行。例如，用于液晶显示器的滤色器的制造工序是一个例子。作为喷墨印刷技术，以往通常使用通过机械压力或振动喷出液滴的所谓的压电型喷墨头，但是能够喷出更微细的液滴的静电喷出型喷墨头受到关注。在专利文献1中，公开了一种静电喷出型喷墨记录装置。
3.现有技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：日本特开平第10-34967号公报


技术实现要素：

6.本发明所要解决的问题
7.另一方面，在静电喷出型喷墨头中，根据喷嘴前端处的形状，有时不能喷出到规定位置。
8.因此，本发明的目的之一在于将液滴稳定地喷出到对象物的规定位置。
9.解决问题所采用的手段
10.根据本发明的一个实施方式，提供了一种液滴喷出装置，其具有：获取部，其获取具有相对于对象物在第一方向移动而喷出液滴的多个喷嘴的液滴喷出部的信息；和设定部，其基于所获取的所述液滴喷出部的信息，设定所述多个喷嘴的各自的所述液滴的喷出条件。
11.所述液滴喷出装置还具有检查部，所述检查部检查设置在所述液滴喷出部中的喷嘴的形状，并且所述液滴喷出部的信息可以包括所述喷嘴的开口部的信息。
12.所述液滴喷出装置还具有检查部，所述检查部检查从设置在液滴喷出部中的喷嘴喷出的液滴的形状，并且液滴喷出部的信息可以包括与喷出的液滴的形状相关联的信息。
13.在上述液滴喷出装置中，所述液滴喷出部具有喷出第一液滴的第一喷嘴、喷出第二液滴的第二喷嘴，第二喷嘴在与所述第一方向交叉的第二方向上与所述第一喷嘴相邻配置，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴配置在沿所述第二方向延伸配置的结构体上。
14.在上述液滴喷出装置中，在所述第二喷嘴的开口部的中心配置成比所述第一喷嘴的开口部的中心向所述第一方向偏离时，所述设定部可以使所述第二液滴从所述第二喷嘴喷出的开始时间比所述第一液滴从所述第一喷嘴喷出的开始时间早。
15.在上述液滴喷出装置中，当所述第二喷嘴的开口部比所述第一喷嘴的开口部小时，所述设定部也可以使所述第二液滴从所述第二喷嘴喷出的时间比所述第一液滴从所述第一喷嘴喷出的时间长。
16.在上述液滴喷出装置中，当所述第二喷嘴的开口部的中心配置成比所述第一喷嘴
的开口部的中心向所述第二方向偏离时，所述设定部也可以将从所述第二喷嘴喷出所述第二液滴的开始时间设定在从所述第一喷嘴喷出所述第一液滴的结束时间之后。
17.在上述液滴喷出装置中，也可以具有与所述液滴喷出部不同的第二液滴喷出部，所述第二液滴喷出部根据所述液滴喷出部的信息喷出液滴。
18.根据本发明的一个实施方式，提供了一种液滴喷出方法，其检查相对于对象物在第一方向上移动以喷出液滴的液滴喷出部，获取所述检查的液滴喷出部的信息，并基于所述获取的所述液滴喷出部的信息来设置所述液滴的喷出条件。
19.在上述液滴喷出方法中，检查的液滴喷出部的信息可以包括设置在液滴喷出部中的喷嘴的开口部的信息。
20.在上述液滴喷出方法中，所述检查液滴喷出部的信息可以包括与从设置在所述液滴喷出部中的喷嘴喷出的所述液滴的形状相关联的信息。
21.在上述液滴喷出方法中，设置在上述液滴喷出部上的上述喷嘴为多个,并可以具有喷出第一液滴的第一喷嘴和喷出第二液滴的第二喷嘴，所述第二喷嘴在与所述第一方向交叉的第二方向上与所述第一喷嘴相邻配置，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴配置在沿所述第二方向延伸配置的结构体上。
22.在上述液滴喷出方法中，也可以在所述第二喷嘴的开口部的中心配置成比所述第一喷嘴的开口部的中心向所述第一方向偏离时，使从所述第二喷嘴喷出所述第二液滴的开始时间比从所述第一喷嘴喷出所述第一液滴的开始时间早。
23.在上述液滴喷出方法中，也可以在所述第二喷嘴的开口部比所述第一喷嘴的开口部小时，使从所述第二喷嘴喷出所述第二液滴的时间比从所述第一喷嘴喷出所述第一液滴的时间长。
24.在上述液滴喷出方法中，也可以在所述第二喷嘴的开口部的中心配置成比所述第一喷嘴的开口部的中心向所述第二方向偏离时，将从所述第二喷嘴喷出所述第二液滴的开始时间设定在所述第一喷嘴喷出所述第一液滴的结束时间之后。
25.发明效果
26.通过使用本发明的一个实施方式，液滴可以稳定地喷出到对象物的规定位置。
附图说明
27.图1是本发明的一个实施方式的液滴喷出装置的示意图。
28.图2是本发明的一个实施方式的液滴喷出部的俯视图和喷嘴的开口部的放大图。
29.图3是本发明的一个实施方式的液滴喷出方法的流程图。
30.图4是本发明的一个实施方式的喷嘴的开口部的放大图。
31.图5是示出本发明的一个实施方式的液滴喷出方法的喷出时间与电压之间的关系的示意图。
32.图6是本发明的一个实施方式的喷嘴的开口部的放大图。
33.图7是示出本发明的一个实施方式的液滴喷出方法的喷出时间与电压之间的关系的示意图。
34.图8是本发明的一个实施方式的喷嘴的开口部的放大图。
35.图9是示出本发明的一个实施方式的液滴喷出方法的喷出时间与电压之间的关系
的示意图。
36.图10是通过本发明的一个实施方式的液滴喷出方法形成的图案的俯视图。
37.图11是本发明的一个实施方式的液滴喷出装置的示意图。
38.图12是本发明的一个实施方式的液滴喷出装置的示意图。
39.图13是在不校正液滴喷出条件的情况下形成的图案的俯视图。
具体实施方式
40.下面，参照附图对本技术所公开的发明的各实施方式进行说明。但是，本发明可以在不脱离其主旨的范围内以各种方式来实施，不限于以下例示的实施方式的记载内容来解释。
41.另外，在本实施方式中参照的附图中，对相同部分或具有相同功能的部分赋予相同的符号或类似的符号(仅在数字后面赋予a、b等的符号)，有时省略其重复的说明。另外，为了便于说明，有时附图的尺寸比率不同于实际比率，或者从附图中省略构成的一部分。
42.此外，在本发明的详细描述中，当规定某个构成物与其他构成物之间的位置关系时，“上”和“下”不仅包括某个构成物正上方或正下方的情况，除非另有说明，还包括其他构成物进一步介于中间的情况。
43.《第一实施方式》
44.(1-1.液滴喷出装置100的结构)
45.图1是本发明的一个实施方式的液滴喷出装置100的示意图。
46.液滴喷出装置100包括控制部110、存储部115、电源部120、驱动部130、液滴喷出部140、检查部150和对象物保持部160。
47.控制部110包括cpu(central processing unit，中央处理器)、asic(application specific integrated circuit，应用型专用集成电路)、fpga(field programable gate array，现场可编程门阵列)或其他运算处理电路。控制部110使用预先设定的液滴喷出用程序来控制液滴喷出部140的喷出处理。
48.存储部115具有作为存储液滴喷出用程序以及液滴喷出用程序中使用的各种信息的数据库的功能。存储部115使用存储器、hdd(hard disk drive，硬盘驱动器)、ssd(solid state drive，固态驱动器)或其他可存储的元件。
49.电源部120与控制部110、驱动部130和液滴喷出部140连接。电源部120基于从控制部110输入的信号，向液滴喷出部140施加电压。在该示例中，电源部120在固定周期内向液滴喷出部140施加脉冲状的电压。另外，不限于脉冲电压，也可以始终施加固定的电压。
50.驱动部130由电动机、带及齿轮等驱动部件构成。驱动部130基于来自控制部110的指示，使液滴喷出部140(更具体地说，后述的喷嘴141)相对于对象物200向一个方向(该示例中为第一方向d1)移动。
51.液滴喷出部140将液滴147喷出到对象物200。在该示例中，液滴147从垂直于对象物200的方向d3喷出。液滴喷出部140包括喷嘴141和墨盒(未图示)。喷嘴141使用静电喷出型的喷墨喷嘴。因此，可以认为液滴喷出部140是静电喷出型的喷墨头。
52.图2(a)是液滴喷出部140的俯视图。图2(b)是喷嘴141的放大图。在该示例中，液滴喷出部140包括多个喷嘴141(喷嘴141-1、喷嘴141-2、喷嘴141-3、喷嘴141-4和喷嘴141-5)
和结构体142。喷嘴141-1、喷嘴141-2、喷嘴141-3、喷嘴141-4和喷嘴141-5分别等间隔地配置于结构体142。喷嘴141可以焊接于结构体142，也可以通过粘接剂固定。喷嘴141-1、喷嘴141-2、喷嘴141-3、喷嘴141-4及喷嘴141-5在无需特别限定的情况下，作为喷嘴141进行说明。
53.返回到图1进行说明。结构体142在与扫描液滴喷出部140的方向(第一方向d1)交叉(在该示例中为正交)的方向，即第二方向d2上延伸。因此，多个喷嘴141能够在第二方向d2上排列。在该示例中，结构体142设置为板状。结构体142设置有每个喷嘴141的流路，使得储存在墨盒中的液体从各喷嘴141作为液滴147喷出。此外，结构体142可以根据用途适当地形成为最佳形状。如图2所示，优选的是，喷嘴141前端处的开口部141a的内径为数百nm以上20μm以下，优选为1μm以上15μm以下，更优选为5μm以上12μm以下。
54.喷嘴141具有玻璃管，电极145设置在玻璃管的内部。在该示例中，电极145使用钨的细线。另外，电极145不限于钨，也可以设置镍、钼、钛、金、银、铜、铂等。
55.喷嘴141的电极145与电源部120电连接。通过从电源部120施加到喷嘴141的内部和电极145的电压(在该示例中为1000v)，储存在墨盒中的液体(墨水)从喷嘴141的开口部141a作为液滴147喷出。由液滴147形成的液滴(图案)的形状由从电源部120施加的电压控制。
56.液滴147使用粘度高的材料。具体地说，液滴147使用含有颜料的图案形成用的墨水。液滴147可以含有导电颗粒。在液滴喷出部140设置有静电喷出型喷墨头，并且通过从电源部120施加的电压来控制喷出量。液滴147的喷出量优选为0.1fl以上100pl以下。此时形成的图案尺寸为100nm以上500μm以下。
57.检查部150检查各喷嘴141的开口部141a的形状。在该示例中，检查部150使用包括透镜等光学元件、显示器等显示装置以及摄像元件的光学显微镜。作为检查对象的喷嘴141与光学显微镜相对配置。检查部150以具有按照预先存储在存储部115中的设计值形成的开口部的喷嘴141的图像为基准，拍摄喷嘴141的图像。由检查部150检查的喷嘴141的开口部141a的信息存储在存储部115中。
58.对象物保持部160具有保持对象物200的功能。在该示例中，对象物保持部160使用载物台。对象物保持部160保持对象物200的机构没有特别限制，使用一般的保持机构。在该示例中，对象物200被真空吸引到对象物保持部160。另外，不限于此，对象物保持部160也可以使用固定工具来保持对象物200。
59.对象物200是指被喷出液滴147的部件。在该示例中，对象物200使用玻璃板。另外，对象物200不限于玻璃板。例如，可以是金属板，也可以是有机树脂部件。此外，可以在对象物200上形成金属布线或有机树脂部件。此外，也可以在对象物200上设置液滴喷出用的对置电极。
60.此外，在本实施方式中，控制部110具有获取部111和设定部113作为软件的内部配置。
61.获取部111获取喷嘴141的信息。在该示例中，由检查部150检查的喷嘴141的前端处的开口部141a的信息存储在存储部115中。因此，获取部111从存储部115获取喷嘴141的前端处的开口部141a的信息。此时，获取部111通过接收喷嘴141的前端处的开口部141a的信息来获取。
62.设定部113基于由获取部111获取的喷嘴141的信息来设定液滴147的喷出条件。在该示例中，设定部113根据后述的喷嘴141的开口部141a的中心位置、开口部141a的内径等信息，校正事先设定的喷出条件，重新设定对象物200的各喷出位置的喷出开始时间、喷出结束时间和施加到电极145的电压。
63.(1-2.液滴喷出方法)
64.接着，使用附图对液滴喷出方法进行说明。图3是示出本实施方式中的液滴喷出方法的流程图。以下，对开口部的形状不同的各个情况进行说明。
65.(1-2-1.开口部的内径不同时的液滴喷出方法)
66.下面，说明喷嘴141的前端处的开口的内径不同时的液滴喷出方法。首先，获取部111获取喷嘴141前端处的开口部141a的信息(s110)。由检查部150事先检查开口部141a的信息。在该示例中，喷嘴配置在设定为检查用的规定位置。作为检查对象的喷嘴141的前端配置成与检查部150相对且具有规定的距离。检查部150以具有按照预先存储在存储部115中的设计值形成的开口部141a的喷嘴141的图像为基准，拍摄各喷嘴141的开口部141a。此时，以喷嘴141的中央部位于图像的中心的方式进行拍摄。因此，在具有按照设计值形成的开口部141a的喷嘴141的情况下，喷嘴141的中心部与开口部141a的中心重叠。检查后的喷嘴141的开口部141a的信息存储在存储部115中。
67.图4是检查后的开口部141a的信息的一例。图4(a)是喷嘴141a的放大图。在图4(a)中，开口部141aa的内径d141aa与设计值d141za相同。图4(b)是喷嘴141b的放大图。在图4(b)中，开口部141ba的内径d141ba大于设计值d141za。图4(c)是喷嘴141c的放大图。在图4(c)中，开口部141ca的内径d141ca大于设计值d141za。
68.接着，设定部113将由获取部111获取的开口部141a的内径与设计值进行比较(s120)。此时，设定部113对开口部141a从设计值偏移了何种程度进行运算处理。此时，也可以使用在检查部150中拍摄的图像适当地进行图像处理。
69.接着，设定部113使用根据上述检查的开口部141a的内径和设计值计算出的结果，设定液滴147从喷嘴141的喷出条件(s130)。在该示例中，设定部113校正液滴从以事先设定的设计值形成的开口部141a的喷出条件，重新设定液滴147在对象物200的各喷出位置的喷出开始时间、喷出结束时间、施加到电极145的电压。
70.图5是示出本实施方式中的液滴147的喷出时间与施加到电极145的电压之间的关系的示意图。例如，喷嘴141中的喷嘴141-1的开口部141-1a的内径大于以设计值形成的喷嘴141z(相当于喷嘴141b)，喷嘴141-2的开口部141-2a的内径小于以设计值形成的喷嘴141z(相当于喷嘴141c)。此时，如图5所示，设定部113设定喷出条件，使得喷嘴141-2的液滴喷出时间长于喷嘴141-1的液滴喷出时间(s130)。此外，此时，设定部113也可以使喷出时施加到喷嘴141-2的电极145的电压大于施加到喷嘴141-1的电极145的电压。设定部113对于其他喷嘴141也同样地设定喷出条件。
71.最后，通过控制部110和驱动部130移动到在液滴喷出装置100中准备的对象物200上。液滴喷出部140基于由设定部113设定的喷出条件，从各喷嘴141喷出固定量的液滴(s140)。如上所述，即使在开口部141a的内径不同的情况下，针对每个喷嘴141校正喷出条件，以获得最佳喷出条件，从而喷出相同量的液滴。
72.(1-2-2.当开口部在扫描方向上偏移时的液滴喷出方法)
73.接着，说明开口部141a的内径相同，但开口部141a在作为液滴喷出部140的移动方向的第一方向d1偏移时的液滴喷出方法。另外，适当省略与上述相同的记载进行说明。
74.首先，获取部111获取喷嘴141的开口部141a的信息(s110)。图6是检查后的开口部141a的中心的位置信息的一示例。图6(a)是喷嘴141d的放大图。在图6(a)中，开口部141da的中心位置c141da比设计值的中心c141za向第一方向d1位移了δ151da。图6(b)是喷嘴141e的放大图。在图6(b)中，开口部141ea的中心c141ea比设计值的中心位置c141za向第一方向d1的相反方向位移了δ141ea。
75.接着，设定部113将获取的开口部141a的中心位置与设计值的中心位置进行比较(s120)。此时，设定部113对检查后的开口部141a的中心从设计值的中心偏移了何种程度进行运算处理。
76.接着，设定部113使用上述检查后的开口部141a的中心的位置信息及设计值的中心的位置信息进行了比较运算的结果，设定液滴147从喷嘴141的喷出条件(s130)。在该示例中，设定部113通过根据以事先设定的设计值形成的开口部141a的喷出条件来进行校正，重新设定在对象物200的各喷出位置处的喷出开始时间、喷出结束时间。
77.图7是示出本实施例中的放电时间与电压之间的关系的示意图。例如，在喷嘴141中，喷嘴141-1的开口部141-1a的中心比以设计值形成的喷嘴141z的开口部的中心向第一方向d1的相反侧偏移地配置(相当于喷嘴141e)，喷嘴141-2的开口部141-2a的中心比以设计值形成的喷嘴141z的开口部的中心向第一方向d1偏移地配置(相当于喷嘴141d)。此时，如图7所示，设定部113设定喷出条件，使得喷嘴141-2的液滴喷出开始时间早于喷嘴141-1的液滴喷出开始时间(s130)。另外，此时，设定部113也可以使喷出时施加到喷嘴141-2的电极145的电压和施加到喷嘴141-1的电极145的电压固定。此外，设定部113也可以设定液滴喷出部140的位置的变动量，并且驱动部130能够基于该信息使液滴喷出部140的位置位移。设定部113也可以适当地设定其他喷嘴141的喷出条件。在该示例中，在图7中，从各喷嘴141的喷出时间部分地重叠。
78.最后，液滴喷出部140基于由设定部113设定的喷出条件，从各喷嘴141喷出固定量的液滴(s140)。由此，即使当开口部141a的中心向液滴喷出部140的移动方向或相反方向偏移时，也能够喷出规定位置的液滴。
79.在图7中，虽然从各个喷嘴141的喷出时间部分重叠，但是也可以不一定重叠。
80.(1-2-3.当开口部在与扫描方向交叉的方向上偏移时的液滴喷出方法)
81.接着,说明开口部141a的内径相同，但开口部141a的中心在与液滴喷出部140的移动方向(第一方向d1)交叉的方向(第二方向d2)上偏离时的液滴喷出方法。另外，适当省略与上述相同的记载进行说明。
82.接着，获取部111获取喷嘴141的开口部141a的信息(s110)。图8是检查后的开口部141a的中心的位置信息的一示例。图8(a)是喷嘴141f的放大图。在图8(a)中，开口部141fa的中心位置c141fa比设计值的中心c141za向第二方向d2的相反方向位移。图8(b)是喷嘴141g的放大图。在图8(b)中，开口部141ga的中心c141ga比设计值的中心c141za向第二方向d2位移。
83.接着，设定部113将获取的开口部141a的中心位置与设计值的中心位置进行比较(s120)。此时，设定部113对检查后的开口部141a的中心从设计值的中心偏移何种程度进行
运算处理。
84.截止，设定部113使用根据上述检查后的开口部141a的中心的位置信息和设计值的中心的位置信息计算出的结果，设定喷嘴141的喷出条件(s130)。在该示例中，设定部113根据以事先设定的设计值形成的开口部141a中的喷出条件进行校正，重新设定在对象物200的各喷出位置处的液滴147的喷出开始时间和喷出结束时间。
85.图9是示出本实施方式的液滴147的喷出时间与施加到电极145的电压之间的关系的示意图。例如，喷嘴141中喷嘴141-1的前端处的开口部141-1a的中心比以设计值形成的喷嘴141z的前端处的开口部的中心c141za配置在更向第二方向d2(相当于喷嘴141g)的位置，喷嘴141-2的开口部141-2a的中心比以设计值形成的喷嘴141z的前端处的开口部的中心c141za配置在更向第二方向d2的相反侧(相当于喷嘴141f)的位置。此时，如图9所示，设定部113设定喷出条件，使得喷嘴141-2的液滴喷出开始时间在喷嘴141-1的液滴喷出结束时间之后(s130)。此时，设定部113设定液滴喷出部140的位置的变动量。驱动部130能够基于该信息，使液滴喷出部140的位置移动。具体地说，在从喷嘴141-1喷出液滴之前，喷嘴141的位置通过驱动部130移动δ141ga。接着，设定喷出条件，使得在从喷嘴141-1喷出液滴之后，喷嘴141的位置通过驱动部130位移δ141fa和δ141ga的合计量，并且使喷嘴141-2喷出液滴。此时，设定部113也可以使喷出时施加到喷嘴141-2的电极145的电压和施加到喷嘴141-1的电极145的电压固定。设定部113同样地设定其他喷嘴141的喷出条件。
86.最后，液滴喷出部140基于由设定部113设定的喷出条件，从各喷嘴141喷出固定量的液滴(s140)。由此，即使当开口部141a的中心配置成在向扫描方向交叉的方向或在与扫描方向相反的方向偏移时，也能够喷出规定位置的液滴。
87.(1-3.喷出后的图案形状)
88.图10示出液滴喷出后的对象物200的俯视图。作为比较例，如图13所示，在不校正液滴喷出条件的情况下，喷出液滴之后的对象物200的俯视图。如图13所示，在不校正液滴喷出条件的情况下，液滴的喷出偏移或液滴的喷出量不足。另一方面，如图10所示，通过使用本实施方式的液滴喷出装置和液滴喷出方法，即使在开口部141a的内径、中心位置与设计值不同的情况下，也能够进行校正以使喷出条件成为最佳，因此能够在规定位置喷出规定的量的液滴。
89.《第二实施方式》
90.在本实施方式中，对与第一实施方式不同的液滴喷出装置进行说明。更具体地说，说明除了液滴喷出部140之外还设置有新的液滴喷出部的示例。另外，在说明的关系上，适当省略部件进行说明。
91.图11是本发明的一个实施方式的液滴喷出装置100a的示意图。液滴喷出装置100a除了包括控制部110、存储部115、电源部120、驱动部130、液滴喷出部140、检查部150以及对象物保持部160之外，还包括第二液滴喷出部170。
92.第二液滴喷出部170相对于液滴喷出部140配置在第一方向d1的相反方向侧(即，液滴喷出部140的后方)。如图11所示，第二液滴喷出部170在该示例中包括单一的喷嘴171。具体而言，第二液滴喷出部170包括喷嘴171、结构体172以及电极175。另外，第二液滴喷出部170也可以具有与液滴喷出部140同样的形态。第二液滴喷出部170根据检查部150检查出的液滴喷出部140的信息(具体而言是喷嘴141的信息)喷出液滴177。
93.在该示例中，当多个喷嘴141中的一个喷嘴141的开口部被堵塞时，液滴147不从该喷嘴141喷出。因此，在液滴喷出部140喷出的液滴147结束之后，第二液滴喷出部170能够向应当由开口部141a被堵塞的喷嘴141喷出液滴的位置喷出液滴177。
94.通过使用本实施方式，能够对成为喷出不良的位置稳定地喷出液滴。
95.《第三实施方式》
96.在本实施方式中，对与第一实施方式和第二实施方式不同的液滴喷出装置进行说明。具体地，说明液滴喷出装置不包括获取部和设定部，但检查装置一起包括获取部、设定部以及检查部的示例。
97.图12是本发明的一个实施方式的包括液滴喷出装置100b和检查装置300的液滴喷出系统10的示意图。液滴喷出装置100b包括控制部110、存储部115、电源部120、驱动部130、液滴喷出部140和对象物保持部160。
98.检查装置300包括控制部310、存储部315和检查部350。控制部310包括获取部311和设定部313。获取部311具有与获取部111相同的功能。设定部313具有与设定部113相同的功能。
99.在本实施方式的情况下，与第一实施方式不同，在检查装置中，能够根据基准值校正液滴喷出条件。包括通过校正重新设定的液滴喷出条件的信息经由网络nw由液滴喷出装置100b的存储部115接收。另外，包括液滴喷出条件的信息也可以存储在存储介质中并连接到液滴喷出装置100b。通过使用本实施例，可以减轻施加在液滴喷出装置100b上的控制部110的负担，并且作为整个液滴喷出系统，能够将液滴稳定地喷出到规定位置。
100.《变形例》
101.在本发明的思想的范畴内，本领域技术人员能够想到各种变更例和修正例，这些变更例和修正例也属于本发明的范围。例如，本领域技术人员根据需要对上述实施方式中的所述每一个实施方式添加、删除或改变设计，或者添加、省略或改变工序，只要包括本发明的主旨，则也包括在本发明的范围内。
102.在本发明的第一实施方式中，在检查部150中使用了光学显微镜，但并不限定于此。例如，可以使用激光显微镜或扫描电子显微镜等。另外，检查部150也可以不具有作为显微镜的形态，而具有作为摄像装置(照相机)的形态。
103.另外，在本发明的第一实施方式中，对检查喷嘴141的开口部141a的形状的例子进行了说明，但并不限定于此。例如，可以检查喷嘴141的前端的方向，或者可以检查喷嘴141的侧部的形状。
104.另外，在本发明的第一实施方式中，示出了在液滴喷出装置100的内部设置检查部150的例子，但不限于此。检查部150可以设置为与液滴喷出装置不同的装置。在这种情况下，喷嘴141的开口部141a的信息可以从液滴喷出装置100的外部保管在存储部115中。
105.另外，在本发明的第一实施方式中，喷嘴141的开口部141a的信息也可以存储在检查部150中。获取部111也可以经由网络从检查部150获取。
106.喷嘴141的开口部141a的信息除了检查部150之外，还可以存储在连接的hdd及ssd等外部存储装置或外部服务器的存储部中。
107.另外，在本发明的第一实施方式中，示出了通过驱动部130使液滴喷出部140在对象物200上移动的例子，但并不限定于此。例如，在液滴喷出装置中，驱动部130可以使对象
物200移动。在这种情况下，液滴喷出部140可以固定在相同的位置。
108.另外，在本发明的第一实施方式中，对象物200不限于具有平坦表面的基板。对象物200可以是层叠有布线的布线基板。
109.另外，在本发明的第一实施方式中，作为液滴喷出部的信息，示出了检查喷嘴的开口部的例子，但并不限定于此。例如，也可以由检查部150检查在向对象物200喷出之前预先向试验用的基板喷出时的液滴的形状。在这种情况下，检查部150能够检查当液滴喷出到规定位置时液滴的尺寸和位置偏移量。液滴喷出部140的信息可以是与液滴147的形状相关联的信息。获取部111获取喷出结果，设定部113能够设定各喷嘴141的液滴喷出条件。
110.另外，也可以设置与检查部门150不同的新的第二检查部。第二检查部也可以与液滴喷出部140一体化使用。在液滴喷出部140向对象物200喷出液滴147后，第二检查部也可以检查从喷嘴141喷出的液滴的形状。第二检查部也可以具有摄像元件，对喷出结果进行拍摄。另外，也可以由控制部110判断拍摄结果。当判断到喷出不良时，控制部110可以将液滴147再次喷出到不良发生区域。由此，能够抑制液滴喷出不良。另外，也可以在判定喷出不良后，第二液滴喷出部170向喷出不良发生区域喷出。
111.另外，在本发明的第一实施方式中，示出了基于液滴喷出部140的信息，第二液滴喷出部喷出液滴的例子，但并不限定于此。如上所述，基于液滴喷出部140的第一次的液滴喷出结果,液滴喷出部140也可以喷出第二次的液滴。
112.另外，也可以设置与上述检查部150以及第二检查部不同的检查部(第三检查部)。第三检查部也可以检查对象物200的表面状态及液体的粘度等。获取部111能够获取这些信息。设定部113基于所获取的信息，将液体的粘度与作为基准的对象物的表面状态的信息进行比较，并校正喷出条件。由此，可以设定新的液滴喷出条件。
113.附图标记说明
114.100
…
液滴喷出装置，110
…
控制部，111
…
获取部，113
…
设定部，115
…
存储部，120
…
电源部，130
…
驱动部，140
…
液滴喷出部，141
…
喷嘴，141a
…
开口部，145
…
电极，147
…
液滴，150
…
检查部，160
…
对象物保持部，170
…
第二液滴喷出部，171
…
喷嘴，172
…
结构体，175
…
电极，177
…
液滴，200
…
对象物，300
…
检查装置，310
…
控制部，311
…
获取部，313
…
设定部，315
…
存储部，350
…
检查部