气动打点器的三轴精密手动滑台的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种气动打点器的三轴精密手动滑台，包括底座、X轴基座、X轴滑台、Y轴滑台、Z轴基座与Z轴滑台；底座的右侧壁为安装面，且安装面为斜面，在底座上安装有X轴基座，在X轴基座上滑动安装有X轴滑台，在X轴滑台上滑动安装有Y轴滑台，在Y轴滑台上固定有Z轴基座，在Z轴基座上滑动安装有Z轴滑台，Z轴滑台的下壁面为打点器固定面，且打点器固定面为斜面。本实用新型具有结构简单、滑动平稳、功能齐全且操作方便等优点。
【专利说明】
气动打点器的三轴精密手动滑台
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种气动打点器的机构，本实用新型尤其是涉及一种气动打点器的三轴精密手动滑台。
【背景技术】
[0002]在半导体晶元检查时，需要对于不合格晶元进行点墨标识。目前，一般通过装载在工业显微镜上的打点器实现。而在实际生产中，需要对不同产品的不同部位进行标识，这时，就需要将气动打点器精确地平移到指定位置。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种结构简单、滑动平稳、功能齐全且操作方便的气动打点器的三轴精密手动滑台。
[0004]按照本实用新型提供的技术方案，所述气动打点器的三轴精密手动滑台，包括底座、X轴基座、X轴滑台、Y轴滑台、Z轴基座与Z轴滑台；底座的右侧壁为安装面，且安装面为斜面，在底座上安装有X轴基座，在X轴基座上滑动安装有X轴滑台，在X轴滑台上滑动安装有Y轴滑台，在Y轴滑台上固定有Z轴基座，在Z轴基座上滑动安装有Z轴滑台，Z轴滑台的下壁面为打点器固定面，且打点器固定面为斜面。
[0005]在底座上开设有上下两个T型槽，在X轴基座上一体连接有T型凸棱，T型凸棱与T型槽配合。
[0006]所述底座上的安装面与水平面所成的夹角α度数为100?120°。
[0007]所述Z轴滑台上的打点器固定面与水平面所成的夹角β度数为20?40°。
[0008]在Z轴滑台的打点器固定面上开设有内外两排呈一一对应的安装调节孔。
[0009]本实用新型具有结构简单、滑动平稳、功能齐全且操作方便等优点。
【附图说明】
[0010]图1是本实用新型的主视图。
[0011]图2是本实用新型的左视图。
【具体实施方式】
[0012]下面结合具体实施例对本实用新型作进一步说明。
[0013]该气动打点器的三轴精密手动滑台，包括底座1、Χ轴基座2、Χ轴滑台3、Υ轴滑台4、Ζ轴基座5与Z轴滑台6;底座I的右侧壁为安装面1.2，且安装面1.2为斜面，在底座I上安装有X轴基座2，在X轴基座2上滑动安装有X轴滑台3，在X轴滑台3上滑动安装有Y轴滑台4，在Y轴滑台4上固定有Z轴基座5，在Z轴基座5上滑动安装有Z轴滑台6，Ζ轴滑台6的下壁面为打点器固定面6.1，且打点器固定面6.1为斜面。
[0014]在底座I上开设有上下两个T型槽1.1，在X轴基座2上一体连接有T型凸棱2.1，Τ型凸棱2.1与T型槽1.1配合，这样，可以方便地调整X轴基座2的安装高度。
[0015]所述底座I上的安装面1.2与水平面所成的夹角α度数为100?120°。
[0016]所述Z轴滑台6上的打点器固定面6.1与水平面所成的夹角β度数为20?40°。
[0017]在Z轴滑台6的打点器固定面6.1上开设有内外两排呈一一对应的安装调节孔6.2，方便对打点器10的安装位置进行调整。
[0018]本实用新型中，X轴滑台3兼具Y轴基座的功能，使得Y轴滑台4可以沿着X轴滑台3在Y轴移动。
[0019]本实用新型中，X轴滑台3移动时，靠转动X轴旋钮7来实现;Y轴滑台4移动时，靠转动Y轴旋钮8来实现;Z轴滑台6移动时，靠转动Z轴旋钮9来实现;X轴旋钮7、Y轴旋钮8与Z轴旋钮9均为丝杆结构，在X轴滑台3、Υ轴滑台4以及Z轴滑台6上设置螺母结构，旋钮与对应的滑台构成丝杆螺母机构。
【主权项】
1.一种气动打点器的三轴精密手动滑台，包括底座(I)、x轴基座(2)、X轴滑台(3)、Y轴滑台(4)、Ζ轴基座(5)与Z轴滑台(6);其特征是:底座(I)的右侧壁为安装面(1.2)，且安装面(1.2)为斜面，在底座(I)上安装有X轴基座(2)，在X轴基座(2)上滑动安装有X轴滑台(3)，在X轴滑台(3)上滑动安装有Y轴滑台(4)，在Y轴滑台(4)上固定有Z轴基座(5)，在Z轴基座(5)上滑动安装有Z轴滑台(6)，Ζ轴滑台(6)的下壁面为打点器固定面(6.1)，且打点器固定面(6.1)为斜面。2.如权利要求1所述的气动打点器的三轴精密手动滑台，其特征是:在底座(I)上开设有上下两个T型槽(1.1)，在X轴基座(2)上一体连接有T型凸棱(2.1)，Τ型凸棱(2.1)与T型槽(I.I)配合。3.如权利要求1所述的气动打点器的三轴精密手动滑台，其特征是:所述底座(I)上的安装面(1.2)与水平面所成的夹角α度数为100?120°。4.如权利要求1所述的气动打点器的三轴精密手动滑台，其特征是:所述Z轴滑台(6)上的打点器固定面(6.1)与水平面所成的夹角β度数为20?40°。5.如权利要求1所述的气动打点器的三轴精密手动滑台，其特征是:在Z轴滑台(6)的打点器固定面(6.1)上开设有内外两排呈一一对应的安装调节孔(6.2)。
【文档编号】B41J3/407GK205631739SQ201620460644
【公开日】2016年10月12日
【申请日】2016年5月19日
【发明人】陈宏成, 祁云峰
【申请人】无锡联发易创科技有限公司