窗及制造窗的方法与流程

窗及制造窗的方法
1.相关申请的交叉引用
2.本技术要求于2020年12月24日在韩国知识产权局(kipo)提交的第10-2020-0182756号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的全部内容通过引用并入本文中。
技术领域
3.本公开涉及窗及制造窗的方法。


背景技术：

4.显示设备包括显示图像的显示面板和设置在显示面板上以保护显示面板的窗，并且显示面板包括像素和驱动像素的驱动器。
5.保护显示面板免受外部冲击和刮擦的窗包括玻璃或塑料材料。
6.近年来，正在开发折叠或卷曲的柔性显示设备，并且柔性显示设备包括非折叠部分和设置在非折叠部分之间的折叠部分。
7.在折叠部分折叠的情况下，显示设备与折叠部分一起折叠。
8.现在，随着可折叠显示设备的技术发展，需要容易地将窗在折叠部分中折叠的技术。


技术实现要素：

9.本公开提供了应用能够在不使用有害材料的情况下减少处理时间和制造成本的减薄工艺的窗。
10.本公开的实施方式提供了制造窗的方法。制造窗的方法可以包括：提供包括第一非折叠部分、第二非折叠部分以及设置在第一非折叠部分和第二非折叠部分之间的折叠部分的初始窗；以及将激光束向初始窗的折叠部分的前表面照射，以在折叠部分的前表面中形成第一凹槽。第一非折叠部分、第二非折叠部分和折叠部分在初始窗中布置在第一方向上，折叠部分的前表面中限定有在与第一方向相交的第二方向上延伸并且布置在第一方向上的多个第一处理区域，并且激光束在第二方向上向多个第一处理区域中的每个照射至少一次。
11.激光束可以包括co2激光束。
12.激光束可以具有在9μm至11μm的范围内的波长。
13.激光束可以具有在20w至70w的范围内的功率。
14.向多个第一处理区域照射的激光束的功率可以保持均匀。
15.多个第一处理区域可以在第一方向上彼此部分地重叠。
16.激光束可以在第二方向上向多个第一处理区域中的第k个第一处理区域照射，并且可以在第一方向上移动以在第二方向上向多个第一处理区域中的第k+1个第一处理区域照射，其中k是大于0的自然数。
17.该方法还可以包括：将激光束向折叠部分的后表面照射，以在折叠部分的后表面中形成第二凹槽，折叠部分的后表面与折叠部分的前表面相对。折叠部分的后表面中可以限定有在第二方向上延伸并且布置在第一方向上的多个第二处理区域，并且激光束可以在第二方向上向多个第二处理区域中的每个照射至少一次。
18.多个第二处理区域在第一方向上彼此部分地重叠。
19.通过处理第一处理区域和第二处理区域而形成的第一凹槽和第二凹槽可以具有波形图案。
20.多个第一处理区域可以在第一方向上彼此间隔开，并且多个第二处理区域可以在第一方向上彼此间隔开。
21.在平面图中，多个第二处理区域可以与多个第一处理区域重叠。
22.在平面图中，多个第二处理区域可以与多个第一处理区域交替地布置。
23.第一凹槽可以包括由多个第一处理区域形成的多个第一子凹槽，第二凹槽可以包括由多个第二处理区域形成的多个第二子凹槽，多个第一子凹槽可以在第一方向上彼此间隔开，并且多个第二子凹槽可以在第一方向上彼此间隔开。
24.激光束可以在第二方向上向多个第一处理区域中的第k个第一处理区域照射，并且可以在第一方向上移动以在第二方向上向多个第一处理区域中的第k+1个第一处理区域照射，其中k是大于0的自然数，并且向第k个第一处理区域照射的激光束的功率可以不同于向第k+1 个第一处理区域照射的激光束的功率。
25.激光束的功率可以等于或大于第一功率且等于或小于第二功率，第二功率大于第一功率。
26.可以将具有第一功率的激光束向多个第一处理区域中的设置在最外侧位置处的第一处理区域照射，并且可以将具有第二功率的激光束向多个第一处理区域中的设置在中央部分处的第一处理区域照射。
27.激光束的功率可以从设置在最外侧位置处的第一处理区域到设置在中央部分处的第一处理区域从第一功率逐渐改变到第二功率。
28.多个第一处理区域中的第k个第一处理区域可以包括布置在第二方向上并且彼此间隔开的多个第一子处理区域，其中k是大于0的自然数，并且激光束可以向多个第一子处理区域照射至少一次，以使得第一凹槽包括点型的第一子凹槽。
29.限定在第一凹槽中的底表面可以是曲形表面或平坦表面。
30.本公开的实施方式提供了窗，窗包括第一非折叠部分、第二非折叠部分和折叠部分，折叠部分设置在第一非折叠部分和第二非折叠部分之间并且设置有分别形成在折叠部分的前表面和后表面中的第一凹槽和第二凹槽。第一非折叠部分和第二非折叠部分以及折叠部分可以布置在第一方向上，并且第一凹槽和第二凹槽中的每个可以包括多个子凹槽，多个子凹槽在与第一方向相交的第二方向上延伸并且布置在第一方向上以形成波形图案。
31.折叠部分的厚度可以等于或小于第一非折叠部分的厚度和第二非折叠部分的厚度的三分之二。
32.本公开的实施方式提供了制造窗的方法。制造窗的方法可以包括：提供包括第一非折叠部分、第二非折叠部分以及设置在第一非折叠部分和第二非折叠部分之间的折叠部分的初始窗；以及将激光束向初始窗的折叠部分的前表面照射，以在折叠部分的前表面中
形成第一凹槽。第一非折叠部分、第二非折叠部分和折叠部分在初始窗中布置在第一方向上，折叠部分的前表面中限定有彼此部分地重叠的多个第一处理区域，激光束依次向多个第一处理区域照射。
33.本公开的实施方式提供了制造窗的方法。制造窗的方法可以包括：提供包括第一非折叠部分、第二非折叠部分以及设置在第一非折叠部分和第二非折叠部分之间的折叠部分的初始窗；以及将激光束向初始窗的折叠部分的前表面照射，以在折叠部分的前表面中形成第一凹槽。第一非折叠部分、第二非折叠部分和折叠部分在初始窗中布置在第一方向上，折叠部分的前表面中限定有在与第一方向相交的第二方向上延伸并且布置在第一方向上的多个第一处理区域，并且激光束向折叠部分的整个部分照射至少一次，并且当在第二方向上观察时，第一凹槽可以具有四边形形状或椭圆形形状。
34.根据上述内容，由于窗的非折叠部分具有相对大的厚度，因此非折叠部分中强度和表面质量被改善。由于窗的折叠部分具有相对小的厚度，因此窗容易地在折叠部分中折叠。
35.激光束用于使窗的折叠部分变薄，并且因此，省略了蚀刻折叠部分的化学蚀刻工艺。由于在制造工艺中不使用有害物质，因此包括产品和工艺的环境是安全的，并且缩短了工艺时间。使用与皮秒激光束或飞秒激光束相比成本相对低的co2激光束，并且降低了制造成本。
附图说明
36.当结合附图考虑时，通过参考以下详细描述，本公开的上述和其它优点将变得显而易见，在附图中：
37.图1是示意性地示出根据本公开的实施方式的包括窗的显示设备的立体图；
38.图2是示意性地示出图1中所示的显示设备的折叠状态的立体图；
39.图3是示意性地示出根据本公开的实施方式的包括窗的显示设备的立体图；
40.图4是示意性地示出图3中所示的显示设备的折叠状态的立体图；
41.图5是沿图1中所示的线i-i’截取的示意性剖视图；
42.图6是示意性地示出图5中所示的显示面板的剖视图；
43.图7是示意性地示出根据本公开的实施方式的窗中限定的第一处理区域的立体图；
44.图8a至图8c是示意性地示出由激光束处理的窗的第一处理区域的视图；
45.图9a和图9b是示意性地示出由激光束处理的窗的视图；
46.图10是示意性地示出通过处理第一处理区域而形成的第一凹槽的视图；
47.图11是示意性地示出由激光束处理的窗的第二处理区域的视图；
48.图12是示意性地示出通过处理第一处理区域和第二处理区域形成的第一凹槽和第二凹槽的视图；
49.图13a至图13d是示意性地示出根据本公开的实施方式的窗的视图；
50.图14是示意性地示出根据本公开的实施方式的窗的视图；
51.图15是示意性地示出根据本公开的实施方式的窗的视图；
52.图16a至图16c是示意性地示出根据本公开的实施方式的窗的视图；以及
53.图17a和图17b是示意性地示出根据本公开的实施方式的窗的视图。
具体实施方式
54.在本公开中，应当理解，当元件或层被称为在另一元件或层“上”、“连接到”或“联接到”另一元件或层时，它可以直接在该另一元件或层上、直接连接到或直接联接到该另一元件或层，或者可以存在居间的元件或层。相反，当元件或层被称为“直接在另一元件或层上”、“直接连接到”或“直接联接到”另一元件或层时，不存在居间的元件或层。
55.相同的附图标记始终表示相同的元件。在附图中，为了有效地描述技术内容，可以夸大组件的厚度、比率和尺寸。
56.如本文中所使用的，术语“和/或”包括相关所列项目中的一个或多个的任何和所有组合。
57.应当理解，尽管术语第一、第二等在本文中可用于描述各种元件，但这些元件不应受到这些术语的限制。这些术语仅用于将一个元件与另一元件区分开。因此，在不背离本公开的教导的情况下，下面讨论的第一元件可以被称为第二元件。如本文中所使用的，单数形式“一个”、“一种”和“该”旨在也包括复数形式，除非上下文另外清楚地指示。
58.为了易于描述，可以在本文中使用诸如“以下”、“下方”、“下”、“上方”、“上”等空间相对术语来描述如附图中所示的一个元件或特征与另一(些)元件或特征的关系。
59.出于其含义和解释的目的，短语
“……
中的至少一个”旨在包括“从
……
的组中选择的至少一个”的含义。例如，“a和b中的至少一个”可以理解为意指“a、b或者a和b”。
60.除非本文中另有定义或暗示，否则本文中使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本公开所属领域的普通技术人员通常理解的相同的含义。还应理解，诸如在常用词典中定义的那些术语应被解释为具有与它们在相关技术和本公开的上下文中的含义一致的含义，并且不应以理想的或过于正式的含义进行解释，除非在本文中明确地如此定义。
61.还应当理解，当在本说明书中使用时，术语“包括(include)”、“包括(comprise)”、“具有(have)”和/或它们的变型指定所陈述的特征、整数、步骤、操作、元件和/或组件的存在，但不排除一个或多个其它特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或其组的存在或添加。
62.在下文中，将参考附图详细解释本公开。
63.图1是示出根据实施方式的包括窗的显示设备dd的示意性立体图，并且图2是示出图1中所示的显示设备dd的折叠状态的示意性立体图。
64.参照图1，根据实施方式的显示设备dd可以具有由在第一方向 dr1上延伸的长边和在与第一方向dr1相交的第二方向dr2上延伸的短边限定的矩形形状。然而，显示设备dd的形状不限于矩形形状，并且显示设备dd可以具有各种形状，诸如圆形形状和多边形形状。显示设备dd可以是柔性显示设备。
65.在下文中，基本上垂直于由第一方向dr1和第二方向dr2限定的表面的方向可以被称为第三方向dr3。在本公开中，表述“当在平面图中观察时”可以表示在第三方向dr3上观察的状态。
66.显示设备dd可以包括折叠部分fa以及非折叠部分nfa1和 nfa2。非折叠部分nfa1和nfa2可以包括第一非折叠部分nfa1和第二非折叠部分nfa2。折叠部分fa可以设置在第一
非折叠部分nfa1 和第二非折叠部分nfa2之间。第一非折叠部分nfa1、折叠部分fa 和第二非折叠部分nfa2可以布置在第一方向dr1上。
67.在实施方式中，作为示例示出了折叠部分fa以及两个非折叠部分nfa1和nfa2，然而，折叠部分fa的数量以及非折叠部分nfa1 和nfa2的数量不限于此或受此限制。例如，显示设备dd可以包括两个以上的非折叠部分以及设置在非折叠部分之间的折叠部分。
68.显示设备dd的上表面可以被称为显示表面ds，并且可以是由第一方向dr1和第二方向dr2限定的平面。由显示设备dd生成的图像im可以通过显示表面ds提供给用户。
69.显示表面ds可以包括显示区域da和在显示区域da周围的非显示区域nda。显示区域da显示图像，并且非显示区域nda不显示图像。非显示区域nda围绕显示区域da并限定显示设备dd的由预定颜色印刷的边缘。
70.参照图2，显示设备dd可以是但不限于折叠或展开的可折叠显示设备。折叠部分fa可以绕基本上平行于第二方向dr2的折叠轴fx 折叠，并且因此，显示设备dd可以折叠。折叠轴fx可以定义为基本上平行于显示设备dd的短边的短轴。
71.在显示设备dd折叠的情况下，第一非折叠部分nfa1和第二非折叠部分nfa2彼此面对，并且因此，显示设备dd可以向内折叠(内折叠)，使得显示表面ds不暴露于外部。
72.图3是示意性地示出根据实施方式的包括窗的显示设备dd_1的立体图，并且图4是示意性地示出图3中所示的显示设备dd_1的折叠状态的立体图。
73.除了折叠操作之外，图3中所示的显示设备dd_1可以具有与图1中所示的显示设备dd基本上相似或相同的配置。因此，下面将主要描述显示设备dd_1的折叠操作。
74.参照图3和图4，显示设备dd_1可以包括折叠部分fa’以及非折叠部分nfa1’和nfa2’。非折叠部分nfa1’和nfa2’可包括第一非折叠部分nfa1’和第二非折叠部分nfa2’。折叠部分fa’可以设置在第一非折叠部分nfa1’和第二非折叠部分nfa2’之间。第一非折叠部分 nfa1’、折叠部分fa’和第二非折叠部分nfa2’可以布置在第二方向 dr2上。
75.折叠部分fa’绕基本上平行于第一方向dr1的折叠轴fx’折叠，并且因此，显示设备dd_1可以折叠。折叠轴fx’可以定义为基本上平行于显示设备dd_1的长边的长轴。图1中所示的显示设备dd可以绕短轴折叠，并且图3中所示的显示设备dd_1可以绕长轴折叠。显示设备dd_1可以向内折叠(即，内折叠)，使得显示表面ds不暴露于外部。
76.在下文中，将描述绕短轴折叠的显示设备dd的结构。
77.图5是沿图1中所示的线i-i’截取的示意性剖视图。
78.参照图5，显示设备dd可以包括显示面板dp、输入感测部分isp、抗反射层rpl、窗win、面板保护膜ppf以及第一粘合层al1、第二粘合层al2和第三粘合层al3。
79.显示面板dp可以是柔性显示面板。显示面板dp可以是发光型显示面板，然而，其不应受特别限制。例如，显示面板dp可以是有机发光显示面板或量子点发光显示面板。有机发光显示面板的发光层可以包括有机发光材料。量子点发光显示面板的发光层可以包括量子点或量子棒。在下文中，有机发光显示面板将被描述为显示面板dp的示例。
80.输入感测部分isp可以设置在显示面板dp上。输入感测部分isp 可以包括传感器(未示出)以通过电容方法感测外部输入。当制造了显示面板dp时，输入感测部分isp可以直接制造在显示面板dp上。然而，其不应限于此或受此限制，且输入感测部分isp可在与显示面板dp分开制造之后通过粘合层附接到显示面板dp。
81.抗反射层rpl可以设置在输入感测部分isp上。抗反射层rpl 可以减小从显示设备dd的上方入射在显示面板dp上的外部光的反射比。作为示例，抗反射层rpl可以包括延迟器和/或偏振器。
82.窗win可以设置在抗反射层rpl上。窗win可以保护显示面板 dp、输入感测部分isp和抗反射层rpl免受外部划痕和冲击的影响。
83.面板保护膜ppf可以设置在显示面板dp下方。面板保护膜ppf 可以保护显示面板dp的下部分。面板保护膜ppf可以包括柔性塑料材料，诸如聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)。
84.第一粘合层al1可以设置在显示面板dp和面板保护膜ppf之间。显示面板dp和面板保护膜ppf可以通过第一粘合层al1彼此联接(或连接)。
85.第二粘合层al2可以设置在抗反射层rpl和输入感测部分isp 之间。抗反射层rpl和输入感测部分isp可以通过第二粘合层al2 彼此联接。
86.第三粘合层al3可以设置在窗win和抗反射层rpl之间。窗 win和抗反射层rpl可以通过第三粘合层al3彼此联接。
87.图6是示意性地示出图5中所示的显示面板dp的剖视图。
88.参照图6，显示面板dp可以包括衬底sub、设置在衬底sub上的电路元件层dp-cl、设置在电路元件层dp-cl上的显示元件层 dp-oled以及设置在显示元件层dp-oled上的薄膜封装层tfe。输入感测部分isp可以设置在薄膜封装层tfe上。
89.衬底sub可以包括显示区域da和在显示区域da周围的非显示区域nda。衬底sub可以包括柔性塑料材料。例如，衬底sub可以包括聚酰亚胺(pi)。显示元件层dp-oled可以设置在显示区域da 中。
90.电路元件层dp-cl可以包括绝缘层、半导体图案、导电图案和信号线。可以通过涂覆和沉积工艺在衬底sub上形成绝缘层、半导体层和导电层。绝缘层、半导体层和导电层可以通过光刻工艺被选择性地图案化，并且因此可以形成半导体图案、导电图案和信号线。
91.电路元件层dp-cl可以包括由半导体图案、导电图案和信号线形成的晶体管。显示元件层dp-oled可以包括电连接到晶体管的发光元件。像素可以包括晶体管和发光元件。
92.薄膜封装层tfe可以设置在电路元件层dp-cl上以覆盖显示元件层dp-oled。薄膜封装层tfe可以包括顺序地堆叠的无机层、有机层和无机层。无机层可以包括无机材料，并且可以保护像素免受湿气和氧的影响。有机层可以包括有机材料，并且可以保护像素免受诸如粉尘颗粒的异物的影响。
93.输入感测部分isp可以包括传感器(未示出)以感测外部输入。传感器可以通过电容方法感测外部输入。外部输入可以包括由用户身体的一部分、光、热、笔、压力等引起的各种输入。
94.在下文中，将参考图7至图12详细描述制造窗win的方法。
95.图7是示意性地示出根据实施方式的窗wn中限定的第一处理区域pa1的立体图。
96.参照图7，窗wn可以包括与图1中所示的显示设备dd的折叠部分fa以及非折叠部分nfa1和nfa2对应的折叠部分fa以及非折叠部分nfa1和nfa2。折叠部分fa可以设置在第一非折叠部分nfa1 和第二非折叠部分nfa2之间。图7中所示的窗wn可以是在处理折叠部分fa之前的窗(即，用于制造窗win的初始窗)。
97.第一处理区域pa1可以限定在窗wn的折叠部分fa中。第一处理区域pa1的上表面可
以具有由第一方向dr1上的短边和第二方向 dr2上的长边限定的矩形形状。第一处理区域pa1的下表面可以具有在第三方向dr3上凸出的曲形表面。
98.窗wn可以具有第一厚度thk1。第一厚度thk1可以在约50μm 至约150μm的范围内。然而，第一厚度thk1不应限于此或受此限制，并且窗wn的第一厚度thk1可具有各种值。
99.第一处理区域pa1可以布置在第一方向dr1上。第一处理区域 pa1可以在第一方向dr1上彼此部分地重叠，然而，它们不应限于此或受此限制。第一处理区域pa1可彼此相邻地设置或彼此间隔开地设置。
100.激光束发生器lar可以设置在窗wn的折叠部分fa上方。激光束发生器lar可以在第三方向dr3上与窗wn间隔开。
101.激光束发生器lar可以产生激光束，并且可以将激光束施加到窗wn的折叠部分fa。激光束可以在第二方向dr2上向折叠部分fa的第一处理区域pa1中的每个照射至少一次。例如，激光束可以在第二方向dr2上向折叠部分fa的第k个第一处理区域pa1照射，并且然后，于在第一方向dr1上移动之后，可以在第二方向dr2上向第k+1 个第一处理区域pa1照射(其中k可以是大于0的自然数)。
102.在下文中，将参考图8a至图10描述窗wn的折叠部分fa的前表面wfp的处理操作。
103.图8a至图8c是示意性地示出由激光束处理的窗wn的第一处理区域pa1的视图。
104.作为示例，图8c是当在第二方向dr2上观察窗wn时图8a中所示的窗wn的示意图。图8a至图8c是示意性地说明处理第一处理区域pa1的方法的视图。作为示例，可以处理设置在最左侧上的第一处理区域pa1(即，下文中的第一个第一处理区域pa1)。
105.参照图8a，激光束发生器lar可以产生co2激光束。co2激光束可以具有在约9μm至约11μm的范围内的波长。与具有其它波长的激光束的能量相比，窗wn的表面可以更好地吸收co2激光束的能量。
106.激光束发生器lar的功率可以在约20w至约70w的范围内，然而，其不应限于此或受此限制。可以根据窗wn的要剥离的表面的厚度来不同地设置激光束发生器lar的功率。
107.激光束发生器lar可以设置在窗wn的前表面wfp上。激光束发生器lar可以设置在第一个第一处理区域pa1中。激光束发生器 lar可在从第一个第一处理区域pa1在第二方向dr2上移动的同时将激光束向第一个第一处理区域pa1照射。
108.可以从窗wn剥离并分离窗wn的被激光束照射的表面。窗wn 的表面的从窗wn剥离的部分可以定义为条带wst。
109.条带wst的上表面可以具有在第一方向dr1和第二方向dr2上的平面，并且条带wst的下表面可以具有在第三方向dr3上凸出的曲形表面。例如，条带wst可以具有在第二方向dr2上延伸的半圆柱形形状，然而，其不应限于此或受此限制。条带wst可以根据激光束的类型和强度而具有各种形状。
110.窗wn的与条带wst分离的表面可以定义为条带表面wstp。条带表面wstp可对应于与窗wn分离的条带wst的凸出的曲形表面。条带表面wstp可以具有向下凹入并且在第二方向dr2上延伸的曲形表面。条带表面wstp可以限定为凹槽。
111.可以使用激光束对条带表面wstp进行抛光。抛光可以意指产生如镜子那样的光滑且有光泽的表面的工艺。因此，条带表面wstp可不需要单独的抛光工艺来对窗wn的表面进行抛光。
112.参照图8b和图8c，激光束可以从第一个第一处理区域pa1的一个侧表面向第一个第一处理区域pa1的另一侧表面照射，并且窗wn 的其上被激光束照射的表面可以从窗wn剥离并且可以与窗wn完全分离。例如，图8a中所示的条带wst可以与窗wn分离。
113.在处理后的第一处理区域pa1中可以形成第1-1子凹槽slt1_1。第1-1子凹槽slt1_1可以形成在窗wn的从其上剥离条带wst并与条带wst分离的部分中。
114.第1-1子凹槽slt1_1可以形成在窗wn的前表面wfp上，以具有凹入形状。当在第二方向dr2上观察时，第1-1子凹槽slt1_1在第三方向dr3上的深度可以随着距第1-1子凹槽slt1_1的中央部分的距离减小(或朝第1-1子凹槽slt1_1的中央部分)而增大。窗wn 的厚度可以在第一个第一处理区域pa1中减小。当在第二方向dr2 上观察时，窗wn的厚度在第一个第一处理区域pa1的中央部分可以是最小的。
115.窗wn可以在窗wn的底表面和第一个第一处理区域pa1的中央部分之间具有第二厚度thk2。
116.第二厚度thk2可以通过激光束的功率来调节。作为示例，随着激光束的功率增大，第1-1子凹槽slt1_1的深度可以增大，并且随着第1-1子凹槽slt1_1的深度增大，第二厚度thk2可以减小。第二厚度thk2可以等于或小于第一厚度thk1的约三分之二(2/3)。第二厚度thk2可在约20μm至约50μm的范围内，然而，其不应限于此或受此限制。第二厚度thk2可以以各种方式设置。
117.图9a和图9b是示意性地示出由激光束处理的窗wn的视图。作为示例，图9b是示意性地示出当在第二方向dr2上观察窗 wn时图9a中所示的窗wn的视图。
118.图9a和图9b是解释处理另一个第一处理区域pa1的方法的示意图。作为示例，可以处理最左侧上的第二个第一处理区域pa1。
119.参照图9a和图9b，在处理第一个第一处理区域pa1之后，激光束发生器lar可以在第一方向dr1上移动，并且可以设置在第一处理区域pa1中的最左侧上的第二个第一处理区域pa1中。
120.激光束发生器lar可以在从第二个第一处理区域pa1的另一侧表面在第二方向dr2上移动的同时向第二个第一处理区域pa1提供激光束。条带wst(参考图8a)可以与处理后的第二个第一处理区域 pa1分离，并且可以在与条带wst分离的部分中形成第1-2子凹槽 slt1_2。
121.第1-1子凹槽slt1_1和第1-2子凹槽slt1_2可以彼此部分地重叠。第1-1子凹槽slt1_1和第1-2子凹槽slt1_2可以具有基本上相同的深度。
122.第1-2子凹槽slt1_2可以形成在窗wn的前表面wfp上，以具有凹入形状。当在第二方向dr2上观察时，第1-2子凹槽slt1_2在第三方向dr3上的深度可以从第1-2子凹槽slt1_2的外部分朝第1-2 子凹槽slt1_2的中央部分增大。窗wn的厚度可以在第一处理区域 pa1中减小。当在第二方向dr2上观察时，窗wn的厚度在第一处理区域pa1的中央部分可以是最小的。
123.窗wn在第一处理区域pa1的第1-1子凹槽slt1_1和第1-2子凹槽slt1_2彼此重叠的部分中的厚度可以小于窗wn的第一厚度 thk1。
124.当第一处理区域pa1彼此重叠时，窗wn在第1-1子凹槽slt1_1 和第1-2子凹槽slt1_2彼此重叠的部分中的厚度的值可以更接近于第二厚度thk2的值。窗wn在第1-1子凹
槽slt1_1和第1-2子凹槽slt1_2彼此重叠的部分中的厚度可以小于第一厚度thk1，并且可以等于或大于第二厚度thk2。
125.图10是示意性地示出通过处理第一处理区域pa1形成的第一凹槽slt1的视图。
126.作为示例，图10示出了当在第二方向dr2上观察窗win时的窗 win。
127.参照图10，图8b和图9a中所示的第1-1子凹槽slt1_1和第1-2 子凹槽slt1_2可以由激光束发生器lar重复地形成。作为示例，在激光束照射一次的情况下，可以形成第1-1子凹槽slt1_1。例如，在激光束发生器lar往复运动一次(或进行一个往返)的情况下，可以形成两个第一子凹槽slt1_1和slt1_2。
128.作为示例，激光束发生器lar可以往复运动2.5次以形成第一子凹槽slt1_1、slt1_2、slt1_3、slt1_4和slt1_5，并且可以限定包括第一子凹槽slt1_1、slt1_2、slt1_3、slt1_4和slt1_5的第一凹槽slt1。然而，激光束发生器lar的往复运动的数量不应限于此或受此限制。
129.图10示出了五个第一子凹槽slt1_1、slt1_2、slt1_3、slt1_4 和slt1_5，但是第一子凹槽slt1_1、slt1_2、slt1_3、slt1_4和 slt1_5的数量不应限于此或受此限制。
130.当在第二方向dr2上观察第一凹槽slt1时，第一凹槽slt1的深度在第一处理区域pa1中的每个的中央部分中可以是最大的，并且在第一处理区域pa1彼此重叠的部分中可以是最小的。第一凹槽slt1 的深度可以在第一方向dr1上重复地增大和减小。例如，第一凹槽 slt1可以具有波形图案。
131.窗win在折叠部分fa中的厚度可以小于在非折叠部分nfa1和 nfa2中的厚度。窗win可以在非折叠部分nfa1和nfa2中具有第一厚度thk1，可以在折叠部分fa的第一处理区域pa1中的每个的中央部分中具有第二厚度thk2，并且可以在折叠部分fa中具有等于或小于第一厚度thk1(除了第一处理区域pa1中的每个的中央部分之外)且等于或大于第二厚度thk2的厚度。因此，窗win可以容易地折叠。
132.根据本公开，窗win的折叠部分fa中的玻璃的厚度可以小于非折叠部分nfa1和nfa2中的玻璃的厚度。窗win的非折叠部分nfa1 和nfa2的厚度可以大于折叠部分fa的厚度。因此，由于窗win的非折叠部分nfa1和nfa2具有相对大的厚度，因此可以在非折叠部分nfa1和nfa2中改善窗win的强度和表面质量。窗win的折叠部分fa具有相对小的厚度，并且因此窗win可以容易地在折叠部分 fa中折叠。
133.根据本公开，由于激光束用于使窗win的折叠部分fa变薄，因此可以省略用于蚀刻折叠部分fa的化学蚀刻工艺。因此，由于在制造工艺中不使用有害物质，因此包括产品和工艺的环境是安全的，并且缩短了工艺时间。使用与皮秒激光束或飞秒激光束相比成本相对低的co2激光束，并且因此可以降低制造成本。
134.图11是示意性地示出由激光束处理的窗wn的第二处理区域pa2 的视图。
135.参照图11，可以在窗wn的后表面wbp上形成第2-1子凹槽 slt2_1。激光束可以从第二处理区域pa2的一个侧表面到第二处理区域pa2的另一侧表面向第二处理区域pa2照射。可在处理后的第二处理区域pa2中形成第2-1子凹槽slt2_1。
136.第2-1子凹槽slt2_1可以形成在窗wn的后表面wbp上，以具有凹入形状。当在第二方向dr2上观察窗wn时，第2-1子凹槽slt2_1 在第三方向dr3上的深度可以从第2-1子凹槽slt2_1的外部分朝第 2-1子凹槽slt2_1的中央部分增大。窗wn的厚度可以在第二处理区域
pa2中减小。当在第二方向dr2上观察窗wn时，窗wn的厚度在第二处理区域pa2的中央部分中可以是最小的。
137.第2-1子凹槽slt2_1的曲形表面可以面对第一处理区域pa1的第1-5子凹槽slt1_5的曲形表面。
138.图12是示意性地示出通过处理第一处理区域pa1和第二处理区域pa2而形成的第一凹槽slt1(参考图10)和第二凹槽slt2的视图。
139.作为示例，图12示出了当在第二方向dr2上观察窗win时的窗 win。
140.参照图12，图11中所示的第2-1子凹槽slt2_1可以由激光束发生器lar重复地形成。作为示例，在激光束照射一次的情况下，可以形成第2-1子凹槽slt2_1。例如，激光束发生器lar可以往复运动 2.5次以形成第二子凹槽slt2_1、slt2_2、slt2_3、slt2_4和slt2_5，并且可以限定包括第二子凹槽slt2_1、slt2_2、slt2_3、slt2_4和 slt2_5的第二凹槽slt2。然而，激光束发生器lar的往复运动的数量不应限于此或受此限制。
141.可以通过第二子凹槽slt2_1、slt2_2、slt2_3、slt2_4和slt2_5 以及图10中所示的第一子凹槽slt1_1、slt1_2、slt1_3、slt1_4 和slt1_5来限定波形凹槽，波形凹槽限定波形图案。
142.第一凹槽slt1可以形成在窗win的前表面wfp上，并且第二凹槽slt2可以形成在窗win的后表面wbp上。第一凹槽slt1和第二凹槽slt2可以参考第一方向dr1彼此对应。
143.第一凹槽slt1的中央部分和第二凹槽slt2的中央部分之间可以限定第二厚度thk2。窗win的非折叠部分nfa1和nfa2可以具有第一厚度thk1，并且窗win的折叠部分fa可以具有第二厚度thk2。由于窗win在折叠部分fa中具有比非折叠部分nfa1和nfa2中相对小的厚度，因此窗win可以容易地折叠。
144.图13a至图13d是示意性地示出根据实施方式的窗wn和win 的视图。
145.作为示例，图13b示出了当在第二方向dr2上观察窗wn时图 13a中处理后的窗wn(即，窗win)。
146.为了便于说明，相同的附图标记表示图13a和图13b中所示的窗 wn和win的相同元件，并且因此，将省略其详细描述。
147.参照图13a，窗wn中可以限定第一处理区域pa1。第一处理区域pa1可对应于图7中所示的第一处理区域pa1。第一处理区域pa1 可以彼此部分地重叠。
148.可以将具有不同功率的激光束向第一处理区域pa1照射。作为示例，激光束可以在第二方向dr2上向第k个第一处理区域pa1照射，并且然后，于在第一方向dr1上移动之后，可以在第二方向dr2上向第k+1个第一处理区域pa1照射。在这种情况下，向第k个第一处理区域pa1照射的激光束的功率可以不同于向第k+1个第一处理区域pa1照射的激光束的功率。
149.向第一处理区域pa1照射的激光束的功率可以等于或大于第一功率并且可以等于或小于第二功率，第二功率大于第一功率。
150.当在第二方向dr2上观察时，具有第一功率的低激光束lbl可以向设置在最外侧位置处(或中)的第一处理区域pa1照射。具有第二功率的高激光束lbh可以向设置在窗wn的中央部分中(或处) 的第一处理区域pa1照射。可以将具有比第一功率大且比第二功率小的功率的中激光束lbm向在最外侧位置处(或中)的第一处理区域 pa1与中央部分中(或处)的第一处理区域pa1之间的第一处理区域 pa1照射。例如，随着距窗wn的中央部分的距离改变
(例如，增大或减小)，激光束的功率可以从第一功率逐渐改变到第二功率(例如，从第一功率逐渐增大到第二功率，或者从第二功率逐渐减小到第一功率)。
151.第一功率可以在约20w至约30w的范围内。第二功率可以在约 40w至约70w的范围内。然而，本公开不限于此，并且可以以各种方式设置激光束的第一功率和第二功率。
152.由于低激光束lbl、中激光束lbm和高激光束lbh具有彼此不同的功率，因此在窗wn上形成的凹槽的尺寸和深度可以彼此不同。
153.参照图13a和图13b，可以通过低激光束lbl在第一处理区域 pa1中形成第1-1子凹槽slt1_1’和第1-5子凹槽slt1_5’。可以通过中激光束lbm在第一处理区域pa1中形成第1-2子凹槽slt1_2’和第 1-4子凹槽slt1_4’。可以通过高激光束lbh在第一处理区域pa1中形成第1-3子凹槽slt1_3’。
154.可以在第一处理区域pa1中限定包括第一子凹槽slt1_1’、 slt1_2’、slt1_3’、slt1_4’和slt1_5’的第一凹槽slt1’。
155.第1-2子凹槽slt1_2’和第1-4子凹槽slt1_4’在第一方向dr1 上的尺寸可以大于第1-1子凹槽slt1_1’和第1-5子凹槽slt1_5’在第一方向dr1上的尺寸，并且第1-2子凹槽slt1_2’和第1-4子凹槽 slt1_4’在第三方向dr3上的深度可以大于第1-1子凹槽slt1_1’和第 1-5子凹槽slt1_5’在第三方向dr3上的深度。例如，由第1-2子凹槽slt1_2’和第1-4子凹槽slt1_4’限定的半圆形形状的半径可以大于由第1-1子凹槽slt1_1’和第1-5子凹槽slt1_5’限定的半圆形形状的半径。
156.第1-3子凹槽slt1_3’在第一方向dr1上的尺寸可以大于第1-2 子凹槽slt1_2’和第1-4子凹槽slt1_4’在第一方向dr1上的尺寸，并且第1-3子凹槽slt1_3’在第三方向dr3上的深度可以大于第1-2 子凹槽slt1_2’和第1-4子凹槽slt1_4’在第三方向dr3上的深度。例如，由第1-3子凹槽slt1_3’限定的半圆形形状的半径可以大于由第1-2子凹槽slt1_2’和第1-4子凹槽slt1_4’限定的半圆形形状的半径。然而，第一子凹槽slt1_1’、slt1_2’、slt1_3’、slt1_4’和slt1_5’的形状不限于此或受此限制，并且第一子凹槽slt1_1’、slt1_2’、 slt1_3’、slt1_4’和slt1_5’可以具有各种形状，例如，四边形形状。
157.第一子凹槽slt1_1’、slt1_2’、slt1_3’、slt1_4’和slt1_5’可以彼此部分地重叠。窗win的厚度可因为彼此重叠的第一子凹槽 slt1_1’、slt1_2’、slt1_3’、slt1_4’和slt1_5’而随着距窗win的中央部分的距离减小而减小。第一凹槽slt1’可以具有波形图案。
158.窗win可因第一凹槽slt1’而容易地折叠。
159.参照图13c，第一处理区域pa1可以彼此间隔开。第一处理区域 pa1之间的距离可以从中央部分到外部分减小。
160.当在第二方向dr2上观察时，具有第一功率的低激光束lbl可以向设置在最外侧位置中(或处)的第一处理区域pa1照射。具有第二功率的高激光束lbh可以向中央部分中(或处)的第一处理区域 pa1照射。可以将具有比第一功率大且比第二功率小的功率的中激光束lbm向在设置在最外侧位置中(或处)的第一处理区域pa1与设置在中央部分中(或处)的第一处理区域pa1之间的第一处理区域pa1 照射。例如，随着距窗wn的中央部分的距离的改变，激光束的功率可以从第一功率逐渐改变到第二功率。
161.参照图13c和图13d，可以通过低激光束lbl在第一处理区域 pa1中形成第1-1子凹槽slt1_1”和第1-5子凹槽slt1_5”。可以通过中激光束lbm在第一处理区域pa1中形成第1-2
子凹槽slt1_2”和第1-4子凹槽slt1_4”。可以通过高激光束lbh在第一处理区域pa1中形成第1-3子凹槽slt1_3”。
162.包括第一子凹槽slt1_1”、slt1_2”、slt1_3”、slt1_4”和slt1_5”的第一凹槽slt1”可以限定在第一处理区域pa1中。
163.第1-2子凹槽slt1_2”和第1-4子凹槽slt1_4”在第一方向dr1 上的尺寸可以大于第1-1子凹槽slt1_1”和第1-5子凹槽slt1_5”在第一方向dr1上的尺寸，并且第1-2子凹槽slt1_2”和第1-4子凹槽 slt1_4”在第三方向dr3上的深度可以大于第1-1子凹槽slt1_1”和第1-5子凹槽slt1_5”在第三方向dr3上的深度。例如，由第1-2子凹槽slt1_2”和第1-4子凹槽slt1_4”限定的半圆形形状的半径可以大于由第1-1子凹槽slt1_1”和第1-5子凹槽slt1_5”限定的半圆形形状的半径。
164.第1-3子凹槽slt1_3”在第一方向dr1上的尺寸可以大于第1-2 子凹槽slt1_2”和第1-4子凹槽slt1_4”在第一方向dr1上的尺寸，并且第1-3子凹槽slt1_3”在第三方向dr3上的深度可以大于第1-2 子凹槽slt1_2”和第1-4子凹槽slt1_4”在第三方向dr3上的深度。例如，由第1-3子凹槽slt1_3”限定的半圆形形状的半径可以大于由第1-2子凹槽slt1_2”和第1-4子凹槽slt1_4”限定的半圆形形状的半径。然而，第一子凹槽slt1_1”、slt1_2”、slt1_3”、slt1_4”和slt1_5”的形状不应限于此或受此限制，并且第一子凹槽slt1_1”、slt1_2”、 slt1_3”、slt1_4”和slt1_5”可以具有各种形状，例如，四边形形状。
165.第一子凹槽slt1_1”、slt1_2”、slt1_3”、slt1_4”和slt1_5”可以彼此间隔开。窗win可因第一子凹槽slt1_1”、slt1_2”、 slt1_3”、slt1_4”和slt1_5”而容易地折叠。
166.图14是示出根据实施方式的窗win的示意图。
167.在图14中，为了便于解释，相同的附图标记表示图12中所示的窗win的相同元件，并且因此，将省略对相同元件的详细描述。
168.参照图14，窗win的前表面wfp的第一处理区域pa1可以在第一方向dr1上彼此间隔开。窗win的后表面wbp的第二处理区域 pa2可以在第一方向dr1上彼此间隔开。
169.窗win的前表面wfp的第一处理区域pa1和窗win的后表面 wbp的第二处理区域pa2可以彼此重叠。可以将激光束向第一处理区域pa1照射，并且可以形成第一子凹槽sg1_1至sg1_n。第一子凹槽 sg1_1至sg1_n可以限定第一凹槽sg1。可以将激光束向第二处理区域pa2照射，并且可以形成第二子凹槽sg2_1至sg2_n。第二子凹槽 sg2_1至sg2_n可以限定第二凹槽sg2。
170.窗win可因第一凹槽sg1和第二凹槽sg2而容易地折叠。
171.图15是示出根据实施方式的窗win的示意图。
172.在图15中，为了便于解释，相同的附图标记表示图12中所示的窗win的相同元件，并且因此，将省略对相同元件的详细描述。
173.参照图15，窗win的前表面wfp的第一处理区域pa1可以与窗 win的后表面wbp的第二处理区域pa2交替地布置。第一处理区域 pa1和第二处理区域pa2可以彼此部分地重叠。
174.窗win的前表面wfp的第一子凹槽sg1_1至sg1_n可以与窗 win的后表面wbp的第二子凹槽sg2_1至sg2_n交替地布置。
175.窗win可因第一凹槽sg1和第二凹槽sg2而容易地折叠。
176.图16a至图16c是示意性地示出根据实施方式的窗win的视图。
177.参照图16a、图16b和图16c，根据激光束的尺寸、激光束的功率以及激光束的功率的均匀性，可以在窗win的表面上形成不同的凹槽。
178.参照图16a，第一凹槽slt1”_1的底表面可以具有曲形表面。形成第一凹槽slt1”_1的激光束照射次数的数量可以小于形成图10中所示的第一凹槽slt1的激光束照射次数的数量。第一凹槽slt1”_1 可以具有椭圆形形状，其在第三方向dr3上的深度随着距窗win的中央部分的距离减小而增大。
179.参照图16b，第一凹槽slt1
”’
的底表面可以具有曲形表面。第一凹槽slt1
”’
可以具有四边形形状，其具有第一方向dr1上的长边、第二方向dr2上的短边以及在长边和短边之间具有连接部分，并且连接部分可以具有曲形表面。
180.通过图8a至图10中所示的工艺，折叠部分fa中可以形成多个第一凹槽slt1
”’
。
181.参照图16c，形成第一凹槽slt1
””
的激光束照射次数的数量可以小于形成图16b中所示的第一凹槽slt1
”’
的激光束照射次数的数量。第一凹槽slt1
””
可具有类似于第一凹槽slt1
”’
的四边形形状的形状。
182.根据实施方式，可以通过调节激光束来改变凹槽的尺寸和形状。因此，可以容易地控制窗win的厚度。
183.图17a和图17b是示意性地示出根据实施方式的窗win的视图。
184.为了便于说明，在图17a中示出了四个第一处理区域pa1，但第一处理区域pa1的数量不应限于四个。
185.第一处理区域pa1可以布置在第一方向dr1上，并且可以彼此间隔开。作为示例，第k个第一处理区域pa1可包括布置在第二方向 dr2上且彼此间隔开的第一子处理区域pa1_1。第k个第一子处理区域pa1_1可以与第k+1个第一子处理区域pa1_1交替地布置。
186.可以将激光束向第一子处理区域pa1_1中的每个照射至少一次，并且因此可以形成点型的凹槽。点型的凹槽可以包括第一子凹槽 sg1_1’、sg1_2’、sg1_3’和sg1_4’。第一子凹槽sg1_1’、sg1_2’、 sg1_3’和sg1_4’可以形成在第一子处理区域pa1_1的从其剥离条带 wst(参考图8a)的部分中。
187.第一子凹槽sg1_1’、sg1_2’、sg1_3’和sg1_4’可以限定第一凹槽sg1’。
188.窗win可以因第一凹槽sg1’而容易地折叠。
189.为了便于说明，图17b中示出了四个第一处理区域pa1，然而，第一处理区域pa1的数量不应限于四个。
190.第一处理区域pa1可以布置在第一方向dr1上，并且可以彼此间隔开。作为示例，第k个第一处理区域pa1可包括布置在第二方向 dr2上且彼此间隔开的第一子处理区域pa1_1。第k个第一子处理区域pa1_1可以在第一方向dr1上与第k+1个第一子处理区域pa1_1 重叠。
191.可以将激光束向第一子处理区域pa1_1中的每个照射至少一次，并且可以形成点型的凹槽。点型的凹槽可以包括第一子凹槽sg1_1”、sg1_2”、sg1_3”和sg1_4”。第一子凹槽sg1_1”、sg1_2”、sg1_3”和sg1_4”可以形成在第一子处理区域pa1_1的从其剥离条带wst(参考图8a)并与条带wst分离的部分中。
192.第一子凹槽sg1_1”、sg1_2”、sg1_3”和sg1_4”可以限定第一凹槽sg1”。
193.窗win可因第一凹槽sg1”而容易地折叠。
194.尽管已经描述了本公开的实施方式，但是应当理解，本公开不应限于这些实施方式，而是本领域普通技术人员可以在本公开的精神和范围内进行各种改变和修改。因此，所公开的主题不应限于本文中所描述的任何单个实施方式，并且所要求保护的发明的范围应根据所附权利要求来确定。