显示装置及显示装置的制造方法与流程

本发明的一个方式涉及一种显示装置。本发明的一个方式涉及一种显示装置的制造方法。注意，本发明的一个方式不局限于上述。作为本说明书等所公开的本发明的一个方式的的例子，可以举出半导体装置、显示装置、发光装置、蓄电装置、存储装置、电子设备、照明装置、输入装置、输入输出装置、这些装置的驱动方法或这些装置的制造方法。注意，在本说明书等中，半导体装置是指能够通过利用半导体特性而工作的所有装置。

背景技术：

1、近年来，高清晰显示器面板被需求。近年来，作为被需求高清晰显示器面板的设备，例如面向虚拟现实(vr：virtual reality)、增强现实(ar：augmented reality)、替代现实(sr：substitutional reality)或混合现实(mr：mixed reality)的设备的开发很活跃。

2、此外，作为可以应用于显示器面板的显示装置，典型地可以举出液晶显示装置、具备有机el(electro luminescence：电致发光)元件及发光二极管(led：light emittingdiode)等发光元件的发光装置、以电泳方式等进行显示的电子纸等。

3、例如，有机el元件的基本结构是在一对电极之间夹有包含发光有机化合物的层的结构。通过对该元件施加电压，可以得到来自发光有机化合物的发光。由于应用上述有机el元件的显示装置不需要液晶显示装置等所需要的背光源，所以可以实现薄型、轻量、高对比度且低功耗的显示装置。例如，专利文献1公开了使用有机el元件的显示装置的一个例子。

4、[先行技术文献]

5、[专利文献]

6、[专利文献1]日本专利申请公开第2002-324673号公报

技术实现思路

1、发明所要解决的技术问题

2、例如，在上述面向vr、ar、sr或mr的可穿戴式设备中，需要在眼睛与显示器面板之间设置焦点调整用透镜。因为该透镜放大图像的一部分，所以在显示器面板的清晰度低的情况下会导致现实感及沉浸感减少的问题。

3、此外，显示器面板还被需求高颜色再现性。尤其是在上述面向vr、ar、sr或mr的设备中，通过使用颜色再现性较高的显示器面板，可以进行接近实物颜色的显示，而可以提高现实感及沉浸感。

4、本发明的一个方式的目的之一是提供一种清晰度极高的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种实现高颜色再现性的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种亮度高的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种可靠性高的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种上述显示装置的制造方法。

5、注意，这些目的的记载不妨碍其他目的的存在。此外，本发明的一个方式并不需要实现所有上述目的。此外，可以从说明书、附图以及权利要求书等的记载抽出上述以外的目的。

6、解决技术问题的手段

7、本发明的一个方式是一种显示装置，该显示装置包括第一绝缘层、第一绝缘层上的第一发光元件及第二发光元件、在第一发光元件上以覆盖第一发光元件的方式配置的第三绝缘层以及在第二发光元件上以覆盖第二发光元件的方式配置的第五绝缘层。第一发光元件和第二发光元件发射不同颜色的光，第一绝缘层的第一发光元件和第二发光元件之间的区域中设置有第一槽及第二槽，第三绝缘层的一部分嵌入第一槽中，第五绝缘层的一部分嵌入第二槽中。

8、另外，本发明的一个方式是一种显示装置，该显示装置包括第一绝缘层、第一绝缘层上的第一发光元件及第二发光元件、在第一发光元件上以覆盖第一发光元件的方式配置的第三绝缘层以及在第二发光元件上以覆盖第二发光元件的方式配置的第五绝缘层。第一发光元件和第二发光元件发射不同颜色的光，第一绝缘层的第一发光元件和第二发光元件之间的区域中设置有第一槽及第二槽，第三绝缘层的一部分嵌入第一槽中，第五绝缘层的一部分嵌入第二槽中，第一发光元件包括第一导电层、第一导电层上的第一el层以及第一el层上的第二导电层，第二发光元件包括第三导电层、第三导电层上的第二el层以及第二el层上的第四导电层，第一el层以覆盖第一导电层的侧面及顶面的方式配置，第一el层包括与第一绝缘层接触的区域，第二el层以覆盖第三导电层的侧面及顶面的方式配置，第二el层包括与第一绝缘层接触的区域，在从第一发光元件到第二发光元件的方向上第一槽的宽度比第一el层的膜厚度的2倍大，在从第一发光元件到第二发光元件的方向上第二槽的宽度比第二el层的膜厚度的2倍大。

9、在上述显示装置中，第一槽优选延伸到第一槽的延伸方向的第一el层的端部的外侧的区域。

10、另外，在上述显示装置中，优选的是，以与第一导电层的侧面接触的方式第一导电层和第一el层之间设置有第六绝缘层，以与第三导电层的侧面接触的方式第三导电层和第二el层之间设置有第七绝缘层。

11、另外，本发明的其他一个方式是一种显示装置，该显示装置包括第一绝缘层、第一绝缘层上的第一发光元件及第二发光元件、在第一发光元件上以覆盖第一发光元件的方式配置的第三绝缘层以及在第二发光元件上以覆盖第二发光元件的方式配置的第五绝缘层。第一发光元件和第二发光元件发射不同颜色的光，第一绝缘层的第一发光元件和第二发光元件之间的区域中设置有槽，剖视时，槽呈向下凸的半圆形状，槽包括第一区域以及不与第一区域重叠的第二区域，第一区域与第二区域相比位于第一发光元件一侧，第二区域与第一区域相比位于第二发光元件一侧，第三绝缘层包括与槽的第一区域重叠的区域，第五绝缘层包括与槽的第二区域重叠的区域。

12、另外，在上述显示装置中，优选的是，第一发光元件包括第一导电层、第一导电层上的第一el层以及第一el层上的第二导电层，第二发光元件包括第三导电层、第三导电层上的第二el层以及第二el层上的第四导电层，以覆盖第一导电层的端部及第三导电层的端部的方式设置有第六绝缘层。

13、另外，在上述显示装置中，槽优选延伸到槽的延伸方向的第一el层的端部的外侧的区域。

14、另外，在上述显示装置中，优选的是，第三绝缘层以及第五绝缘层都包含铝及氧。

15、本发明的其他一个方式是一种显示装置的制造方法，该显示装置包括包含第一导电层、第一el层及第二导电层的第一发光元件以及包含第三导电层、第二el层及第四导电层的第二发光元件，第一发光元件和第二发光元件发射不同颜色的光，该制造方法包括如下步骤：在第一绝缘层上形成第一导电层及第三导电层；在第一绝缘层的第一导电层和第三导电层之间的区域中形成第一槽及第二槽；在与第二槽及第三导电层重叠的部分的第一绝缘层及第三导电层上形成第一抗蚀剂掩模；通过在第一绝缘层、第一导电层及第一抗蚀剂掩模上依次沉积包含第一发光化合物的膜及第一导电膜，在第一导电层上形成第一el层及第二导电层，并且在第一绝缘层及第一抗蚀剂掩模上形成第一层及第五导电层；在第二导电层及第五导电层上沉积第二绝缘层；在与第一导电层及第一槽重叠的部分的第二绝缘层上形成第二抗蚀剂掩模；通过去除不被第二抗蚀剂掩模覆盖的第二绝缘层，从第二绝缘层形成第三绝缘层；去除第一抗蚀剂掩模、第二抗蚀剂掩模、不被第二抗蚀剂掩模覆盖的第五导电层及第一层；在与第一槽及第一导电层重叠的部分的第三绝缘层及第一绝缘层上形成第三抗蚀剂掩模；通过在第一绝缘层、第三导电层及第三抗蚀剂掩模上依次沉积包含第二发光化合物的膜及第二导电膜，在第三导电层上形成第二el层及第四导电层，并且在第一绝缘层及第三抗蚀剂掩模上形成第二层及第六导电层；在第四导电层及第六导电层上沉积第四绝缘层；在与第三导电层及第二槽重叠的部分的第四绝缘层上形成第四抗蚀剂掩模；通过去除不被第四抗蚀剂掩模覆盖的第四绝缘层，从第四绝缘层形成第五绝缘层；以及去除第三抗蚀剂掩模、第四抗蚀剂掩模、不被第四抗蚀剂掩模覆盖的第六导电层及第二层。

16、在上述显示装置的制造方法中，优选的是，在从第一发光元件到第二发光元件的方向上第一槽的宽度比第一el层的膜厚度的2倍大，在从第一发光元件到第二发光元件的方向上第二槽的宽度比第二el层的膜厚度的2倍大。

17、另外，在上述显示装置的制造方法中，第一槽优选延伸到第一槽的延伸方向的第一el层的端部的外侧的区域。

18、另外，本发明的其他一个方式是一种显示装置的制造方法，该显示装置包括包含第一导电层、第一el层及第二导电层的第一发光元件以及包含第三导电层、第二el层及第四导电层的第二发光元件，第一发光元件和第二发光元件发射不同颜色的光，该制造方法包括如下步骤：在第一绝缘层上形成第一导电层及第三导电层；通过进行各向同性蚀刻，在第一绝缘层的第一导电层和第三导电层之间的区域中形成槽；形成覆盖第一导电层的端部及第三导电层的端部的第六绝缘层；在与槽的第一区域及第三导电层重叠的部分的第三导电层及第六绝缘层上形成第一抗蚀剂掩模；通过在第六绝缘层、第一导电层及第一抗蚀剂掩模上依次沉积包含第一发光化合物的膜及第一导电膜，在第一导电层上形成第一el层及第二导电层，并且在第六绝缘层及第一抗蚀剂掩模上形成第一层及第五导电层；在第二导电层及第五导电层上沉积第二绝缘层；在与第一导电层及槽的第二区域重叠的部分的第二绝缘层上形成第二抗蚀剂掩模；通过去除不被第二抗蚀剂掩模覆盖的第二绝缘层，从第二绝缘层形成第三绝缘层；去除第一抗蚀剂掩模、第二抗蚀剂掩模、不被第二抗蚀剂掩模覆盖的第五导电层及第一层；在与第三绝缘层重叠的部分的第三绝缘层及第六绝缘层上形成第三抗蚀剂掩模；通过在第六绝缘层、第三导电层及第三抗蚀剂掩模上依次沉积包含第二发光化合物的膜及第二导电膜，在第三导电层上形成第二el层及第四导电层，并且在第六绝缘层及第三抗蚀剂掩模上形成第二层及第六导电层；在第四导电层及第六导电层上沉积第四绝缘层；在与第三导电层及槽的第二区域重叠的部分的第四绝缘层上形成第四抗蚀剂掩模；通过去除不被第四抗蚀剂掩模覆盖的第四绝缘层，从第四绝缘层形成第五绝缘层；以及去除第三抗蚀剂掩模、第四抗蚀剂掩模、不被第四抗蚀剂掩模覆盖的第六导电层及第二层。

19、另外，在上述显示装置的制造方法中，槽优选延伸到槽的延伸方向的第一el层的端部的外侧的区域。

20、另外，在上述显示装置的制造方法中，第二绝缘层及第四绝缘层优选利用ald法沉积。

21、发明效果

22、根据本发明的一个方式，可以提供一种清晰度极高的显示装置。另外，可以提供一种实现高颜色再现性的显示装置。另外，可以提供一种亮度高的显示装置。另外，可以提供一种可靠性高的显示装置。另外，可以提供一种上述显示装置的制造方法。

23、注意，这些效果的记载不妨碍其他效果的存在。此外，本发明的一个方式并不需要具有所有上述效果。另外，可以从说明书、附图、权利要求书等的记载抽出上述以外的效果。