专利名称：多光束的直列式雷射扫描装置的制作方法
技术领域：
本发明是提供一种多光束的直列式雷射扫描装置，尤指一种利用直列式微机电(MEMS Array)的结构型态构成一垂直叠置的微小化直列式微机电摆动式反射镜组，并利用数个F-Sinθ镜片垂直叠置成一线性扫描镜片组以对应于该直列式反射镜组，藉以有效缩小彩色打印机的体积并提升扫描效率者。
背景技术：
目前激光束打印机LBP(Laser Beam Printer)的应用技术中，已包括有美国专利US5,128,795、US5,162,938、US5,329,399、US5,710,654、US5,757,533、US5,619,362、US5,721,631、US5,553,729、US5,111,219、US5,995,131、US6,724,509，及日本4-50908、日本5-45580等多件专利，而其使用的雷射扫描装置LSU(Laser Scanning Unit)模块大都是利用一高速旋转的多面镜(polygonmirror)以操控激光束的扫描动作(laser beam scanning)，其是利用一半导体雷射发出一激光束(laser beam)，该激光束经一准直镜(collimator lens)，再经过一光圈(aperture)而形成平行光束，平行光束再经过一柱面镜(cylindrical lens)，而该柱面镜主要作用是使前述平行光束在副扫描方向(subscanning direction)Y轴上的宽度能沿着主扫描方向(main scanning direction)X轴的平行方向聚焦而形成一线状成像(line image)，再投射至一高速旋转的多面镜(polygonal mirror)上；该多面镜(polygonal mirror)上均匀连续布设有多面反射镜，其恰位于或接近于上述线状成像(line image)的焦点位置；而藉多面镜控制激光束的反射方向，当连续的复数反射镜在高速旋转时可将射至一反射镜上的激光束沿着主扫描方向(X轴)的平行方向以同一转角速度(angular velocity)偏斜反射至一F-θ镜片上；而该F-θ镜片是设置于多面镜旁侧，可为单件式镜片结构(single-element scanning lens)或为两件式镜片结构(如US5,995,131的专利图所示)，而该F-θ镜片主要是使经由多面镜上反射镜反射而射入F-θ镜片的激光束能聚焦成一楕圆形光点并投射在一成像面(image plane，亦即光接收面，photoreceptor drum)上，并同时达成线性扫描(scanning linearity)的要求。然，为上述习用雷射扫描装置LSU在使用上会有下列问题(1)该旋转式多面镜(polygon mirror)的制作难度高且价格不低，相对增加LSU的制作成本。
(2)该多面镜须具高度旋转(如40000转/分)功能，精密度要求又高，致一般多面镜上反射面的镜面Y轴宽度极薄，使习用LSU中均须增设一柱面镜(cylindrical lens)以使激光束经过该柱面镜能聚焦成一线(Y轴上成一点)而再投射在多面镜的反射镜上，致增加构件及组装作业流程。
(3)习用多面镜须高度旋转(如40000转/分)，致旋转噪音相对提高，而且多面镜从激活至工作转速须耗费较长时间，增加开机后的等待时间。
(4)习用LSU的组装结构中，投射至多面镜反射镜的激光束中心轴并非正对多面镜的中心转轴，致在设计相配合的F-θ镜片时，须同时考虑多面镜的离轴偏差问题(deviation)，相对增加F-θ镜片的设计及制作上麻烦。
又，彩色打印机LBP所使用的雷射扫描装置LSU模块须同时控制多道(如4道)激光束的反射方向以同时达成线性扫描的要求，如美国专利US6,798,820、US6,839,074、US6,914,705，而上述美国专利所使用的雷射扫描装置LSU模块仍是利用一高速旋转的多面镜来控制多道激光束的反射方向，致其不但有上述习用雷射扫描装置LSU的缺失，且其结构及配置更复杂化，如此既增加设计困难度，也相对增加彩色打印机的体积，不符合轻薄短小的要求。
发明内容
本发明主要目的乃在于提供一种多光束的直列式雷射扫描装置(multi-beam LSU，Multi-Beam Laser Scanning Unit)，其是利用直列式微机电(MEMS Array)的结构型态，使数个微机电摆动式反射镜垂直叠置成一微小化直列式反射镜组，又利用F-Sinθ线性扫描镜片以取代习用F-θ线性扫描镜片，使可针对MEMS简谐摆动式反射镜随时间成正弦关系的角度变化量作出修正，并使数个F-Sinθ镜片垂直叠置成一直列式线性扫描镜片组，以对应于该直列式反射镜组，藉以使多道激光束在成像面组上作等速率的扫描；藉此，可藉一半导体雷射组射出多道激光束如4道光束，使其分别经该准直镜组形成平行光束，再分别射至直列式微机电摆动式反射镜组，再经该反射镜组的简谐式摆动使多道激光束分别反射至直列式F-Sinθ线性扫描镜片组，再分别投射在成像面组(感光鼓)上作等速率的扫描，以达成雷射扫描装置所要求的线性扫描功能，使可应用于彩色打印机(LBP，Laser Beam Printer)的光学引擎，藉以有效缩小彩色打印机的体积并提升扫描效率者。
本发明再一要目的乃在于提供一种多光束的直列式雷射扫描装置，其是针对微机电摆动式反射镜以简谐运动方式反射激光束致使在成像面上的光点间距呈现随时间增加而递减的非等速率扫描现象，而特别设计一F-Sinθ镜片，使该F-Sinθ镜片可对随时间成正弦关系的角度变化量作修正，使微机电简谐运动反射镜在成像面上光点间距由原来随时间增加而递减的非等速率扫描现象，修正为等速率扫描，使激光束投射在成像面上作等速率扫描，而达成雷射扫描装置所要求的线性扫描效果。
本发明又一目的乃在于提供一种多光束的直列式雷射扫描装置，其中，该半导体雷射组、准直镜组、微机电摆动式反射镜组、及F-Sinθ镜片组等各直列式组体中所分别使用的半导体雷射、准直镜、微机电摆动式反射镜、及直列式F-Sinθ线性扫描镜片的个体数目，可为一对一对应，如利用一/二/四个半导体雷射发出四道激光束，并利用四个准直镜、四个微机电摆动式反射镜、四个F-Sinθ线性扫描镜片与的对应配合，藉以使各组体中所使用的各个体的结构规格化，有利于量产化及组装作业。
本发明另一目的乃在于提供一种多光束的直列式雷射扫描装置，其中，该半导体雷射组、准直镜组、微机电摆动式反射镜组、及直列式F-Sinθ线性扫描镜片组等各直列式组体中所分别使用的半导体雷射、准直镜、微机电摆动式反射镜、及直列式F-Sinθ线性扫描镜片的个体数目，可随需要而适当组合，如利用一半导体雷射各发出二道激光束，再利用二准直镜、二微机电摆动式反射镜、二F-Sinθ线性扫描镜片与的对应配合，藉以缩小体积，并增加各个体的结构设计及制造的选择性，有利于量产化及降低成本。
本发明又另一要目的乃在于提供一种多光束的直列式雷射扫描装置，其中该半导体雷射组射出的多道激光束如4道光束，使各激光束中心轴正对该直列式微机电摆动式反射镜组的机械中心(即直列式反射镜的摆动中心)，藉以消除习用者多面镜的离轴偏差(ddeviation)，俾可简化直列式F-Sinθ线性扫描镜片组的设计及组装。
本发明另一要目的乃在于提供一种多光束的直列式雷射扫描装置，其中在该准直镜组及该微机电摆动式反射镜组之间可随需要而设置或不设置一柱面镜(cylindrical lens)组，藉以简化雷射扫描装置的构件及组装作业流程。
图1是本发明一较佳实施例的立体示意图。
图2是图1的上视示意图。
图3是图1的局部(不表示外壳)的另一视角立体示意图。
图4是图3的另一视角立体示意图。
图5是本发明中直列式微机电摆动式反射镜组一实施例立体放大示意图。
图6是本发明中直列式F-Sinθ镜片组一实施例立体放大示意图。
图7是本发明中直列式准直镜组一实施例立体放大示意图。
图8是本发明直列式柱面镜片组一实施例立体放大示意图。
图9(A)、图9(B)、图9(C)是本发明图1及另二实施例的光学路径示意图。
图10(A)、图10(B)分别是旋转式多面镜及与微机电摆动式反射镜反射后的反射角度θ与时间t的关系图。
图11(A)、图11(B)分别是旋转式多面镜及与微机电摆动式反射镜的扫描光点轨迹图。
图12(A)、图12(B)分别是旋转式多面镜及微机电摆动式反射镜的雷射扫描装置(LSU)的光学设计(layout)示意图。
图13(A)、图13(B)分别是旋转式多面镜与微机电摆动式反射镜分别使用F-θ镜片与F-Sinθ镜片产生畸变(Distortion)的光学特性示意图。
附图标记说明雷射扫描装置1；半导体雷射组10；半导体雷射11、12、13；准直镜组20；准直镜21；微机电摆动式反射镜组30；微机电摆动式反射镜31、32、33；线性扫描镜片组40；F-Sinθ镜片41、42、43；柱面镜组50；柱面镜51、52、53；成像面(感光鼓)60。
具体实施例方式
为使本发明更加明确详实，兹举较佳实施例并配合下列图标，将本发明的结构及其技术特征详述如后参考图1-7所示，其是本发明多光束的直列式雷射扫描装置LSU(Multi-Beam Laser Scanning Unit)一较佳实施例的立体示意图，兹以四道光束的雷射扫描装置1为例，本发明多光束的直列式LSU1包含一半导体雷射组10、一准直镜组20、一微机电摆动式反射镜(MEMS oscillatory mirror)组30、及一线性扫描镜片组40，其中，该半导体雷射组10可利用四组单光束半导体雷射LD(single-beam Laser Diode)11组成，每一单光束半导体雷射11射出一激光束如图9(A)所示，或利用二组双光束半导体雷射(dual-beam LD)12组成，每一双光束半导体雷射12可射出二激光束如图9(B)所示，或利用一TO-Can可以有四道激光束的半导体雷射13组成如图9(C)所示，或利用多光束的半导体雷射组成；而在本实施例中，四组单光束半导体雷射11或二组双光束半导体雷射(dual-beam LD)12或TO-Can半导体雷射13的四道激光束或多光束的半导体雷射，是以垂直叠置成一直列式结构体为佳如图1-4及图7所示，而在图7中，各准直镜21是设置在准直镜套件内部的前端处，而准直镜套件内部另一端即分别设置一半导体雷射11。
半导体雷射组10发出的四激光束是分别经该准直镜组20以形成平行光束，该准直镜组20可利用数个准直镜组成，如利用四组准直镜(collimator lens)21组成如图1-4及图7所示，或利用单个具足够大数值孔径(NA，numericalaperture)的准直镜构成(图未示)，而足够大数值孔径表示其具有多光束雷射的集光能力，以使准直镜组20可接受半导体雷射组10的四道激光束，并分别形成平行光束再出射至微机电摆动式反射镜组30；而在本实施例中，四组准直镜21是以垂直叠置成一直列式结构体为佳，藉以分别一对一对应于四道激光束如图9(A)所示。
四激光束经过准直镜组20而射出后可分别再经一柱面镜组50，该柱面镜组50可利用四柱面镜(cylindrical lens)51组成如图1-4及图8、9(A)所示，或利用二组柱面镜52组成如图9(B)所示，或利用一组柱面镜53组成如图9(C)所示，而柱面镜主要作用是使前述平行光束在副扫描方向(sub scanningdirection)Y轴上的宽度能沿着主扫描方向(main scanning direction)X轴的平行方向聚焦以在成像面组60(光接收面，photoreceptor drum)上形成线状成像(line image)；而在本发明中，因未使用高速旋转的多面镜(polygonmirror)，故柱面镜组50可随需要设置或不设置，若有，则四个准直镜51或二组柱面镜52或一组柱面镜53是以垂直叠置成一直列式结构体为佳，藉以分别对应于四道激光束。
四激光束经过柱面镜组50而射出后可分别射至该微机电摆动式反射镜组30，该反射镜组30是利用直列式微机电(MEMS Array)的结构型态，使数个微机电摆动式反射镜(MEMS oscillatory mirror)31可垂直叠置成一直列式结构体；而在本实施例中，该MEMS反射镜组30可利用四组MEMS反射镜31组成，使每一MEMS反射镜31对应一激光束如图1-4及图5所示，或利用二MEMS反射镜32组成，而MEMS反射镜32的镜面纵向宽度(高度)比MEMS反射镜31大，使每一MEMS反射镜32可对应四道激光束如图9(B)所示，或利用一MEMS反射镜33组成，而MEMS反射镜33的镜面纵向宽度(高度)比MEMS反射镜32大，使一MEMS反射镜33可对应四道激光束如图9(C)所示；又在本实施例中，四MEMS反射镜31，或二MEMS反射镜32或一MEMS反射镜33是垂直叠置成一直列式结构体如图1-4、5及图9(B)、(C)所示，藉以有效缩小多光束雷射扫描装置的体积，进而缩小彩色打印机的体积，达成轻薄短小的要求。
又四激光束分别藉反射镜组30上数个反射镜31/32/33的简谐式摆动，使四道激光束分别反射至线性扫描镜片组40，再经该线性扫描镜片组40的折射，使四道激光束分别投射在成像面(感光鼓)60上作等速率的扫描，以达成雷射扫描装置所要求的线性扫描功能；该线性扫描镜片组40是利用数个F-Sinθ镜片41垂直叠置成一直列式结构体，而在本实施例中，该线性扫描镜片组40是利用四个F-Sinθ镜片41组成，并使四个F-Sinθ镜片41垂直叠置成一直列式结构体如图1-4、6、9(A)所示，而每一F-Sinθ镜片41是对应于一折射后的激光束如图9(A)所示，藉以配合MEMS反射镜组30，而有效缩小多光束雷射扫描装置的体积。又该线性扫描镜片组40可利用二F-Sinθ镜片42组成如图9(B)所示，或利用一F-Sinθ镜片43组成如图9(C)所示。又各F-Sinθ镜片41/42/43可设计成单件式(单片式，single-element scanning lens)结构、或双件式(双片式)结构、或多件式(多片式)结构。
使用时，该半导体雷射组10可射出四道激光束，四道激光束再分别经该准直镜组20形成平行光束，而平行光束可经或不经一柱面镜组50，再分别投射至微机电摆动式反射镜(MEMS oscillatory mirror)组的反射镜上，而该微机电摆动式反射镜(MEMS oscillatory mirror)组30是在某一摆动幅度下进行简谐运动，藉以控制该四道入射激光束的反射方向，使激光束反射至位于旁侧的F-Sinθ线性扫描镜片组40，再使四道激光束分别投射在成像面(感光鼓)60上，而达成一雷射扫描装置所要求的线性扫描(scanning linearity)功效。
又针对该微机电摆动式反射镜(MEMS oscillatory mirror)组30的简谐运动(harmonic motion)方式，本发明特别利用F-Sinθ镜片作为线性扫描镜片，以达成线性扫描(scanning linearity)的要求；兹针对该F-Sinθ镜片23的技征特征及作用功效，以及其与原有F-θ镜片之间的不同处说明如下一般传统的雷射扫描装置(LSU)是采用旋转式多面镜(Polygon Mirror)以等角速率旋转来完成激光束在感光鼓上作扫描的动作；此时激光束由Polygon Mirror反射的角度满足下式θ(t)＝ω*t，其中ω为Polygon Mirror的旋转角速率………E(1)如图10(A)、11(A)所示，由于多面镜为等角速率旋转，即ω为常数，故反射角度θ正比于时间t；换言的，在相同的时间间隔下，反射角度θ随时间的变化量也是相同的。被反射的激光束经由镜片聚焦于成像面(Image Plane)处，此时光点在Y方向的位置Y′满足下式Y′＝LP*Tan(θ(t))，其中LP为多面镜的反射镜面到成像面的距离………E(2)
如图11(A)中虚线所示，在成像面的光点轨迹随时间增加，且光点与下一个光点间之间距也随的渐增，即在成像面上光点的速率为非等速且渐增的，而此现象在LSU中是不允许的；此时该镜片除了聚焦的功能外，尚需有修正光点非等速运动的功能，使光点的轨迹是等速率的，使修正后的光点位置Y′满足下式Y′＝F*θ(t)，其中F为该镜片的焦距………E(3)如图11(A)中实线所示，相同的时间间隔对应相同的反射角度的变化量，由E(3)式便可知对应到的光点位置Y′为等间距的变化，故称此种同时具有修正光点大小与修正其轨迹为等速的特殊镜片为F-θ镜片；又如图12(A)所示，在光学设计上，此镜片是要刻意的产生一″负畸变(Negative Distortion orBarrel Distortion)″，即将原来的光路径(Original Beam Path)经由F-θ镜片向打印中心(Printing Center)弯折，而被镜片弯折的光束与原来的光束在成像面上的位置差量如图11(A)所示d1、d2、d3)，由中心向外渐增。
而本发明是利用一微机电摆动式反射镜(MEMS oscillatory mirror)以取代多面镜(Polygon Mirror)，而微机电摆动式反射镜的运动模式是简谐运动(Harmonic Motion)，与旋转式多面镜不同，即激光束经摆动式反射镜反射后的反射角度θ与时间t的关系为θ(t)＝θS*Sin(2πf*t)………E(4)其中f为MEMS Mirror的扫描频率；θS为光束经MEMS Mirror后，单边最大的扫描角度；如图10(B)所示，在相同的时间间隔下，所对应的反射角度的变化量并不相同且为递减，是一与时间成正弦函数(Sinusoidal)的关系；微机电摆动式反射镜来回摆动一次为一完整的周期，图10(B)所示仅为四分的一周期，此时即达到最大的反射角度θS。
如图11(B)所示，同理可得光点的位置Y′亦满足E(2)，并将E(4)代入E(2)可得Y′＝LM*Tan[θS*Sin(2πf*t)]，………E(5)其中，LM为反射镜面到成像面的距离由E(5)式可得，在成像面上光点与下一个光点之间距随时间增加而递减，即在成像面上光点的速率为非等速且递减的；而此现象与旋转式多面镜(Polygon Mirror)的情况相反，因此须加入一特殊镜片来修正此现象，使其在成像面上作等速率的扫描；由于此镜片是针对随时间成正弦关系的角度变化量作修正，而有别用于旋转式多面镜所使用的F-θ镜片，故称其为F-Sinθ镜片；而在光学设计上，此F-Sinθ镜片是要刻意产生一″正畸变(PositiveDistortion or Pincushion Distortion)″，即将原来的光路径经由F-Sinθ镜片向打印终端(Printing End)弯折，如图11(B)所示，而被F-Sinθ镜片弯折的光束与原来的光束在成像面上的位置差量如d1′、d2′、d3′，由中心向外渐增。
再参考图12(A)、(B)，其分别为旋转式多面镜(Polygon Mirror)与微机电摆动式反射镜(MEMS oscillatory mirror)的雷射扫描装置(LSU)的光学设计，其中，光学是统中的镜片都有修正光点位置的功能，使其在成像面上的扫描速率为等速率，即相同的时间间隔下，光点与下一光点之间距为相等的。
再参考图13(A)、(B)，其分别为旋转式多面镜与微机电摆动式反射镜的雷射扫描装置(LSU)所使用的F-θ镜片与F-Sinθ镜片在畸变(Distortion)的光学特性，图13(A)是表示一″负畸变″的光学特性，图13(B)则是一″正畸变″的光学特性。
又，本发明利用数个微机电摆动式反射镜31/32垂直叠置成一直列式反射镜组30，并利用数个F-Sinθ镜片4142组成一直列式线性扫描镜片组40；而习知者是利用一旋转式多面镜及F-θ镜片以组成一多光束的雷射扫描装置(LSU)如美国专利US6,798,820、US6,839,074、US6,914,705，故本发明的结构特征已与习知者不同；而本发明至少可达成下列优点(1)本发明微机电摆动式反射镜组是利用直列式微机电(MEMS Array)的结构型态，使数个微机电摆动式反射镜垂直叠置成一微小化直列式反射镜组，并利用数个F-Sinθ镜片垂直叠置成一直列式线性扫描镜片组，以对应于该直列式反射镜组，因此应用于彩色打印机(LBP，Laser Beam Printer)的光学引擎时，可有效缩小彩色打印机的体积并提升扫描效率者。
(2)在雷射扫描装置(LSU)模块中不须再设置一柱面镜(cylindricallens)，可使F-Sinθ镜片的光学设计将更坚固(more robust)且更高公差(highertolerance)。
(3)本发明激光束中心轴对准微机电摆动式反射镜的机械中心，不再有习用多面镜(polygon mirror)的离轴偏差问题(deviation)，因此在设计F-Sinθ镜片时，可只考虑对称性光学区域(symmetric optical field)，而可简化F-Sinθ镜片的设计及制作。
(4)本发明微机电摆动式反射镜的简谐运动(harmonic motion)激活后可马上达成工作转速，几乎没有待机时间，而且可具较高运转速度，甚至比多面镜马达(polygon motor)使用气式轴承马达(air-bearing motor)还高，故微机电摆动式反射镜微机电反射镜的扫描效率较佳。
(5)本发明微机电摆动式反射镜的简谐运动(harmonic motion)是在某一定摆动幅度下的正反向摆动，使扫描方向(scanning direction)可双向来回进行，致同一运转速度的下，微机电摆动式反射镜的双向扫描速度可两倍于多面镜的单向扫描速度，相对增进扫描效率。
综上所述，本发明的确能藉由上述所揭露的结构达到所预期的功效，且本发明申请前未见于刊物亦未公开使用，诚已符合专利的新颖、进步等要件。惟，上述所揭的图式及说明，仅为本发明的实施例而已，非为限定本发明的实施例；大凡熟悉该项技艺的人士，其所依本发明的特征范畴，所作的其它等效变化或修饰，皆应涵盖在以下本案的申请专利范围内。
权利要求
1.一种多光束的直列式雷射扫描装置，其特征在于包含一半导体雷射组、一准直镜组、一微机电摆动式反射镜组、及一F-sinθ线性扫描镜片组，其中半导体雷射组，可发射数道激光束并分别射至准直镜组；准直镜组，可接受半导体雷射组的数道激光束，并分别形成平行光束再出射至微机电摆动式反射镜组，且各激光束的主轴是对准微机电摆动式反射镜的摆动轴心；微机电摆动式反射镜组，包含数个微机电摆动式反射镜，且利用直列式微机电的结构型态，使数个微机电摆动式反射镜垂直叠置成一直列式结构体，又各反射镜是藉其微机电摆动结构而以某一摆动幅度下进行简谐运动式摆动，以使入射激光束反射至F-sinθ线性扫描镜片组；F-sinθ线性扫描镜片组，包含数个F-Sinθ镜片，且数个F-Sinθ镜片是垂直叠置成一直列式结构体，且各F-Sinθ镜片是对应于一经微机电摆动式反射镜反射后的激光束，且F-Sinθ镜片可针对微机电摆动式反射镜随时间成正弦关系的角度变化量作修正，使激光束在成像面上作等速率扫描。
2.如权利要求1所述多光束的直列式雷射扫描装置，其特征在于，该F-Sinθ镜是针对微机电摆动式反射镜以简谐运动方式反射激光束致使在成像面上的光点间距呈现随时间增加而递减的非等速率扫描现象设计一F-Sinθ镜片，使该F-Sinθ镜片可对随时间成正弦关系的角度变化量作修正，使微机电简谐运动反射镜在成像面上光点间距由原来随时间增加而递减的非等速率扫描现象，修正为等速率扫描。
3.如权利要求1所述多光束的直列式雷射扫描装置，其特征在于，该F-Sinθ镜片可为单件式镜片结构，或两件式镜片结构，或多件式镜片结构。
4.如权利要求1所述多光束的直列式雷射扫描装置，其特征在于，该半导体雷射组可利用单光束半导体雷射组成。
5.如权利要求1所述多光束的直列式雷射扫描装置，其特征在于，该半导体雷射组可利用多光束半导体雷射构成。
6.如权利要求1所述多光束的直列式雷射扫描装置，其特征在于，该准直镜组可利用数个准直镜并垂直叠置成一直列构成。
7.如权利要求1所述多光束的直列式雷射扫描装置，其特征在于，该准直镜组利用单个数值孔径的准直镜构成。
8.如权利要求1所述多光束的直列式雷射扫描装置，其特征在于，该微机电摆动式反射镜的镜面具有纵向宽度，使其反射镜可同时对应数道激光束。
9.如权利要求1所述多光束的直列式雷射扫描装置，其特征在于，在准直镜组与微机电摆动式反射镜组之间可设置一柱面镜组，使经准直镜的各激光束可分别再经柱面镜，再投射至微机电摆动式反射镜组的各反射镜上。
10.如权利要求9所述多光束的直列式雷射扫描装置，其特征在于，该柱面镜组可利用数个柱面镜并垂直叠置成一直列构成。
全文摘要
一种多光束的直列式雷射扫描装置，包含一半导体雷射组、一准直镜组、一微机电摆动式反射镜组、及一线性扫描镜片组，其中，该半导体雷射组可射出多道激光束如四道光束，分别经该准直镜组形成平行光束，再分别射至该微机电摆动式反射镜组，再经该反射镜组的简谐式摆动使多道激光束分别反射至线性扫描镜片组，再经线性扫描镜片组使多道激光束分别投射在成像面组(感光鼓)上作等速率的扫描，以达成雷射扫描装置所要求的线性扫描功能。
文档编号G02B3/06GK101025471SQ20061000318
公开日2007年8月29日 申请日期2006年2月22日 优先权日2006年2月22日
发明者徐三伟, 陈国仁, 温明华, 朱翊麟, 王和彬 申请人:一品光学工业股份有限公司