栅格起偏镜及其制法的制作方法

专利名称：：栅格起偏镜及其制法的制作方法
技术领域：
：本发明涉及在光通信、光记录、传感器、图象显示装置等中使用的栅格起偏镜及其制法，详细地涉及具有耐擦伤性、防污性，并且具有充分的挠性和强度的栅格起偏镜及其制法。
背景技术：
：作为可以自由设定偏振面的起偏镜，已知栅格起偏镜。其是具有以一定周期平行排列多数线状金属(金属丝)而形成的栅格结构的光学部件。形成这样的金属栅格结构，在栅格周期比入射光波长短时，与形成栅格结构的线状金属平行的偏振光成分发生反射，垂直的偏振光成分透过，所以可以起到制造出单一偏振光的起偏镜的作用。已经提出该栅格起偏镜在光通信中作为隔离物(7<乂l/一夕一)的光部件利用，在液晶显示装置中作为用于提高光利用率，提高亮度的部件利用。如图31所示，专利文献1提出了一种包含矩阵的起偏镜，所述起偏镜是可见光谱用埋入型金属丝.栅格起偏镜，所述矩阵是由具有某种折射率的第1层410、从第1层分离的具有某种折射率的第2层413、夹在第l层和第2层之间、在要素之间形成多个间隙412的、平行分隔的细长要素排列411,提出包含间隙提供比第1层折射率更低折射率的排列的起偏镜。在专利文献l中，公开了该间隙412可以包含空气、真空、水、氟化镁、油、烃。专利文献l的栅格起偏镜中第1层411、第2层413及矩阵411通过氟化镁等低折射率物质而结合。如在图32中所示，专利文献2公开了一种埋入式金属线栅格起偏镜，其用于使入射的光束发生偏振，其包括具有一个表面的基材414、和配置在上述表面上并以比上述入射光波长更小的栅格间隔隔开的复合金属丝418的列，复合金属丝418之间的沟部415分别以光学性介电材料填充，上述复合金属丝分别具有包含交替的细长金属层416和细长介电层417的金属丝内下部结构，另外，包含交替的细长金属层416和细长感应层417的上述金属丝内下部结构具有至少2个上述细长金属丝416。专利文献2中，作为填充在沟部415中的光学介电材料，可以列举空气、光学透明液体、粘合剂或凝胶。并且，在复合金属丝上层叠介电部件419。介电部件419和复合金属丝通过其他介电部件结合。如在图33中所示，专利文献3公开了一种偏光装置，其具有起偏镜，上述起偏镜具有光透过基板420、配置在上述基板上的对周围环境敏感的栅格金属线421和包围上述起偏镜的密封包围部件423，为了保护上述偏振光元件不受周围环境影响，上述包围部件具有非活性氛围气。该非活性氛围气公开了真空、非活性气体。通过在起偏镜侧面部分安置的隔板424,该密封包围部件被设置为不接触栅格金属丝。专利文献l:特开2003-519818号公报(美国专利第6288840号公报)专利文献2:特开2004-280050号公报(美国专利第6665119号公报)专利文献3:特开2005-513547号公报(美国公开公报2003-117708号公报)
发明内容本发明的目的在于提供具有耐擦伤性、防污性，并且具有充分的挠性和强度的栅格起偏镜。解决问题的方法本发明人等为了达到上述目的而研究的结果发现，通过使起偏镜具有以下构成，可以得到具有耐擦伤性、防污性，并且具有充分的挠性和强度的栅格起偏镜，所述起偏镜具备包含透明材料的第1层和叠层在第1层上的第2层，第2层具有细长线状延伸的A层和细长线状延伸的B层，这些A层和B层交替多个并列配置，A层包含双折射率(N=n-iK)的实部n和虚部K之差的绝对值为l.O以上的材料，B层包含多孔性物质。另外发现，在包含透明材料的第l层主面上，形成细长线状延伸并且相互分隔地多条并列的A层，所述A层包含双折射率(N=n-iK)的实部n和虚部K之差的绝对值是1.0以上的材料的，接着从第1层主面的倾斜方向蒸镀，形成横跨A层顶部两方并且封闭位于A层间的沟部的口的第3层，由此可以得到在第1层、A层及第3层包围的空间中含有空气或非活性气体，并且具有耐擦伤性、防污性，并且具有充分挠性和强度的栅格起偏镜。还发现，通过含有与无机材料结合的反应基团和与有机材料结合的反应基团的化合物，使A层与第l层和/或第3层结合，可以得到具有耐擦伤性、防污性，并且具有充分挠性和强度的栅格起偏镜。基于这些见解，进一步反复研究的结果，完成了本发明。这样，本发明包含以下内容。(1)一种栅格起偏镜，其包括包含透明材料的第1层、包含透明材料的第3层以及位于第l层和第3层之间的第2层；第2层，其包括细长线状延伸的多个A层和细长线状延伸的多个B层，这些A层和B层交替并列配置，所述A层包含双折射率(N=n-iK)的实部n和虛部k之差的绝对值为1.0以上的材料，所述B层包含气体；第3层通过包含与无机材料结合的反应基团和与有机材料结合的反应基团的化合物与A层结合、或第3层包含透明的无机氧化物或无机氮化物、或第3层包含多孔性物质。(2)—种栅格起偏镜，其包括包含透明材料的第l层、包含透明材料的第3层以及位于第1层和第3层之间的第2层；第1层，在该层表面以分隔的状态并列地形成多个细长线状延伸的垄部分，第2层，具有在上述垄部分的各个顶面上沿着该垄部分细长线状延伸的A层和在形成于相邻的A层和垄之间的沟部上呈细长线状延伸的B层，这些A层和B层交替并列配置，所述A层包含双折射率(N=n-iK)的实部n和虚部k之差的绝对值为1.0以上的材料，所述B层包含气体，第3层通过具有与无机材料结合的反应基团和与有机材料结合的反应基团的化合物与A层结合、或第3层包含透明的无机氧化物或无机氮化物、或第3层包含多孔性物质。(3)按照(2)所述的栅格起偏镜，其中，还在所述沟部的底面上设置细长线状延伸的A，层，该A，层包含双折射率(N=n-iK)的实部n和虚部k之差的绝对值为1.0以上的材料。(4)按照(1)~(3)中任意1项所述的栅格起偏镜，其中，B层包含多孔性物质，所述多孔性物质具有包含气体的孔。(5)按照(4)所述的栅格起偏镜，其中，第3层包含多孔性物质，第3层和所述B层无边界连接。(6)按照(l)~(4)中任意1项所述的栅格起偏镜，其中，第3层包含树脂。(7)按照(1)~(6)中任意1项所述的栅格起偏镜，其还具有包含树脂的第4层，并以第1层、第2层、第3层、第4层的顺序层叠而成。(8)按照(1)~(3)中任意1项所述的栅格起偏镜，其中，B层是包含位于第l层、A层和第3层所包围的空间中的空气或非活性气体的层。(9)按照(8)所迷的栅格起偏镜，其中，第3层包含无机氧化物或无机氮化物。(10)按照(1)~(9)中任意1项所述的栅格起偏镜，其中，A层通过具有与无机材料结合的反应基团和与有机材料结合的反应基团的化合物与第l层和/或第3层结合。(11)按照(1)~(10)中任意1项所述的栅格起偏镜，其中，笫l层是包含树脂的层。(12)—种偏振元件，其由上述(1)~(11)中任意1项所述的栅格起偏镜和其它偏振光光学部件叠合而成。(13)按照(12)所述的偏振光元件，其中，其它偏振光光学部件是吸收型起偏镜，栅格起偏镜的偏振光透过轴和吸收型起偏镜的偏振光透过轴大致平行。(14)一种液晶显示装置，其包括上述(l)~(ll)中任意l项所述的栅格起偏镜。(15)—种4册格起偏镜的制法，该方法包括，在包含透明材料的第1层主面上，分隔地并列形成多个细长线状延伸的A层，所述A层包含双折射率(N=n_iK)的实部n和虚部K之差的绝对值为1.0以上的材料，从第1层主面的倾斜方向蒸镀无机氧化物或无机氮化物，横跨以分隔状态相邻的A层的顶部之间，形成封闭该间隔部分的第3层，在第l层、A层及第3层所包围的空间中含有空气或非活性气体。(16)—种栅格起偏镜的制法，该方法包括，在第l层的垄部分的顶面上，沿着该垄部分形成细长线状延伸的A层，所述第一层在其表面形成有多个并列并呈分隔状态的细长线状延伸的垄部，并且该第一层包含透明材料，所述A层包含双折射率(N=n-iK)的实部n和虚部k之差的绝对值为1.0以上材料，从第1层主面的倾斜方向蒸镀无机氧化物或无机氮化物，由此横跨以分隔状态相邻的A层顶部之间，形成封闭该分隔部分的第3层，在第l层、A层及第3层所包围的空间中含有空气或非活性气体。(17)—种栅格起偏镜，其包括:包含透明材料的第1层、层叠于第1层上的第2层，第2层包括细长线状延伸的A层和细长线状延伸的B层，这些A层和B层交替多个并列配置，上述A层包含双折射率(N=n-ik)的实部n和虛部k之差的绝对值为1.0以上的材料，上述B层包含多孔性物质。(18)—种栅格起偏镜，其包括包含透明材料的第1层和层叠于第1层上的第2层，第1层，在其表面以分隔的状态多个并列地形成细长线状延伸的垄部分，第2层，包括位于上述垄部分的各个顶面上的沿着该垄部分细长线状延伸的A层和位于相邻的A层和垄部分之间形成的沟部的细长线状延伸的B层，这些A层和B层交替并列配置，上述A层包含双折射率(N=n-iK)的实部n和虚部K之差的绝对值为l.O以上的材料，上述B层包含多孔性物质。(19)按照(18)记载的栅格起偏镜，其中，在上述沟部的底面上设置细长线状延伸的A，层，该A，层包含双折射率(N=n-iK)的实部n和虛部k之差的绝对值为1.0以上的材料。(20)按照(17)~(19)中任意1项记载的栅格起偏镜，其还具有包含多孔性物质的第3层，以第1层、第2层、第3层的顺序层叠，该第3层与细长线状延伸的B层无边界地连接。(21)按照(17)~(20)的任意1项中记载的栅格起偏镜，其还具有包含树脂的第4层，该起偏镜以第l层、第2层、第3层、第4层顺序层叠而成。另外，在本说明书中，用"以上""以下，，表示时，包含该边界值。表示为"不足，，"超过，，时、不包含该边界值。另外，以"~"表示的范围的边界值包含在该范围中。构成本发明栅格起偏镜的第l层和第3层，如果是包含透明材料的，就没有特别的限制。透明材料可以列举玻璃、无机氧化物、无机氮化物、多孔性物质、透明树脂等，考虑到挠性，第l层优选透明树脂。从加工性的观点出发，透明树脂的玻璃转移温度优选60-20(TC,更优选100~180°C。另外，玻璃化转变温度可以由差示扫描热量分析(DSC)测定。作为透明树脂的具体例子，可以列举聚碳酸酯树脂、聚醚砜树脂、聚对苯二曱酸乙二醇酯树脂、聚酰亚胺树脂、聚曱基丙烯酸曱酯树脂、聚砜树脂、聚芳酯树脂、聚乙烯树脂、聚氯乙烯树脂、二醋酸纤维素、三醋酸纤维素、脂环族烯烃聚合物等。其中，从透明性、低吸湿性、尺寸稳定性、加工性的观点出发，脂环族烯烃聚合物是适合的。作为脂环族烯烃聚合物，可以列举在特开平05-310845号公报中记载的环烯烃无规多元共聚物、在特开平05-97978号公报中记载的加氢聚合物、在特开平11-124429号公报(美国专利第6,511,756号公报)中记载的热塑性二环戊二烯类开环聚合物及其加氢物等。在本发明中使用的透明树脂，也可以是适当配合了颜料或染料之类的着色剂、荧光增白剂、分散剂、热稳定剂、光稳定剂、紫外线吸收剂、抗静电剂、抗氧化剂、润滑剂、溶剂等配合剂的树脂。包含透明树脂的第l层，可以以公知的方法成形上述透明树脂而得到。作为成形方法，例如，可以列举流延成形法、挤出成形法、气胀成形法等。第l层和第3层以片或膜状透明树脂构成时，从处理性的观点出发，第1层和第3层的平均厚度通常是5jamlmm、优选是20200jam。在400~700nm可见区域的光透过率为80%以上这一点来讲，第1层和第3层优选具有平滑的面。另外，第1层和第3层由片或膜状透明树脂构成时，第1层和/或第3层并不受其在波长550nm处测定的阻滞Re(用Re=dx(nx-ny)定义的值，nx、ny是第1层或第3层的面内主折射率(nx》ny);d是第1层或第3层的平均厚度)没有特别的限制。面内任意2点的阻滞Re之差(阻滞偏差)优选10nm以下，更优选5nm以下。如果阻滞偏差大，在液晶显示装置中使用时，显示面容易产生亮度不均。本发明栅格起偏镜的一个实施方式是，第3层包含无机氧化物或无机氮化物，无机氧化物或无机氮化物优选低折射率的。无机氧化物或无机氮化物的具体例子，可以列举氧化硅、氧化铝、氧化镁、氧化钛、氧化锌、氧化锆、氮化硅、氮化铝等。构成第3层的透明材料，在使用无机氧化物或无机氮化物时，第3层的厚度没有特别的限定，优选5~500nm，更优选10~300nm。本发明栅格起偏镜的另一个实施方式是，第3层包含多孔性物质。多孔性物质的具体例子，可以列举与作为后述B层的具体例子而被记载的多孔性物质同样的多孔性物质。在使用多孔性物质作为构成第3层的透明材料时，第3层的厚度没有特别的限制，优选5~500nm、更优选10~300nm。构成本发明栅格起偏镜的第2层具有细长线状延伸的A层和细长线状延伸的B层，这些A层和B层交替多个并列配置，层叠在第l层上。细长线状延伸的A层包含双折射率(N=n-iK)的实部n和虚部k之差的绝对值为l.O以上的材料。该材料可以从双折射率实部和虚部的任意一个大、并且其差的绝对值为1.0以上的材料中适当选择。双折射率实部和虛部之差的绝对值是1.0以上的材料的具体例子，可以列举金属；硅、锗等无机半导体；聚乙炔、聚吡咯、聚噻吩、聚对苯(求U-p-:7工二l^y)等导电性聚合物、以及使用碘、三氟化硼、五氟化砷、高氯酸等掺杂剂掺杂了这些导电性树脂的有机类导电性材料；将在绝缘性树脂中分散了金、银等导电性金属微粒的溶液干燥而得到的有机-无机复合类导电性材料等。其中，从栅格起偏镜的生产率、耐久性的观点出发，优选金属材料。为了将可见区域的光高效率地偏光分离，在温度25°C、波长550nm处的双折射率的实部n和虛部k分别优选为n是4.0以下、k是3.0以上，并且其差的绝对值ln-kl是1.0以上，更优选为n是2.0以下、k是4.5以上，并且In-kl是3.0以上。上述优选范围的材料，可以列举《艮、铝、铬、铟、铱、镁、把、铂、铑、钌、锑、锡等，处于上述更优选范围的材料，可以列举铝、铟、镁、铑、锡等。另外，在上述以外，n是3.0以上、并且k是2.0以下的范围的材料，优选n是4.0以上、并且k是1.0以下范围的材料也可以适合地使用。这样的材料可以列举硅等。双折射率N是电^f兹波的理论关系式，使用实部折射率n和虚部衰减系数K，并通过N-n-iK表现。虽然细节尚不明确，但(n-k(的值具有如下的意义。首先，在n<k时，表示优选k更大、n更小。k越大，则导电性越大，可以在A层方向振动的自由电子变多，所以，由偏振光((电场)与A层平行的方向的偏振光)的入射而产生的电场变强，对上述偏振光的反射率提高。因为A层宽度小，所以，在与A层垂直的方向上，电子不动，对与A层垂直方向的偏振光不产生上述的效果，而是发生透过。另外，n小者入射的光在介质中的波长变大，所以，相对地微细凹凸结构的尺寸(线宽、间距等)变小，不易受到散射、衍射等的影响，光的透射率(垂直于A层方向的偏振光)、反射率(平行于A层方向的偏振光)提高。在这里所说的(n-kI为1.0以上，表示4尤选K更大、n更小。另一方面，在n〉k时，优选n更大、k更小。n越大，A层和与其相邻连接的部分(图1中的多孔性物质)的折射率n之差变大，容易表现出结构双折射。另一方面，K变大时，光的吸收变大，所以，在防止光损失的意义上，K越小越优选。在这里，所谓In-kI是1.0以上，表示优选n更大、k更小。A层呈细长线状延伸，并且分隔地多个并列设置。例如，如在图6和图16中所示，在第1层310的垄部顶面上形成叠层有A层311的结构，所述第1层310具有细长线状延伸的垄部以多个间隔的状态并列的表面形状，并包含透明材料。A层间距为使用的光波长的1/2以下。A层的宽和高越细，透过方向的偏振光成分的吸收变得越小，在特性上优选。在可见光线中使用的栅格起偏镜中，A层间距通常是50600nm、A层宽通常是25~300nm、A层高通常是10500nm。A层通常比光的波长延伸得长、优选延伸为800nm以上。细长线状延伸的B层包含气体。B层既可以是包含位于第l层、A层及第3层所包围的空间内的空气或非活性气体的层、也可以是包含多孔性物质的层，所述多孔性物质具有包含气体的孔。构成B层的多孔性物质是具有多个微小空孔的材料，例如，可以列举气凝胶。气凝胶是微小空孔分散在基质中形成的透明性多孔体。空孔的大小大部分是200nm以下，空孔的含量通常是10-60体积％、优选20~40体积%。气凝胶包括二氧化硅气凝胶和在基质中分散有中空粒子的多孔体。如美国专利第4,402,927号乂>才艮、美国专利第4,432,956号公^^艮和美国专利第4,610,863号公报等中公开，以醇或二氧化碳等溶剂(分散介质)将包含通过烷氧基硅烷的水解聚合反应得到的二氧化硅骨架的凝胶状化合物制成湿润状态，然后以超临界干燥除去该溶剂，可以制造二氧化硅气凝胶。另外，如在美国专利第5,137,279号公报、美国专利第5,124,364号公报等中公开，以硅酸钠为原料，与上述同样操作，可以制造二氧化硅气凝胶。在本发明中，如特开平5-279011号公报和特开平7-138375号公报(美国专利第5,496,527号公报)所公开的，优选对由烷氧基硅烷的水解、聚合反应得到的凝胶状化合物进行疏水化处理，对二氧化硅气凝胶赋予疏水性。使得湿气和水等不易侵入该疏水性二氧化硅气凝胶，可以防止二氧化硅气凝胶的折射率或光透过性等性能的劣化。中空微粒分散于基质中得到的多孔体，可以列举在特开2001-233611号7^报和特开2003-149642号7>才艮中被公开的多孔体。基质所使用的材料，从适合于中空微粒分散性、多孔体的透明性、多孔体的强度等条件的材料中选择。例如，可以列举聚酯树脂、丙烯酸类树脂、聚氨酯树脂、氯乙烯树脂、环氧树脂、三聚氰胺树脂、氟树脂、硅树脂、聚乙烯醇缩丁醛树脂、酚醛树脂、醋酸乙烯树脂、烷氧基硅烷等水解性有机硅化合物及其水解物等。其中，从中空微粒分散性、多孔体强度出发，优选丙烯酸类树脂、环氧树脂、聚氨酯树脂、硅树脂、水解性有机硅化合物及其加水分解物。中空微粒没有特别限制，但优选无机中空微粒，特别优选二氧化硅类中空微粒。构成无机中空微粒的无机化合物，可以例示Si02、A1203、B203、Ti02、Zr02、Sn02、Ce203、P205、Sb203、Mo03、Zn02、W03、Ti02-Al203、TiOrZr02、In203-Sn02、Sb203-Sn02等。中空微粒的外壳既可以是具有细孔的多孔性外壳，或者也可以是细孔被闭塞、相对外壳的外侧而言空洞被密封的外壳。外壳优选包括内侧层和外侧层等的多层结构。在外侧层的形成中使用含氟有机硅化合物时，中空微粒的折射率变低，同时，对母体的分散性也变好，还产生赋予防污性的效果。该含氟有机硅化合物的具体例子，可以列举3,3，3-三氟丙基三曱氧基硅烷、曱基-3,3,3-三氟丙基二曱氧基硅烷、十七氟癸基曱基二曱氧基硅烷、十七氟癸基三氯硅烷、十七氟癸基三曱氧基硅烷、十三氟辛基三曱氧基硅烷等。夕卜壳厚度通常是1~50nm,优选520nm。另外，外壳厚度优选在无机中空微粒平均粒径的1/50-1/5的范围。另外，空洞中可以存在制备中空微粒时使用的溶剂和/或干燥时浸入的气体，用于形成空洞的前体物质也可以残留在空洞中。中空微粒的平均粒径没有特别的限制，但优选5~2000nm的范围、更优选20100nm。在这里，平均粒径是由透射型电子显微镜观察得到的数平均粒径。本发明的B层中所含的多孔性物质，其折射率越小，偏振光分离特性越高，越是优选，但折射率小的多孔性物质机械强度差，所以，优选从使光学特性和机械强度平衡的多孔性物质中选择。折射率的优选范围1.03-1.45、更优选是1.10-1.40的多孔性物质。A层和B层分别呈细长线状延伸，并且这些交替多个并列。例如，如图21和图22所示，在包含透明材料的第1层310上，形成分别叠层有A层311和B层312的结构。A层和B层大致平行地并列。在这里，所谓大致平行，是指，例如，即使在A层和B层不相交，即使A层之间的间距变宽或变窄时，也收敛在平均间距的±5%左右以内。A层的间距成为使用的光波长的1/2以下。A层宽和高越细，透过方向的偏振光成分吸收越小，在特性上优选。在可见光线中使用的栅格起偏镜中，A层的间距通常是50600nm、A层宽通常是25300nm、A层高是10~500nm。A层和B层通常延伸得比光的波长长，优选延伸800nm以上。B层包含在位于第l层、A层及第3层所包围的空间中的空气或非活性气体时，构成B层的非活性气体，可以列举氮气、氩气等。A层通过具有与无机材料结合的反应基团和与有机材料结合的反应基团的化合物与第1层和/或第3层结合。A层与第1层和/或第3层的结合所使用的化合物只要是具有与无机材料结合的反应基团和与有机材料结合的反应基团的化合物即可，没有特别的限制。该化合物的与无机材料结合的反应基团，与A层所含的双折射率(N=n-iK)的实部n和虚部K之差的绝对值为1.0以上的材料的亲和力强。另一方面，与有机材料结合的反应基团和构成第1层和/或第3层的透明材料、特别是与透明树脂的亲和力强。A层与第1层和/或第3层的结合力通过具有与无机材料结合的反应基团和与有机材料上结合的反应基团的化合物而增强。因此，为使A层与第1层和/或第3层结合而通常进行的加热压合工序中，可以降低加热温度并且降低压合压力。其结果，可以防止在第l层、A层及第3层所包围的空间崩塌而变窄。在第l层、A层及第3层所包围的空间(B层)中，如后所述，包含着低折射率物质即空气或非活性气体，所以，如果可以确保该空间如同设计值那样宽广，则栅格起偏镜的偏振光率变高。作为具有与无机材料结合的反应基团和与有机材料结合的反应基团的化合物，已知硅烷偶合剂、钛酸酯偶合剂、铝偶合剂。其中，从与无机材料和有机材料的结合力大的方面来看，优选硅烷偶合剂。偶合剂的具体例子，可以列举n-((3-氨基乙基)-y-氨基丙基三曱氧基硅烷、y-氨基丙基三甲氧基硅烷、y-氨基丙基三乙氧基硅烷等含有氨基的烷氧基硅烷；y-环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷、y-环氧丙氧基丙基三曱氧基硅烷、y-环氧丙氧基丙基曱基二曱氧基硅烷、P-(3，4_环氧基环己基)乙基三曱氧基硅烷等含有环氧基的烷氧基硅烷；y-丙烯酰氧基丙基三曱氧基硅烷、y-甲基丙烯酰氧基丙基三曱氧基硅烷、y-丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷、y-曱基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷、y-曱基丙烯酰氧基丙基三(|3-曱氧基乙氧基)硅烷等含有丙烯酰氧基的烷氧基硅烷或含有曱基丙烯酰氧基的烷氧基硅烷；y-巯基丙基三曱氧基硅烷、y-巯基丙基三甲氧基硅烷、y-巯基甲基三曱氧基硅烷、y-巯基曱基三乙氧基硅烷、y-巯基六曱基二硅氨烷等含有巯基的烷氧基硅烷；乙烯基三曱氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三((3-曱氧基乙氧基)硅烷、乙烯基三氯硅烷、乙烯基三乙酰氧基硅烷等含有乙烯基的烷氧基硅烷；异丙基三异硬脂酰基钛酸酯、异丙基三(二辛基焦磷酸酯)钛酸酯、异丙基三(n-氨基乙基-氨基乙基)钛酸酯、双(二辛基焦磷酸酯)羟基乙酸酯钛酸酯等。本发明的栅格起偏镜的制法包含以下工序，从第1层的主面的倾斜方向蒸镀无机氧化物或无机氮化物，横跨间隔且并列的A层顶部双方，形成封闭位于A层之间的沟部口的第3层。蒸镀从相对于第1层的主面为倾斜的方向进行蒸镀。图12~图14是表示形成第3层的工序的一个例子的图。首先，如果以从图中的纸面右上方向的角度对分隔且并列的A层311进行倾斜蒸镀，则无机氧化物或无机氮化物堆积在A层顶部右上侧，如图12所示，蒸镀膜314-1向右上方向成长。接着，如果以从纸面左上方向的角度进行倾斜蒸镀，无机氧化物或无机氮化物就在A层顶部左上侧堆积，如图13中所示，蒸镀膜314-2向左上方向成长。然后，通过从右上方向进行的蒸镀而成长的蒸镀膜314-1和通过从左上方向进行蒸镀而成长的蒸镀膜314-2相互接近，横跨以分隔状态相邻的A层顶部之间，封闭该分隔部分。然后，如果分隔部分被封闭，如图14所示，可以在蒸镀膜314-1和蒸镀膜314-2上成长蒸镀膜314-3。通过该倾斜蒸镀工序形成第3层，可以容易得到第l层、A层及第3层所包围的空间(B层)中含有空气或非活性气体的栅格起偏镜。发明效果本发明的栅格起偏镜具有耐擦伤性、防污性，并且具有充分的挠性和强度，所以，在液晶显示装置等中安装栅格起偏镜时的处理变得容易。另外，如果在液晶显示装置的液晶面板和背照灯装置之间配置本发明的栅格起偏镜，就可以有效利用来自背照灯的发光，可以使显示画面的亮度提高。图l是示出本发明的栅格起偏镜的第1实施方式中层叠第3层前的状态的截面图。图2是示出本发明的栅格起偏镜的第1实施方式中层叠第3层前的状态的立体图。图3是示出本发明的栅格起偏镜的第1实施方式的截面图。图4是示出本发明的栅格起偏镜的第2实施方式中层叠第3层前的状态的截面图。图5是示出本发明的栅格起偏镜的第2实施方式的截面图。图6是示出本发明的栅格起偏镜的第3实施方式中层叠第3层前的状态的截面图。图7是示出在本发明的栅格起偏镜的第3实施方式的截面图。工具的1个例子的图。图9是示出使用转印辊在树脂膜表面形成凹凸形状的工序的l个例子的图。图IO是示出连续賊射装置的1个例子的图。图ll是示出切削工具尖端结构的l个例子的图。图12是示出由倾斜蒸镀堆积本发明的栅格起偏镜的第3层的状态的图。图13是示出由倾斜蒸镀堆积本发明的栅格起偏镜的第3层的状态的图。图14是示出由倾斜蒸镀堆积本发明的栅格起偏镜的第3层的状态的图。图15是示出在本发明的栅格起偏镜的第3层上层叠第4层的状态的图。图16是示出本发明的栅格起偏镜的第4实施方式中层叠第3层前的状态的立体图。图17是示出本发明的栅格起偏镜的第4实施方式的截面图。图18是示出本发明的栅格起偏镜的第5实施方式的截面图。图19是示出本发明的栅格起偏镜的第6实施方式的截面图。图20是示出本发明的栅格起偏镜的第7实施方式的截面图。图21是示出本发明的栅格起偏镜的第8实施方式的截面图。图22是示出本发明的栅格起偏镜的第8实施方式的立体图。图23是示出本发明的栅格起偏镜的第9实施方式的截面图。图24是示出本发明的栅格起偏镜的第10实施方式的截面图。图25是示出本发明的栅格起偏镜的第11实施方式的截面图。图26是示出本发明的栅格起偏镜的第12实施方式的截面图。图27是示出本发明的栅格起偏镜的第13实施方式的截面图。图28是示出本发明的栅格起偏镜的第14实施方式的截面图。图29是示出本发明的栅格起偏镜的第15实施方式的截面图。图30是示出本发明的栅格起偏镜的第16实施方式的截面图。图31是示出以往的埋入型金属丝栅格起偏镜的图。图32是示出以往的埋入式金属丝栅格起偏镜的图。图33是示出以往的栅格起偏镜的图。符号说明310:第1层311:A层311，A，层312:B层314:第3层315:结合层317:第4层具体实施方式接着，边参照附图，边详细说明本发明的实施方式。图3是示出本发明的栅格起偏镜的第1实施方式的截面图。图1和图2是层叠图3示出的栅格起偏镜的第3层314前的状态的截面图和立体图。图1和图2中示出的栅格起偏镜中，在包含透明树脂等透明材料的膜状的第1层310上层叠包含铝或硅等双折射率(N=n-iK)的实部n和虚部K之差的绝对值是1.0以上的材料的A层311。如图2所示，A层311在设置成在第1层310的面上细长线状延伸。在第1层310上形成A层311的方法没有特别的限定，例如，可以由光刻(7才卜U乂夕、'，7)法得到。作为光刻法的例子，可以列举以下方法(1)以蒸镀、镀覆等方法在第1层310上层叠金属膜，在该金属膜上形成感光性抗蚀膜，照射线状图案的光，使抗蚀膜与图案吻合地固化，除去未固化部分，再蚀刻除去了抗蚀剂的金属膜部分，最后除去固化的抗蚀膜，以及(2)在第1层310上形成感光性抗蚀膜，照射线状图案的光，使抗蚀膜与图案吻合地固化，除去未固化部分，在形成了该图案的抗蚀膜上通过蒸镀、溅射等方法形成金属膜，最后除去固化的抗蚀膜等。另外，也可以在第1层上形成具有与无机材料结合的反应基团和与有机材料结合的反应基团的化合物的层，在该层上形成A层。在第1实施方式的栅格起偏镜中，如图3所示，在A层311的顶面设合物的结合层315，在结合层315上层叠包含透明材料的第3层314。结合层315可以通过以下方法得到，在A层311的顶面涂布包含具有与无机材料结合的反应基团和与有机材料结合的反应基团的化合物的涂布液等的方法，料结合的反应基团的化合物的涂布液等的方法。另外，在第3层314的内面也可以层叠粘合层(未图示)，在有粘接层时，可以使该粘接层和结合层315连接，使第3层314和A层311结合。为了通过结合层315结合A层311和第3层314,优选加热压合。加热温度优选是第3层314本身或在第3层内面设置的粘合层的熔融温度以下。压合压力只要是不会使A层结构发生变形的压力，则没有特别的限制。在第1实施方式的栅格起偏镜中，在第l层、A层和第3层之间形成空间(B层)312。在B层312中包含着空气或非活性气体。图5是表示本发明的栅格起偏镜的第2实施方式的截面图。图4是层叠图5所示的栅格起偏镜的第3层314前的状态的截面图。如图4、图5所示，第2实施方式的栅格起偏镜，在第1层310的表面以分隔的状态多个并列地形成了细长线状延伸的垄部，细长线状延伸的A层311在上述第1层的垄部的各个顶面上，沿垄部设置。图7是表示本发明栅格起偏镜的第3实施方式的截面图。图6是在层叠图7所示的栅格起偏镜的第3层314前的状态的截面图。如图6、图7所示，第3实施方式的栅格起偏镜是，在第2实施方式的栅格起偏镜中，在第1层的垄部之间的沟部底面上，沿着沟部设置包含双折射率(N=n-iK)的实部n和虚部K之差的绝对值是1.0以上的材料并呈细长线状延伸的A，层311'。在第2实施方式和第3实施方式中的A层311、第3层314和结合层315与第1实施方式中说明的同样。在这些实施方式中的第l层，除了在其表面具有细长线状延伸的垄部以外，与第1实施方式中说明的层同样。第1层表面上形成的细长线状延伸的垄部间距优选50~600nm,垄部的宽通常比光的波长还短，优选25300nm,垄部的高优选50~500nm。垄部呈线状延伸，其长度比光的波长长，通常是800nm以上。形成有细长线状延伸的垄部的第1层，其制法没有特别的限制。该第1层的合适的制法包括使用具有呈线状延伸的沟部的转印用模具、优选转印辊，在长带状的树脂膜表面转印呈线状延伸的垄部。可以在该优选的制法中使用的转印用模具或转印辊，只要是在转印面上具有细长线状延伸的沟部，则不受其制法的特别限制。例如，可以列举使用高能射线加工莫氏硬度9以上的材料，制作在尖端(先端)形成宽600nm以下突起的工具，使用该工具，在模具部件或辊部件的表面形成下述沟部的方法，所述沟部的间距优选50~600nm、沟部宽优选25~300nm、沟部深优选50~500nm，并呈细长线状延伸。图8是表示工具10的l个例子的图。以高能射线加工莫氏硬度9以上的长方体，在尖端面雕出沟，在尖端形成宽300nrn以下、优选200nm以下的直线状的突起33。在图8中，直线状突起以一定的间距多条平行地排列。在尖端形成突起的形状没有特别限制，例如，用垂直于直线状突起的长度方向的面截断的截面，可以列举长方形、三角形、半圓形、梯形或使这些形状有若干变形的形状等。其中，截面是长方形的模具可以容易形成双折射率的实部n和虚部k之差的绝对值是1.0以上的材料的A层，故优选。在工具尖端形成的突起的算术平均粗糙度(Ra)优选10nm以下，更优选是3nm以下。工具的突起(垄部)在模具部件或辊部件表面形成沟，工具的沟部在模具部件或辊部件表面形成垄部。使用突起截面形状是长方形的切削工具10(图ll:宽W1、间距P1、高H1)时，模具部件或辊部件表面的突起11的宽W2为P1-W1、突起11的间距P2为Pl、突起11的高H2为Hl以下。考虑到该关系和转印时的热膨胀等，可以决定与希望在模具部件或辊部件表面形成的沟部形状相对应的工具形状。工具两侧端部突起的宽e满足Wl-25<e<Wl+25(单位是nm)或e=0，由于可以将加工连接(継害、目)部分的间距控制为设定的值，故优选。作为可以用于工具的莫氏硬度9以上的材料，可以列举金刚石、立方晶系氮化硼、刚玉等。这些材料优选是单晶或烧结体。如果是单晶，在加工精度和工具寿命方面优选，单晶金刚石或立方晶系氮化硼因为硬度高而更优选，特别优选单结晶金刚石。作为烧结体，例如，可以列举以钴、钢、鴒、镍、青铜等为烧结材料的金属粘合剂(乂夕少求yK》以长石、可溶性粘土、耐火粘土、搪瓷用玻璃料等为烧结材料的玻璃化粘合剂(匕'卜y77一K求才乂K)。其中，金刚石金属粘合剂是适合的。可以在工具制作中使用的高能射线，例如，可以列举激光束、离子束、电子束等。其中，离子束和电子束是适合的。在离子束加工中，优选边对材料表面边吹送氟隆(7口y)、氯等活性气体，边照射离子束的方法(称为离子束辅助化学加工(一才y匕、一厶援用化学加工))。在电子束加工中，优选对工(電子匕、一厶援用化学加工))。通过这些粒子束辅助化学加工，加快蚀刻速度，可以防止被賊射的物质的再附着，并且可以以纳米级高精度高效地进行孩i细加工。使用在上述中得到的工具10,沿着辊部件的周面形成细长线状延伸的沟部。将工具10的直线状突起11压触在辊部件周面上，使辊部件旋转，切削或磨削辊部件周面。模具部件或辊部件的切削或磨削，优选使用精密微细加工机进行。精密-微细加工机的X、Y、Z轴的移动精度优选100nm以下、更优选50nm以下、特别优选10nm以下。精密微细加工机械优选设置在0.5Hz以上的振动位移被控制在50iam以下的室内、更优选0.5Hz以上的振动位移被控制为10jum以下的室内来进行上述加工。另外，模具部件或辊部件的切削或磨削，优选在温度被控制为±0.5。C以内的恒温室、更优选在温度被控制为±0.3。C以内的恒温室内进4亍。可以在微细加工中使用的模具部件或辊部件没有特别的限制，但模具部件或辊部件表面优选以具有适当硬度的材料形成，例如以通过电极沉积或无电解镀覆形成的金属膜形成。作为构成金属膜的材料，以可以得到维氏硬度优选40~350、更优选200~300的金属膜的材料为好，具体的可以列举铜、镍、镍-磷合金、钯等，其中，优选铜、镍、镍-磷合金。可以在辊部件上直接按压工具10，形成细长线状延伸的沟部，但也可以在金属模具上形成细长线状延伸的垄部，在该金属模具上以电气铸造等制作金属版，从金属模具上剥离出金属版，以在辊部件周面贴附该金属版的方法，制作转印辊。使用以上述方法等得到的转印用模具或转印辊，在树脂膜表面形成细长线状延伸的垄部。图9是表示以转印辊在树脂膜30表面形成细长线状延伸的垄部的工序的1个例子的图。在图9中，以转印辊20和夹住树脂膜并位于相反一侧的辊21,压夹树脂膜30，沿着转印辊周面在树脂膜上转印细长线状延伸的沟部形状。由转印辊与位于其相反一侧的辊引起的夹持压力优选数MPa数十MPa。另外，转印时的温度，如果以构成树脂膜的透明树脂的玻璃化转变温度为Tg,则优选Tg~(Tg+100)。C。树脂膜和转印辊的接触时间可以根据树脂膜的传送速度、即辊旋转速度调整，优选5600秒。在树脂膜表面形成细长线状延伸的垄部的其它方法，可以列举以下方法，在转印用模型或转印辊上压合感光性透明树脂，曝光，转印细长线状延伸的垄部的方法。具体的是流延感光性透明树脂溶液，除去溶剂，接着压合上述转印辊，同时照射光，使感光性透明树脂固化，形成细长线状延伸的垄部。接着，在形成于树脂膜表面的细长线状延伸的垄部的顶面形成A层311。既可以如图6所示在垄部顶面、和A层和垄部之间的沟部底面形成A，层，也可以如在图4中所示地只在垄部顶面形成A层。使该A层和A，层形成的方法没有特别的限制。根据使用的材料，可以使用真空蒸镀法、溅射法、离子镀法等真空成膜工艺和微照相凹版法、筛网涂布法、浸渍涂布法、非电解镀覆、电解镀等湿工艺的各种涂布法。其中，从栅格结构均勻性的观点出发，优选真空蒸镀法、溅射法。以下，例示以溅射法形成A层和A，层的情况。图IO是表示连续溅射装置的l个例子的图。图10的装置500是直流磁控管溅射装置，其可以在拉出辊501上装填形成有上述细长线状延伸的垄部的树脂膜，并可以在靶506中装填要蒸镀金属。在真空室内造成真空，从拉出辊501拉出膜，将膜巻在洁净的成膜辊503上，通过来自靶506的溅射，在膜表面形成金属膜。使形成有金属膜的膜巻在巻取辊504上。通过使賊射或蒸镀金属时的方向倾斜于形成于膜上的细长线状延伸的垄部，可以得到形成金属膜的部分和不形成金属膜的部分。例如，在形成了细长线状延伸的垄部的树脂膜中，如果从树脂膜的法线方向进行溅射等，就在垄部顶面和垄部之间的沟部底面形成金属膜，而在垄部侧面不形成金属膜。另外，在同样的树脂膜中，如果以与垄部延伸的方向大致成直角的方向从膜面的倾斜方向进行臧射，就在垄部顶面和垄部一侧面的上半部分的面上形成金属膜，但在垄部之间沟部的底面、垄部一侧面的下半部分和另一侧面不形成金属膜。利用这样的溅射飞来的金属的直线性和垄部与垄部之间的沟部，可以容易得到相互大致平行配置的A层和A，层。图17是表示本发明的栅格起偏镜的第4实施方式的截面图。图16和图6是层叠图17所示的栅格起偏镜的第3层316前的状态的立体图和截面图。图17所示的栅格起偏镜中，在第1层表面上多条并列地形成细长线状延伸的垄部。在该垄部的各自顶面上，沿着该垄部设置着细长线状延伸的A层311。另外，在垄部之间的沟部底面，沿着该沟部设置着细长线状延伸的A，层311，，在该A层顶面上还设置着包含无机氧化物或无机氮化物的第3层314。在第1层表面形成的细长线状延伸的垄部具有如图4和图6所示的结构。在第1层表面上并列的垄部的间距优选50600nm，垄部的宽通常比光的波长还短，优选25300nm，垄部的高优选50~500nm。垄部呈线状延伸，其长度比光的波长还长，通常是800nm以上。具有呈细长线状延伸的垄部的第1层可以通过在第2或第3实施方式的说明的制法得到。接着，在形成于树脂膜表面的呈细长线状延伸的垄部顶面上形成A层311，所述A层311包含铝或硅等双折射率(N=n-iK)的实部n和虚部K之差的绝对值是1.0以上的材料。既可以如图6所示，在垄部顶面、在A层和垄部之间的沟部底面形成A，层，也可以如图4所示只在垄部顶面形成A层。该A层和A，层的形成方法如同第2或第3实施方式中说明的那样。接着，在A层311上形成第3层。第3层可以经过图12~图14所示的工序得到。首先，以从图中的纸面右上方向的角度对分隔且并列的A层311进行倾斜蒸镀时，无机氧化物或无机氮化物堆积在A层顶部右上侧，如图12所示，蒸镀膜314-1向右上方向成长。接着，如果以从纸面左上方向的角度进行倾斜蒸镀，无机氧化物或无机氮化物就堆积在A层顶部左上侧，如图13所示，蒸镀膜314-2向左上方向成长。然后，在来自右上方向的蒸镀中成长的蒸镀膜314-1和在来自左上方向的蒸镀中成长的蒸镀膜314-2接近，横跨以分隔状态相邻的A层顶部之间，封闭该分隔的部分。然后，分隔部分被堵塞时，如图14所示，可以在蒸镀膜314-1和蒸镀膜314-2上使蒸镀膜314-3成长。通过该倾斜蒸镀工序形成包含无机氧化物或无机氮化物的第3层，可以容易得到在第l层、A层及第3层所包围的空间(B层)中含有空气或非活性气体的栅格起偏镜。图18是示出本发明的栅格起偏镜的第5实施方式的截面图。第5实施方式的栅格起偏镜是，在第4实施方式的栅格起偏镜的第3层上层叠有第4层317的栅格起偏镜。图15是示出在包含倾斜蒸镀得到的无机氧化物或无机氮化物的第3层上层叠有第4层的状态的图。第4层317优选形成片或膜状的层。第4层317不限于图18的结构，也可以是包含透明材料的层。第4层优选可以透过光的层，作为构成其的材料，例如，可以列举包含乙酸纤维素、乙酸丁酸纤维素、丙酸纤维素等的纤维素酯类、聚碳酸酯、聚烯烃、聚苯乙歸、聚酯等的包含透明树脂的层；包含有机烷氧基硅烷、分散有无机微粒的丙烯酸等的有机、无机复合层；包含氮化硅、氮化铝、氧化硅等的无机层。从挠性的观点出发，第4层优选包含树脂的层。作为层叠第4层的方法，没有特别的限定，可以列举贴合膜状的第4层并层叠的方法，涂布含有形成第4层的组合物的涂布剂，通过干燥、热或光固化形成第4层的方法、真空蒸镀法、离子镀法、溅射法等方法形成第4层的方法等。第4层的厚度没有特别的限制。具体是50nm~500Him。图19是表示本发明的栅格起偏镜的第6实施方式的图。图1是示出图19所示的栅格起偏镜上层叠第3层前的状态的图。图1所示结构的栅格起偏镜如同在第1实施方式中说明的那样。如图l所示，栅格起偏镜中，在包含透明树脂等透明材料的膜状的第1层310上层叠A层311。A层311在第1层310的面上呈细长线状延伸。在第6实施方式的栅格起偏镜中，在A层311的顶面上设置第3层314。包含无机氧化物和无机氮化物的第3层314,可以以与第4实施方式中说明的方法同样的方法形成。在第1层、A层和第3层之间形成空间(B层)312。B层312包含空气或非活性气体。图20是示出本发明的栅格起偏镜的第7实施方式的截面图。第7实施方式的栅格起偏镜是在第6实施方式的栅格起偏镜的第3层上层叠第4层317的栅格起偏镜。第4层与第5实施方式的说明中所示的层相同。图21和图22是示出本发明的栅格起偏镜的第8实施方式的图。图22是栅格起偏镜的立体图，图21是在图22中表示的栅格起偏镜的截面图。图21和图22所示的栅格起偏镜中，在包含透明树脂等透明材料的膜310上层叠包含铝或硅等双折射率(N=n-iK)的实部n和虚部k之差的绝对值是1.0以上的材料的A层311。如图22所示，A层在膜310的面上呈细长线状延伸。在膜310上形成A层311的方法没有特别的限定，例如，可以由光刻法得到。作为光刻法的例子，可以列举以下方法(1)以蒸镀、电镀等方法在膜上层叠金属膜，在该金属膜上形成感光性抗蚀膜，照射线状图案的光，使抗蚀膜与图案吻合地固化，除去未固化部分，再蚀刻除去了抗蚀膜的金属膜部分，最后除去固化的抗蚀膜，以及(2)在膜上形成感光性抗蚀膜，照射线状图案的光，使抗蚀膜与图案吻合地固化，除去未固化部分，通过蒸镀、溅射等方法在形成了该图案的抗蚀膜上形成金属膜，最后除去固化2的抗蚀膜。在第8实施方式的栅格起偏镜中，在A层之间的沟部形成B层312。B层包含多孔性物质。作为多孔性物质的例子，可以列举二氧化硅气凝胶和在基质中分散了中空粒子的多孔性物质等。多孔性物质的孔中通常包含气体。形成B层312的方法没有特别的限制，例如，可以在硅树脂的曱醇溶液中添加中空二氧化硅微粒的异丙醇分散溶胶，配制涂布液，使用金属棒涂布机等，将该涂布液流入A层之间的沟部，再使之干燥，接着在氧气氛围下热处理形成B层。图23是示出本发明的栅格起偏镜的第9实施方式的图。第9实施方式的栅格起偏镜的结构是，在上述第8实施方式的栅格起偏镜的B层312上层叠无边界连接的包含多孔性物质的层(第3层)314B。构成第3层的多孔性物质，可以使用与作为B层包含的多孔性物质例示的同样的多孔性物质。另外，在第9实施方式中，作为第3层，使用包含多孔性物质的层，但作为第3层也可以使用包含低双折射率物质的层。第3层314B可以采用与形成B层的方法同样的方法形成。例如，可以通过涂布为了形成B层而流入A层之间的沟部的上述涂布液并使之覆盖在A层上，得到第3层。图24是示出本发明栅格起偏镜的第10实施方式的图。第10实施方式的栅格起偏镜的结构是，以第1层膜310和第3层314的膜夹持上述第8实施方式的栅才各起偏镜的A层311和B层312。该第3层可以是包含透明材料的层。第3层314优选可以透过光的层，作为构成其的材料，例如，可以列举包含乙酸纤维素、乙酸丁酸纤维素、丙酸纤维素等纤维素酯类、聚碳酸酯、聚烯烃、聚苯乙烯、聚酯等的透明树脂构成的层；包含有机烷氧基硅烷、无机微粒分散丙烯酸等的有机无机复合层；包含氮化硅、氮化铝、氧化硅等的无机层等。从挠性的观点出发，第3层优选包含树脂的层。第3层优选可以透过光的层。层叠第3层的方法没有特别的限定，可以列举，贴合膜状的第3层并层叠的方法、涂布含有形成第3层的组合物的涂布剂，通过干燥或者通过热或光固化形成第3层的方法、真空蒸镀法、离子镀法、溅射法等方法形成第3层的方法等。在第10实施方式中，第3层的厚度没有特别的限制。具体的是0.1jum~500jum。图25是示出本发明栅格起偏镜的第11实施方式的图。第11实施方式的栅格起偏镜的结构是，在上述第9实施方式的栅格起偏镜的第3层314B上再层叠第4层317。第4层与上述第5实施方式中说明的层同样。图26是示出本发明栅格起偏镜的第12实施方式的图。第12实施方式的栅格起偏镜的结构是，在第1层310的表面上以相互分隔的状态多个并列地形成呈细长线状延伸的垄部，在上述垄部的各个顶面上沿着垄部设置细长线状延伸的A层，在相邻的A层和垄部之间形成的沟部配置细长线状延伸的B层312,并填埋该沟部。图27是示出本发明栅格起偏镜的第13实施方式的图。第13实施方式的栅格起偏镜的结构是，在第12实施方式中，再在上述沟部底面上设置细长线状延伸的A，层311'。A，层311，与A层311同样。在第12实施方式和第13实施方式中的第1层310、A层311和A，层311'与第3实施方式说明的层同样。另外，B层与第8实施方式中说明的同样。图28是示出本发明栅格起偏镜的第14实施方式的图。第14实施方式的栅格起偏镜的结构是，在上述第13实施方式的栅格起偏镜的B层上层叠无边界连接的包含多孔性物质的第3层314B。包含多孔性物质的第3层与第9实施方式中说明的层同样。图29是示出本发明栅格起偏镜的第15实施方式的图。第15实施方式的栅格起偏镜的结构是，在上述第13实施方式的栅格起偏镜的A层和B层上层叠第3层314。第3层与第10实施方式中说明的层同样。图30是表示本发明栅格起偏镜的第16实施方式的图。第16实施方式的栅格起偏镜的结构是，在上述第14实施方式的栅格起偏镜的第3层314上再层叠第4层317。第4层与上述第5实施方式中说明的层同样。本发明的偏振光元件是将上述栅格起偏镜和其它偏振光光学部件重合而构成的。作为其它的偏振光光学部件，可以列举吸收型起偏镜、相位差元件、偏振光衍射元件等。特别是使用本发明的偏振光元件作为液晶显示装置的亮度提高元件时，其它的偏振光光学部件优选吸收型起偏镜。在本发明中使用的吸收型起偏镜，是透过直角相交的两个直线偏振光中的一个而吸收另一个的起偏镜。例如，可以列举，在聚乙烯醇膜或乙烯-醋酸乙烯部分皂化膜等亲水性高分子膜中，吸附碘或双色性染料等双色性物质，并进行单向拉伸得到的膜；将上述亲水性高分子膜单向拉伸，吸附双色性物质得到的膜，聚乙烯醇的脱水处理物或聚氯乙烯的脱盐酸处理物等聚烯取向膜等。吸收型起偏镜的厚度通常是580jam栅格起偏镜和吸收型起偏镜优选重合为使栅格起偏镜的偏振光透过轴和吸收型起偏镜的偏振光透过轴大致平行。通过这样的配置，可以将自然光有效地变换为直线偏振光。在这里所谓的大致平行，是指在距平行方向士5。的范围内。本发明的起偏镜不受其制法的特别限制。例如，可以列举以下方法，该方法包括同时拉出被巻成为辊状的上述长条的栅格起偏镜和被巻成为辊状的其它长条的偏振光光学部件，并使该栅格起偏镜和该其它偏振光光学部件剂。作为使栅格起偏镜和其它偏振光光学部件的紧密粘合的方法，可以列举，将栅格起偏镜和其它偏振光光学部件一起通过2根平行并列的辊的夹具进行压合的方法。本发明的液晶显示装置具备上述栅格起偏镜或偏振光元件。液晶显示装置包括可以通过调整电压改变偏振光透过轴的液晶面板、和以夹持液晶板的方式配置的2片吸收型起偏镜。并且，为了将光送入该液晶面板，在透过型液晶显示装置中可以在显示面的背面侧具备背照灯装置，在反射型液晶显示装置中可以在显示面的背面侧具备反射板。本发明的栅格起偏镜具有透过垂直的直线偏振光中的一个而反射另一个的性质。另外，本发明的偏振光元件具有以下性质，即在从栅格起偏镜侧使光透过时，透过垂直的直线偏振光中的一个而反射另一个。在本发明的透过型液晶显示装置中，如果在背照灯装置和液晶面板之间配置本发明的栅格起偏镜和偏振光元件(以偏振光元件的栅格起偏镜位于在背照灯侧的方式配置)时，背照灯装置发出的光通过栅格起偏镜分离为两个直线偏振光，一个直线偏振光向液晶面板的方向前进，另一个直线偏振光向背照灯装置的方向返回。在背照灯装置中通常具备反射板，向背照灯装置的方向返回的直线偏振光被该反射板反射，再返回栅格起偏镜。返回来的光再次被栅格起偏镜分离为两个偏振光。通过反复该过程，背照灯装置发出的光被有效利用。其结果，在液晶显示装置的图象显示中可以有效使用背照灯等的光，可以将图面变得明亮。另外，在反射型液晶显示装置中，可以以同样的原理使画面变得明亮。实施例以下举出实施例和比较例更具体地说明本发明，但本发明不只限定于这些实施例。另外，不特别说明时，份和％是重量基准。(切削工具)对钎焊于8mmx8mmx60mm的SUS制造的柄(shank)上的尺寸为0.2mmxlmmxlmm的长方体单晶金刚石的0.2mmxlmm面照射氩离子束，进行切削加工，以间距150nm雕刻出与长lmm边平行的的宽70nm、深130nm的沟，以间距150nm形成约1300条宽80nm、高130nm的直线状突起，得到切削工具。(转印辊)在直径200mm、长150mm的不4秀钢SUS430制造外辊周面上，实施厚100)am的镍-磷非电解镀。接着，在精密圓筒磨床(精密円筒研削盤)上安装预先制作的形成有直线状突起的切削工具，采用该磨床在上述辊的镍-磷非电解镀面上形成在圓周方向延伸的宽70nm、高130nm、间距150nm的直线状的垄部，得到转印辊。另夕卜，由聚焦离子束加工的切削工具的制作和镍-磷非电解镀面的切削加工，在将温度控制为20.0±0.2。C、由振动控制系统将0.5Hz以上的振动位移控制为10jum以下的恒温低振动的室内进行。比较例1(栅格起偏镜0)使用具备由直径70mm的橡胶辊构成的夹辊及上述转印辊的转印装置，在转印辊的表面温度170。C、夹辊的表面温度IO(TC、膜的输送张力lMPa和夹紧压力15MPa的条件，在厚度100jam的环烯烃聚合物膜(商品名Zeonoafilm(if才/77</P厶)ZF-14、林式会社OPTES(才7。亍7)生产)表面上转印转印辊表面的凹凸形状，由此制作具有与膜的传送方向平行的宽75nm、高120nm和间距150nm的直线状延伸的垄部的膜。接着，从法线方向在膜的形成有垄部的面上真空蒸镀铝，在垄部的顶面和垄部之间的沟部底面形成由厚50nm的铝构成的A层和A，层。将该4册才各起偏镜裁断为确定的形状，得到3片图6和图16所示那样的单片(枚葉)的栅才各起偏镜O。接着，依次层叠导光板、光扩散片和栅格起偏镜，在偏振光板的端面设置线状光源，得到偏振光光源装置。在该偏振光光源装置上载置吸收型偏振片A，并使其偏振光透过轴与栅格起偏镜的偏振光透过轴平行，再载置透过型的TN液晶面板，在其上载置其他吸收型偏振片B(并使偏振光透过与上述吸收型偏振光板A的偏振光透过轴垂直)，得到液晶显示装置。使用亮度计(商品名BM-7、TOPCON(卜7。〕y)公司生产)测定得到的液晶显示装置的初期正面亮度。结果示于表l。另外，在固定夹具上固定第2片栅格起偏镜的一端、在可动夹具上固定另一端，移动可动夹具，使栅格起偏镜弯曲为±150°(以栅格起偏镜完全伸直的状态为0。)的角度，以-150°弯曲和+150°弯曲的l次动作(动作速度是2秒/周期)为l个周期，进行200周期。即使200周期弯曲后也不能以目测发现栅格起偏镜有剥离等的异常。使用进行了该200周期的弯曲后的栅格起偏镜，与上述同样地操作组装液晶显示装置，测定弯曲后的正面亮度。在表1中表示结果。接着，以荷重0.02MPa使钢丝绒训000与第3片栅格起偏镜的形成了A层的面接触，在整个表面上往复20次，磨擦栅格起偏镜的全部表面。可以以目测发现以钢丝绒磨擦后的栅格起偏镜上有微细伤等异常，反射率或透过率在面内发生不均。使用以钢丝绒磨擦后的栅格起偏镜，与上述同样操作组装液晶显示装置，测定磨擦的正面亮度。在表l中表示结果。(硬涂剂)以均质器混合30份6官能聚氨酯丙烯酸酯低聚物(商品名NKORIGO(才1J^)U-6HA、新中村化学社生产)、40份丙烯酸丁酯、30份曱基丙烯酸异冰片酯和10份2,2-二曱氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮，得到紫外线固化性硬涂剂。实施例1与比较例l同样操作，得到栅格起偏镜O。从与A层延伸方向成直角、并且相对纟册格起偏镜0的法线倾斜+75°的方向(图6纸面的右上方向)对栅格起偏镜0的形成了A层的面蒸镀Si02。Si02蒸镀膜在A层侧面和顶面堆积，如图12所示，在纸面右上方向成长。接着，从与A层延伸方向成直角、并且相对栅格起偏镜0的法线倾斜-60°的方向(图12纸面的左上方向)蒸镀Si02。Si02蒸镀膜在A层侧面和顶面堆积，如图13所示，在纸面左上方向成长。最后从栅格起偏镜O的法线方向(图13纸面的正上方向)蒸镀Si02。如图14所示，Si02的蒸镀膜从A层顶面以60nm的平均厚度堆积，横跨A层顶部两边、并且堵塞位于A层之间的沟部口，这一点可以通过透过型电子显微镜确认。Si02的蒸镀膜还堆积在A层侧面，其量占栅格起偏镜O的A层之间的沟部容积的15%。由Si02的蒸镀膜封闭的空间(沟部容积的85。/。:B层)被空气占据。接着，使用棒材涂布机在形成了Si02蒸镀膜一侧的表面上涂布上述硬涂剂并使固化后的膜厚为5Mm。接着，以80。C干燥5分钟，照射紫外线(累计光量300mJ/cm2),使硬涂剂固化，得到栅格起偏镜1。弯曲了200周期后和钢丝绒磨擦后的栅格起偏镜1,都没有以目测发现剥离和擦伤等异常。使用这些栅格起偏镜1和比较例1同样操作，组装液晶显示装置，测定亮度。在表l中表示结果。比4交例2与比较例1同样操作得到栅格起偏镜0。在抽真空15秒、热压合温度80°C、压合压力lMPa、保持时间300秒的条件下，在栅格起偏镜0的形成了A层的面上加热压合涂布有聚氨酯丙烯酸酯类粘合剂(折射率1.48)且厚度为80|am的包含脂环族烯烃聚合物的透明热塑性树脂膜(抹式会社OPTES生产、商品名Zeonoafilm)，制成3片4册4各起偏镜2。在栅格起偏镜O表面的沟部充满聚氨酯丙烯酸酯类粘合剂。弯曲了200周期后的栅格起偏镜2，与实施例1同样不能以目测发现剥离等异常。以钢丝绒磨擦后的栅格起偏镜2可以以目测发现细小的擦伤。使用这些栅格起偏镜2与实施例1同样操作组装液晶显示装置，测定亮度。在表1中表示结果。比寿交例3在实施例1中，以不配置栅格起偏镜1的状态测定液晶显示装置的正面亮度。在表l中表示结果。[表l]<table>tableseeoriginaldocumentpage30</column></row><table>表中的简写Al-铝、HD:硬涂层、UA-聚氨酯丙烯酸酯类粘合剂、Air=空气、Si02-蒸镀膜。从以上结果可知，1)因为基材是树脂膜，所以在任何情况下(包含比较例)都具有耐弯曲性，在加工中的"弯曲"工序中性能不会劣化。2)在实施例中保持有由第1层、A层和第3层所包围的空间(B层)，该空间(B层)充满着空气。与不使用栅格起偏镜时(比较例3)的正面亮度相比，亮度变高。另外，即使以钢丝绒擦后，正面亮度也几乎不下降。不会因为在向液晶显示装置的组装作业时等因不小心产生的磨擦等而使性能变差。3)比较例l初期亮度最大。但是，在磨擦后正面亮度大幅度下降。4)比较例2的微细结构的沟部充满了折射率大的物质。初期亮度低。另外，以钢丝绒磨擦后的亮度下降大。(粘合剂层用树脂)在安装了冷却管、氮气导入管和滴液漏斗的反应器中加入201g的9-曱基-四环[6.2丄13，6.02，7]十二碳-3-烯的开环聚合物加氬物(Tg=140。C、加氢率=约100%、Mn=约28000)、6.37g马来酸酐和470.4g叔丁基苯，在N2气氛围气下加热到135°C,溶解开环聚合物加氢物。在维持在135。C的状态下，以2小时向该溶液中滴加在33.4g环己酮中溶解了1.76g过氧化二异丙苯的溶液。再维持135。C、使马来化改性反应进行3小时。将反应液冷却到室温，在该反应液中加入2升曱苯稀释。接着，在7容积份异丙醇和2容积份丙酮的混合液中滴加在上述中稀释的溶液，使树脂凝固，过滤分离。在105"下将分离得到的树脂真空千燥12小时，得到粘合剂层用树脂。(第3层用膜)在80g环戊基曱基醚(CPME、沸点106°C)中溶解20g上述粘合剂层用树脂，以ljam过滤器过滤，得到粘度130cP的树脂溶液。使用刮刀(100pm膜厚用)，在膜厚80jjm的透明热塑性树脂膜(林式会社OPTES生产、商品名Zeonoafilm)上涂布该树脂溶液。接着，在氮气气流下以ll(TC干燥15分钟，得到5nm厚度的粘合剂层的膜。实施例2与比较例1同样操作得到栅格起偏镜O栅格起偏镜0的形成了A层面上，涂布氨丙基三乙氧基硅烷0.2%溶液(乙醇水=4:1重量比)，以15(TC干燥2分钟。接着，重叠栅格起偏镜0和第3层用膜，使上述第3层用膜的粘合剂层与栅格起偏镜0的A层连接，使用真空层压机(三机工业社生产)将它们热压合，制成3片栅格起偏镜3。热压合时的条件为抽真空15秒、热压合温度80。C、压合压力lMPa、保持时间300秒。以与第3层用膜的粘合剂层连接的状态仅层叠形成于栅格起偏镜0的垄部顶面的铝薄膜层(A层)，由第1层、A层和第3层包围的空间(B层)没有被粘合剂填埋，几乎100%地保留了原来设计的空间(B层)，以透过型电子显微镜观察栅才各起偏镜3的截面得到确认。另外，空间(B层)和大气相通。弯曲了200周期后的栅格起偏镜3，不能以目测发现剥离等异常。以钢丝绒磨擦后的栅格起偏镜3，以目测发现了细小的擦伤。使用这些栅格起偏镜3与比较例1同样操作，组装液晶显示装置，测定亮度。在表2中表示结果。实施例3与实施例2同样操作得到栅格起偏镜3。接着，在栅格起偏镜3的第3层用膜上，使用棒材涂布机涂布上述硬涂剂并使固化后的膜厚成为5pm。接着，以80。C干燥5分钟，照射紫外线(累计光量300mJ/cm2),使硬涂剂固化，得到栅格起偏镜4。弯曲了200周期后和以钢丝绒磨擦后的栅格起偏镜4,不能以目测发现剥离和擦伤等异常。使用这些栅格起偏镜4与实施例2同样操作，组装液晶显示装置，测定亮度。在表2中表示结果。[表2]<table>tableseeoriginaldocumentpage32</column></row><table>表中的简写A卜铝、HD-硬涂层、UA-聚氨酯丙烯酸酯类粘合剂、Air=空气。从以上结果可知，本发明的实施例保持有由第l层、A层和第3层包围的空间(B层),该空间(B层)被空气充满。与不使用栅格起偏镜时(比较例3)的正面亮度相比，亮度变高。另外，即使以钢丝绒磨擦后，正面亮度也几乎不下降。实施例中，以钢丝绒磨擦时有时也会产生擦伤，但即使那样也保持着充分的亮度，不会因为在向液晶显示装置的组装作业时等因不小心产生的磨擦等而使性能劣化。(烷氧基硅烷溶液I)以质量比47:78混合四曱氧基硅烷的低聚物(商品名Methylsilicate(乂于/P〉i;y—卜)51、COLCOAT(〕/V〕一卜)社生产)和曱醇，配制A液。另外，以重量比60:1.2:97.2混合水、氨水(28重量％)、曱醇，配制B液。然后，以16:17的质量比混合A液和B液，配制硅烷氧化物溶液I。(烷氧基硅烷溶液II)除将四曱氧基硅烷的低聚物和曱醇的质量比改变为47:71以外，与上述硅烷氧化物溶液i同样操作，配制硅烷氧化物溶液n。实施例4在曱醇氛围气中以转速500rpm、5秒的条件在栅格起偏镜0的形成了A层的面上旋转涂布上述烷氧基硅烷溶液I。涂布后，原样地放置1分15秒，形成凝胶化的烷氧基硅烷薄膜。在以质量比162:4:640混合水和28%氨水及曱醇的组成的培养溶液中浸渍该凝胶状薄膜，室温下放置24小时。在六甲基二硅氨烷的10%异丙醇溶液中浸渍该薄膜，将薄膜疏水化。接着，在异丙醇溶液中浸渍洗净该疏水化后的薄膜。再将薄膜放入高压容器，以液态二氧化碳充满容器内部，以80°C、16MPa、2小时的条件进行超临界干燥，使之形成在二氧化硅凝胶网状结构中具有许多空孔结构的二氧化硅气凝胶薄膜I(B层和第3层)，得到3片栅格起偏镜5。该二氧化硅气凝胶薄膜I的折射率是1.39。另外，使用高速分光偏振光分析测定仪(型号M-2000U、J.A.Woollam社生产)，以测定波长589nm、入射角度55°、60°和65°分别测定，从这些测定值算出折射率。该二氧化硅气凝胶薄膜I距细长线状延伸的垄部顶面形成的A层有240nm厚度，相邻的A层和垄部之间形成的沟部充满二氧化硅气凝胶I。弯曲了200周期后和以钢丝绒磨擦后的栅格起偏镜，不能以目测确认剥离和擦伤等异常。使用这些栅格起偏镜5与比较例1同样操作，组装液晶显示装置，测定亮度。在表3中表示结果。实施例5除了使用烷氧基硅烷溶液II取代在实施例4中使用的烷氧基硅烷溶液I以外，与实施例4同样操作，得到3片栅格起偏镜6。二氧化硅气凝胶薄膜II具有在二氧化硅凝胶网状结构中具有多个空孔的结构，其折射率是1.22。二氧化硅气凝胶薄膜II距在细长线状延伸的垄部顶面上形成的A层具有220nm的厚度，在相邻的A层和垄部之间形成的沟部充满二氧化硅气凝胶II。弯曲了200周期后的栅格起偏镜与实施例4同样不能以目测发现剥离等异常。以钢丝绒磨擦后的栅格起偏镜，可以以目测发现细小的擦伤。使用这些栅格起偏镜6，与实施例4同样操作，组装液晶显示装置，测定亮度。在表3中表示结果。实施例6与实施例5同样操作得到栅格起偏镜6，再在这些二氧化硅气凝胶薄膜II上，与实施例4同样操作形成二氧化硅气凝胶薄膜I，制成3片栅格起偏镜7。不能判断二氧化硅气凝胶薄膜I和二氧化硅气凝胶薄膜II的边界。由二氧化硅气凝胶薄膜i和二氧化硅气凝胶薄膜n合并形成的层距细长线状延伸的垄部顶面上形成的A层具有370nm厚度，在相邻的A层和垄部之间形成的沟部充满二氧化硅气凝胶II。弯曲了200周期后和以钢丝绒磨擦后的栅格起偏镜，与实施例4同样，不能以目测发现剥离和擦伤等异常。使用这些栅格起偏镜7与实施例4同样操作，组装液晶显示装置，测定亮度。在表3中表示结果。实施例7与实施例5同样操作得到栅格起偏镜6，再使用棒材涂布机在这些二氧化硅气凝胶薄膜II上涂布上述硬涂剂，并使固化后的膜厚为5Mm。在80"C下干燥5分钟，接着照射紫外线(累计光量300mJ/cm2),使硬涂剂固化，制成3片4册格起偏镜8。硬涂剂以从二氧化硅气凝胶薄膜II的表面浸透至内部约130nm的状态固化，硬涂层包括上述浸透部分在内约为5jam。在栅格起偏镜8的相邻的A层和垄部之间形成的沟部充满二氧化硅气凝胶II。弯曲了200周期后和以钢丝绒磨擦后的栅格起偏镜，与实施例4同样不能以目测发现剥离和擦伤等异常。使用这些栅格起偏镜4与实施例4同样操作，组装液晶显示装置，测定亮度。在表3中表示结果。实施例8与实施例5同样操作得到栅格起偏镜6，再通过聚氨酯丙烯酸酯类粘合剂(折射率1.48)在这些二氧化硅气凝胶薄膜II上贴合厚度80jam的三乙酰纤维素膜，制成3片栅格起偏镜9。聚氨酯丙烯酸酯类粘合剂从二氧化硅气凝胶薄膜II的表面浸透至内部约40nm。在一册格起偏4竟9相邻的A层和垄部之间形成的沟部充满二氧化硅气凝胶II。弯曲了200周期后的栅格起偏镜，与实施例4同样不能以目测发现剥离等异常。以钢丝绒磨擦后的栅格起偏镜可以以目测发现细小的擦伤。使用这些栅格起偏镜9和实施例4同样操作，组装液晶显示装置，测定亮度。在表3中表示结果。比專史例4在栅格起偏镜0的形成了A层的面上，通过聚氨酯丙烯酸酯类粘合剂(折射率1.48)贴合厚度80jum的三乙酰纤维素膜，制成3片栅格起偏镜10。在栅格起偏镜10的相邻的A层和垄部之间形成的沟部充满聚氨酯丙烯酸酯类粘合剂。弯曲了200周期后的栅格起偏镜10,与实施例4同样不能以目测发现剥离等异常。以钢丝绒磨擦后的栅格起偏镜可以以目测发现细小的擦伤。使用这些栅格起偏镜10与实施例4同样操作，组装液晶显示装置，测定亮度。在表3中表示结果。[表3]<table>tableseeoriginaldocumentpage35</column></row><table>表中的简写A卜铝、Sil=二氧化硅气凝胶I、Si2:二氧化硅气凝胶II、HD-硬涂层、TAC-三乙酰基纤维素、UA-聚氨酯丙烯酸酯、Air-空从以上结果可知，本发明的实施例的表面微细结构的沟部以折射率小的多孔性物质(二氧化硅气凝胶)充满。相比于不使用栅格起偏镜时(比较例3)、亮度大幅度提高。另外，以钢丝绒磨擦后的亮度下降也被抑制。实施例中，以钢丝绒磨擦时有时也会产生擦伤，但即使那样，也会保持充分的亮度，在进行向液晶显示装置组装作业时等因为不小心产生的磨擦等不会引起性能劣化等。在比较例4中，微细结构的沟部以折射率大的物质充满。初期亮度低。另外可知，以钢丝绒磨擦后的亮度下降大。权利要求1.一种栅格起偏镜，其包括包含透明材料的第1层、包含透明材料的第3层、以及位于第1层和第3层之间的第2层；第2层，其包括呈细长线状延伸的多个A层和细长线状延伸的多个B层，这些A层和B层被交替并列配置，所述A层包含双折射率(N＝n-iκ)的实部n和虚部κ之差的绝对值为1.0以上的材料，所述B层包含气体；第3层通过包含与无机材料结合的反应基团和与有机材料结合的反应基团的化合物与A层结合、或第3层包含透明的无机氧化物或无机氮化物、或第3层包含多孔性物质。2.—种栅格起偏镜，其包括包含透明材料的第1层、包含透明材料的第3层、以及位于第l层和第3层之间的第2层；第1层，在该层表面以相互分隔的状态并列地形成多个细长线状延伸的垄部分，第2层，具有在上述垄部分的各个顶面上沿着该垄部分细长线状延伸的A层和在形成于相邻的A层和垄之间的沟部上细长线状延伸的B层，这些A层和B层交替并列配置，所述A层包含双折射率(N=n-iK)的实部n和虚部k之差的绝对值为1.0以上的材料，所述B层包含气体，基团的化合物与A层结合、或第3层包含透明的无机氧化物或无机氮化物、或第3层包含多孔性物质。3.按照权利要求2所述的栅格起偏镜，其中，还在所述沟部的底面上设置细长线状延伸的A，层，该A，层包含双折射率(N=n-iK)的实部n和虚部K之差的绝对值为1.0以上的材料。4.按照权利要求1~3中任意1项所述的栅格起偏镜，其中，B层包含多孔性物质，所述多孔性物质具有包含气体的孔。5.按照权利要求4所述的栅格起偏镜，其中，第3层包含多孔性物质，第3层和所述B层无边界连接。6.按照权利要求1~4中任意1项所述的栅格起偏镜，其中，第3层包含树脂。7.按照权利要求1-6中任意1项所述的栅格起偏镜，其还具有包含树脂的第4层，并以第1层、第2层、第3层、第4层的顺序层叠而成。8.按照权利要求1~3中任意1项所述的栅格起偏镜，其中，B层是包含第l层、A层和第3层所包围的空间中的空气或非活性气体的层。9.按照权利要求8所述的栅格起偏镜，其中，第3层包含无机氧化物或无一几氮化物。10.按照权利要求1~9中任意1项所述的栅格起偏镜，其中，A层通过具有与无机材料结合的反应基团和与有机材料结合的反应基团的化合物与第1层和/或第3层结合。11.按照权利要求1~10中任意1项所述的栅格起偏镜，其中，第1层是包含树脂的层。12.—种偏振元件，其由权利要求1~11中任意1项所述的栅格起偏镜和其它偏振光光学部件叠合而成。13.按照权利要求12所述的偏振光元件，其中，其它偏振光光学部件是吸收型起偏镜，栅格起偏镜的偏振光透过轴和吸收型起偏镜的偏振光透过轴大致平行。14.一种液晶显示装置，其包括权利要求1~11中任意1项所述的栅格起偏镜。15.—种栅4各起偏4竟的制法，该方法包括，在包含透明材料的第1层主面上，分隔地并列形成多个细长线状延伸的A层，所述A层包含双折射率(N=n-iK)的实部n和虚部K之差的绝对值为1.0以上的材料，从第1层主面的倾斜方向蒸镀无机氧化物或无机氮化物，横跨以分隔状态相邻的A层的顶部之间，形成封闭该分隔部分的第3层，在第l层、A层及第3层所包围的空间中含有空气或非活性气体。16.—种栅一各起偏镜的制法，该方法包括，在第l层的垄部分的顶面上，沿着该垄部分形成细长线状延伸的A层，所述第一层在其表面形成有多个并列并呈分隔状态的细长线状延伸的垄部，并且该第一层包含透明材料，所述A层包含双折射率(N=n-iK)的实部n和虚部k之差的绝对值为1.0以上材料，从第1层主面的倾斜方向蒸镀无机氧化物或无机氮化物，横跨以分隔状态相邻的A层顶部之间，形成封闭该分隔部分的第3层，在第l层、A层及第3层包围的空间中含有空气或非活性气体。全文摘要本发明涉及一种栅格起偏镜，其包括包含透明材料的第1层、包含透明材料的第3层以及位于第1层和第3层之间的第2层；第2层，其包括细长线状延伸的多个A层和细长线状延伸的多个B层，这些A层和B层被交替并列配置，所述A层包含双折射率(N＝n-iκ)的实部n和虚部κ之差的绝对值为1.0以上的材料，所述B层包含气体；第3层，其通过包含与无机材料结合的反应基团和与有机材料结合的反应基团的化合物与A层结合、或包含透明的无机氧化物或无机氮化物、或包含多孔性物质。文档编号G02B5/30GK101228463SQ20068002679公开日2008年7月23日申请日期2006年7月24日优先权日2005年7月22日发明者村上俊秀,涩谷明庆申请人:日本瑞翁株式会社