专利名称：光调制器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种光调制器，特别涉及具有配置于光调制元件外部的连 接基板或终端基板的光调制器。
背景技术：
以往，在光通信领域或光测定领域，大多使用在具有电光效果的基板 上形成光波导或调制电极的波导型光调制器。在此种的光调制器中，根据 提高高速、大容量通信或光测定精度等的要求，要求开发至高频带为止稳
定地发挥功能的光调制器，在近几年，超过几十GHz的光调制器也正得以 实现。
在光调制器于高频带驱动时，出自光调制器的光输出波形的眼孔图样 的跳动(jitter)值易于变大，并且光输出信号的波形质量降低或光传输 距离减少等调制特性的劣化发生。
本发明者进行深入的研究，结果发现，如以下说明那样，驱动光调制 器的微波信号含有千扰是跳动值变大的原因之一。
将光调制器的一例示于图1，图1 (a)的光调制元件1，在LiNb03 等具有电光学效果的基板上形成有光波导(未图示)和调制电极等，调制 电极由信号电极2和接地电极(未图示)等构成。光调制元件l连接有光 纤3用于使光波入射或出射。
另外，光调制元件1的周围配置有包含放大器8等的连接基板4和包 含终端器9的终端基板5。
连接基板4或终端基板5与光调制元件1 一同容纳于盒10内，形成 光调制模件。
作为参考，使用连接基板的光调制器模件的例子示于专利文献1。专利文献1特开2003-233043号公报关于光调制器的驱动方法进行说明。从调制信号源6发生的微波信号
被导入盒10的输入端子的GP0连接器7，且从该连接器传送至图1 (b) 所示的连接基板4的信号输入端子11。
在连接基板4中，通过放大器8或用于将微波信号转换成各种状态的 其他功能元件(未图示)，将微波信号导出至信号输出端部12。
连接基板的信号输出端部12和光调制元件的信号电极2的电极垫之 间被引线接合，从连接基板4输出的微波信号接下来在信号电极2传送。 并且，通过在信号电极2传送的微波信号，使在光调制元件的光波导内传 送的光波被光调制。
信号电极2的终端部设有其他电极垫，该电极垫和图1 (c)所示的终 端基板的信号导入端部14之间，同样被引线接合。因此，微波信号从信 号电极2进一步传送至终端基板5，由终端基板内所设置的终端器9吸收。
但是，本发明者们发现，在图1 (b)所示的连接基板4中，从被输入 于信号输入端子11的微波信号发生微波辐射模式13，该辐射模式13在连 接基板内传送，与信号输出端部12内在信号线传送的微波信号再结合。 再结合的辐射模式在调制信号中为干扰，此干扰传送至光调制元件的信号 电极2，成为产生光调制器的调制特性劣化的原因。
另外，在图l (c)所示的终端基板5中，被导入终端器9的微波信号 的一部分由终端器反射，发生微波的辐射模式15。该辐射模式15在终端 基板内传送并在信号导入端部14再结合且传送至信号电极2，成为逆着通 常的传送方向行进的微波。这种辐射模式15在调制信号中也成为干扰。
并且，在连接基板4发生由信号输出端部12反射的微波辐射模式(未 图示)。并且，在信号电极2沿反方向传送的微波，被导入连接基板4并 在信号输出端部12发生辐射模式(未图示)。这些辐射模式，在连接基 板内传送并在信号输入端部ll再结合，逆流至调制信号源6，使调制信号 源的动作不稳定等不良情况也产生
发明内容
本发明所要解决的课题是，解决上述的问题，提供一种抑制在连接基 板或终端基板内发生的微波辐射模式进入光调制器的信号电极等且抑制 调制特性劣化的光调制器。
技术方案l所涉及的发明， 一种光调制器，包括具备具有电光效果 的基板、形成在该基板上的光波导、和用于调制通过该光波导内的光的调 制电极的光调制元件；以及配置在该基板的外部、用于将驱动该光调制元 件的微波信号供给该光调制元件的连接基板，其特征在于，该连接基板上 形成有信号输入端部和信号输出端部，抑制输入到该信号输入端部的微波 信号的辐射模式与该信号输出端部再结合的再结合抑制装置被设置在该 连接基板。
技术方案2所涉及的发明，根据技术方案1所述的光调制器，其特征 在于，该再结合抑制装置被配置得该信号输出端部不位于微波信号辐射模 式的传播行进路径上。
技术方案3所涉及的发明，根据技术方案1所述的光调制器，其特征 在于，该再结合抑制装置，形成在该信号输出端部的附近，是将微波信号 辐射模式遮蔽或放出到连接基板外的装置。
技术方案4所涉及的发明，根据技术方案1至3中任一项所述的光调
制器，其特征在于，该连接基板上配置有用于将微波信号转换成各种状态 的功能元件。
需要说明的是，本发明中的[用于将微波信号转换成各种状态的功能 元件1是指，配置在连接基板，具有将微波信号的状态转换成特定状态即 基于微波信号的信号增幅，衰减、相位调整、信号分配或合波等的功能的 电路元件。
技术方案5所涉及的发明， 一种光调制器，包括具备具有电光效果
的基板、形成在该基板上的光波导、和用于调制通过该光波导内的光的调
制电极的光调制元件；以及配置在该基板的外部、用于将驱动该光调制元
件的微波信号从该光调制元件供给至终端器的终端基板，其特征在于，该 终端基板形成有信号导入端部和终端器，抑制从该终端器反射的微波辐射 模式与该信号导入端部再结合的再结合抑制装置被设置在该终端基板。
技术方案6所涉及的发明，根据技术方案5所述的光调制器，其特征在于，该再结合抑制装置被配置得该信号导入端部不位于反射的微波辐射 模式的传播行进路径上。
技术方案7所涉及的发明，根据技术方案5所述的光调制器，其特征
在于，该再结合抑制装置，形成在该信号输出端部的附近，是将反射的微 波辐射模式遮蔽或放出到终端基板外的装置。
根据技术方案l所涉及的发明， 一种光调制器，包括具备具有电光 效果的基板、形成在该基板上的光波导、和用于调制通过该光波导内的光 的调制电极的光调制元件；以及配置在该基板的外部、用于将驱动该光调 制元件的微波信号供给至该光调制元件的连接基板，由于该连接基板上形 成有信号输入端部和信号输出端部，且抑制输入到该信号输入端部的微波 信号的辐射模式与该信号输出端部再结合的再结合抑制装置被设置在该 连接基板，因此，可抑制辐射模式与信号输出端部再结合并进入信号电极 的不良情况，并抑制微波辐射模式所引起的调制特性劣化。
根据技术方案2所涉及的发明，再结合抑制装置被配置得信号输出端 部不位于微波信号辐射模式的传播行进路径上，因此，通过采用调整发生 辐射模式的信号输入端部和辐射模式再结合的信号输出端部的配置的简 单构成，可有效地消除辐射模式所引起的不良情况。
根据技术方案3所涉及的发明，再结合抑制装置，形成在信号输出端
部的附近，是将微波信号辐射模式遮蔽或放出到连接基板外的装置，因此， 通过将这些遮蔽或放出装置形成在连接基板，可有效抑制辐射模式对信号 输出端部的再结合。
根据技术方案4所涉及的发明，连接基板上配置有用于将微波信号转
换成各种状态的功能元件，因此，即使对于多样的连接基板，也可消除辐 射模式所引起的不良情况。
iw技术方案5所涉&imn —种^mim包l具备具有电光
效果的基板、形成在该基板上的光波导、和用于调制通过该光波导内的光 的调制电极的光调制元件；以及配置在该基板的外部、用于将驱动该光调 制元件的微波信号从该光调制元件供给到终端器的终端基板，由于该终端 基板形成有信号导入端部和终端器，且抑制从该终端器反射的微波辐射模 式与该信号导入端部再结合的再结合抑制装置被设置在该终端基板，因此，可抑制从终端器反射的微波辐射模式与信号导入端部再结合并进入信 号电极的不良情况，并抑制微波辐射模式所引起的调制特性劣化。
根据技术方案6所涉及的发明，再结合抑制装置被配置得信号导入端 部不位于反射的微波辐射模式的传播行进路径上，因此，通过采用调整终 端器和信号导入端部的配置的简单构成，可有效地消除由辐射模式而引起 的不良情况。
根据技术方案7所涉及的发明，再结合抑制装置，形成在信号输出端 部的附近，是将反射的微波辐射模式遮蔽或放出到终端基板外的装置，因 此，通过将这些遮蔽或放出装置形成在终端基板，可有效抑制辐射模式对 信号导入端部再结合。
图1是以往的光调制器的概略图。
图2是本发明所涉及的光调制器的概略图。
图3是表示在本发明所涉及的光调制器中具有多个信号输入端部或信
号输出端部的例子的图。
图4是表示在本发明所涉及的光调制器中使用遮蔽体的例子的图。 图5是表示在本发明所涉及的光调制器中使用辐射模式的放出装置的
例子的图。
图6是表示在本发明所涉及的光调制器中使用贯通孔作为辐射模式的 放出装置的例子的图
图中1-光调制元件，2-信号电极，3-光纤，4、 20、 30、 40、 50、 60、 70-连接基板，5、 21-终端基板，6-调制信号源，7-连接器，8、 52、 63、 72-放大器，9-终端器,10-盒，11、 22、 31、 41、 42、 51、 61、 71-信号输入端部，12、 23、 33、 34、 44、 45、 54、 65、 74-信号输出端部， 13、 15、 24、 26、 35、 46、 47、 56、 67、 76-微波辐射模式，14、 25-信号 导入端部，53、 62、 64、 73-信号线，55-遮蔽体，66-空洞(凹部)，75-贯通孔
具体实施方式
以下，使用优选实施例详细说明本发明。 图2是表示本发明所涉及的光调制器的实施例的图。
需要说明的是，在图2中，付与与图l相同符号的部分意味与图l相 同的构成。在本发明中，作为光调制元件l，只要具备具有电光学效果 的基板、形成在该基板上的光波导、和用于调制该光波导内通过的光的调 制电极，就对材料或其他结构没有特别限定，例如，作为具有电光学效果
的基板，可使用铌酸锂、钽酸锂、PLZT(Lead Lanthanum Zirconate Titanate: 钛酸锆酸镧铅)、石英类材料。另外，基板上的光波导，可通过将Ti由 热扩散法或质子交换法等在基板表面扩散而形成。并且，构成调制电极的 信号电极或接地电极等，可通过Ti，Au的电极图形的形成以及镀金方法 等而形成。另外，根据需要，可将电介质Si02等缓冲层设置在光波导形成 后的基板表面。
图2所涉及的本发明的特征在于，在连接基板20和终端基板21中， 如图2 (b)或(c)所示，通过调整各基板内的输入输出端部等的配置， 可有效抑制微波辐射模式再结合在信号线路上。
在连接基板20中，从信号输入端部22发生的微波信号辐射模式24以 相对于信号线为约r以下的角度辐射，在连接基板内几乎沿点划线A所 示的方向传送。因此，通过将信号输出部分23配置在远离点划线A的位 置，可抑制辐射模式24在信号输出部分23再结合。
另外，在终端基板21中，从终端器9反射的微波辐射模式26，同样 在终端基板内几乎沿点划线B所示的方向传送。因此，通过将信号导入端 部25配置在远离点划线B的位置，可抑制辐射模式26在信号导入端部25 再结合。
并且，在连接基板20中，即使对于如上所述那样从信号输出端部23 发生的微波辐射模式(未图示)，通过采用如图2 (b)所示的构成，也可 抑制辐射模式在信号输入端部22再结合，并缓和对调制信号源的影响。
在图2中，表示了在连接基板20各有一个信号输入端部22和信号输 出端部23的例子，但本发明的光调制器并不限定于此，例如，也包含如 图3 (a)所示的具有多个信号输出端部的连接基板30，或如图3 (b)所 示的多个信号输入端部和信号输出端部都存在的连接基板40。图3 (a)的情况，对于从信号输入端部31反射的微波信号辐射模式 35，通过将信号输出端部33及34配置在远离该辐射模式35的传送方向 (点划线C)的位置，可抑制辐射模式35在信号输出端部再结合。32表 示分配器等功能元件。
另外，图3 (b)的情况，对于从信号输入端部41放射的微波信号辐 射模式46和从其他信号输入端部42放射的微波信号辐射模式47，通过将 信号输出端部44及45配置在从各辐射模式的传送方向的点划线D及E离 开的位置，可抑制各辐射模式在信号输出端部再结合。43表示合波器或分 配器等组合后的复合功能元件。
需要说明的是，利用图3对连接基板进行了说明，但在终端基板中使 用多个信号导入端部或多个终端器的情况下，也可同样构成。
在图2及3，作为抑制微波辐射模式的再结合的再结合抑制装置，例 示了调整输入输出端部等的配置的方法，但本发明并不限定于此，也可使 用如图4或图5所示那样将微波辐射模式遮蔽或放出在终端基板外的装 置。
图4表示具有放大器52的连接基板50的例子，构成为从信号输入端 部51放射的微波辐射模式56被遮蔽体55遮蔽而使其不入射到信号输出 部分54。图4 (b)表示图4 (a)的点划线F中的剖视图。53表示信号线。
作为构成连接基板或终端基板的基板材料，可适用氧化铝或氮化铝等 低介电损失材料。另外，作为遮蔽体可适用Au或Al等导电性金属材料。
将遮蔽体组装至基板中的方法可采用在基板由切削等形成凹部并将遮 蔽材料填充在该凹部的方法、或向该凹部插入由遮蔽材料做成的小片的方 法等。
图5表示具有放大器63的连接基板60的例子，构成为使用空洞(凹 部)66将从信号输入端部61放射的微波辐射模式67放出到连接基板60 的外部，使其不入射到信号输出部分65。图5 (b)表示图5 (a)的点划 线G中的剖视图。62、 64表示信号线。
另外，如图6所示，在具有放大器72的连接基板70中，可使用贯通 连接基板70的贯通孔75，将从信号输入端部71放射的微波辐射模式76 放出到连接基板70的外部。通过此构成，构成为使微波辐射模式76不入射到信号输出部分74。图6 (b)表示图6 (a)的点划线H中的剖视图。 73表示信号线。
图4乃至6所示的辐射模式的遮蔽或放出所涉及的技术，当然也可应 用于具有其他功能元件的连接基板或终端基板。另外，根据需要，也可将 上述各种技术组合使用。
工业上的利用可能性
如以上说明，根据本发明，可提供一种光调制器，该光调制器抑制在 连接基板或终端基板发生的微波辐射模式进入光调制器的信号电极等且 抑制调制特性劣化。
权利要求
1. 一种光调制器，包括光调制元件和连接基板，该光调制元件具备具有电光效果的基板、形成在上述基板上的光波导、和用于调制上述光波导内通过的光的调制电极；该连接基板被配置在上述基板的外部、用于将驱动上述光调制元件的微波信号供给上述光调制元件，其特征在于，上述连接基板上形成有信号输入端部和信号输出端部，抑制被输入到上述信号输入端部的微波信号的辐射模式与上述信号输出端部再结合的再结合抑制装置，被设置于上述连接基板。
2. 根据权利要求1所述的光调制器，其特征在于，上述再结合抑制 装置被配置得上述信号输出端部不位于微波信号辐射模式的传播行进路 径上。
3. 根据权利要求1所述的光调制器，其特征在于，上述再结合抑制 装置，被形成在上述信号输出端部的附近，是将微波信号辐射模式遮蔽或 放出到连接基板外的装置。
4. 根据权利要求1至3中任一项所述的光调制器，其特征在于，上 述连接基板上配置有用于将微波信号转换成各种状态的功能元件。
5. —种光调制器，包括光调制元件和终端基板，该光调制元件具备具 有电光效果的基板、形成在上述基板上的光波导、和用于调制上述光波导 内通过的光的调制电极；该终端基板被配置在上述基板的外部、用于将驱 动上述光调制元件的微波信号从上述光调制元件供给终端器，其特征在 于，上述终端基板上形成有信号导入端部和终端器，抑制从上述终端器反射的微波辐射模式与上述信号导入端部再结合 的再结合抑制装置，被设置在上述终端基板。
6. 根据权利要求5所述的光调制器，其特征在于，上述再结合抑制 装置被配置得上述信号导入端部不位于所反射的微波信号辐射模式的传 播行进路径上。
7. 根据权利要求5所述的光调制器，其特征在于，上述再结合抑制 装置，被形成在上述信号输出端部的附近，是将所反射的微波竊射模式遮蔽或放出到终端基板外的装置,
全文摘要
本发明的目的在于，提供一种抑制在连接基板或终端基板内发生的微波辐射模式进入光调制器的信号电极等且抑制调制特性劣化的光调制器，该光调制器包括具备具有电光效果的基板、形成在该基板上的光波导、和用于调制该光波导内通过的光的调制电极(包含信号电极2)的光调制元件(1)；以及配置在该基板的外部、用于将驱动该光调制元件的微波信号供给该光调制元件的连接基板(4)，其特征在于，该连接基板(20)上形成有信号输入端部(22)和信号输出端部(23)，抑制被输入到该信号输入端部(22)的微波信号的辐射模式(24)与该信号输出端部(23)再结合的再结合抑制装置被设置在该连接基板。
文档编号G02F1/03GK101305312SQ200680042139
公开日2008年11月12日 申请日期2006年11月13日 优先权日2005年11月16日
发明者清水亮, 菅又彻, 藤田贵久 申请人:住友大阪水泥股份有限公司