促动器、泵和光学扫描器的制作方法

专利名称：促动器、泵和光学扫描器的制作方法
技术领域：
本发明一般而言涉及构造成利用电润湿驱动或促动装置的促动 器、和包括这种促动器的泵及光学扫描器。
背景技术：
电润湿是一种公知现象，其中当电位差施加在由绝缘层覆盖的电 极和位于该绝缘层的表面上的液滴之间时，微滴相对于绝缘层表面的 润湿角或接触角由于在微滴和绝缘层表面之间的界面张力的变化而改 变。近来，基于电润湿的与液滴行动的这些变化有关的原理已被应用 于促动器。具体地，采用电润湿的促动器的驱动电力可以比采用马达
和压电促动器的促动器的驱动电力更容易地节省。此外，采用电润湿 的促动器可以具有比采用马达和压电促动器的促动器较不复杂的结 构，这可减小促动器的尺寸。
采用电润湿的公知装置、例如在日本专利特开No.2005-185090中 描述的装置将电润湿施加到驱动装置(促动器)，当调节照相机镜头的焦 点时驱动该驱动装置(促动器)。该公知装置包括第一本体和与该第一 本体对置的第二本体，使得第二本体选择性地移动靠近该第一本体和 远离该第一本体；以及位于第一本体和第二本体之间的液滴，使得该 液滴接触第一本体和第二本体。通过电润湿改变液体相对于微滴接触 的本体的表面的润湿角。因此，改变第一本体和第二本体之间的微滴
的高度，以调节在第一本体和第二结构本体之间的距离。
驱动装置驱动第一本体和第二本体，使得它们选择性地移动彼此 靠近和彼此远离。然而，这样的驱动装置不可以总是适于驱动量的细 微调节。

发明内容
因此，已出现对于克服现有技术的这些和其它缺点的促动器、泵、 和光学扫描器的需求。本发明的技术优点是促动器可基于通过使驱动 板变形的电润湿来促动或驱动装置，以实现促动器的电力消耗和尺寸 的减小。
根据本发明的实施方案，促动器包括基底，该基底包括绝缘表 面；第一电极，该第一电极位于绝缘表面上；和柔性驱动板，该柔性 驱动板与绝缘表面对置。促动器还包括导电液体，该导电液体位于绝 缘表面和柔性驱动板之间，并且导电液体直接或间接地接触绝缘表面 和柔性驱动表面。此外，促动器包括电位施加装置，该电位施加装置 电联接到第一电极，并构造成将电位施加到第一电极。
根据本发明的实施方案，在促动器中，当电位施加装置改变施加 到第一电极的电位时，柔性板变形。
根据本发明的实施方案，在促动器中，当电位施加装置改变施加 到第一电极的电位时，导电液体相对于绝缘表面的润湿角和导电液体 相对于绝缘表面的高度改变，这使得柔性驱动板变形，从而改变在柔 性驱动板和绝缘表面之间的距离。通过改变导电液体的高度，柔性驱 动板可在接触导电液体的位置处变形。
根据本发明的实施方案，在促动器中，可利用电润湿现象通过改 变导电液体的高度使柔性驱动板变形。采用这样的结构，可进行促动 器驱动量的精细或细微调节。与已知的促动器例如压电促动器和小尺
寸马达相比可减少电力消耗。通过在基底和柔性驱动板之间设置导电 液体、以及设置用于在导电液体和基底的表面之间施加电位差的第一 电极，可以以不复杂的结构使柔性驱动板变形。因此，可减小促动器 的尺寸。
根据本发明的实施方案，促动器可包括位于基底的绝缘表面上以 覆盖第一电极的绝缘层。导电液体可接触绝缘层和柔性驱动板。采用 这样的结构，当电位差施加在设置于绝缘层的表面上的导电液体和由 绝缘层覆盖的第一电极之间时，可改变导电液体相对于绝缘层的润湿 角。因此，通过在导电液体和第一电极之间介入绝缘层，与没有设置 绝缘层的情形相比，可显著地改变导电液体相对于基底的润湿角。
根据本发明的实施方案，促动器可包括位于柔性驱动板的与绝缘 表面面对的表面上的第二电极，其中该第二电极持续地接触导电液体， 并维持在恒定电位。采用这样的结构，接触第二电极的导电液体可大 致保持在恒定电位，从而可以使在液滴和第一 电极之间的电位差稳定。 因此，可保证促动器的可靠操作。
根据本发明的实施方案，促动器可包括与第一电极相邻地位于绝 缘表面上的亲液区域。导电液体相对于该亲液区域的润湿角可等于或 小于导电液体相对于绝缘表面的与第一电极对应的区域的润湿角。采 用这样的结构，不管施加到第一电极的电位如何，导电液体都可稳定 地停留在亲液区域上。因此，可防止当施加到第一电极的电位变化时 可能出现的导电液体的不稳定行为。
根据本发明的实施方案，在促动器中，第一电极可以是环形的且 无间断。亲液区域可位于第一电极内侧。当设置第一电极的区域的抗 液性大(即，导电液体相对于该区域的润湿角大)时，导电液体可停留在 设置于第一电极内侧的亲液区域上。当降低设置第一电极的区域的抗 液性(润湿角变小)时，导电液体可在该区域上从亲液区域起扩散。采用
这样的结构，可防止由于当施加到第一电极的电位变化时可能出现的 导电液体的不稳定行为所引起的导电液体离开第一电极的运动。因此， 可使促动器的操作稳定。
根据本发明的实施方案，在促动器中，第一电极可包括位于绝缘 表面上的多个第一电极。采用多个第一电极，可进一步增大柔性驱动 板的变形量。可细微地调节柔性驱动板的变形位置或变形量。
根据本发明的实施方案，在促动器中，可以与位于绝缘表面和柔 性驱动板之间的第一电极中的每个第一电极对应地设置导电液体。电 位施加装置可同时对第一电极施加相同的电位。采用这样的结构，相 同的电位可施加到第一电极，以同时将导电液体中的每个导电液体的 高度改变成大致相同的高度。因此，可增大柔性驱动板的总变形量。 当改变一个微滴的高度时由该一个微滴的表面张力施加到柔性驱动板 的力与导电液体的周长成比例。在本发明中，第一电极可被分成多个， 并且可与多个第一电极对应地设置多个导电液体。因此，可增加导电 液体的总周长(例如，导电液体的周长的和)。因此，与电位施加到具有 大面积的一个第一电极并改变对应的一个大导电液体的高度的情形相 比，可增大由导电液体施加到柔性驱动板的力。因此，可增大柔性驱 动板的变形量。
根据本发明的实施方案，在促动器中，电位施加装置可将电位施 加到第一电极中的一部分，该电位与施加到其它第一电极的电位不同。 采用这样的结构，通过改变被电位施加装置施加使柔性驱动板变形的 电位的第一电极(例如，第一电极的位置)或第一电极的数量，可调节使 柔性驱动板接触导电液体的柔性驱动板的变形位置、或柔性驱动板的 变形量。
根据本发明的实施方案，在促动器中，电位施加装置可顺序地改 变施加到第一电极的电位，以使导电液体沿着绝缘表面移动。采用这200710153296.0
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样的结构，导电液体可沿着绝缘表面移动，以改变使柔性驱动板接触 导电液体的柔性驱动板的变形位置。
根据本发明的实施方案，在促动器中，电位施加装置可改变被同 时施加相同电位的第一电极的数量，以改变导电液体的高度。采用这 样的结构，可调节柔性驱动板的变形量。
根据本发明的另一实施方案，泵包括流体室，该流体室构造成 在其中存储流体；和泵体，该泵体具有穿过泵体形成的入口和出口。 入口和出口中的每一个构造成与流体室流体连通。泵还包括构造成改
变流体室的容量的促动器。促动器包括基底，该基底包括绝缘表面； 第一电极，该第一电极位于绝缘表面上；和柔性驱动板，该柔性驱动 板与绝缘表面对置。促动器还包括导电液体，该导电液体位于绝缘 表面和柔性驱动板之间，并且该导电液体直接或间接地接触绝缘表面 和柔性驱动表面。此外，促动器包括电位施加装置，该电位施加装置 电联接到第一电极，并构造成将电位施加到第一电极。
根据本发明的实施方案，在泵中，可通过改变由电位施加装置施 加到第一电极的电位来改变导电液体相对于绝缘表面的润湿角，以改 变设置于基底和柔性驱动板之间的导电液体的高度。当改变导电液体 的高度时，被部分地固定到基底上的柔性驱动板可在接触导电液体的 位置处变形。通过柔性驱动板的变形，可改变流体室的容量。通过改 变流体室中流体的压力，流体可经由入口进入到流体室中或可经由出 口从流体室排出。
根据本发明的实施方案，在泵中，阀构造成基于流体室中流体的 压力选择性地打开或关闭入口和出口。采用这样的结构，当流体室中 的压力降低时，在防止流体从出口回流(例如，进入)的同时，入口可打 开以使流体流入流体室。当流体室中的压力增大时，在防止流体从入 口回流(例如，流出)的同时，出口可打开以使流体从流体室排出。因此,
从入口流出的流体可被有效地从出口排出。
根据本发明的又一实施方案，光学扫描器包括光反射部和构造成 改变该光反射部的倾斜角的促动器。促动器包括基底，该基底包括 绝缘表面；第一电极，该第一电极位于绝缘表面上；和柔性驱动板， 该柔性驱动板与绝缘表面对置。促动器还包括位于绝缘表面和柔性驱 动板之间的导电液体，并且导电液体直接或间接地接触绝缘表面和柔 性驱动表面。此外，促动器包括电位施加装置，该电位施加装置电联 接到第一电极，并构造成将电位施加到第一电极。
根据本发明的实施方案，在光学扫描器中，可通过改变由电位施 加装置施加到第一电极的电位来改变导电液体相对于绝缘表面的润湿 角，以改变导电液体的高度。当改变导电液体的高度时，部分地固定 到基底上的柔性驱动板可在接触导电液体的位置处变形。通过柔性驱 动板的变形，可改变固定在柔性驱动板的一端上的光反射部的倾斜。 因此，可改变入射光的偏转方向(反射方向)。
根据本发明的实施方案，在光学扫描器中，第一电极可包括位于 绝缘表面上的多个第一电极。采用这样的结构，可作出对柔性驱动板 的变形量或变形位置的精细或细微调节。
根据本发明的实施方案，在光学扫描器中，电位施加装置可顺序 地改变施加到第一电极的电位，以使导电液体沿着绝缘表面移动。采 用这样的结构，导电液体可沿着第一电极的布置方向移动，以改变柔 性驱动板的变形位置。因此，可作出对光反射部的倾斜的精细或细微 调节。
根据本发明的实施方案，在光学扫描器中，电位施加装置可改变 被同时施加相同电位的第一电极的数量，以改变导电液体的高度。采 用这样的结构，电位施加装置可改变被同时施加相同电位的第一电极
的数量，以改变柔性驱动板的变形量或挠曲量。因此，可作出对光反 射部的倾斜的精细或细微调节。
从本发明的以下详细说明和附图，本领域的技术人员将显而易见 其它目的、特征、和优点。


为了更完整的理解本发明、由此满足的需求、和本发明的目的、 特征及优点，现在结合附图参考以下说明。
图1是根据本发明说明性实施方案的喷墨打印机的示意图。
图2是图1的喷墨打印机的泵的垂直剖视图，其中没有启动该泵。 图3是图2的泵的沿A-A线的水平剖视图。 图4是图2的泵在泵抽吸空气时的垂直剖视图。 图5是图2的泵在泵排出空气时的垂直剖视图。 图6是图1的喷墨打印机的电构造的方框图。 图7是根据本发明另一实施方案的泵的垂直剖视图。 图S是图7的泵的沿B-B线的水平剖视图。 图9是根据本发明又一实施方案的泵的水平剖视图。 图IOA是根据本发明实施方案、处于第一状态的光学扫描器的垂 直剖视图。
图IOB是图IOA的光学扫描器的沿C-C线的水平剖视图。
图IIA是图IOA的光学扫描器的垂直剖视图，示出液滴的高度从
图IOA所示高度减小。
图IIB是图IIA的光学扫描器的沿D-D线的水平剖视图。
图12A是图IOA的光学扫描器在第二状态下的垂直剖视图。
图12B是图12A的光学扫描器的沿E-E线的水平剖视图。
图13A是图IOA的光学扫描器的垂直剖视图，示出微滴从图12A
所示的状态移动到端部。
图13B是图13A的光学扫描器的沿F-F线的水平剖视图。
具体实施例方式
通过参考图l-13A可理解本发明的实施方案和这些实施方案的特
征及技术优点，在各个附图中相似的附图标记用于相似的对应部分。
参考图1，描绘了根据本发明实施方案的喷墨打印机100。喷墨打 印机l可包括泵6、例如空气泵；和滑架2，该滑架2构造成在扫描 方向上往复运动。喷墨打印机1还可包括打印头1，例如串行打印头， 该打印头1安装在滑架2上，并构造成将喷射到记录片材P上；和馈 送辊3，该馈送辊3构造成沿由图1中朝前指示箭头表示的片材馈送方
向馈送记录片材p。
打印头1可经由管5连接到墨盒4,该墨盒4构造成在其中存储 墨。墨盒4可位于打印头1上方。墨可以从墨盒4供应到打印头1。打 印头1连同滑架2 —起沿扫描方向移动，以通过从位于打印头1下侧 的喷嘴喷射墨而在片材P上形成图像。形成有图像的片材P由馈送辊3 沿供片材方向馈送，以从喷墨打印机100排出片材P。
泵6可经由管7连接到墨盒4的进气部。当喷墨打印机100不在 从打印头1的喷嘴喷射墨时，泵6可用来将墨盒4中的内部压力调节 到小于大气压力，使得墨不可能由于打印头1和墨盒4之间的高度差 而从喷嘴泄漏。
参考图2-6，泵6可在其中限定有空气室14，并且可包括泵体 10，该泵体IO具有构造成与空气室14流体连通的入口 15和出口 16; 和促动器11，该促动器11构造成选择性地改变空气室14的容量。
泵体IO可包括圆形底板12和连接到底板12的上表面上的底圆柱 形壳构件13。壳构件13包围底板12上方的空间。底板12和壳构件 13的内部在其中限定空气室14。壳构件13的上壁具有贯穿该上壁的 入口 15和出口 16。管7连接到入口 15，而空气室14构造成经由管7
与存储墨的墨盒4的内部空间流体连通。出口16对外部打开，而空气 室14构造成经由出口 16与空气流体连通。
底板12和壳构件13可包括合成树脂材料例如聚酰亚胺、硅酮、 和/或金属。多个驱动电极20可位于底板12的上表面上，并且至少底 板12的上表面可包括构造成隔离驱动电极20的绝缘表面。当底板12 整体地由绝缘材料形成时，可能不需要特殊的表面处理。然而，如果 底板12不是由绝缘材料形成，则可能理想的是将底板12的上表面处 理成具有绝缘性能。例如，当底板12包括硅酮时，硅氧化膜可形成在 底板12的上表面上。当底板12包括金属时，包括绝缘材料的薄膜可 形成在底板12的上表面上。
入口阀构件17可在壳构件13的上壁上位于入口 15附近，并且可 构造成沿垂直方向移动。入口阀构件17构造成基于空气室14中压力 的变化来选择性地打开和关闭入口 15。当入口阀构件17接触位于壳构 件13的上壁的下表面处的阀座13a时，入口阀构件17从壳构件13的 内侧关闭入口 15。入口阀构件17可被推压件(未示出)沿关闭入口 15 的方向向上偏压。
出口阀构件18可在壳构件13的上壁上位于出口 16附近，并且可 构造成沿垂直方向移动。出口阀构件18构造成基于空气室14中压力 的变化来选择性地打开和关闭出口 16。当出口阀构件18接触位于壳构 件13的上壁的上表面处的阀座13b时，出口阀构件17从壳构件13的 外侧关闭出口 16。出口阀构件18可被推压件(未示出)沿关闭出口 16 的方向向下偏压。
当空气室14的容量通过促动器11的启动而增加、并且空气室14 中的内部压力降低时，入口阀构件17由于在空气室14和墨盒之间的 压力差而克服推压件的推压力离开阀座13a向下移动，使得入口 15打 开。当空气室14的容量减小并且空气室14中的内部压力增大时，出
口阀构件18由于在空气室14和空气之间的压力差而克服推压件的推 压力离开阀座13b向上移动，使得出口16打开。
促动器ll可包括泵体10的作为基底的底板12;多个驱动电极 20，所述多个驱动电极20位于底板12的上表面上；绝缘层21,该绝 缘层21位于底板12的上表面上以便覆盖驱动电极20;驱动板22，该 驱动板22位于距绝缘层21—定距离处；导电液滴23，这些导电液滴 23位于绝缘层21和驱动板22之间；和驱动器IC24，该驱动器IC24 构造成将电位施加到驱动电极20。
如图3所示，每个驱动电极20可具有无缝圆形形状。驱动电极 20可以在底板12的上表面上定位成使得相邻驱动电极20的中心之间 的距离大致相同。例如，六个驱动电极20可位于一个驱动电极20周 围，然而，本领域的技术人员将容易理解的是可使用任何数量的驱动 电极20。驱动电极20可通过丝网印刷或溅射设置在底板12的上表面 上。
驱动电极20可连接到驱动器IC24，并且可通过驱动器IC24将驱 动电位或地电位施加到驱动电极20上。除了位于驱动电极20内侧的 圆形区域25以外，绝缘层21覆盖底板12的上表面。底板12的上表 面从圆形区域25暴露。接触绝缘层21的液滴23相对于绝缘层21的 表面的润湿角0可大于接触底板12的上表面的微滴23相对于底板12 的上表面的润湿角0，例如，绝缘层21可以比圆形区域25疏液，并且 可具有比圆形区域25大的抗液性。
当驱动电位通过驱动器IC24施加到驱动电极20时，微滴23相对 于绝缘层21的与驱动电极20对应的区域的润湿角0由于电润湿而减 小。此时，绝缘层21的抗液性降低到与底板12的上表面的抗液性大 致相同的水平。
绝缘层21可包括合成树脂材料，该合成树脂材料包括氟基树脂，
例如PTFE(聚四氟乙烯)。绝缘层21可以是具有比底板12的上表面大 的抗液性的薄层。绝缘层21可通过如下方式形成通过例如旋涂将合 成树脂材料的薄膜完全涂敷到底板12的上表面上，然后通过激光加工 从驱动电极20内侧的区域去除该薄膜。
驱动板22可具有盘形形状，该盘形形状具有与底板12大致相同 的面积。驱动板22可包括合成树脂材料，例如聚酰亚胺。驱动板22 的下表面面对形成在底板12的上表面上的绝缘层21。驱动板22的外 周可固定到壳构件13的周壁上。泵体10中的空气室14的下端可由驱 动板22的上表面限定。驱动板22可具有公共电极26，该公共电极26 大致完全位于驱动板22的与底板12的上表面面对的下表面上。公共 电极26可连接到驱动器IC24，并且可维持在地电位。
导电微滴23可位于与驱动电极20对应的位置中。微滴23可接触 驱动板22的下表面和底板12的绝缘表面，并且可位于底板12和驱动 板22之间。微滴23可维持与公共电极26接触，使得微滴23可经由 公共电极26维持在地电位。
导电微滴23可包括水、水-甘油-盐混合物或基本上只包含离子的 离子液体(环境温度熔盐)。离子液体通常是非挥发性的，并且即使当它 暴露于空气相当大的时间量时也不会容易地蒸发。
驱动电极20内侧的圆形区域25可不由绝缘层21覆盖，并且底板 12的上表面可从圆形区域25暴露。微滴23相对于圆形区域25的润湿 角0可小于微滴23相对于周围的绝缘层21的润湿角。通过对驱动电 极20施加驱动电位所引起的在驱动电极20和微滴23之间的电位差， 降低覆盖驱动电极20的绝缘层21的抗液性，使得微滴23相对于绝缘 层21的与驱动电极20对应的区域的润湿角0变成与微滴23的相对于 圆形区域25的润湿角0大致相同。
微滴23相对于圆形区域25的润湿角0可小于或等于微滴23相对 于绝缘层21的与驱动电极20相对应的区域的润湿角^，而不管驱动电 位是否施加到驱动电极20。圆形区域25可以是微滴23能够稳定停留 的亲液区域，使得微滴23可停留在驱动电极20内侧的对应圆形区域 25处。
当控制器8确定需要驱动泵6时，驱动器IC24基于从喷墨打印机 100的控制器8输入的控制信号将驱动电位或地电位施加到驱动电极 20。施加到驱动电极20的电位的变化改变微滴23相对于绝缘层21的 润湿角0,使得可改变微滴23的高度。驱动器IC24可使公共电极26 维持在地电位。
附图中的符号"+ "表示驱动电位被施加到驱动电极20，而附图 中的字母"GND"表示驱动电极20维持在地电位。
当驱动器IC24将与地电位不同的驱动电位施加到驱动电极20时， 电位差施加在微滴23之间，并且基于电位差改变在微滴23和绝缘层 21之间的界面张力。当电位差增大时，微滴23相对于绝缘层21的润 湿角0由于电润湿而减小。
通过在两个不同电位之间、例如在驱动电位和地电位之间切换施 加到驱动电极20的电位，可容易地改变绝缘层21的表面的抗液性， 即微滴23的润湿角0。通过驱动器IC24施加到驱动电极20的两个不 同电位中的一个电位可以是地电位，从而可采用单个电源。因此，可 简化驱动器IC24的结构。
施加到驱动电极20的驱动电位可以是将绝缘层21的抗液性降低 到与亲液圆形区域25相同水平的电位。因此，驱动电位可以是比地电 位大的正电位或比地电位小的负电位。
当绝缘层21的与驱动电极20相对应的区域的抗液性降低到与圆 形区域25的抗液性相同的水平时，位于圆形区域25上的微滴23可在 绝缘层21的与驱动电极20对应的区域上扩散开，如图4所示。因此， 微滴23接触底板12的上表面的面积可增大，并且微滴23的高度可减 小。当微滴23的高度减小时，将微滴23的表面张力向下施加到位于 微滴23和驱动板22之间的接触部分，使得该接触部分可向下移动。 因此，驱动板22凹入地变形，这增大了空气室14的容量。
当施加到驱动电极20的电位从驱动电位改变到地电位时，没有电 位差施加在驱动电极20和微滴23之间，使得覆盖驱动电极20的绝缘 层21的抗液性返回到它的初始状态并变得大于圆形区域25的抗液性。 因此，在绝缘层21的与驱动电极20相对应的区域上扩散开的微滴23 停留在圆形区域25的内部，如图5所示，以便减小在微滴23和底板 12的上表面之间的接触面积。因此，微滴23的高度增加，并且在驱动 板22和微滴23之间的接触部向上变形，以将驱动板22放回到水平状 态并减小空气室14的容量。
为了增大空气室14的容量，驱动电位可同时施加到所有驱动电极 20。为了减小空气室14的容量，地电位可同时施加到所有驱动电极20。 因此，可选择性地减小或增大所有微滴23的高度。在微滴23和驱动 板22之间的所有接触部可同时向下或向上变形。因此，在驱动电位维 持相对低的同时，可增大驱动板22的变形程度，即空气室14的容量 的变化。
即使当位于底板12的上表面上的驱动电极20的数量为一个驱动 电极、并且微滴23的数量为一个微滴时，通过充分地增大驱动电极20 的面积、并充分地增大与驱动电极20对应的微滴23的体积从而足以 从下方支撑驱动板22，驱动板22也可随着一个微滴23的髙度的变化 而变形。由于微滴23的表面张力而施加到位于驱动板22和微滴23之
间的接触部上的力与接触部的周长成比例。因此，当位于底板12的上 表面上的驱动电极20被分成多个驱动电极、并且多个微滴23定位成 与驱动电极20相对应时，如图3所示，与当一个微滴23定位成与一 个驱动电极20相对应时相比，可增大接触驱动板22的微滴23的总周 长。因此，在驱动电位维持相对低的同时，从多个微滴23施加到驱动 板22的力可尽可能地增大以使驱动板22变形。
亲液圆形区域25可与驱动电极20相邻地定位，在该亲液圆形区 域25处，微滴23的润湿角0随着施加到驱动电极20的电位的变化而 变化。因此，例如当电位变化时，微滴23不可以自由地在底板12的 上表面上移动离开对应的驱动电极20的区域。因此，可使微滴23的 行动稳定。此外，具有无切口或间断的环形形状的亲液圆形区域25可 位于驱动电极20内侧。因此，与一个驱动电极20相对应的微滴23不 可以移动到与相邻的其它驱动电极20相对应的区域。因此，可维持促 动器11的稳定操作。
微滴23可接触位于驱动板22的下表面上的公共电极26。微滴23 可与公共电极26—起维持在地电位。因此，可防止可归因于施加到微 滴23的电位的波动的在微滴23和驱动电极20之间的电位差的波动。 因此，可以可靠地启动促动器11。
控制器8可控制喷墨打印机100的各种操作，例如从打印头1喷 墨、通过馈送辊3供应片材、和通过泵6进行的背压调节。控制器8 可包括CPU(中央处理单元)、构造成存储用于控制打印机IOO的程序及 数据的ROM(只读存储器)、和构造成临时存储用于由CPU处理的数据 的RAM(随机存取存储器)。
控制器8控制打印头1和构造成驱动馈送辊3的馈送马达30，以 基于从数据输入装置200例如个人电脑输入的图像数据在片材P上形 成图像。为了防止当不执行打印时由于施加到墨通道的背压而引起墨
从打印头1的喷嘴泄漏，控制器8控制泵6的促动器11，以利用泵6 排出墨盒4中的空气。因此，可降低墨盒4的内部压力。
当控制器8不对驱动器IC24输出用于驱动泵6的控制信号时，驱 动器IC24可将所有驱动电极20维持在地电位，如图2和3所示。因 为没有电位差施加在微滴23和对应的驱动电极20之间，所以绝缘层 21的抗液性可大于圆形区域25的抗液性。每个微滴23位于对应的圆 形区域25上。在该状态下，驱动板22是大致水平的且平行于底板12 的上表面。入口阀构件和出口阀构件17和18通过推压件被分别压靠 在阀座13a和13b上，并关闭入口 15和出口 16。
当控制器8确定应降低墨盒4的内部压力(墨通道的背压)时，控制 器8对泵6的促动器11的驱动器IC24输出用于驱动泵6的控制信号。
例如当新墨盒4安装在打印机100中时，或者在从泵6的上次操 作起预定时间量流逝之后，由于空气从入口 15或出口 16进入而预期 墨盒4的内部压力增大时，控制器8可确定应降低墨盒4的内部压力。 控制器8可构造成基于来自可位于打印机100中以检测墨盒4的内部 压力的检测装置的输出来确定是否应驱动泵6。
当控制器8对驱动器IC24输出控制信号时，驱动器IC24将驱动 电位同时施加到所有驱动电极20,如图4所示。然后，同时降低在与 驱动电极20相对应的所有区域处的绝缘层21的抗液性。结果，与驱 动电极20相对应地设置的微滴23减小它们的高度。因此，向下的力 从微滴23施加到位于微滴23和驱动板22之间的接触部，以使驱动板 22凹入地变形。
此时，空气室14的容量增加了驱动板22变形的量，使得空气室 14中的压力降低。因此，由于在空气室14和墨盒4之间的压力差，所 以入口阀构件17克服推压件的推压力离开阀座13a向下移动以打开入
口 15。因此，墨盒4中的空气通过入口 15流入空气室14中。大气压 力大于空气室14的内部压力，使得出口 16被出口阀构件18关闭。因 此，可防止空气经过出口 16进入(回流)。
在从对所有驱动电极20施加驱动电位起预定量的时间流逝之后， 驱动器IC24可将被施加到所有驱动电极20的电位改变成地电位，如 图5所示。然后，绝缘层21的与驱动电极20相对应的所有区域具有 比圆形区域25的抗液性大的抗液性。因此，与驱动电极20相对应的 微滴23从与驱动电极20相对应的区域返回到圆形区域25并增加它们 的高度。因此，向上的力从微滴23施加到在微滴23和驱动板22之间 的接触部，以将驱动板22放置在初始的水平状态。
此时，空气室14的容量被恢复(减小)，并且空气室14中的压力增 加。因此，由于在空气室14和大气压力之间的压力差，所以出口阀构 件18克服推压件的推压力离开阀座13b向上移动以打开出口 16。因此， 空气室14中的空气通过出口 16被排出到外部。空气室14的内部压力 大于墨盒4的内部压力，使得入口 15被入口阀构件17关闭。因此， 可防止空气通过入口 15流动(回流)到墨盒4。
采用泵6的上述操作，墨盒4中的空气通过空气室14被排出到外 部，使得墨盒4的内部压力减小。泵6根据从控制器8到驱动器IC24 的控制信号的输入的操作可被执行若干次。泵6的操作次数可预先确 定，或者可基于墨盒4的内部压力由控制器8设定成合适的次数。
现在将说明根据本发明的实施方案的泵6的实例。在一个实例中， 泵体10和促动器11的规格如下
空气室内径；20mm，高度；3mm 驱动板材料；聚酰亚胺，厚度5(Him
驱动电极内径(圆形区域的外径)；0.3mm,外径；0.5mm;电极 的数量800 驱动板和绝缘层之间的距离0.15mm 微滴的表面张力45mN/m
在泵6中，当位于圆形区域25上的微滴23在绝缘层21的与驱动 电极20相对应的区域上扩散开时，微滴23的直径可从0.3mm改变至 0.5mm。此时，微滴23的高度可从0.15mm改变至0.05mm。驱动板22 可变形大约O.lmm。驱动板22的单次变形可使空气室14的容量增加 大约30mm3 。
扩散的微滴23的总周长通过0.5xl(TS(微滴的直径)x7rx80O(电极的 数量)-1.2mm获得。因此，从微滴23施加到驱动板22的力通过1.2m(扩 散的微滴周长的和)x45mN/m(微滴的表面张力^5.4xl(^N获得。因此， 出现在空气室14中的压力是5."10—2/((10xl0—3)2XT)=170Pa。因此，泵 6的单次操作可造成近似17mmH20的细微压力变化。
采用本发明的该实施方案的泵6,通过利用电润湿改变微滴23相 对于绝缘层21的润湿角夂可使驱动板22随着微滴高度的变化而变形。 驱动板22的该细微变形使得空气室14中的细微压力变化成为可能。 因此，可对喷墨打印机100的墨通道中的背压作细微调节。
利用电润湿使驱动板22变形。因此，与公知的压电促动器相比较 可减少电力消耗。此外，可通过例如设置位于底板12和驱动板22之 间的微滴23、以及位于微滴23和底板12的上表面之间的驱动电极20 来以较不复杂的结构使驱动板22变形。该较不复杂的结构可导致促动 器ll的尺寸减小，继而导致泵6的尺寸减小。底板12和驱动板22不 彼此直接接触，使得可减少或大致消除由驱动泵6所引起的噪音。
参考图7-9，说明了根据本发明其它实施方案的泵6A和6B。泵 6A和6B可类似于泵6。因此，关于泵6A和6B仅讨论泵6A及6B与 泵6之间的差异。
参考图7和8，在泵6A中，圆形电极40可位于驱动电极20内部 的圆形区域25上。驱动电极20和圆形电极40可覆盖有绝缘层21。等 于驱动电位的电位可持续地通过驱动器IC24施加到圆形电极40。这使 得微滴23相对于绝缘层21的润湿角0能够在对应的圆形区域25处连 续地减小。此外，圆形区域25可变成亲液的，使得微滴23可位于对 应的圆形区域25上。
与施加到驱动电极20的电位相反的电位可通过驱动器IC24施加 到圆形电极40。更具体地说，当地电位被施加到驱动电极20时，该驱 动电位可被施加到圆形电极40。此时，微滴23可仅位于对应的圆形区 域25上，并且微滴23可相对较高。当该驱动电位被施加到驱动电极 20时，地电位可被施加到圆形电极40。此时，微滴23可仅位于对应 的驱动电极20上。如果环形驱动电极20的面积大于圆形电极40的面 积，则微滴23接触绝缘层21的面积增大，使得微滴23的高度可减小。 因此，驱动板22可随着微滴23高度的变化而变形。
参考图9，在本发明的另一实施方案中，泵6B可包括促动器IIB， 并且驱动电极20B可具有正方形形状，且可在相邻驱动电极20B之间 等距离的情况下沿两个彼此垂直的方向设置在底板12的上表面上。在 该实施方案中，驱动器IC24可选择性地将驱动电位或地电位施加到驱 动电极20B中的每个驱动电极20B。覆盖驱动电极20B的绝缘层21可 设置在底板12的上表面的全部区域上。微滴23例如五个微滴接触绝 缘层21的表面。
相对于一个微滴23而言通过驱动器IC24被施加相同电位的驱动 电极20B的数量可基于从控制器8输出的控制信号改变。更具体地说, 相对于一个微滴23而言，驱动器IC24可将驱动电位施加到彼此相邻 的四个驱动电极20B，如图9中的交叉阴影线所指示。相对于一个微滴 23而言被施加驱动电位的驱动电极20B的数量可以是任何数量的驱动
电极20B。因此，可改变微滴23将液体施加到绝缘层21的面积。采用 这样的结构，可逐渐地或细微地改变微滴23的高度，使得可微调驱动 板22的变形程度即空气室14的容量的变化。
此外，从驱动器IC24施加到驱动电极20的电位不局限于两个电 位。当使用三个或更多的电位时，可以以三个或更多步骤改变微滴23 相对于绝缘层21的与驱动电极20相对应的区域的润湿角0。
另外，微滴23可直接接触对应的驱动电极20而无需设置绝缘层 21。当不设置绝缘层21时，对驱动电极20施加驱动电位可造成电润 湿，从而减小微滴23相对于驱动电极2O的表面的润湿角0。因此，驱 动板22仍然可以随着微滴高度的变化而变形。
参考图IOA和IOB，光学扫描器50可包括光反射部51,该光 反射部51构造成反射入射光；和促动器52，该促动器52构造成改变 光反射部51的倾斜角。可改变光反射部51的倾斜角，以便改变入射 光的反射方向并沿预定方向偏转光。
促动器52还可包括基底55，该基底55可至少在其上表面上绝 缘；多个驱动电极60，所述多个驱动电极60位于基底55的上表面上； 绝缘层61，该绝缘层61位于基底55的上表面上以覆盖驱动电极60; 驱动板62，该驱动板62与绝缘层61对置且分离；导电液滴63，该导 电液滴63位于绝缘层61和驱动板62之间；和电位施加装置例如驱动 器IC64,该电位施加装置构造成将电位施加到驱动电极60。
基底55可以是矩形板件。基底55可包括合成树脂材料例如聚酰 亚胺、硅酮、或金属。驱动电极60可定位在基底55的上表面上，使 得基底55的上表面应该是绝缘表面或者应该被处理成具有绝缘性能。
至少一个驱动电极例如多个驱动电极60例如八个驱动电极可具
有矩形形状，并且可沿绝缘基底55的纵向方向定位在该绝缘基底55 的上表面的端部上。驱动电极60可沿着基底55的纵向方向等间距地 定位。布线图案可从每个驱动电极60画到基底55的下表面，并且驱 动电极60可经由布线图案连接到驱动器IC64。绝缘层61可位于基底 55的上表面上以覆盖驱动电极60，并且绝缘层61可包括包含氟基树 脂的合成树脂材料。
驱动板62可以是具有与基底55大致相同的平面形状的矩形板件。 光反射部51可构造成反射从上方入射的光，并且可连接到驱动板62 的上表面的自由端。驱动板62的与它的自由端相反的基端可固定到支 撑构件65上，该支撑构件65连接到基底55的上表面上。驱动板62 可经由支撑构件65固定到基底55上，并且可与绝缘层61对置。驱动 板62可包括一种材料，该材料足够柔性以允许驱动板62变形，但足 够刚性以允许驱动板62容易并迅速地改变光反射部51的倾斜角。例 如，驱动板62可包括硅酮。
导电微滴63可位于绝缘层61和驱动板62之间。公共电极(未示 出)可位于驱动板62的下表面上。微滴63可经由公共电极维持在地电 位。
基于从控制光学扫描器50的扫描器控制器70输出的控制信号， 驱动器IC64将驱动电位或地电位施加到驱动电极60。
当改变施加到驱动电极60的电位时，可改变微滴63相对于绝缘 层61的润湿角0。绝缘层61的抗液性的变化可使得微滴63的高度改 变，或可使得微滴63在绝缘层61上移动，这可使得驱动板63变形。 此外，驱动板62在它的自由端处的运动可改变连接到驱动板62的端 部的光反射部51的倾斜角。因此，可改变入射光的其中光被光反射部 51的表面反射的反射方向。
扫描器控制器70可包括CPU(中央处理单元)、构造成存储用于控 制光学扫描器50的程序及数据的ROM(只读存储器)、和构造成临时存 储用于由CPU处理的数据的RAM(随机存取存储器)。扫描器控制器70 可调节光反射部51的倾斜角，以在控制促动器52的驱动器IC64的同 时沿预定偏转方向反射入射光。
当期望改变入射光的偏转方向时，扫描器控制器70对驱动器IC64 输出控制信号，以改变施加到所述多个驱动电极60中的一部分的电位。
例如，扫描器控制器70可控制驱动器IC64以改变被施加驱动电 位的驱动电极60的数量。当改变微滴63的高度时，驱动板62的自由 端可移动，因此可改变入射光的反射方向。
例如，在图IOA和10B中，驱动电位可被施加到两个驱动电极60， 如图IOB中阴影所示，所述两个驱动电极60大致位于布置成排的驱动 电极60的中间，并且地电位可被施加到其它驱动电极60。绝缘层61 的抗液性可在与被施加驱动电位的两个驱动电极60相对应的区域处局 部地降低。因此，在与所述两个驱动电极60相对应的区域处，微滴63 在绝缘层61上扩散。此时，驱动板62可以是大致水平的且平行于基 底55的上表面。因此，当光从上方朝光反射部51入射时，光被向上 反射。
如图IIA所示，当驱动电位还被施加到与大致位于中间的两个驱 动电极60相邻的驱动电极60时，绝缘层61的抗液性降低的区域可朝 着所述相邻的电极中的每个电极扩展，使得微滴63在绝缘层61的与 被施加驱动电位的四个驱动电极60相对应的区域上扩散开。因此，在 微滴63和绝缘层61之间的接触区域增大，并且微滴63的高度减小。 此外，向下的力被施加到位于驱动板62和微滴63之间的接触部，使 得驱动板62变形。因此，驱动板62的自由端向下移动，并且入射光 朝着图IIA中的右上方向被反射。
扫描器控制器70可控制驱动器IC64以选择性地改变被施加驱动 电位的驱动电极60。因此，微滴63可沿着基底55的上表面移动以使 驱动板62的自由端移动，并且可改变入射光的反射方向。
只要被施加驱动电位的驱动电极60的数量保持不变，当被施加驱 动电位的驱动电极60中的至少一个驱动电极60切换到另一驱动电极 60时，通过微滴63的表面张力施加到驱动板22的向下的力不会显著 改变。然而，驱动板62的基端可固定到基底55上。因此，尽管只要 被施加驱动电位的驱动电极60的数量保持恒定，则由微滴63施加在 驱动板62上的向下的力就可保持恒定，但是，当位于微滴63和驱动 板62之间的接触部移动离开驱动板62的固定基端并靠近驱动板62的 自由端时，驱动板62弯曲的量可增加。因此，通过改变被施加驱动电 位的驱动电极60，微滴63可沿着驱动电极60的布置方向在绝缘层61 上移动，并且驱动板62的自由端可弯曲以改变光反射部51的倾斜角。
例如，如图12A和12B所示，驱动电位可通过驱动器IC64施加 到驱动电极60的一部分上，例如位于驱动板62的基端侧上的四个驱 动电极60,例如位于图12A和12B中左侧上的四个电极60，而地电位 可施加到其它驱动电极60，例如位于驱动板62的自由端侧上的电极 60。然后微滴63可在绝缘层61的与所述多个驱动电极60例如位于驱 动板62的基端侧上的四个电极相对应的部分上扩散。
在图12A和12B中，当驱动器IC64将被施加电位的驱动电极60 从位于驱动板62的基端侧上的所述多个电极切换到位于驱动板62的 自由端侧上的所述多个驱动电极时，最初位于驱动板62的基端侧上的 微滴63移动到驱动板62的自由端侧。
如果同时改变施加到所有驱动电极60的电位，则微滴63的行为 可能变得不稳定。因此，被施加驱动电位的驱动电极60可顺序地移位
到在与驱动板62的自由端对应的位置中的下一驱动电极60，而不改变 被施加驱动电位的驱动电极60的数量，例如当驱动电位被施加到下一 驱动电极60时，地电位被施加到最靠近驱动板62的基端侧定位且当 前接受驱动电位的驱动电极60。例如，在图12A中，有八个驱动电极 60，并且从驱动板62的基端起的第五个驱动电极60的电位可从地电 位改变成驱动电位，并且最靠近驱动板62的基端定位的第一驱动电极 60的电位可从驱动电位改变成地电位。因此，绝缘层61中抗液性降低 的区域可以朝着驱动板62的自由端移位一个驱动电极60，并且微滴 63可朝着驱动板62的自由端移动。该过程可持续直到施加到每个驱动 电极62的电位被切换即从驱动电位切换到地电位或反之。
此外，扫描器控制器70可控制驱动器IC64，以改变被施加驱动 电位的电极数量、和被施加驱动电位的那些电极的位置，以更精确地 调节使驱动板62变形的量，例如反射方向被改变的量。
另外，扫描器控制器70可控制驱动器IC64基于驱动板62的共振 频率改变施加到驱动电极60的驱动电位，以使驱动板62共振，这可 增大驱动板62的变形。
在本发明的示例性实施方案中，促动器52可具有以下规格 驱动板材料；硅酮，长度；50(Him，宽度；30^1111，厚度；10^im。 微滴的表面张力45mN/m。
例如，当微滴63接触驱动板62的下表面的区域的直径为30pm 时，微滴63的总周长可通过30xlO—XF9.4xl0—Sm获得。因此，由微 滴63的表面张力施加到驱动板62的向下的力F可通过 F=9.4xl(T5mx45xlO—3N/m(微滴的表面张力)-4.2xl 0—6N-0.43mg获得。
驱动板62可在一端固定，且可以是悬臂的。当力F施加到驱动板 62的自由端时，自由端的变形量可通过
5=F"/3EI=FlJ/3E(bhj/12)=((0.43xl0—&)x(500xlO_y)/(3x7200x(30xlO") x(10xl0_3)3/12)=lxl0—3mm-l.(Him获得，其中E-硅酮驱动板62的弹性 系数。因此，驱动板62的设置光反射部51的自由端可变形lpm。
在光学扫描器50中，可利用电润湿改变微滴63相对于绝缘层61 的润湿角0，以改变微滴63的高度。可选择地，微滴63可沿着绝缘层 61移动以使驱动板62变形。因此，可细微且精确地移动位于驱动板 62上的光反射部51。因此，入射光的反射方向可以被细微且精确地调 节至预定偏转方向。此外，相对于公知的促动器而言可减小由促动器 52消耗的电力的量，并且相对于公知的促动器和光学扫描器而言可分 别减小促动器52和光学扫描器50的尺寸。
尽管已结合各种实例结构和说明性实施方案描述了本发明，但本 领域的技术人员将理解，在不偏离本发明的范围的情况下，可作出上 述结构和实施方案的其它变体和变型。通过考虑在此公开的本发明的 说明书或实践，其它结构和实施方案对于本领域的技术人员将是显而 易见的。本说明书和描述的实例意图是说明性的，本发明的真实范围 由所附权利要求限定。
权利要求
1.一种促动器，包括基底，该基底包括绝缘表面；第一电极，该第一电极位于该绝缘表面上；柔性驱动板，该柔性驱动板与绝缘表面对置；导电液体，该导电液体位于绝缘表面和柔性驱动板之间，其中导电液体直接或间接地接触绝缘表面和柔性驱动表面；和电位施加装置，该电位施加装置电联接到第一电极，并构造成将电位施加到第一电极。
2. 根据权利要求1的促动器，其中当所述电位施加装置改变施加 到所述第一电极的电位时，所述柔性板变形。
3. 根据权利要求l的促动器，其中当所述电位施加装置改变施加 到所述第一电极的电位时，改变所述导电液体相对于所述绝缘表面的 润湿角和所述导电液体相对于所述绝缘表面的高度，这使得所述柔性 驱动板变形，从而改变在所述柔性驱动板和所述绝缘表面之间的距离。
4. 根据权利要求l的促动器，还包括位于所述绝缘表面上以覆盖 所述第一电极的绝缘层，其中所述导电液体接触所述绝缘层和所述柔 性驱动板。
5. 根据权利要求1的促动器，还包括位于所述柔性驱动板的与所 述绝缘表面面对的表面上的第二电极，其中所述第二电极持续地接触 所述导电液体，并被维持在恒定电位。
6. 根据权利要求3的促动器，还包括与所述第一电极相邻地位于 所述绝缘表面上的亲液区域，其中所述导电液体相对于所述亲液区域 的润湿角小于或等于所述导电液体相对于所述绝缘表面的与所述第一电极对应的区域的润湿角。
7. 根据权利要求6的促动器，其中所述第一电极是环形的且无间 断，并且所述亲液区域位于所述第一电极内侧。
8. 根据权利要求1的促动器，其中所述第一电极包括位于所述绝 缘表面上的多个第一电极。
9. 根据权利要求8的促动器，其中与位于所述绝缘表面和所述柔 性驱动板之间的所述多个第一电极中的每个第一电极相对应地设置所 述导电液体，并且所述电位施加装置同时对所述多个第一电极中的每 个第一电极施加相同的电位。
10. 根据权利要求8的促动器，其中所述电位施加装置构造成将 第一电位施加到所述多个第一电极中的至少一个第一电极、并将第二 电位施加到所述多个电极中的其它电极，其中该第一电位不同于该第 二电位。
11. 根据权利要求9的促动器，其中所述电位施加装置构造成顺 序地改变施加到所述多个第一电极的电位，从而使所述导电液体沿着 所述绝缘表面移动。
12. 根据权利要求1的促动器，其中所述电位施加装置构造成顺 序地改变施加到所述第一电极的电位，从而使所述导电液体沿着所述 绝缘表面移动，使所述柔性驱动板变形。
13. 根据权利要求10的促动器，其中所述电位施加装置构造成改 变被施加所述第一电位的所述多个第一电极的数量和被施加所述第二 电位的所述多个第一电极的数量，从而改变所述液滴的高度。
14. 一种泵，包括流体室，该流体室构造成在其中存储流体；泵体，该泵体具有穿过泵体形成的入口和出口，其中入口和出口 中的每一个构造成与该流体室流体连通；和促动器，该促动器构造成改变流体室的容量，其中该促动器包括基底，该基底包括绝缘表面；第一电极，该第一电极位于该绝缘表面上；柔性驱动板，该柔性驱动板与绝缘表面对置；导电液体，该导电液体位于绝缘表面和柔性驱动板之间，其中导 电液体直接或间接地接触绝缘表面和柔性驱动表面；和电位施加装置，该电位施加装置电联接到第一电极，并构造成将 电位施加到第一电极。
15. 根据权利要求14的泵，其中当所述电位施加装置改变施加到 所述第一电极的电位时，所述柔性板变形。
16. 根据权利要求14的泵，其中当所述电位施加装置改变施加到 所述第一电极的电位时，改变所述导电液体相对于所述绝缘表面的润 湿角和所述导电液体相对于所述绝缘表面的高度，这使得所述柔性驱 动板变形，从而改变在所述柔性驱动板和所述绝缘表面之间的距离， 从而改变所述流体室的容量。
17. 根据权利要求14的泵，还包括阀，该阀构造成基于所述流体 室中流体的压力选择性地打开和关闭所述入口和所述出口。
18. —种光学扫描器，包括 光反射部；和促动器，该促动器构造成改变该光反射部的倾斜角，其中该促动 器包括基底，该基底包括绝缘表面；第一电极，该第一电极位于该绝缘表面上； 柔性驱动板，该柔性驱动板与绝缘表面对置；导电液体，该导电液体位于绝缘表面和柔性驱动板之间，其中导 电液体直接或间接地接触绝缘表面和柔性驱动表面；和电位施加装置，该电位施加装置电联接到第一电极，并构造成将 电位施加到第一电极。
19. 权利要求18的光学扫描器，其中当所述电位施加装置改变施 加到所述第一电极的电位时，所述柔性板变形。
20. 根据权利要求18的光学扫描器，其中当所述电位施加装置改 变施加到所述第一电极的电位时，改变所述导电液体相对于所述绝缘 表面的润湿角和所述导电液体相对于所述绝缘表面的高度，这使得所 述柔性驱动板变形，从而改变在所述柔性驱动板和所述绝缘表面之间 的距离，从而改变所述光反射部的倾斜角。
21. 根据权利要求18的光学扫描器，其中所述第一电极包括位于 所述绝缘表面上的多个第一电极。
22. 根据权利要求21的光学扫描器，其中所述电位施加装置构造 成将第一电位施加到所述多个第一电极中的至少一个第一电极、并将 第二电位施加到所述多个电极中的其它电极，其中该第一电位不同于 该第二电位。
23. 根据权利要求22的光学扫描器，其中所述电位施加装置构造 成顺序地改变施加到所述多个第一电极的电位，从而使所述导电液体 沿着所述绝缘表面移动。
全文摘要
促动器、泵和光学扫描器。促动器包括基底，它包括绝缘表面；第一电极，它位于绝缘表面上；柔性驱动板，它与绝缘表面对置；导电液体，它位于绝缘表面和柔性驱动板之间，且直接或间接接触绝缘表面和柔性驱动表面；和电位施加装置，它电联接到第一电极，并构造成将电位施加到第一电极。基于通过使驱动板变形的电润湿来促动或驱动装置，以实现促动器的电力消耗和尺寸的减小。泵包括流体室，该流体室构造成在其中存储流体；泵体，该泵体具有穿过泵体形成的入口和出口，其中入口和出口中的每一个构造成与该流体室流体连通；和构造成改变流体室的容量的该促动器。光学扫描器包括光反射部；和构造成改变该光反射部的倾斜角的该促动器。
文档编号G02B26/02GK101187730SQ20071015329
公开日2008年5月28日 申请日期2007年9月29日 优先权日2006年9月29日
发明者菅原宏人 申请人:兄弟工业株式会社