专利名称：显微镜载物台的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及显微镜，尤其涉及一种显微镜载物台。
背景技术：
当对芯片完成电性测试并确定芯片性能良好后，需要将芯片封装到一个单独的保 护性封装体中。封装体除了能保护芯片外，其主要功能是通过引脚将芯片连接至电路板或 基板，通常，芯片与引脚的连接是通过从芯片焊垫引线焊接至引脚而实现的。 当完成芯片与引脚的引线焊接后或者对失效产品进行检测分析时，需要将芯片放 置在显微镜的载物台上，并通过显微镜检查各个引线和对应的焊垫接触是否良好，以及各 个引线是否分开。现有的显微镜的载物台只能承载着芯片作水平移动或上下移动，即观察 者只能看到芯片的上表面。因此，当遇到下述情况时容易引起误判从芯片的上方来看，引 线和对应的芯片焊垫是相交的，但从侧面来看引线和焊垫是分离的，并不接触(属于不合 格情形)，然而采用现有的显微镜容易将这种引线和焊垫相交但不相接的情况误判为合格。 同样，当检查各个引线是否错误相接的时候，由于现有的显微镜只能从芯片上方观察，因 此，常常把引线之间相交但不相接的情况视为相接而判断其不合格，也导致误判的产生。由 此可见，采用现有的显微镜进行引线观察，其检查效率比较低，错误率比较高。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种显微镜载物台，可以使被检产品做360度周转， 提高产品检测的准确性。 为了达到上述的目的，本实用新型提供一种显微镜载物台，包括一基座，所述基座 的一侧设有相对基座转动的第一转体，所述第一转体的上方设有相对第一转体转动的用于 载物的第二转体。 在上述显微镜载物台中，所述基座的一侧设有螺孔，所述第一转体上固设一螺杆， 所述螺杆旋入所述螺孔内。 在上述显微镜载物台中，所述第一转体的上方设有螺孔，所述第二转体上固设一 螺杆，所述螺杆旋入所述螺孔内。 在上述显微镜载物台中，所述第一转体与第二转体相接触的表面是平面。 在上述显微镜载物台中，所述第一转体相对基座做360度旋转。 在上述显微镜载物台中，所述第二转体相对第一转体做360度旋转。 在上述显微镜载物台中，所述第一转体和第二转体的轴心线相互垂直 本实用新型的有益效果是由于第一转体和第二转体可以分别带动被检产品做
360度旋转，且两转轴(两转体的轴心线)的方向相互垂直，因此，可以实现从任意角度观测
产品，避免背景技术中所提到的误判情况的发生。因而，可以提高产品检测的便利性和准确
性，提高了检测效率。
本实用新型的显微镜载物台由以下的实施例及附图给出。
图1是本实用新型显微载物台的结构示意图； 图中，1-基座，2-第一转体，3-第二转体，4-产品。
具体实施方式以下将对本实用新型的显微镜载物台作进一步的详细描述。 请参阅图l，图l是本实用新型显微载物台的结构示意图。 这种显微镜载物台应用于景深比较大的显微镜。这种显微镜载物台包括一基座 l，所述基座1的一侧设有能相对基座1转动的第一转体2，所述第一转体2的上方设有能相 对第一转体2转动的用于载物的第二转体3。 上述载物台的具体结构如下，但不局限于此所述第一转体2与第二转体3相接触 的表面是平面。所述第一转体2是一部分圆柱面切成平面的圆柱体。所述第一转体的轴心 线与显微镜的观测方向相互垂直。所述第二转体3是一下底面置于所述第一转体2的平面 上的圆柱体。所述基座1的一侧设有螺孔，所述第一转体2上固设一螺杆，所述螺杆与第一 转体的一底面固定连接。所述螺杆旋入所述螺孔内。所述第一转体2的上方设有螺孔，所 述第二转体3上固设一螺杆，该螺杆与第二转体3的下底面固定连接。所述螺杆旋入所述 螺孔内。如图1所示，所述第一转体2的轴心线沿X轴方向，所述第二转体3的轴心线沿Z 轴方向。且两轴心线相互垂直。放置于第二转体3上的产品4，可以随着第二转体3绕着第 二转体3的轴心线做360度旋转。第二转体3及其上的产品4可以随着第一转体2绕着第 一转体2的轴心线做360度旋转。通过转动该两个转体可以从不同的角度观察产品4。 本实用新型是这样工作的 当产品4完成芯片与引脚的引线焊接后，可以采用具有本实用新型所述的载物台 的显微镜进行检查是否合格。当然，也可以用于对失效的产品进行检测以以分析失效原因。 采用显微镜，而不需要使用电子扫描显微镜SEM(ScanningElectron Microscope)，可以节 省很多检测时间，从而提高检测效率。在检测的时候，先将产品4放置在载物台的第二转体 3的上表面(载物面)，可以通过夹片夹将产品4固定在第二转体3上。此时，可以从芯片的 上方来观察引线和对应的芯片焊垫是否相交。然后，可以通过转动第一转体2，使得第二转 体3及其上的产品4绕X轴旋转，使产品4的一个侧面朝上。然后，操作人员可以通过转动 第二转体3，使产品的各个侧面呈现在显微镜下方，从侧面观察引线和焊垫是否相互接触， 如果发现引线和焊垫相互分离(不接触)即判为不合格产品。因而，可以避免过去由于只 能从芯片上方观测造成的误判现象。同样，当检查各个引线是否错误相接的时候，也可以通 过转动第一转体2和第二转体3实现从芯片的不同侧面来观察各个引线是否相互接触。如 果发现各个引线之间相互接触即判为不合格产品。因而，同样避免了误判现象的发生。由 于第一转体2和第二转体3的轴心线是相互垂直的，所以，可以实现从不同的角度观测产品 4，从而及时发现芯片的不合格情况。从而，提高了产品检查的准确性和便利性，有效提高了 检测效率。 虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型。本实 用新型所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此本实用新型的保护范围当视权利要求书所界定者为准:
权利要求一种显微镜载物台，包括一基座，其特征在于所述基座的一侧设有相对基座转动的第一转体，所述第一转体的上方设有相对第一转体转动的用于载物的第二转体。
2. 如权利要求l所述的显微镜载物台，其特征在于所述基座的一侧设有螺孔，所述第 一转体上固设一螺杆，所述螺杆旋入所述螺孔内。
3. 如权利要求l所述的显微镜载物台，其特征在于所述第一转体的上方设有螺孔，所 述第二转体上固设一螺杆，所述螺杆旋入所述螺孔内。
4. 如权利要求1所述的显微镜载物台，其特征在于所述第一转体与第二转体相接触 的表面是平面。
5. 如权利要求1所述的显微镜载物台，其特征在于所述第一转体相对基座做360度 旋转。
6. 如权利要求l所述的显微镜载物台，其特征在于所述第二转体相对第一转体做360度旋转。
7. 如权利要求1所述的显微镜载物台，其特征在于所述第一转体和第二转体的轴心 线相互垂直。
专利摘要本实用新型属于各类显微镜，尤其涉及显微镜载物台。这种显微镜载物台，包括一基座，所述基座的一侧设有相对基座转动的第一转体，所述第一转体的上方设有相对第一转体转动的用于载物的第二转体。所述基座的一侧设有螺孔，所述第一转体上固设一螺杆，所述螺杆旋入所述螺孔内。所述第一转体的上侧设有螺孔，所述第二转体上固设一螺杆，所述螺杆旋入所述螺孔内。由于第一转体和第二转体可以分别带动产品做360度旋转，且两转体的轴心线方向相互垂直，因此，可以实现从任意角度观测产品。因而，可以提高产品检测的便利性和准确性，从而，提高检测效率。
文档编号G02B21/26GK201464705SQ20092007796
公开日2010年5月12日 申请日期2009年7月7日 优先权日2009年7月7日
发明者季春葵, 宋哲, 王君丽, 龚伟平 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司