笛卡尔机械臂群集工具架构的制作方法

专利名称：笛卡尔机械臂群集工具架构的制作方法
技术领域：
本发明的实施例大体来说是有关于一整合式制程系统，其含有能够同步处理多个基材的多个制程站及机械臂。
背景技术：
形成电子元件的制程通常是在一受控制的制程环境下在拥有连续处理基材(例如半导体晶片)的能力的多腔室制程系统(例如，一群集工具)内完成。典型用来沉积(即涂布)和显影光阻材料的工具一般称为自动化光阻涂布及显影工具(track lithography tool)，或用来执行半导体清洁制程，一般称为湿式/清洁工具，典型的群集工具包含容纳至少一个基材传送机械臂的主架构，该机械臂在一晶片盒/晶片匣安装装置和与该主架构连接的多个制程腔室间传送基材。群集工具通常是经使用而使基材可在一受控制的制程环境下以可再现方式处理。一个受到控制的环境具有许多好处，包含在传送期间及在完成各种基材制程步骤期间最小化基材表面的污染。在一受控制环境下处理因而可减少缺陷的产生并改善元件合格率。一基材制造制程的有效性通常是由两个相关且重要的因素来权衡，即元件合格率和持有成本(cost of ownership，CoO)。这些因素是重要的，因为其直接影响一电子元件的生产成本，从而影响到一元件制造商的市场竞争力。CoO，其受多种因素影响，大幅度地受到系统和腔室产能影响，简言的即每小时利用预期制程程序处理的基材数量。制程程序一般定义为在该群集工具中的一或多个制程腔室内完成的元件制造步骤或制程配方步骤的程序。制程程序一般可含有若干基材(或晶片)电子元件制造制程步骤。在降低CoO的努力下，电子元件制造商花费许多时间尝试最佳化制程程序和腔室制程时间，以在群集工具结构及腔室制程时间的限制下达到可能的最大基材产能。在自动化光阻涂布及显影式群集工具中，因为腔室制程时间较短(例如，约1分钟即可完成该制程)，但需要完成一典型制程程序的制程步骤数量很多，所以用来完成该制程程序的大部分时间是耗费在在各个制程腔室间传送所述基材。一典型的自动化光阻涂布及显影制程程序一般包含如下步骤在一基材表面上沉积一或多层均勻的光阻(或阻抗)层，然后将该基材传送出该群集工具至一分离的步进机或扫描工具，以藉由将该光阻层暴露在一光阻调整电磁辐射下来图案化该基材表面，接着显影该图案化的光阻层。若群集工具内的基材产能不受机械臂限制的话，则最长的制程配方步骤会限制该制程程序的产能。这通常不会发生在自动化光阻涂布及显影制程程序中，因为其具有短的制程时间和大量的制程步骤。习知制造制程的典型系统产能，例如执行一典型制程的自动化光阻涂布及显影工具，一般是每小时100-120片基材间。CoO计算中的其他重要因素是系统可靠度和系统工作时间。这些因素对于群集工具的收益性及/或有效性是很重要的，因为系统无法处理基材的时间越长，使用者损失的金钱就越多，肇因于在群集工具中处理基材的机会的丧失。因此，群集工具使用者和制造商花费许多时间试图研发拥有增加的工作时间的可靠的制程、可靠的硬件和可靠的系统。产业对于缩小半导体元件尺寸以改善元件处理速度并减少元件生热的努力反而降低了产业对于制程变异的容忍度。为了最小化制程变异，自动化光阻涂布及显影制程程序的一重要因素是确保行经群集工具的每一个基材皆拥有相同的「晶片史(wafer history) J0基材的晶片史通常是由制程工程师监控及控制，以确保后来可能会影响元件效能的所有元件制造制程变量皆受到控制，而使相同批次内的所有基材总是以相同方式处理。为确保每一个基材皆拥有相同的「晶片史」，需要使每一个基材经受相同的可重复的基材制程步骤(例如一致的涂布制程、一致的硬拷制程、一致的冷却制程等等)，并且每一个基材在各个制程步骤间的时间是相同的。微影式元件制造制程对于制程配方变量和配方步骤间的时间的变异可以是非敏感的，其直接影响制程变异，并且最终影响到元件效能。因此，需要一种能够执行最小化制程变异和制程步骤间的时间变异的制程程序的群集工具及支持设备。此外，也需要能够执行给予均勻且可重复的制程结果，同时达到预期基材产能的元件制造制程的群集工具及支持设备。因此，存在有对于一种系统、一种方法和一种设备的需要，其可处理一基材而使其符合所要求的元件效能目标并增加系统产能，因此降低制程程序CoO。

发明内容
本发明大体来说提供一种处理一基材的群集工具，包含一第一制程架，含有一第一组制程腔室，其具有垂直堆迭的两个或多个基材制程腔室，以及一第二组制程腔室，其具有垂直堆迭的两个或多个基材制程腔室，其中该第一及第二组的两个或多个基材制程腔室具有沿着一第一方向排列的第一侧，一第一机械臂组件，其适于传送一基材至该第一制程架中的基材制程腔室，其中该第一机械臂组件包含一第一机械臂，其具有拥有一基材容纳表面的机械臂叶片，其中该第一机械臂是适于将一基材设置在通常容纳在一第一平面内的一或多个点上，其中该第一平面与该第一方向以及和该第一方向垂直的第二方向平行，一第一移动组件，具有适于将该第一机械臂设置在通常与该第一平面垂直的第三方向上的促动器组件，以及一第二移动组件，具有适于将该第一机械臂设置在通常与该第一方向平行的方向上的促动器组件，以及一传送区域，其中容纳该第一机械臂，其中当该基材被设置在该机械臂叶片的基材容纳表面上时，该传送区域的宽度与该第二方向平行且比该第二方向的基材尺寸大约5%至约50%。本发明的实施例进一步提供一种处理一基材的群集工具，包含一第一制程架，其含有具有垂直堆迭的两个或多个基材制程腔室的两或多个组，其中该两或多个组的两个或多个基材制程腔室具有沿着一第一方向排列的第一侧，以通过其间存取所述基材制程腔室，一第二制程架，其含有具有垂直堆迭的两个或多个基材制程腔室的两或多个组，其中该两或多个组的两个或多个基材制程腔室具有沿着一第一方向排列的第一侧，以通过其间存取所述基材制程腔室，一第一机械臂组件，设置在该第一制程架和该第二制程架间，其是适于将一基材从该第一侧传送至该第一制程架中的基材制程腔室，其中该第一机械臂组件包含一机械臂，其适于将一基材设置在通常容纳在一水平面内的一或多个点上，一垂直移动组件，具有适于将该机械臂设置在通常与该垂直方向平行的方向上的马达，以及一水平移动组件，具有适于将该机械臂设置在通常与该第一方向平行的方向上的马达，一第二机械臂组件，设置在该第一制程架和该第二制程架间，其是适于将一基材从该第一侧传送至该第二制程架中的基材制程腔室，其中该第二机械臂组件包含一机械臂，其适于将一基材设置在通常容纳在一水平面内的一或多个点上，一垂直移动组件，具有适于将该机械臂设置在通常与该垂直方向平行的方向上的马达，以及一水平移动组件，具有适于将该机械臂设置在通常与该第一方向平行的方向上的马达，以及一第三机械臂组件，设置在该第一制程架和该第二制程架间，其是适于将一基材从该第一侧传送至该第一制程架中的基材制程腔室或从该第一侧传送至该第二制程架，其中该第三机械臂组件包含一机械臂，其适于将一基材设置在通常容纳在一水平面内的一或多个点上，一垂直移动组件，具有适于将该机械臂设置在通常与该垂直方向平行的方向上的马达，以及一水平移动组件，具有适于将该机械臂设置在通常与该第一方向平行的方向上的马达。本发明进一步提供一种处理一基材的群集工具，包含一第一制程架，其含有具有两个或多个垂直堆迭的基材制程腔室的两或多个组，其中该两或多个组的两个或多个垂直堆迭的基材制程腔室具有沿着一第一方向排列的第一侧，以通过其间存取所述基材制程腔室，以及沿着一第二方向排列的第二侧，以通过其间存取所述基材制程腔室，一第一机械臂组件，其是适于将一基材从该第一侧传送至该第一制程架中的基材制程腔室，其中该第一机械臂组件包含一第一机械臂，其适于将一基材设置在通常容纳在一水平面内的一或多个点上，一垂直移动组件，具有适于将该第一机械臂设置在通常与该垂直方向平行的方向上的马达，以及一水平移动组件，具有适于将该第一机械臂设置在通常与该第一方向平行的方向上的马达，以及一第二机械臂组件，其是适于将一基材从该第二侧传送至该第一制程架中的基材制程腔室，其中该第二机械臂组件包含一第二机械臂，其适于将一基材设置在通常容纳在一水平面内的一或多个点上，一垂直移动组件，具有适于将该第二机械臂设置在通常与该垂直方向平行的方向上的马达，以及一水平移动组件，具有适于将该第二机械臂设置在通常与该第二方向平行的方向上的马达。本发明的实施例进一步提供一种处理一基材的群集工具，包含设置在一群集工具内的两个或多个基材制程腔室，一第一机械臂组件，其适于将一基材传送至该两个或多个基材制程腔室，其中该第一机械臂组件包含一第一机械臂，其适于将一基材设置在一第一方向上，其中该第一机械臂包含一机械臂叶片，具有一第一端及一基材容纳表面，其中该基材容纳表面适于容纳并传送一基材，一第一连接构件，其具有一第一枢轴点及一第二枢轴点，一马达，在该第二枢轴点处与该第一连接构件旋转连接，一第一齿轮(gear)，与该机械臂叶片的第一端连接并在该第一枢轴点处与该第一连接构件旋转连接，以及一第二齿轮， 与该第一齿轮旋转连接并与该第一连接构件的第二枢轴点同心对齐，其中该第二齿轮对该第一齿轮的齿轮比介于约3 1至约4 3间，一第一移动组件，其是适于将该第一机械臂设置在通常与该第一方向垂直的第二方向上，以及一第二移动组件，具有适于将该第一机械臂设置在通常与该第二方向垂直的第三方向上的马达。本发明的实施例进一步提供一种处理一基材的群集工具，包含一第一制程架，其含有具有两个或多个垂直堆迭的基材制程腔室的两或多个组，其中该两或多个组的两个或多个垂直堆迭的基材制程腔室具有沿着一第一方向排列的第一侧，以通过其间存取所述基材制程腔室，以及沿着一第二方向排列的第二侧，以通过其间存取所述基材制程腔室，一第一机械臂组件，其是适于将一基材从该第一侧传送至该第一制程架中的基材制程腔室，其中该第一机械臂组件包含一第一机械臂，其适于将一基材设置在通常容纳在一水平面内的一或多个点上，一垂直移动组件，具有适于将该第一机械臂设置在通常与该垂直方向平行的方向上的马达，以及一水平移动组件，具有适于将该第一机械臂设置在通常与该第一方向平行的方向上的马达，以及一第二机械臂组件，其是适于将一基材从该第二侧传送至该第一制程架中的基材制程腔室，其中该第二机械臂组件包含一第二机械臂，其适于将一基材设置在通常容纳在一水平面内的一或多个点上，一垂直移动组件，具有适于将该第二机械臂设置在通常与该垂直方向平行的方向上的马达，以及一水平移动组件，具有适于将该第二机械臂设置在通常与该第二方向平行的方向上的马达。本发明的实施例进一步提供一种处理一基材的群集工具，包含设置在一群集工具内的两个或多个基材制程腔室，一第一机械臂组件，其适于将一基材传送至该两个或多个基材制程腔室，其中该第一机械臂组件包含一第一机械臂，其适于将一基材设置在一第一方向上，其中该第一机械臂包含一机械臂叶片，具有一第一端及一基材容纳表面，其中该基材容纳表面适于容纳并传送一基材，一第一连接构件，其具有一第一枢轴点及一第二枢轴点，一马达，在该第二枢轴点处与该第一连接构件旋转连接，一第一齿轮，与该机械臂叶片的第一端连接并在该第一枢轴点处与该第一连接构件旋转连接，以及一第二齿轮，与该第一齿轮旋转连接并与该第一连接构件的第二枢轴点同心对齐，其中该第二齿轮对该第一齿轮的齿轮比介于约3 1至约4 3间，一第一移动组件，其是适于将该第一机械臂设置在通常与该第一方向垂直的第二方向上，以及一第二移动组件，具有适于将该第一机械臂设置在通常与该第二方向垂直的第三方向上的马达。本发明的实施例进一步提供一种在一群集工具内传送一基材的设备，包含一第一机械臂，其适于将一基材设置在通常容纳在一第一平面内的一或多个点上，一垂直移动组件，包含一滑轨组件，其含有与一垂直定位的线性轨道连接的块状物(block)，一支撑板，与该块状物和该第一机械臂连接，以及一促动器，其适于沿着该线性轨道将该支撑板垂直设置在一垂直位置上，以及一水平移动组件，其是与该垂直移动组件连接，并具有一水平促动器，其适于在水平方向上设置该第一机械臂和该垂直移动组件。本发明的实施例进一步提供一种在一群集工具内传送一基材的设备，包含一第一机械臂，其适于将一基材设置在通常容纳在一第一平面内的一或多个点上，一垂直移动组件，包含一促动器组件，其适于垂直设置该第一机械臂，其中该促动器组件进一步包含一垂直促动器，其适于垂直设置该第一机械臂，以及一垂直滑轨，其适于在该垂直促动器调动该第一机械臂时引导该第一机械臂，一围封，具有一或多个形成一内部区域的壁，该内部区域围绕至少一个是选自垂直促动器和该垂直滑轨的零组件，以及一风扇，与该内部区域流体交流，其是适于在该围封内产生负压，以及一水平移动组件，具有一水平促动器和一水平引导构件，其是适于在通常与该第一制程架的第一侧平行的方向上设置该第一机械臂。本发明的实施例进一步提供一种在一群集工具内传送一基材的设备，包含一第一机械臂组件，其适于将一基材设置在一第一方向上，其中该第一机械臂组件包含一机械臂叶片，具有一第一端及一基材容纳表面，一第一连接构件，其具有一第一枢轴点及一第二枢轴点，一第一齿轮，与该机械臂叶片的第一端连接并在该第一枢轴点处与该第一连接构件旋转连接，一第二齿轮，与该第一齿轮旋转连接并与该第一连接构件的第二枢轴点对齐，以及一第一马达，其是与该第一连接构件旋转连接，其中该第一马达适于藉由相对于该第二齿轮旋转该第一连接构件和第一齿轮来设置该基材容纳表面，一第一移动组件，其是适于将该第一机械臂设置在通常与该第一方向垂直的第二方向上，以及一第二移动组件，其是适于将该第一机械臂设置在通常与该第二方向垂直的第三方向上。本发明的实施例进一步提供一种在一群集工具内传送一基材的设备，包含一第一机械臂组件，其适于将一基材设置在通常容纳在一第一平面内的沿着一弧形的一或多个点上，其中该第一机械臂组件包含一机械臂叶片，具有一第一端及一基材容纳表面，以及一马达，其与该机械臂叶片的第一端旋转连接，一第一移动组件，其是适于将该第一机械臂设置在通常与该第一平面垂直的第二方向上，其中该第一移动组件包含一促动器组件，其适于垂直设置该第一机械臂，其中该促动器组件进一步包含一垂直促动器，其适于垂直设置该第一机械臂，以及一垂直滑轨，其适于在该垂直促动器调动该第一机械臂时引导该第一机械臂，一围封，具有一或多个形成一内部区域的壁，该内部区域围绕至少一个是选自垂直促动器和该垂直滑轨的零组件，以及一风扇，与该内部区域流体交流，其是适于在该围封内产生负压，以及一第二移动组件，具有一第二促动器，其是适于将该第一机械臂设置在通常与该第二方向垂直的第三方向上。本发明的实施例进一步提供一种在一群集工具内传送一基材的设备，包含一第一机械臂组件，其适于将一基材设置在一第一方向上，其中该第一机械臂组件包含一机械臂叶片，具有一第一端及一基材容纳表面，一第一齿轮，与该机械臂叶片的第一端连接，一第二齿轮，与该第一齿轮旋转连接，以及一第一马达，与该第一齿轮旋转连接，以及一第二马达，与该第二齿轮旋转连接，其中该第二马达适于相对于该第一齿轮旋转该第二齿轮，以创造出可变齿轮比，以及一第一移动组件，其是适于将该第一机械臂设置在通常与该第一方向垂直的第二方向上。本发明的实施例进一步提供一种传送一基材的设备，包含一基座，具有一基材支撑表面，一反应构件，设置在该基座上，一接触构件，与适于将一基材朝向该反应构件推动的促动器连接，以及一制动构件，其在该接触构件经设置来将该基材朝向该反应构件推动时适于一般性地抑制该接触构件的移动。本发明的实施例进一步提供一种传送一基材的设备，包含一基座，具有一支撑表面，一反应构件，设置在该基座上，一促动器，与该基座连接，一接触构件，与该促动器连接， 其中该促动器适于将该接触构件朝向设置在该支撑表面上，并且由该反应构件支撑一边缘的基材的边缘推动，一制动构件组件，包含一制动构件，以及一制动促动构件，其中该制动促动构件适于将该制动构件朝向该接触构件推动，以创造出在一基材传送期间一般性地抑制该接触构件移动的限制力。本发明的实施例进一步提供一种传送一基材的设备，包含一基座，具有一支撑表面，一反应构件，设置在该基座上，一接触构件组件，包含一促动器，以及一接触构件，具有一基材接触表面和一顺应构件(compliant member)，其是设置在该接触表面和该促动器间，其中该促动器是适于将该接触表面朝向倚靠该反应构件表面设置的基材推动，以及一制动构件组件，包含一制动构件，以及一制动促动构件，适于将该制动构件朝向该接触构件推动，以抑制一基材传送期间该接触构件的移动，以及一感应器，与该接触构件连接，其中该感应器适于感应该接触表面的位置。本发明的实施例进一步提供一种传送一基材的设备，包含一机械臂组件，含有一第一机械臂，其适于在第一方向上传送设置在一机械臂叶片上的基材，一第一移动组件，具有一促动器，其适于将该第一机械臂设置在一第二方向上，以及一第二移动组件，与该第一移动组件连接并具有一第二促动器，其适于将该第一机械臂及该第一移动组件设置在通常与该第二方向垂直的第三方向上，以及一基材抓取装置，与该机械臂叶片连接，其中该基材抓取装置适于支撑一基材，并含有一反应构件，设置在该机械臂叶片上，一促动器，与该机械臂叶片连接，一接触构件，与该促动器连接，其中该促动器适于藉由将该接触构件朝向设置在该接触构件和该反应构件间的基材的边缘推动而限制一基材，以及一制动构件组件， 包含一制动构件，以及一制动促动构件，适于将该制动构件朝向该接触构件推动，以在一基材传送期间抑制该接触构件的移动。本发明的实施例进一步提供一种传送一基材的方法，包含将一基材设置在一基材支撑装置上，介于设置在该基材支撑装置上的一基材接触构件及一反应构件之间，利用一促动器来产生基材抓持力，该促动器将该基材接触构件朝向该基材推动，并将该基材朝向该反应构件推动，以及产生一抑制力，其适于在传送一基材期间利用一制动组件抑制该基材接触构件的移动。本发明的实施例进一步提供一种传送一基材的方法，包含将一基材设置在一基材支撑装置上，介于设置在该基材支撑装置上的一基材接触构件及一反应构件之间，将具有一连接件的促动器与该基材接触构件连接，而使该连接件将该促动器和该基材接触构件连接，利用一促动器施加抓持力至该基材，该促动器将该基材接触构件朝向该基材推动，并将该基材朝向该反应构件推动，将能量储存在一顺应构件中，其是设置在该基材接触构件和该连接件之间，在施加该抓持力之后抑制该连接件的移动，以最小化传送基材期间该抓持力的变异量，以及藉由感应该基材接触表面因为储存在该顺应构件中的能量的减少的移动来感应该基材的移动。本发明的实施例进一步提供一种传送一基材的方法，包含将设置在一第一制程腔室中的基材接收在一机械臂基材支撑上，其中接收该基材的步骤包含将一基材设置在该机械臂基材支撑上，介于设置在该机械臂基材支撑上的一基材接触构件及一反应构件之间， 利用一促动器产生基材抓持力，该促动器将该基材接触构件朝向该基材推动，并将该基材朝向该反应构件推动，以及设置一制动组件，以在传送一基材期间产生抑制该基材接触构件移动的抑制力，以及利用一第一机械臂组件将该基材和该机械臂基材支撑从该第一制程腔室内的一位置传送至一第二制程腔室内的一位置，该第二制程腔室是沿着一第一方向设置在与该第一制程腔室有一段距离处，该第一机械臂组件适于将该基材设置在该第一方向的预期位置上，并且设置在一第二方向的预期位置上，其中该第二方向通常与该第一方向垂直。本发明的实施例进一步提供一种在一群集工具中传送一基材的方法，包含利用一第一机械臂组件将一基材传送至沿着一第一方向设置的第一制程腔室阵列，该第一机械臂组件适于将该基材设置在该第一方向的预期位置上，并且设置在一第二方向的预期位置上，其中该第二方向通常与该第一方向垂直，利用一第二机械臂组件将一基材传送至沿着该第一方向设置的第二制程腔室阵列，该第二机械臂组件适于将该基材设置在该第一方向的预期位置上，并且设置在该第二方向的预期位置上，以及利用一第三机械臂组件将一基材传送至沿着该第一方向设置的第一及第二制程腔室阵列，该第三机械臂组件适于将该基材设置在该第一方向的预期位置上，并且设置在该第二方向的预期位置上。本发明的实施例进一步提供一种在一群集工具中传送一基材的方法，包含利用一第一机械臂组件将一基材从一第一透通腔室传送至沿着一第一方向设置的第一制程腔室阵列，该第一机械臂组件适于将该基材设置在该第一方向的预期位置上，并且设置在一第二方向的预期位置上，其中该第二方向通常与该第一方向垂直，利用一第二机械臂组件将一基材从该第一透通腔室传送至该第一制程腔室阵列，该第二机械臂组件适于将该基材设置在该第一方向的预期位置上，并且设置在一第二方向的预期位置上，以及利用设置在一前端组件内的前端机械臂将一基材从一基材匣传送至该第一透通腔室，其中该前端组件实质上与含有该第一制程腔室阵列、该第一机械臂组件和该第二机械臂组件的传送区域毗邻。


因此可以详细了解上述本发明的特征的方式，即对本发明更明确的描述，简短地在前面概述过，可以藉由参考实施例来得到，其中某些在附图中示出。但是需要注意的是， 附图只示出本发明的一般实施例，因此不应被认为是对其范围的限制，因为本发明可允许其他等效实施例。第IA图是示出本发明的群集工具的一实施例的等角视图；第IB图是根据本发明的第IA图所示的制程系统的平面图；第IC图是示出根据本发明的第一制程架60的一实施例的侧视图；第ID图是示出根据本发明的第二制程架80的一实施例的侧视图；第IE图是根据本发明的第IB图所示的制程系统的平面图；第IF图示出可与在此所述的群集工具的各个实施例并用的含有若干制程配方步骤的制程程序的一实施例；第IG图示出第IB图所示的制程系统的平面图，其示出依循第IF图所示的制程程序的穿过该群集工具的基材传送路径；第2A图是根据本发明的制程系统的平面图；第2B图是第2A图所示的根据本发明的制程系统的平面图；第2C图示出第2B图所示的制程系统的平面图，其示出依循第IF图所示的制程程序的穿过该群集工具的基材传送路径；第3A图是根据本发明的制程系统的平面图；第;3B图示出第3A图所示的制程系统的平面图，其示出依循第IF图所示的制程程序的穿过该群集工具的基材传送路径；第4A图是根据本发明的制程系统的平面图；第4B图示出第4A图所示的制程系统的平面图，其示出依循第IF图所示的制程程序的穿过该群集工具的基材传送路径；第5A图是根据本发明的制程系统的平面图；第5B图示出第5A图所示的制程系统的平面图，其示出依循第IF图所示的制程程序的穿过该群集工具的基材传送路径；第6A图是根据本发明的制程系统的平面图；第6B图示出第6A图所示的制程系统的平面图，其示出依循第IF图所示的制程程序的穿过该群集工具的两条可能的基材传送路径；第6C图是根据本发明的制程系统的平面图；第6D图示出第6C图所示的制程系统的平面图，其示出依循第IF图所示的制程程序的穿过该群集工具的两条可能的基材传送路径；第7A图是根据本发明的交换腔室的一实施例的侧视图；第7B图是根据本发明的第IB图所示的制程系统的平面图；第8A图是示出根据本发明的第IA图所示的群集工具的另一个实施例的等角视图，其具有附接的防护罩；第8B图是根据本发明的第8A图所示的群集工具的剖面图；第8C图是根据本发明的一配置的剖面图；第9A图是示出机械臂的一实施例的等角视图，其可适于在该群集工具的各个实施例中传送基材；第IOA图是示出根据本发明的具有单一机械臂组件的机械臂硬件组件的一实施例的等角视图；第IOB图是示出根据本发明的具有双机械臂组件的机械臂硬件组件的一实施例的等角视图；第IOC图是根据本发明的第IOA图所示的机械臂硬件组件的一实施例的剖面图；第IOD图是根据本发明的机械臂硬件组件的一实施例的剖面图；第IOE图是根据本发明的第IOA图所示的机械臂硬件组件的一实施例的剖面图；第IlA图是根据本发明的机械臂组件的一实施例的平面图，示出该机械臂叶片传送一基材至一制程腔室内时的若干位置；第IlB图示出根据本发明的该基材中心点的若干可能路径，当其被传送进入一制程腔室时；第IlC图是根据本发明的机械臂组件的一实施例的平面图，示出该机械臂叶片传送一基材至一制程腔室内时的若干位置；第IlD图是根据本发明的机械臂组件的一实施例的平面图，示出该机械臂叶片传送一基材至一制程腔室内时的若干位置；第IlE图是根据本发明的机械臂组件的一实施例的平面图，示出该机械臂叶片传送一基材至一制程腔室内时的若干位置；第IlF图是根据本发明的机械臂组件的一实施例的平面图，示出该机械臂叶片传送一基材至一制程腔室内时的若干位置；第IlG图是根据本发明的机械臂组件的一实施例的平面图，示出该机械臂叶片传送一基材至一制程腔室内时的若干位置；第IlH图是根据本发明的机械臂组件的一实施例的平面图，示出该机械臂叶片传送一基材至一制程腔室内时的若干位置；第IlI图是根据本发明的机械臂组件的一实施例的平面图，示出该机械臂叶片传送一基材至一制程腔室内时的若干位置；第IlJ图是根据本发明的机械臂组件的一实施例的平面图；第IlK图是设置在一制程架附近的机械臂组件的习知SCARA机械臂的平面图；第12A图是根据本发明的第9A图所示的水平移动组件的剖面图；第12B图是根据本发明的第9A图所示的水平移动组件的剖面图；第12C图是根据本发明的第9A图所示的水平移动组件的剖面图；第13A图是根据本发明的第9A图所示的垂直移动组件的剖面图；第13B图示出第13A图所示的机械臂的一实施例的等角视图，其可适于在该群集工具的各个实施例中传送基材；第14A图是示出机械臂的一实施例的等角视图，其可适于在该群集工具的各个实施例中传送基材；第15A图是示出机械臂的一实施例的等角视图，其可适于在该群集工具的各个实施例中传送基材；第16A图示出机械臂叶片组件的一实施例的平面图，其可适于在该群集工具的各个实施例中传送基材；第16B图示出第16A图所示的机械臂叶片组件的一实施例的侧剖面图，其可适于在该群集工具的各个实施例中传送基材；第16C图示出机械臂叶片组件的一实施例的平面图，其可适于在该群集工具的各个实施例中传送基材；第16D图示出机械臂叶片组件的一实施例的平面图，其可适于在该群集工具的各个实施例中传送基材。主要元件符号说明
5外部模组
9、9A、9B、9C、9D、9E、9F 通道位置
10群集工具IOA群集工具基座
IOB狭缝11机械臂组件
IlA第一机械臂组件IlB第二机械臂组件
IlC第三机械臂组件IlD第四个机械臂组件
IlE第五机械臂组件IlF第六机械臂组件
IlG第七机械臂组件IlH第八机械臂组件
15前端机械臂组件15A水平移动组件
15B机械臂15C机械臂叶片
24前端模组25中央模组
40后端机械臂组件40A基座
40B滑轨组件40C支撑座
40E手臂/叶片45长形安装座
60第一制程架60A、60B 侧
80第二制程架80A、80B 侧
85机械臂硬件组件0100]86、86A、86B传送机械臂组件0101]87机械臂叶片87A、87B 叶片0102]90水平移动组件90A下水平移动组件0103]90B上水平移动组件91传送区域0104]95垂直移动组件101系统控制器0105]105U05D晶片盒组件106晶片匣0106]110、110A、110BUIOC环境控制组件0107]111过滤器112过滤单元0108]113壁130曝后烤(PEB)腔室0109]160涂布机/显影机腔室0110]162晶片边缘曝光球状物去除(OEBR)腔室0111]165支持腔室0112]170六甲基二硅氮烷(HMDQ制程腔室0113]180冷却腔室190烘烤腔室0114]305双杆连结机械臂306单轴连结0115]310第一连结312传动系统0116]313围封320马达0117]321支撑板352第四滑轮0118]353轴承轴线354第三滑轮0119]354A轴承355第一滑轮系统0120]356第二滑轮356A轴承0121]358第一滑轮359皮带0122]532A基材容纳零组件533交换腔室0123]534制程腔室536外部制程系统0124]560垂直促动器组件570垂直支撑0125]571驱动皮带572移动块0126]573轴承块574线性轨道0127]575滑轮575A、575B驱动皮带滑轮0128]576滑轮组件577垂直滑轨组件0129]580风扇组件581管状物0130]582风扇584充实区域0131]585狭缝586内部区域0132]590围封591外壁0133]592围封顶部593狭缝0134]601基材支撑组件602围封0135]603存取埠610支撑指状物0136]611基材容纳表面800整合式烘烤/冷却腔0137]Al、A2、A3、A4、A5、A6、A7、A8、A9、A10传送路径0138]C6制程腔室
1具体实施例方式本发明大体来说提供一种使用多腔室制程系统(例如一群集工具)来处理基材的设备及方法，该系统具有增加的系统产能、增强的系统可靠度、改善的元件合格率表现、再现性更高的晶片制程历史(或晶片史)、以及较小的占地面积(footpring)。在一实施例中，该群集工具适于执行自动化光阻涂布及显影制程，其中一基材是经涂布以一光敏性材料，然后传送至一步进机/扫瞄器，其将该光敏性材料暴露在某类型的辐射下，而在该光敏性材料上形成图案，接着在于该群集工具内完成的显影制程中除去该光敏性材料的某些部分。在另一实施例中，该群集工具适于执行一湿式/清洁制程程序，其中在该群集工具中于一基材上执行若干基材清洁制程。第1-6图示出可与本发明的各个实施例并用的若干机械臂和制程腔室配置的其中某些。该群集工具10的各个实施例一般使用以平行制程配置法配置的两个或多个机械臂，以在留置在所述制程架内(例如元件60、80等等)的各个制程腔室间传送基材，因此可在所述基材上执行预期的制程程序。在一实施例中，该平行制程配置法包含两个或多个机械臂组件11 (第IA和IB图的元件IlAUlB和11C)，其是适于在垂直(之后称为ζ方向) 和水平方向上移动基材，水平方向即传送方向(χ方向)和与该传送方向垂直的方向(y方向)，因此可在留置于所述制程架内(例如元件60和80)的沿着该传送方向排列的各个制程腔室内处理所述基材。该平行制程配置法的一优势在于若所述机械臂的其中的一无法操作，或是取下维修，该系统仍可利用留置在该系统内的其他机械臂来继续处理基材。一般来说，在此所述的各个实施例是有优势的，因为每一列或每一组基材制程腔室皆有两个或多个服务的机械臂，以提供增加的产能和增强的系统可靠度。此外，在此所述的各实施例通常是经配置以最小化并控制所述基材传送机构所产生的微粒，以避免可影响该群集工具的 CoO的元件合格率和基材碎片问题。此配置法的另一个优势在于弹性及模组式结构让使用者可配置符合该使用者要求的产能所需要的制程腔室、制程架、及制程机械臂的数量。虽然第1-6图示出可用来执行本发明的各实施态样的机械臂组件11的一实施例，但其他类型的机械臂组件11也可适于执行相同的基材传送和设置功能，而不会背离本发明的基本范围。第一群集工具配置A.系统配置第IA图是一群集工具10的一实施例的等角视图，其示出可经使用而受惠的本发明的若干实施态样。第IA图示出该群集工具10的一实施例，其含有适于存取垂直堆迭在一第一制程架60和一第二制程架80内的各个制程腔室的三个机械臂和一外部模组5。在一实施态样中，当用该群集工具10来完成一微影制程程序时，与该后部区域45 (未在第IA 图示出)连接的该外部模组5，可以是一步进机/扫瞄器，执行某些额外的暴露型制程步骤。 该群集工具10的一实施例，如第IA图所示，含有一前端模组M及一中央模组25。第IB图是第IA图所示的群集工具10的实施例的平面图。该前端模组M —般含有一或多个晶片盒组件105 (例如物件105A-D)以及一前端机械臂组件15 (第IB图)。该一或多个晶片盒组件105，或前开式晶片盒(FOUPs)，一般是适于容纳一或多个可含有欲在该群集工具10内处理的一或多个基材”W”或晶片的晶片匣。在一实施态样中，该前端模组 24也含有一或多个通道位置9 (例如第IB图的元件9A-C)。
在一实施态样中，该中央模组25具有第一机械臂组件11A、第二机械臂组件11B、 第三机械臂组件11C、后端机械臂组件40、第一制程架60和第二制程架80。该第一制程架 60及第二制程架80含有各式制程腔室(例如涂布机/显影机腔室、烘烤腔室、冷却腔室、湿式清洁腔室等等，其在后方讨论(第IC-D图))，其适于执行基材制程程序中的各个制程步骤。第IC和ID图示出该第一制程架60和第二制程架80的一实施例的侧视图，当站在最接近侧60A的一侧面对该第一制程架60和第二制程架80观看时，因此会与第1-6图所示的图示符合。该第一制程架60和第二制程架80 —般含有一或多组垂直堆迭的制程腔室，其适于在一基材上执行一些预期的半导体或平面显示器元件制造制程步骤。例如，在第 IC图中，该第一制程架60具有五组，或五列垂直堆迭的制程腔室。一般来说，这些元件制造制程步骤可包含在该基材表面上沉积一材料，清洁该基材表面，蚀刻该基材表面，或将该基材暴露在某类型的辐射下，以引发该基材上的一或多个区域的物理或化学变化。在一实施例中，该第一制程架60和第二制程架80内含有适于执行一或多种微影制程程序步骤的制程腔室。在一实施态样中，制程架60和80可包含一或多个涂布机/显影机腔室160、一或多个冷却腔室180、一或多个烘烤腔室190、一或多个晶片边缘曝光球状物去除(OEBR)腔室162、一或多个曝后烤(PEB)腔室130、一或多个支持腔室165、一整合式烘烤/冷却腔室 800、及/或一或多个六甲基二硅氮烷(HMDQ制程腔室170。可适于使本发明的一或多个实施态样受益的例示涂布机/显影机腔室、冷却腔室、烘烤腔室、OEBR腔室、PEB腔室、支持腔室、整合式烘烤/冷却腔室及/或HMDS制程腔室进一步在2005年4月22号提出申请的共同让渡的美国专例申请案第11/112，号中描述，其在此藉由引用其全文至不与所主张的本发明不一致的程度下并入本文中。可适于使本发明的一或多个实施态样受益的整合式烘烤/冷却腔室的范例进一步在2005年4月11号提出申请的共同让渡的美国专例申请案第11/111，154号以及美国专利申请案第11/111，353号中描述，其在此藉由引用其全文至不与所主张的本发明不一致的程度下并入本文中。可适于在一基材上执行一或多种清洁制程并且可适于使本发明的一或多个实施态样受益的制程腔室及/或系统的范例进一步在2001年6月25号提出申请的共同让渡的美国专例申请案第09/891，849号以及在2001 年8月31号提出申请的美国专利申请案第09/945，454号中描述，其在此藉由引用其全文至不与所主张的本发明不一致的程度下并入本文中。在一实施例中，如第IC图所示者，其中该群集工具10是适于执行微影类制程， 该第一制程架60可具有八个涂布机/显影机腔室160 (标示为CD1-8)、十八个冷却腔室 180 (标示为C1-18)、八个烘烤腔室190 (标示为B1-8)、六个PEB腔室130 (标示为PEB1-6)、 两个OEBR腔室162 (标示为162)及/或六个H MDS制程腔室170 (标示为DP1-6)。在一实施例中，如第ID图所示者，其中该群集工具10是适于执行微影类制程，该第二制程架80 可具有八个涂布机/显影机腔室160 (标示为CD1-8)、六个整合式烘烤/冷却腔室800 (标示为BC1-6)、六个H MDS制程腔室170 (标示为DP1-6)及/或六个支持腔室165 (标示为S 1-6)。第IC-D图所示的制程腔室的方向、位置、类型和数量并不意欲限制本发明范围，而仅意欲示出本发明的一实施例。参见第IB图，在一实施例中，该前端机械臂组件15适于在装设在一晶片盒组件 105内(见元件105A-D)的晶片匣106和该一或多个通道位置9(见第IB图的通道位置9A-C)间传送基材。在另一实施例中，该前端机械臂组件15适于在装设在一晶片盒组件105 内的晶片匣106和该第一制程架60或一第二制程架80内的邻接该前端模组M的一或多个制程腔室间传送基材。该前端机械臂组件15 —般含有一水平移动组件15A和一机械臂 15B,其合并能够将一基材设置在该前端模组M内的预期的水平及/或垂直位置上，或是设置在该中央模组25内的邻接位置上。该前端机械臂组件15适于利用一或多个机械臂叶片 15C传送一或多个基材，藉由运用从一系统控制器101(在后方讨论)传来的指令。在一程序中，该前端机械臂组件15适于将一基材从该晶片匣106传送至所述通道位置9 (例如，第 IB图的元件9A-C)的其中的一。一般来说，一通道位置是一基材集结区，其可含有一通道制程腔室，其拥有与一交换腔室533 (见第7A图)或一习知基材匣106相似的特征，并且能够从一第一机械臂接收一基材，因此其可由一第二机械臂移出和再设置。在一实施态样中，装设在一通道位置中的通道制程腔室可适于执行一预期制程程序内的一或多个制程步骤，例如，HMDS制程步骤或冷却/降温制程步骤或基材缺口校直(notch align)。在一实施态样中，每一个通道位置(第IB图的元件9A-C)可由所述中央机械臂组件(即，第一机械臂组件11A、第二机械臂组件11B、和第三机械臂组件11C)的每一个存取。参见第IA-B图，该第一机械臂组件11A、该第二机械臂组件11B、及该第三机械臂组件IlC适于传送基材至容纳在该第一制程架60以及该第二制程架80内的各个制程腔室。在一实施例中，为了在该群集工具10中传送基材，该第一机械臂组件11A、该第二机械臂组件11B、及该第三机械臂组件IlC具有相仿配置的机械臂组件11，其中每一个皆具有至少一水平移动组件90、一垂直移动组件95、及一机械臂硬件组件85，其是与一系统控制器 101交流。在一实施态样中，该第一制程架60的侧60B，以及该第二制程架80的侧80A皆沿着与各个机械臂组件(即第一机械臂组件11A、第二机械臂组件11B、及第三机械臂组件 11C)的每一个的水平移动组件90 (在后方描述)平行的方向排列。该系统控制器101适于控制用来完成该传送制程的各个零组件的位置和移动。该系统控制器101 —般是设计来促进整个系统的控制和自动化，并且通常包含一中央处理单元(CPU)(未示出)、记忆体(未示出)、以及支持电路(或输入/输出)(未示出)。该CPU 可以是在工业设定中用来控制各种系统功能、腔室制程和支持硬件(例如，侦测器、机械臂、马达、气体来源硬件等等)以及监控该系统和腔室制程(例如腔室温度、制程程序产能、 腔室制程时间、输入/输出讯号等等)的任何类型的电脑处理器的一种。该记忆体与该CPU 连接，并且可以是一或多种可轻易取得的记忆体，例如随机存取记忆体(RAM)、唯读记忆体 (ROM)、软碟、硬碟、或任何其他类型的数位储存，原位或远端的。软件指令和资料可以编码并储存在该记忆体中，以指挥该CPU。该支持电路也与该CPU连接，以利用习知方式支持该处理器。所述支持电路可包含快取、电源供应器、时脉电路、输入/输出电路、子系统、及诸如此类者。可由该系统控制器101读取的程式(或电脑指令)决定可在一基材上执行何种工作。较佳地，该系统控制器101可读取该程式的软件，其包含用来执行与监控及执行所述制程程序工作和各个腔室制程配方步骤相关的程式码。参见第IB图，在本发明的一实施态样中，该第一机械臂组件IlA适于从至少一侧， 例如该侧60B，存取并在该第一制程架60内的所述制程腔室间传送基材。在一实施态样中， 该第三机械臂组件IlC适于从至少一侧，例如该侧80A，存取并在该第二制程架80内的所述制程腔室间传送基材。在一实施态样中，该第二机械臂组件1IB适于从侧60B存取并在该第一制程架60内的所述制程腔室间传送基材，并且从侧80A在该第二制程架80内的所述制程腔室间传送基材。第IE图示出第IB图所示的群集工具10的实施例的平面图，其中该第二机械臂组件1IB的机械臂叶片87通过侧60B延伸进入该第一制程架60内的制程腔室。将该机械臂叶片87延伸进入一制程腔室及从该制程腔室缩回该机械臂叶片87的能力通常是由容纳在该水平移动组件90、垂直移动组件95、及机械臂硬件组件85内的零组件的协力移动，并藉由运用从该系统控制器101传来的指令来完成。该两个或多个机械臂彼此「重迭」 的能力是有优势的，例如该第一机械臂组件IlA和该第二机械臂组件11B，或该第二机械臂组件IlB和该第三机械臂组件11C，因为其容许基材传送冗余(transfer redundancy)，其可改善该群集可靠性，并且也增加基材产能。机械臂「重迭」一般是两个或多个机械臂存取及/或在该制程架的相同制程腔室间独立传送基材的能力。两个或多个机械臂冗余地存取制程腔室的能力可以是一重要实施态样，以防止系统机械臂传送瓶颈，因为其容许使用率低的机械臂帮助限制该系统产能的机械臂。因此，基材产能可以增加，可让基材的晶片史更具有再现性，并且可通过平衡每一个机械臂在制程程序期间的工作负荷来改善系统可靠度。在本发明的一实施态样中，各个重迭的机械臂组件(例如第1-6图中的元件11A、 11B、11C、11D、11E等等)能够同时存取彼此水平相邻(χ方向)或垂直相邻(ζ方向)的制程腔室。例如，当使用第IB和IC图所示的群集工具配置法时，该第一机械臂组件IlA能够存取该第一制程架60内的制程腔室CD6，而该第二机械臂组件IlB能够同时存取制程腔室 ⑶5，且不会彼此碰撞或干扰。在另一范例中，当使用第IB和ID图所示的群集工具配置法时，该第三机械臂组件IlC能够存取该第二制程架80内的制程腔室C6，而该第二机械臂组件IlB能够同时存取制程腔室DP6，且不会彼此碰撞或干扰。在一实施态样中，该系统控制器101适于基于经过计算的最佳化产能来调整通过该群集工具的该基材的传送程序，或是在无法运作的制程腔室周遭工作。该系统控制器101 的容许其最佳化产能的特征被称为逻辑排程器。该逻辑排程器基于来自使用者和遍布在该群集工具内的各个感应器的输入理出工作及基材移动的优先顺序。该逻辑排程器可适于检视每一个机械臂(例如前端机械臂组件15、第一机械臂组件11Α、第二机械臂组件11Β、第三机械臂组件IlC等等)所请求的未来工作清单，其是存在该系统控制器101的记忆体中，以帮助平衡分配给每一个机械臂的负荷。使用系统控制器101来最大化该群集工具的使用可改善该群集工具的CoO，使晶片史更具再现性，并且可以改善该群集工具的可靠度。在一实施态样中，该系统控制器101也适于避免各个重迭机械臂间的碰撞，并最佳化基材产能。在一实施态样中，该系统控制器101进一步程式化以监控并控制该群集工具内的所有机械臂的水平移动组件90、垂直移动组件95、及机械臂硬件组件85的移动，以避免所述机械臂间的碰撞，并改善系统产能，藉由容许所有机械臂可以同时动作。这种所谓的「防撞系统」可以多种方式实施，但一般来说该系统控制器101在传送制程期间利用设置在该(等)机械臂上或该群集工具内的各个感应器来监控每一个机械臂的位置，以避免碰撞。在一实施态样中，该系统控制器适于在传送制程期间主动改变每一个机械臂的移动及 /或路线，以避免碰撞并最小化传送路径长度。B.传送程序范例第IF图示出通过该群集工具10的基材制程程序500的一范例，其中一些制程步
17骤(例如元件501-520)可在传送步骤A1-Altl的每一个已经完成后执行。一或多个制程步骤501-520可能需要在一基材上执行真空及/或流体制程步骤，以在该基材表面上沉积一材料，清洁该基材表面以蚀刻该基材表面，或是将该基材暴露在某类型的辐射下，以引发该基材上的一或多个区域的物理或化学变化。可执行的典型制程范例是微影制程步骤、基材清洁制程步骤、CVD沉积步骤、ALD沉积步骤、电镀制程步骤、或无电镀制程步骤。第IG图示出一基材可依循的传送步骤的范例，当其依循第IF图描述的制程程序500传送经过如第 IB图所示的群集工具般配置的群集工具时。在此实施例中，该基材是由该前端机械臂组件 15从一晶片盒组件105(物件#105D)移出，并依循传送路径A1传送至设置在该通道位置 9C处的腔室，因此可在该基材上完成该通道步骤502。在一实施例中，该通道步骤502必需设置或留置该基材，以使另一个机械臂可从该通道位置9C汲取该基材。一旦完成该通道步骤502，接着利用该第三机械臂组件IlC依循该传送路径A2将该基材传送至第一制程腔室 531，在此制程步骤504在该基材上完成。在完成该制程步骤504后，接着利用该第三机械臂组件IlC依循该传送路径A3将该基材传送至该第二制程腔室532。在执行该制程步骤506 后，接着利用该第二机械臂组件1IB传送该基材，依循该传送路径A4,至该交换腔室533 (第 7A图)。在执行该制程步骤508后，接着利用该后端机械臂组件40传送该基材，依循该传送路径A5，至该外部制程系统536，在此执行制程步骤510。在执行制程步骤510后，接着利用该后端机械臂组件40传送该基材，依循该传送路径A6,至该交换腔室533，在此执行制程步骤512。在一实施例中，该制程步骤508和512必须设置或留置该基材，以使另一个机械臂可从该交换腔室533汲取该基材。在执行该制程步骤512后，接着利用该第二机械臂组件IlB传送该基材，依循该传送路径A7,至该制程腔室534，在此执行制程步骤514。然后利用该第一机械臂组件IlA依循该传送路径A8传送该基材。在该制程步骤516完成后，该第一机械臂组件IlA依循该传送路径A9将该基材传送至设置在该通道位置9A处的通道腔室。在一实施例中，该通道步骤518必须设置或留置该基材，以使另一个机械臂可从该通道位置9A汲取该基材。在执行该通道步骤518后，接着利用该前端机械臂组件15传送该基材，依循该传送路径Altl，至该晶片盒组件105D。在一实施例中，制程步骤504、506、510、514、和516分别是光阻涂布步骤、烘烤/冷
却步骤、在一步进机/扫描器模组中执行的曝光步骤、曝后烘烤/冷却步骤、及显影步骤，其进一步在2005年4月22号提出申请的共同让渡的美国专利申请案第11/112，281号中描述，其在此藉由引用的方式并入本文中。该烘烤/冷却步骤和该曝后烘烤/冷却步骤可在单一制程腔室内执行，或者也可利用一内部机械臂(未示出)在一整合式烘烤/冷却腔室的烘烤区和冷却区间传送。虽然第IF-G图示出可用来在一群集工具10内处理基材的制程程序的范例，但也可执行较复杂或较不复杂的制程程序及/或传送程序，而不会背离本发明的基本范围。此外，在一实施例中，该群集工具10并不与一外部制程系统536连接或交流，因此该后端机械臂组件40并非该群集工具配置的一部分，并且该传送步骤A5-A6及制程步骤 510不会在该基材上执行。在此配置中，所有的制程步骤和传送步骤皆在该群集工具10内的各位置或制程腔室间执行。第二群集工具配置A.系统配置
第2A图是群集工具10的一实施例的平面图，其具有前端机械臂组件15、后端机械臂组件40、系统控制器101及设置在两个制程架(元件60和80)间的四个机械臂组件 11 (第9-11图；第2A图的元件11A、11B、11C、和11D)，所有皆适于执行利用所述制程架内的各个制程腔室的预期基材制程程序的至少一实施态样。第2A图所示的实施例与第IA-F 图所示的配置相同，除了添加第四个机械臂组件IlD和通道位置9D之外，因此在适当时使用相同的元件符号。第2A图所示的群集工具配置法在基材产能受限于机械臂时是有优势的，因为第四个机械臂组件IlD的添加可辅助消除其他机械臂的负担，并且也建立一些冗余，其在一或多个中央机械臂无法运作时使系统可以处理基材。在一实施态样中，该第一制程架60的侧60B，以及该第二制程架80的侧80A皆沿着与每一个机械臂组件(例如第一机械臂组件11A、第二机械臂组件IlB等)的水平移动组件90 (第9A和12A-C图)平行的方向排列。在一实施态样中，该第一机械臂组件IlA适于从侧60B存取并在该第一制程架60 内的所述制程腔室间传送基材。在一实施态样中，该第三机械臂组件lie适于从侧80A存取并在该第二制程架80内的所述制程腔室间传送基材。在一实施态样中，该第二机械臂组件IlB适于从侧60B存取并在该第一制程架60内的所述制程腔室间传送基材。在一实施态样中，该第四机械臂组件1ID适于从侧80A存取并在该第二制程架80内的所述制程腔室间传送基材。在一实施态样中，该第二机械臂组件IlB和第四机械臂组件IlD进一步适于从侧60B存取第一制程架60内的制程腔室，并从侧80A存取第二制程架80内的制程腔室。第2B图示出第2A图所示的群集工具10的实施例的平面图，其中该第二机械臂组件IlB的机械臂叶片87通过侧60B延伸进入该第一制程架60内的制程腔室。将该机械臂叶片87延伸进入一制程腔室及/或从一制程腔室缩回该机械臂叶片87的能力通常是由该机械臂组件11的零组件的协力移动，其是容纳在该水平移动组件90、垂直移动组件95、及机械臂硬件组件85内，并藉由运用从该系统控制器101传来的指令来完成。如上所述，该第二机械臂组件IlB和该第四机械臂组件IlD连同该系统控制器101可适于容许该群集工具中的每一个机械臂间的「重迭」，可容许该系统控制器的逻辑排程器以基于来自使用者和遍布在该群集工具内的各个感应器的输入理出工作及基材移动的优先顺序，并且也可使用防撞系统，以容许机械臂以最佳方式传送基材通过该系统。使用系统控制器101来最大化该群集工具的使用可改善该群集工具的CoO，使晶片史更具再现性，并改善系统可靠度。B.传送程序范例第2C图示出可用来完成第IF图所描述的制程程序的通过第2A图所示的群集工具配置的传送步骤程序的范例。在此实施例中，该基材是由该前端机械臂组件15从一晶片盒组件105 (物件#105D)移出，并依循传送路径A1传送至设置在该通道位置gC处的腔室， 因此可在该基材上完成该通道步骤502。一旦完成该通道步骤502，接着利用该第三机械臂组件IlC依循该传送路径A2将该基材传送至第一制程腔室531，在此制程步骤504在该基材上完成。在完成该制程步骤504后，接着利用该第四机械臂组件IlD依循该传送路径A3 将该基材传送至该第二制程腔室532。在执行该制程步骤506后，接着利用该第四机械臂组件IlD传送该基材，依循该传送路径A4,至该交换腔室533。在执行该制程步骤508后，接着利用该后端机械臂组件40传送该基材，依循该传送路径A5,至该外部制程系统536，在此执行制程步骤510。在执行制程步骤510后，接着利用该后端机械臂组件40传送该基材，依循该传送路径A6,至该交换腔室533(第7A图)，在此执行制程步骤512。在执行该制程步骤512后，接着利用该第四机械臂组件IlD传送该基材，依循该传送路径A7,至该制程腔室 534，在此执行制程步骤514。然后利用该第二机械臂组件IlB依循该传送路径A8传送该基材。在该制程步骤516完成后，该第一机械臂组件IlA依循该传送路径A9将该基材传送至设置在该通道位置9A处的通道腔室。在执行该通道步骤518后，接着利用该前端机械臂组件15传送该基材，依循该传送路径Altl，至该晶片盒组件105D。在一实施态样中，该传送路径A7可分割成为两个传送步骤，其可能需要该第四机械臂组件1ID从该交换腔室533汲取该基材，并将其传送至该第四通道位置9D，其在此接着由该第二机械臂组件IlB汲取并传送至该制程腔室534。在一实施态样中，每一个通道腔室皆可由任何一个中央机械臂组件(即第一机械臂组件11A、第二机械臂组件11B、第三机械臂组件IlC和第四机械臂组件11D)存取。在另一实施态样中，该第二机械臂组件IlB能够从该交换腔室533汲取该基材并将其传送至该制程腔室534。此外，在一实施例中，该群集工具10并不与一外部制程系统536连接或交流，因此该后端机械臂组件40并非该群集工具配置的一部分，并且该传送步骤A5-A6及制程步骤 510不会在该基材上执行。在此配置中，所有的制程步骤和传送步骤皆在该群集工具10内执行。第三群集工具配置A.系统配置第3A图是群集工具10的一实施例的平面图，其具有前端机械臂组件15、后端机械臂组件40、系统控制器101及设置在两个制程架(元件60和80)周围的三个机械臂组件11 (第9-11图；第3A图的元件IlAUlBjn 11C)，所有皆适于执行利用所述制程架内的各个制程腔室的预期基材制程程序的至少一实施态样。第3A图所示的实施例与第IA-F图所示的配置相同，除了在该第一制程架60的侧60A上的该第一机械臂组件IlA和通道位置 9A的设置及将该第三机械臂组件1IC和通道位置9C设置在该第二制程架80的侧80B上之外，因此在适当时使用相同的元件符号。此群集工具配制法的一个优势在于若该中央模组 25的其中一个机械臂无法运作，该系统仍然可利用其他两个机械臂来继续处理基材。此配置法也除去，或最小化，所述机械臂在装设在各个制程架内的制程腔室间传送所述基材时对于防撞型控制特征的需要，因为除去了紧邻设置的机械臂的实体重迭。此配置法的另一个优势在于弹性及模组式结构让使用者可配置符合该使用者要求的产能所需要的制程腔室、制程架、及制程机械臂的数量。 在此配置中，该第一机械臂组件1IA适于从侧60A存取该第一制程架60内的所述制程腔室，该第三机械臂组件lie适于从侧80B存取该第二制程架80内的所述制程腔室， 而该第二机械臂组件IlB适于从侧60B存取该第一制程架60内的所述制程腔室，并从侧 80A存取该第二制程架80内的所述制程腔室。在一实施态样中，该第一制程架60的侧60B、 该第二制程架80的侧80A皆沿着与每一个机械臂组件(即第一机械臂组件11A、第二机械臂组件11B、第三机械臂组件11C)的水平移动组件90 (在后方描述)平行的方向排列。
该第一机械臂组件11A、该第二机械臂组件IlB和该第三机械臂组件IlC连同该系统控制器101可适于容许各个机械臂间的「重迭」，并容许该系统控制器的逻辑排程器以基于来自使用者和遍布在该群集工具内的各个感应器的输入理出工作及基材移动的优先顺序。使用群集工具结构和系统控制器101的合作以最大化该群集工具的使用而改善CoO可让晶片史更具再现性，并改善系统可靠度。B.传送稈序范例第;3B图示出可用来完成第IF图所描述的制程程序的通过第3A图所示的群集工具的传送步骤程序的范例。在此实施例中，该基材是由该前端机械臂组件15从一晶片盒组件105 (物件#105D)移出，并依循传送路径A1传送至设置在该通道位置9C处的腔室，因此可在该基材上完成该通道步骤502。一旦完成该通道步骤502，接着利用该第三机械臂组件 1IC依循该传送路径A2将该基材传送至第一制程腔室531，在此制程步骤504在该基材上完成。在完成该制程步骤504后，接着利用该第三机械臂组件IlC依循该传送路径A3将该基材传送至该第二制程腔室532。在执行该制程步骤506后，接着利用该第二机械臂组件IlB 传送该基材，依循该传送路径A4,至该交换腔室533 (第7A图)。在执行该制程步骤508后， 接着利用该后端机械臂组件40传送该基材，依循该传送路径A5,至该外部制程系统536，在此执行制程步骤510。在执行制程步骤510后，接着利用该后端机械臂组件40传送该基材， 依循该传送路径A6,至该交换腔室533 (第7A图)，在此执行制程步骤512。在执行该制程步骤512后，接着利用该第二机械臂组件IlB传送该基材，依循该传送路径A7,至该制程腔室534，在此执行制程步骤514。然后利用该第二机械臂组件IlB依循该传送路径A8传送该基材。在该制程步骤516完成后，该第一机械臂组件IlA依循该传送路径A9将该基材传送至设置在该通道位置9A处的通道腔室。在执行该通道步骤518后，接着利用该前端机械臂组件15传送该基材，依循该传送路径Altl，至该晶片盒组件105D。此外，在一实施例中，该群集工具10并不与一外部制程系统536连接或交流，因此该后端机械臂组件40并非该群集工具配置的一部分，并且该传送步骤A5-A6及制程步骤 510不会在该基材上执行。在此配置中，所有的制程步骤和传送步骤皆在该群集工具10内执行。第四群集工具配置A.系统配置第4A图是群集工具10的一实施例的平面图，其具有前端机械臂组件15、后端机械臂组件40、系统控制器101及设置在两个制程架(元件60和80)周围的两个机械臂组件11 (第9-11图；第4A图的元件11B、和11C)，所有皆适于执行利用所述制程架内的各个制程腔室的预期基材制程程序的至少一实施态样。第4A图所示的实施例与第3A图所示的配置相同，除了该第一制程架60的侧60A上的该第一机械臂组件IlA和通道位置9A的排除之外，因此在适当时使用相同的元件符号。此系统配制法的一个优势在于其提供对于装设在该第一制程架60内的腔室的轻易的存取，因此使装设在该第一制程架60内的一或多个制程腔室可以在该群集工具仍在处理基材时下线和上线。另一个优势在于当利用该第二机械臂组件IlB处理基材时，该第三机械臂组件IlC及/或第二制程架80可上线。此配置也容许将在一制程程序中时常使用的具有短的腔室制程时间的制程腔室设置在该第二制程架80中，因此其可由该两个中央机械臂(即元件IlB和11C)服务，而减少机械臂传送限制瓶颈，并因此改善系统产能。此配置法也除去或最小化所述机械臂在装设在一制程架内的制程腔室间传送所述基材时对于防撞型控制特征的需要，因为除去了每一个机械臂进入其他机械臂的空间的实体侵犯。此配置法的另一个优势在于弹性及模组式结构让使用者可
21配置符合该使用者要求的产能所需要的制程腔室、制程架、及制程机械臂的数量。在此配置中，该第三机械臂组件1IC适于从侧80A存取并在该第二制程架80内的所述制程腔室间传送基材，而该第二机械臂组件IlB适于从侧60B存取并在该第一制程架 60内的所述制程腔室间传送基材，并从侧80A在该第二制程架80内的所述制程腔室间传送基材。在一实施态样中，该第一制程架60的侧60B、该第二制程架80的侧80A皆沿着与每一个机械臂组件(即第二机械臂组件11B、第三机械臂组件11C)的水平移动组件90 (在后方描述)平行的方向排列。如上所讨论般，该第二机械臂组件IlB和该第三机械臂组件IlC连同该系统控制器101可适于容许该系统控制器的逻辑排程器以基于来自使用者和遍布在该群集工具内的各个感应器的输入理出工作及基材移动的优先顺序。使用群集工具结构和系统控制器 101的合作以最大化该群集工具的使用而改善CoO可让晶片史更具再现性，并改善系统可靠度。B.传送稈序范例第4B图示出可用来完成第IF图所描述的制程程序的通过第4A图所示的群集工具的传送步骤程序的范例。在此实施例中，该基材是由该前端机械臂组件15从一晶片盒组件105 (物件#105D)移出，并依循传送路径A1传送至设置在该通道位置9B处的腔室，因此可在该基材上完成该通道步骤502。一旦完成该通道步骤502，接着利用该第三机械臂组件 1IC依循该传送路径A2将该基材传送至第一制程腔室531，在此制程步骤504在该基材上完成。在完成该制程步骤504后，接着利用该第三机械臂组件IlC依循该传送路径A3将该基材传送至该第二制程腔室532。在执行该制程步骤506后，接着利用该第三机械臂组件IlC 传送该基材，依循该传送路径A4,至该交换腔室533 (第7A图)。在执行该制程步骤508后， 接着利用该后端机械臂组件40传送该基材，依循该传送路径A5,至该外部制程系统536，在此执行制程步骤510。在执行制程步骤510后，接着利用该后端机械臂组件40传送该基材， 依循该传送路径A6,至该交换腔室533 (第7A图)，在此执行制程步骤512。在执行该制程步骤512后，接着利用该第二机械臂组件IlB传送该基材，依循该传送路径A7,至该制程腔室534，在此执行制程步骤514。然后利用该第二机械臂组件IlB依循该传送路径A8传送该基材。在该制程步骤516完成后，该第二机械臂组件IlB依循该传送路径A9将该基材传送至设置在该通道位置9A处的通道腔室。在执行该通道步骤518后，接着利用该前端机械臂组件15传送该基材，依循该传送路径Altl，至该晶片盒组件105D。此外，在一实施例中，该群集工具10并不与一外部制程系统536连接或交流，因此该后端机械臂组件40并非该群集工具配置的一部分，并且该传送步骤A5-A6及制程步骤 510不会在该基材上执行。在此配置中，所有的制程步骤和传送步骤皆在该群集工具10内执行。第五群集工具配置A.系统配置第5A图是群集工具10的一实施例的平面图，其具有前端机械臂组件15、后端机械臂组件40、系统控制器101及设置在单一制程架(元件60)周围的四个机械臂组件11 (第 9-11图；第5A图的元件11A、1 IBUlC和11D)，所有皆适于执行利用制程架60内的各个制程腔室的预期基材制程程序的至少一实施态样。第5A图所示的实施例与上面所示的配置相仿，因此在适当时使用相同的元件符号。此配置法可减少具有三个或更少个机械臂的系统所经受的基材传送瓶颈，因为使用可冗余地存取装设在该制程架60内的所述制程腔室的四个机械臂。此配置法在除去机械臂限制型瓶颈上是特别有用的，其通常在制程程序中的制程步骤数量很多而腔室制程时间很短的情况中发生。在此配置法中，该第一机械臂组件IlA和该第二机械臂组件IlB适于从侧60A存取并在该制程架60内的所述制程腔室间传送基材，而该第三机械臂组件IlC和该第四机械臂组件IlD适于从侧60B存取并在该制程架60内的所述制程腔室间传送基材。该第一机械臂组件IlA和该第二机械臂组件11B，及该第三机械臂组件IlC和该第四机械臂组件IlD连同该系统控制器101可适于容许各个机械臂间的「重迭」，可容许该系统控制器的逻辑排程器以基于来自使用者和遍布在该群集工具内的各个感应器的输入理出工作及基材移动的优先顺序，并且也可使用防撞系统，以容许机械臂以最佳方式传送基材通过该系统。使用群集工具结构和系统控制器101的合作以最大化该群集工具的使用而改善CoO可让晶片史更具再现性，并改善系统可靠度。B.传送稈序范例第5B图示出可用来完成第IF图所描述的制程程序的通过第5A图所示的群集工具的传送步骤程序的范例。在此实施例中，该基材是由该前端机械臂组件15从一晶片盒组件105 (物件#105D)移出，并依循传送路径A1传送至设置在该通道位置9C处的腔室，因此可在该基材上完成该通道步骤502。一旦完成该通道步骤502，接着利用该第三机械臂组件 1IC依循该传送路径A2将该基材传送至第一制程腔室531，在此制程步骤504在该基材上完成。在完成该制程步骤504后，接着利用该第四机械臂组件IlD依循该传送路径A3将该基材传送至该第二制程腔室532。在执行该制程步骤506后，接着利用该第四机械臂组件IlD 传送该基材，依循该传送路径A4,至该交换腔室533 (第7A图)。在执行该制程步骤508后， 接着利用该后端机械臂组件40传送该基材，依循该传送路径A5,至该外部制程系统536，在此执行制程步骤510。在执行制程步骤510后，接着利用该后端机械臂组件40传送该基材， 依循该传送路径A6,至该交换腔室533 (第7A图)，在此执行制程步骤512。在执行该制程步骤512后，接着利用该第一机械臂组件IlA传送该基材，依循该传送路径A7,至该制程腔室534，在此执行制程步骤514。然后利用该第一机械臂组件IlA依循该传送路径A8传送该基材。在该制程步骤516完成后，该第二机械臂组件IlB依循该传送路径A9将该基材传送至设置在该通道位置9B处的通道腔室。在执行该通道步骤518后，接着利用该前端机械臂组件15传送该基材，依循该传送路径Altl，至该晶片盒组件105D。此外，在一实施例中，该群集工具10并不与一外部制程系统536连接或交流，因此该后端机械臂组件40并非该群集工具配置的一部分，并且该传送步骤A5-A6及制程步骤 510不会在该基材上执行。在此配置中，所有的制程步骤和传送步骤皆在该群集工具10内执行。第六群集工具配置A.系统配置第6A图是群集工具10的一实施例的平面图，其具有前端机械臂组件15、后端机械臂组件40、系统控制器101及设置在两个制程架(元件60和80)周围的八个机械臂组件 11 (第9-11图；第6A图的元件11A、11B、11C和11D-11H)，所有皆适于执行利用制程架内的各个制程腔室的预期基材制程程序的至少一实施态样。第6A图所示的实施例与上面所示的配置相仿，因此在适当时使用相同的元件符号。此配置法可减少具有较少机械臂的系统所经受的基材传送瓶颈，因为使用可冗余地存取装设在所述制程架60和80内的所述制程腔室的八个机械臂。此配置法在除去机械臂限制型瓶颈上是特别有用的，其通常在制程程序中的制程步骤数量很多而腔室制程时间很短的情况中发生。在此配置法中，该第一机械臂组件IlA和该第二机械臂组件IlB适于从侧60A存取该第一制程架60内的所述制程腔室，而该第七机械臂组件IlG和该第八机械臂组件IlH 适于从侧80A存取该第二制程架80内的所述制程腔室。在一实施态样中，该第三机械臂组件IlC和该第四机械臂组件IlD能够从侧60B存取该第一制程架60内的所述制程腔室。 在一实施态样中，该第五机械臂组件IlE和该第六机械臂组件IlF适于从侧80B存取该第二制程架80内的所述制程腔室。在一实施态样中，该第四机械臂组件IlD进一步适于从侧80B存取该第二制程架80内的所述制程腔室，而该第五机械臂组件1IE进一步适于从侧 60B存取该第一制程架60内的所述制程腔室。所述机械臂组件IlA-H连同该系统控制器101可适于容许各个机械臂间的「重迭」，可容许该系统控制器的逻辑排程器以基于来自使用者和遍布在该群集工具内的各个感应器的输入理出工作及基材移动的优先顺序，并且也可使用防撞系统，以容许机械臂以最佳方式传送基材通过该系统。使用群集工具结构和系统控制器101的合作以最大化该群集工具的使用而改善CoO可让晶片史更具再现性，并改善系统可靠度。B.传送稈序范例第6B图示出可用来完成第IF图所描述的制程程序的通过第6A图所示的群集工具的传送步骤的第一制程程序的范例。在此实施例中，该基材是由该前端机械臂组件15从一晶片盒组件105(物件#105D)移出，并依循传送路径A1传送至通道腔室9F，因此可在该基材上完成该通道步骤502。一旦完成该通道步骤502，接着利用该第六机械臂组件IlF依循该传送路径A2将该基材传送至第一制程腔室531，在此制程步骤504在该基材上完成。 在完成该制程步骤504后，接着利用该第六机械臂组件IlF依循该传送路径A3将该基材传送至该第二制程腔室532。在执行该制程步骤506后，接着利用该第六机械臂组件IlF传送该基材，依循该传送路径A4,至该交换腔室533 (第7A图)。在执行该制程步骤508后，接着利用该后端机械臂组件40传送该基材，依循该传送路径A5,至该外部制程系统536，在此执行制程步骤510。在执行制程步骤510后，接着利用该后端机械臂组件40传送该基材，依循该传送路径A6,至该交换腔室533 (第7A图)，在此执行制程步骤512。在执行该制程步骤512后，接着利用该第五机械臂组件IlE传送该基材，依循该传送路径A7,至该制程腔室 534，在此执行制程步骤514。然后利用该第五机械臂组件IlE依循该传送路径A8传送该基材。在该制程步骤516完成后，该第五机械臂组件IlE依循该传送路径A9将该基材传送至设置在该通道位置9E处的通道腔室。在执行该通道步骤518后，接着利用该前端机械臂组件15传送该基材，依循该传送路径Altl，至该晶片盒组件105D。第6B图也示出具有与该第一程序同时完成的传送步骤的第二制程程序的范例， 其使用该第二制程架80内的不同制程腔室。如第IC-D图所示，该第一制程架和第二制程架一般含有一些适于执行相同的用来执行预期制程程序的制程步骤的制程腔室(例如第IC 图的⑶1-8、第ID图的BC1-6)。因此，在此配置法中，每一个制程程序皆可利用装设在所述制程架内的任何一个制程腔室来执行。在一范例中，该第二制程程序是与该第一制程程序 (在前面讨论)相同的制程程序，其含有相同的传送步骤A1-Altl，在此描绘为A/ -Alt/，分别使用该第七和第八中央机械臂(即元件11G-11H)，而非该第五和第六中央机械臂组件(即元件11E-11F)，如上所述般。此外，在一实施例中，该群集工具10并不与一外部制程系统536连接或交流，因此该后端机械臂组件40并非该群集工具配置的一部分，并且该传送步骤A5-A6及制程步骤 510不会在该基材上执行。在此配置中，所有的制程步骤和传送步骤皆在该群集工具10内执行。第七群集工具配置A.系统配置第6C图是与第6A图所示的配置相仿的群集工具10的一实施例的平面图，除了除去其中一个机械臂组件(即机械臂组件11D)之外，以在减少系统宽度的同时仍然提供高的系统产能。因此，在此配置中该群集工具10具有前端机械臂组件15、后端机械臂组件40、 系统控制器101及设置在两个制程架(元件60和80)周围的七个机械臂组件11 (第9-11 图；第6C图的元件11A-11C，和11E-11H)，所有皆适于执行利用制程架内的各个制程腔室的预期基材制程程序的至少一实施态样。第6C图所示的实施例与上面所示的配置相仿，因此在适当时使用相同的元件符号。此配置法可减少具有较少机械臂的系统所经受的基材传送瓶颈，因为使用可冗余地存取装设在所述制程架60和80内的所述制程腔室的七个机械臂。 此配置法在除去机械臂限制型瓶颈上是特别有用的，其通常在制程程序中的制程步骤数量很多而腔室制程时间很短的情况中发生。在此配置法中，该第一机械臂组件IlA和该第二机械臂组件IlB适于从侧60A存取该第一制程架60内的所述制程腔室，而该第七机械臂组件IlG和该第八机械臂组件IlH 适于从侧80A存取该第二制程架80内的所述制程腔室。在一实施态样中，该第三机械臂组件IlC和该第五机械臂组件IlE适于从侧60B存取该第一制程架60内的所述制程腔室。在一实施态样中，该第五机械臂组件IlE和该第六机械臂组件IlF适于从侧80B存取该第二制程架80内的所述制程腔室。所述机械臂组件11A-11C和11E-11H连同该系统控制器101可适于容许各个机械臂间的「重迭」，可容许该系统控制器的逻辑排程器以基于来自使用者和遍布在该群集工具内的各个感应器的输入理出工作及基材移动的优先顺序，并且也可使用防撞系统，以容许机械臂以最佳方式传送基材通过该系统。使用群集工具结构和系统控制器101的合作以最大化该群集工具的使用而改善CoO可让晶片史更具再现性，并改善系统可靠度。B.传送程序范例第6D图示出可用来完成第IF图所描述的制程程序的通过第6C图所示的群集工具的传送步骤的第一制程程序的范例。在此实施例中，该基材是由该前端机械臂组件15从一晶片盒组件105 (物件#105D)移出，并依循传送路径A1传送至通道腔室9F，因此可在该基材上完成该通道步骤502。一旦完成该通道步骤502，接着利用该第六机械臂组件IlF依循该传送路径A2将该基材传送至第一制程腔室531，在此制程步骤504在该基材上完成。 在完成该制程步骤504后，接着利用该第六机械臂组件IlF依循该传送路径A3将该基材传送至该第二制程腔室532。在执行该制程步骤506后，接着利用该第六机械臂组件IlF传送该基材，依循该传送路径A4,至该交换腔室533 (第7A图)。在执行该制程步骤508后，接着利用该后端机械臂组件40传送该基材，依循该传送路径A5,至该外部制程系统536，在此执行制程步骤510。在执行制程步骤510后，接着利用该后端机械臂组件40传送该基材，依循该传送路径A6,至该交换腔室533 (第7A图)，在此执行制程步骤512。在执行该制程步骤512后，接着利用该第五机械臂组件IlE传送该基材，依循该传送路径A7,至该制程腔室 534，在此执行制程步骤514。然后利用该第五机械臂组件IlE依循该传送路径A8传送该基材。在该制程步骤516完成后，该第五机械臂组件IlE依循该传送路径A9将该基材传送至设置在该通道位置9E处的通道腔室。在执行该通道步骤518后，接着利用该前端机械臂组件15传送该基材，依循该传送路径Altl，至该晶片盒组件105D。第6D图也示出具有与该第一程序同时完成的传送步骤的第二制程程序的范例， 其使用该第二制程架80内的不同制程腔室。如第IC-D图所示，该第一制程架和第二制程架一般含有一些适于执行相同的用来执行预期制程程序的制程步骤的制程腔室(例如第IC 图的⑶1-8、第ID图的BC1-6)。因此，在此配置法中，每一个制程程序皆可利用装设在所述制程架内的任何一个制程腔室来执行。在一范例中，该第二制程程序是与该第一制程程序 (在前面讨论)相同的制程程序，其含有相同的传送步骤A1-Altl，在此描绘为A/ -Alt/，分别使用该第七和第八中央机械臂(即元件11G-11H)，而非该第五和第六中央机械臂组件(即元件11E-11F)，如上所述般。此外，在一实施例中，该群集工具10并不与一外部制程系统536连接或交流，因此该后端机械臂组件40并非该群集工具配置的一部分，并且该传送步骤A5-A6及制程步骤 510不会在该基材上执行。在此配置中，所有的制程步骤和传送步骤皆在该群集工具10内执行。后端机械臂组件 在一实施例中，如第1-6图所示者，该中央模组25含有一后端机械臂组件40，其适于在一外部模组5和例如一交换腔室533的留置在该第二制程架80内的所述制程腔室间传送基材。参见第IE图，在一实施态样中，该后端机械臂组件40 —般含有具有单一手臂/ 叶片40E的习知水平多关节机械手臂(SCARA)。在另一实施例中，该后端机械臂组件40可以是SCARA型机械臂，其具有两个可独立控制的手臂/叶片(未示出)，以用两个一组的方式交换基材及/或传送基材。该两个可独立控制的手臂/叶片型机械臂可具有优势，例如， 当该机械臂必须在同一个位置置放下一个基材前先从一预期位置移除一基材时。一例示的两个可独立控制的手臂/叶片型机械臂可由加州佛蒙特的Asyst Technologies公司购得。 虽然第1-6图示出含有后端机械臂组件40的配置法，但该群集工具10的一实施例并不含有后端机械臂组件40。 第7A图示出可设置在一制程架(例如元件60、80)的支持腔室165(第ID图)内的交换腔室533的一实施例。在一实施例中，该交换腔室533适于接收并留置一基材，而使该群集工具10内的至少两个机械臂可存放或汲取一基材。在一实施态样中，该后端机械臂组件40及该中央模组25内的至少一机械臂适于从该交换腔室533存放/或接收一基材。 该交换腔室533 —般含有基材支撑组件601、围封602、以及形成在该围封602的壁上的至少一存取埠603。该基材支撑组件601 —般具有复数个支撑指状物610 (第7A图中示出六个)，其具有一基材容纳表面611以支撑并留置设置在其上的基材。该围封602 —般是具有一或多个封入该基材支撑组件601的壁的结构，以控制所述基材的周遭环境，当其留置在该交换腔室533内时。该存取埠603 —般是位于该围封602壁上的开口，其使一外部机械臂可以存取而汲取或放下基材至所述支撑指状物610。在一实施态样中，该基材支撑组件601适于容许基材被设置在该基材容纳表面611上及从该基材容纳表面611上移除，藉由适于以分开至少90度的角度存取该围封602的两个或多个机械臂。在该群集工具10的一实施例中，在第7B图示出，该后端机械臂组件40的基座40A 是装设在与一滑轨组件40B连接的支撑座40C上，因此该基座40A可以设置在沿着滑轨组件40B长度方向上的任一点上。在此配置法中，该后端机械臂组件40可适于从该第一制程架60、该第二制程架80及/或该外部模组5内的制程腔室传送基材。该滑轨组件40B —般可含有一线性球状轴承滑轨(未示出)和线性促动器(未示出)，这在技艺中是熟知的，以设置该支撑座40C和留置在其上的后端机械臂组件40。该线性促动器可以是能够由伊利诺州Wood Dale的Danaher Motion公司购得的驱动线性无刷伺服马达。如第7B图所示， 该滑轨组件40B可定向在y方向上。在此配置法中，为了避免和所述机械臂组件IlAUlB 或IlC碰撞，该控制器会适于在该滑轨组件40B可移动而不会撞击其他中央机械臂组件时 (即元件IlAUlB等)仅移动该后端机械臂组件40。在一实施例中，该后端机械臂组件40 是装设在一滑轨组件40B上，其是经设置得使其不会干扰其他中央机械臂组件。环境控制第8A图示出具有一附加的环境控制组件110的群集工具10的一实施例，该组件 110封入该群集工具10以提供受控制的制程环境，以在其中执行一预期制程程序的各个基材处理步骤。第8A图示出在所述制程腔室上设置有环境围封的第IA图所示的群集工具10 的配置。该环境控制组件110—般含有一或多个过滤单元112、一或多个风扇(未示出)、 以及一选择性的群集工具基座10A。在一实施态样中，一或多个壁113是经添加至该群集工具10以封入该群集工具10，并提供一受控制的环境以执行所述基材制程步骤。一般来说， 该环境控制组件110适于控制空气流速、流动型态(regime)(例如层流(laminar flow)或紊流(turbulent flow))，及该群集工具10内的微粒污染程度。在一实施态样中，该环境控制组件110也可控制空气温度、相对湿度、空气中的静电及可利用和习知无尘室相容的通风及空调(HVAC)系统控制的其他典型制程参数。操作时，该环境控制组件110利用一风扇(未示出)从位于该群集工具10外部的来源(未示出)或区域导入空气，其接着传送空气通过一过滤器111，然后通过该群集工具10，并通过该群集工具基座10A离开该群集工具 10。在一实施态样中，该过滤器111是高效能微粒空气(H EPA)过滤器。该群集工具基座 10A—般是该群集工具的地板、或底部区域，其含有若干狭缝10B(第12A图)或容许被该 (等)风扇推动通过该群集工具10的空气离开该群集工具10的其他微孔。第8A图进一步示出该环境控制组件110的一实施例，其具有多个不同的环境控制组件110A-C，其提供受控制的制程环境，以在其中执行一预期制程程序的各个基材处理步骤。每一个不同的环境控制组件110A-C是设置在该中央模组25内的每一个机械臂组件 11上(例如第1-6图的元件IlAUlB等)，以分开控制每一个机械臂组件11上的气流。此配置法在第3A和4A图所示的配置法中是特别有优势的，因为所述机械臂组件是由所述制程架彼此实体隔离。每一个不同的环境控制组件110A-C—般含有一过滤单元112、一风扇 (未示出)以及一选择性的群集工具基座10A，以排出受控制的空气。
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第8B图示出一环境控制组件110的剖面图，其具有装设在群集工具10上的单一个过滤单元112，并且是用与y和ζ方向平行的剖面平面来观看。在此配置法中，该环境控制组件110具有单一个过滤单元112、一或多个风扇(未示出)、以及一群集工具基座10A。 在此配置法中，空气从该环境控制组件110垂直传送进入该群集工具10内(元件A)，围绕所述制程架60、80以及机械臂组件11A-C，然后离开该群集工具基座10A。在一实施态样中， 所述壁113适于在该群集工具10内封入并形成一制程区域，因此留置在所述制程架60、80 内的所述制程腔室周围的制程环境可由该环境控制组件110传送的空气控制。第8C图示出一环境控制组件110的剖面图，其具有装设在群集工具10上的多个不同的环境控制组件110A-C，并且是用与y和ζ方向平行的剖面平面来观看(见第IA图)。 在此配置法中，该环境控制组件110含有一群集工具基座10A、三个环境控制组件110A-C、 一第一制程架60，其延伸至所述环境控制组件110A-C的下表面114或其上，以及一第二制程架80，其延伸至所述环境控制组件110A-C的下表面114或其上。一般来说，该三个环境控制组件110A-C的每一个皆含有一或多个风扇(未示出)及一过滤器111。在此配置法中，空气从每一个环境控制组件110A-C垂直传送至该群集工具10内(见元件A)，介于所述制程架60、80和机械臂组件IlA-C间，然后离开该群集工具基座10A。在一实施态样中，所述壁113适于在该群集工具10内封入并形成一制程区域，因此留置在所述制程架60、80内的所述制程腔室周围的制程环境可由该环境控制组件110传送的空气控制。在另一实施例中，该群集工具10是置于无尘室环境中，其适于以预期速度传送含少量微粒的空气通过该群集工具10，然后离开该群集工具基座10A。在此配置法中，通常不需要该环境控制组件110，因此不会使用。控制空气性质和留置在该群集工具10内的所述制程腔室周围的环境在微粒累积的控制及/或最小化上是一个重要因素，其可造成微粒污染导致的元件合格率问题。机械臂组件一般来说，在此所述的群集工具10的各个实施例是优于先前技艺配置，因为缩小的机械臂组件尺寸(例如第9A图的元件11)造成群集工具占地面积缩小，以及最小化传送基材过程期间一机械臂进入其他群集工具零组件(例如机械臂、制程腔室)占据的空间的实体侵犯的机械臂设计。减少的实体侵犯避免机械臂与其他零组件的碰撞。在减少该群集工具占地面积的同时，在此所述的机械臂的实施例也具有特定优势，因为减少需要控制以执行传送动作的轴的数量。此实施态样是重要的，因为这会改善所述机械臂组件的可靠度， 因而该群集工具的可靠度。此实施态样的重要性可由注意到一个系统的可靠度与该系统内每一个元件的可靠度乘积成正比而更加明了。因此，具有三个上线时间为99%的促动器的机械臂总是比具有四个上线时间为99%的促动器好，因为每一个皆拥有99%的上线时间的三个促动器的系统上线时间是97. 03%，而每一个皆拥有99%的上线时间的四个促动器则是 96. 06%。在此所述的群集工具10的实施例也因为减少需要用来将基材传送通过该群集工具的通道腔室(例如第IB图的元件9A-C)数量而优于先前技艺配置。先前技艺群集工具配置通常在该制程程序中安装两个或更多个通道腔室，或具有暂时基材留置站，因此该群集工具机械臂可在该制程程序期间在设置于该一或多个制程腔室之间的中央位置上的一个机械臂和设置于一或多个其他制程腔室之间的中央位置上的另一个机械臂间传送基材。依次将基材置放在不会执行随后的制程步骤的多个通道腔室内的过程浪费时间、降低该 (等)机械臂的可使用性、浪费该群集工具内的空间、并且增加该(等)机械臂的损耗。所述通道步骤的增加也对元件合格率有不良影响，源自于基材换手次数的增加，这会增加背侧的微粒污染量。此外，含有多个通道步骤的基材制程程序自然会拥有不同的基材晶片史， 除非控制每一个基材耗费在该通道腔室内的时间。控制在该通道腔室内的时间会增加系统复杂度，因为增加了一个制程变量，并且很有可能会损害可达到的最大基材产能。本发明的实施态样，在此所述者，避免这些先前技艺配置的困难处，因为该群集工具配置通常只在于基材上执行制程之前以及在所有制程步骤皆已在基材上完成后具有所述通道步骤(例如第IF图的步骤502和518)，因此通常只会稍微或是不会影响到基材晶片史，并且也不会显著地增加该制程程序的基材传送时间，因为除去了所述制程步骤之间的通道步骤。在系统产能受到机械臂限制的情况中，该群集工具的最大基材产能是由完成该制程程序所移动的机械臂总数量和需要用来使该机械臂移动的时间来控制。一机械臂所需的完成一预期移动的时间通常受机械臂硬件、制程腔室间的距离、基材清洁度考量、以及系统控制限度所限。通常机械臂移动时间不会因为机械臂类型的不同而大幅度改变，并且在产业上颇为一致。因此，移动较少机械臂即可完成制程程序的群集工具的系统产能会比需要较多移动以完成制程程序的群集工具高，例如含有多个通道步骤的群集工具。笛卡儿机械臂配置第9A图示出可用来做为一或多个机械臂组件11(例如第1-6图所示的元件 11A-H)的机械臂组件11的一实施例。该机械臂组件11 一般含有一机械臂硬件组件85、一或多个垂直机械臂组件95及一或多个水平机械臂组件90。因此可藉由该机械臂硬件组件 85、垂直机械臂组件95和水平机械臂组件90的协力移动将基材设置在该群集工具10内的任一预期χ、y和ζ位置上，利用该系统控制器101传达的指令。该机械臂硬件组件85 —般含有一或多个传送机械臂组件86，其适于利用该系统控制器101传达的指令留置、传送和设置一或多个基材。在一实施例中，第9-11图所示的传送机械臂组件86适于在水平面上传送基材，例如包含第IlA图所示的X和Y方向的平面，因为各个传送机械臂组件86零组件的移动。在一实施态样中，该传送机械臂组件86适于在通常与该机械臂叶片87的基材支撑表面87C(第IOC图)平行的平面上传送基材。第 IOA图示出该机械臂硬件组件85的一实施例，其含有适于传送基材的单一个传送机械臂组件86。第IOB图示出该机械臂硬件组件85的一实施例，其含有彼此以相反方向设置的两个传送机械臂组件86，因此可将所述机械臂叶片87A-B (及第一连接构件310A-310B)分开一小段距离置放。第IOB图所示的配置，或「上/下」型机械臂叶片配置，可以是有优势的，例如，当想在置放下一个欲在相同制程腔室内处理的基材之前先从制程腔室中移除基材，而不需要让该机械臂硬件组件85离开其基本位置以将该「移除的」基材移至另一个腔室(即 「交换」基材)时。在另一实施态样中，此配置法可容许该机械臂填满所有的机械臂叶片， 然后以两个或多个基材为一组的方式传送所述基材至该工具中的预期位置。将基材分成两个或多个一组的的制程可藉由减少传送所述基材所需的机械臂移动量来帮助改善该群集工具的基材产能。虽然第10A-B图所描绘的传送机械臂组件86是双杆(bar)连结机械臂 305型的机械臂(第IOC图)，但此配置并不意欲限制可与在此所讨论的实施例并用的机械臂组件的向位和类型。一般来说，具有两个传送机械臂组件86的机械臂硬件组件85的实施例，如第IOB图所示者，会有两个含有相同的基本零组件的传送机械臂组件86，因此之后对于单一传送机械臂组件86的讨论也意在描述该(等)双机械臂组件实施态样中的零组件。第9-11图所示的群集工具和机械臂配置的一优势在于最小化围绕一传送机械臂组件86的区域的大小，在其中所述机械臂零组件和基材可自由移动而不会与该机械臂组件11外部的其他群集工具零组件碰撞。机械臂和基材可在其中自由移动的区域被称为「传送区域」(第IlC图的元件91)。该传送区域91 一般可定义为当一基材留置在一机械臂叶片上时，该机械臂可自由移动而不会与其他群集工具零组件碰撞的空间(χ、y和ζ方向)。 虽然可将该传送区域描述为一空间，但通常该传送区域最重要的实施态样是该传送区域占据的水平面积(χ和y方向)，因为其直接影响群集工具的占地面积和CoO。该传送区域的水平面积在界定该群集工具的占地面积时是一重要因素，因为该传送区域的水平零组件越小，各个机械臂组件(例如第1-6图的元件11A、11B、11C等等)就可越靠近彼此或是机械臂就可越靠近制程架。界定该传送区域大小的一个因素是确认该传送区域够大的需要，以减少或避免一机械臂实体侵犯到其他群集工具零组件占据的空间。在此所述的实施例是优于先前技艺，源自于所述实施例将所述机械臂组件86零组件缩回(retract)沿着该水平移动组件90的传送方向(χ方向)定向的传送区域中的方式。参见第IlJ图，该水平面积一般可分割为两个部分，宽度「Wj(y方向)和长度「L」 (X方向)。在此所述的实施例具有进一步的优势，因为围绕该机械臂的净空区域的缩小宽度「WJ确保该机械臂能够可靠地将基材设置在一制程腔室内。可藉由注意到习知SCARA 机械臂(例如第IlK图的物件CR) —般具有在缩回时，从该机械臂中央(例如物件C)延伸出一段距离的手臂(例如物件A1)而了解缩小的宽度「WJ优于习知多杆连结水平多关节机械手臂(SCARA)型机械臂的益处，习知机械臂增加所述机械臂彼此间的相对距离(即宽度「W2」)，因为该机械臂周围的区域必须净空，以使该手臂零组件可以旋转定向而不会干扰其他群集工具零组件(例如，其他机械臂、制程架零组件)。习知SCARA型机械臂配置法也比在此所述的某些实施例复杂，因为他们也拥有更多需控制的轴，以将所述基材定向并设置在一制程腔室内。参见第IlJ图，在一实施态样中，该传送区域91的宽度W1比该基材尺寸大约5%至约50% (即第IlJ图的基材「S」)。在基材为一 300mm的半导体晶片的范例中，该传送区域的宽度W1会介于约315mm和约450mm间，并且较佳地介于约320mm和约 360mm间。参见第IB图，在一范例中，对于一个300mm的基材制程工具而言，该第一制程架 60的侧60B和该第二制程架80的侧80A之间的距离可以是约945mm(例如315% )。在另一范例中，对于一个300mm的基材制程工具而言，该第一制程架60的侧60B和该第二制程架80的侧80A之间的距离可以是约1350mm(例如450% )。应注意到该传送区域一般意欲描述该机械臂周围的区域，其中一旦其叶片已经在汲取到位于一预期位置上的基材之后缩回，该机械臂能够在其中移动直到其移动到该制程程序中的下一个制程腔室外的起始位置 (SP)为止。双杆连结机械臂组件第IOA和IOC图示出一双杆连结机械臂305型的传送机械臂组件86的一实施例， 其一般含有一支撑板321、一第一连接构件310、一机械臂叶片87、一传动系统312 (第IOC 图)、一围封313及一马达320。在此配置中，该传送机械臂组件86是通过和该垂直促动器组件560 (第13A图)连接的支撑板321与该垂直移动组件95连接。第IOC图示出该双杆连结机械臂305型的传送机械臂组件86的一实施例的剖面图。该双杆连结机械臂305的传动系统312—般含有一或多个动力传送元件(power transmitting element)，其适于藉由所述动力传送元件的移动来使该机械臂叶片87移动，例如藉由马达320的转动。一般来说，该传动系统312可含有习知齿轮、滑轮等等，其是适于传送来自一个元件的旋转或转移动作至下一个元件。在此所使用的「齿轮」一词一般意欲描述通过皮带、齿状物或其他典型方式与第二零组件旋转连接的零组件，并且是适于从一元件传送移动至另一个元件。一般来说，一齿轮，如在此所使用者，可以是习知齿轮型装置或滑轮型装置，其可包含但不限于例如正齿轮(spur gear)、伞齿轮(bevel gear)、齿条(rack)及/或小齿轮(pinion)、蜗轮(worm gear)、正时盘(timing pulley)、及三角皮带轮(v-belt pulley)等零组件。在一实施态样中，该传动系统312，如第IOC图所示者，含有第一滑轮系统355及第二滑轮系统 361。该第一滑轮系统355具有与该马达320连接的第一滑轮358，与该第一连接构件310 连接的第二滑轮356，以及连接该第一滑轮358和该第二滑轮356的皮带359，因此该马达 320可驱动该第一连接构件310。在一实施态样中，复数个轴承356A适于容许该第二滑轮 356绕着该第三滑轮354的轴V1旋转。该第二滑轮系统361具有与该支撑板321连接的第三滑轮354、与该叶片87连接的第四滑轮352以及连接该第三滑轮3M和该第四滑轮352的皮带362，因此该第一连接构件310的旋转会使该叶片87绕着与该第一连接构件310连接的轴承轴线353旋转(第 IlA图的枢轴V2)。在传送一基材时，该马达驱动该第一滑轮358，其导致该第二滑轮356和第一连接构件310旋转，其转而因为该第一连接构件310和皮带362绕着静止的第三滑轮 354的角旋转(angular rotation)而使该第四滑轮352旋转。在一实施例中，该马达320 和系统控制器101适于形成闭环控制系统，其容许该马达320的角位置和与其连接的所有零组件皆可受到控制。在一实施态样中，该马达320是一步进马达或DC伺服马达。在一实施态样中，该第一滑轮系统355和第二滑轮系统361的传动比(例如直径比、轮齿数量比)可经设计而达到预期的路径(第IlC或IlD中的元件P1)形状和分解，当该基材被一传送机械臂组件86设置时会沿着该路径移动。之后会将传动比定义为驱动元件尺寸相对于受驱动的元件尺寸，或者在此例中，例如，该第三滑轮354的轮齿数量相对于该第四滑轮352的轮齿数量比例。因此，例如，当该第一连接构件310旋转270度时，其导致该叶片87旋转180度，等同于0.667传动比或者是3 2的齿轮比。齿轮比一词旨在表示该第一齿轮WD1转数造成该第二齿轮的D2转数，或D1 D2比例。因此，一 3 2比例代表该第一齿轮转三圈会使该第二齿轮转两圈，因此该第一齿轮的大小必定约是该第二齿轮的三分的二。在一实施态样中，该第三滑轮邪4对于该第四滑轮352的齿轮比是介于约 3 1至约4 3间，较佳地介于约2 1和约3 2间。第10E图示出一双杆连结机械臂305型的传送机械臂组件86的另一实施例，其一般含有一支撑板321、一第一连接构件310、一机械臂叶片87、一传动系统312 (第10E图)、 一围封313、一马达320及一第二马达371。第10E图所示的实施例与第10C图所示的实施例相仿，除了在此配置法中该第三滑轮354的旋转位置可利用该第二马达371及来自该控制器101的指令来调整之外。因为第10C和10E图相仿，为了简明会使用相同的元件符号。在此配置法中，该传送机械臂组件86经由与该垂直促动器组件560(第13A图)连接的支撑板321与该垂直移动组件95连接。第IOE图示出该双杆连结机械臂305型的传送机械臂组件86的侧剖面图。该双轴连结机械臂305的传动系统312 —般含有两个动力传送元件，其适于利用该马达320及/或该第二马达371的移动来使该机械臂叶片87移动。 一般来说，该传动系统312可包含齿轮、滑轮等等，其是适于传送来自一个元件的旋转或转移动作至下一个元件。在一实施态样中，该传动系统312含有第一滑轮系统355及第二滑轮系统361。该第一滑轮系统355具有与该马达320连接的第一滑轮358，与该第一连接构件310连接的第二滑轮356，以及连接该第一滑轮358和该第二滑轮356的皮带359，因此该马达320可驱动该第一连接构件310。在一实施态样中，复数个轴承356A适于容许该第二滑轮356绕着该第三滑轮354的轴V1旋转。在一实施态样中，未在第IOE图中示出，所述轴承356A是装设在形成于该支撑板321上的特征上，而非如第IOE图所示般形成在第三滑轮354上。该第二滑轮系统361具有与该第二马达连接的第三滑轮354、与该叶片87连接的第四滑轮352以及连接该第三滑轮3M和该第四滑轮352的皮带362，因此该第一连接构件 310的旋转会使该叶片87绕着与该第一连接构件310连接的轴承轴线353旋转(第IlA图的枢轴V2)。该第二马达371是装设在该支撑板321上。在传送一基材时，该马达320驱动该第一滑轮358，其导致该第二滑轮356和第一连接构件310旋转，其转而因为该第一连接构件310和皮带362绕着该第三滑轮3M的角旋转而使该第四滑轮352旋转。在此配置法中，相对于第IOC图所示的配置法，该第三滑轮可在该马达320旋转该第一连接构件310时旋转，这使得该第三滑轮3M和该第四滑轮352间的齿轮比可藉由调整该第三滑轮3M和该第四滑轮352间的相对运动而改变。会注意到齿轮比影响该机械臂叶片87相对于该第一连接构件310的移动。在此配置法中，齿轮比并未由所述齿轮的大小来决定，并且可以在该机械臂叶片传送动作的不同阶段中改变，以达到预期的机械臂叶片传送路径(见第IlD 图)。在一实施例中，该马达320、该第二马达371和系统控制器101适于形成闭环控制系统，其容许该马达320的角位置、该第二马达371的角位置和与这些元件连接的所有零组件皆可受到控制。在一实施态样中，该马达320和该第二马达371是一步进马达或DC伺服马达。第IlA-D图示出一机械臂组件11的一实施例的平面图，其使用一双杆连结机械臂 305配置法来传送并设置基材在留置于该群集工具10内的第二制程腔室532中的预期位置上。该双杆连结机械臂305 —般含有一马达320(第10A-C图)、一第一连接构件310及一机械臂叶片87，其是经连接而使该马达320的旋转动作造成该第一连接构件310旋转，其转而导致该机械臂叶片87沿着一预期路径旋转及/或转移。此配置法的优势在于该机械臂将一基材传送至该群集工具内的预期位置上，且该机械臂的零组件不会延伸进入当下被另一个机械臂或系统零组件占据，或将会被占据的空间内的能力。第IlA-C图示出容纳在一机械臂硬件组件85内的传送机械臂组件86的移动，藉由在基材被传送进入制程腔室532时，即时(例如分别对应于第IlA-C图的Ttl-T2)示出各个传送机械臂组件86零组件的位置的若干连续图像。参见第IlA图，在时间Ttl时，该传送机械臂组件86 —般是利用所述垂直移动组件95零组件设置在一预期垂直方位上(ζ方向)， 并利用所述水平移动组件90零组件设置在一预期水平方向上(χ方向)。在Ttl时的机械臂位置，于第IlA图示出，在此会称为起始位置(物件SP)。参见第IlB图，在时间T1时，在该双杆连结机械臂305中的该第一连接构件310以枢轴点V1为中心旋转，因而使连接的机械臂叶片87绕着一枢轴点V2转移并旋转，同时该传送机械臂组件86在χ方向上的位置是利用所述水平移动组件90零组件和该系统控制器101来调整。参见第IlC图，在时间T2时， 该机械臂叶片87在y方向上从该传送区域91的中线C1延伸出一预期距离(元件Y1)，并且是设置在一预期的χ方向位置(元件上，以将基材置放在预期的最终位置上(物件FP)， 或该制程腔室532的换手位置上。一旦该机械臂已将基材设置在该最终位置上，接着可将该基材传送至该制程腔室基材容纳零组件上，例如举升捎或其他基材支撑零组件上(例如第IlA图的元件532A)。在将该基材传送至该制程腔室容纳零组件上之后，然后可依照上述步骤但次序颠倒来缩回该机械臂叶片。第IlC图进一步示出该基材中心点的一可能路径(物件P1)的范例，当其从该起始位置移动至该最终位置时，如上面第IlA-C图所示者。在本发明的一实施态样中，该路径的形状可藉由利用该水平移动组件90沿着χ方向调整该第一连接构件310的旋转位置相对于该传送机械臂组件86的位置来改变。此特征具有优势，因为该曲线的形状可以是特别适于容许一机械臂叶片87存取该制程腔室而不会与各个制程腔室基材容纳零组件(例如元件532A)碰撞或侵犯其他机械臂的传送区域91。此优势变得特别显而易见，当一制程腔室经配置而可从多个不同的方向、或方位存取时，这因此限制可用来可靠地支撑一基材的所述基材容纳零组件的位置和方位并避免该机械臂叶片87和该基材容纳零组件间的碰撞。第IlD图示出可用来将基材传送进入该制程腔室532中的预期位置的可能路径 P1-P3的一些范例。第IlD-F图所示的路径P1-P3意欲示出该基材中心点，或该机械臂叶片 87的基材支撑区域中心点的移动，当其由所述机械臂组件11零组件设置时。第IlD图所示的基材传送路径P2示出当一传送机械臂组件86的第二滑轮系统361的传送比为2 1时一基材的路径。因为当使用2 1的传动比时该基材的移动是一直线，此配置法可除去该机械臂叶片87在Y方向上延伸时在X方向上转移该机械臂硬件组件85的需要。此配置法的移动复杂度降低的益处在某些情况下会被无法设计出不会在该基材从该制程腔室的各个不同侧传送进入该制程腔室时干扰该机械臂叶片87的可靠的基材容纳零组件影响。第1IE-IIF图示出一基材进入该制程腔室532的多阶段传送移动。在一实施例中， 该多阶段传送移动分成三个传送路径(路径P1-P3)，其可用来传送该基材进入该制程腔室 532 (第IlE图)或离开该制程腔室(第IlF图)。此配置法在降低该传送制程期间该基材和机械臂组件11所经历的高加速度上是特别有用的，并且也藉由在该传送制程期间尽可能使用单一轴控制来降低该机械臂移动复杂度。该机械臂所经历的高加速度可在该机械臂组件中产生振动，其可影响所述传送制程的位置准确度、该机械臂组件的可靠度以及该基材在该机械臂叶片上的可能的移动。成信该机械臂组件11经历高加速度的一个起因在使用协同移动(coordinated motions)时产生。在此所使用的「协同移动」一词意欲描述两个或多个轴同时移动(例如，传送机械臂组件86、水平移动组件90、垂直移动组件95)以使一基材从一点移至下一点。第IlE图示出三个传送路径的多阶段传送移动，其是用来将一基材传送至该制程腔室532内的基材容纳零组件532A上。在执行该多阶段传送移动制程前，该传送机械臂组件86 —般是设置在该起始位置上(第IlE图的SP)，其可能需要利用所述垂直移动组件95 零组件将该基材移至一预期垂直方位(ζ方向)，并利用所述水平移动组件90零组件移至一预期水平位置(X方向)。在一实施态样中，一旦该基材已经位于该起始位置上，接着就利用所述传送机械臂组件86、该水平移动组件90和该系统控制器101将该基材沿着路径P1移至该最终位置(FP)。在另一实施态样中，该基材是利用减少的控制轴数量沿着路径P1设置， 例如仅有一个控制轴。例如，可藉由控制与该控制器101交流的传送机械臂组件86来使该机械臂叶片，以及该基材，移动来实现单一个控制轴。在此配置法中，单一轴的使用可大幅度简化该基材或机械臂移动的控制，并减少从该起始点移至该中间位置所需的时间。该多阶段传送移动制程的下一个步骤是利用所述垂直移动组件95零组件在ζ方向上移动，或利用一基材容纳零组件促动器(未示出)垂直移动所述基材容纳零组件以将该基材传送至所述制程腔室基材容纳零组件上，例如举升捎或其他基材支撑零组件(例如第IlA图的元件 532A)。在一实施态样中，如第IlE和IlF图所示，该传送机械臂组件86适于在与X和Y方向平行的平面上转移该基材W，如路径Pl和P3所示者。在传送该基材至该制程腔室容纳零组件后，该机械臂叶片然后可以依循路径P2和 P3缩回。该路径P2，在某些情况下，可能需要该传送机械臂组件86和该水平移动组件90间的协同移动，以确保该机械臂叶片87不会在从该制程腔室532缩回时撞击到所述基材支撑零组件532A。在一实施态样中，如第IlE图所示，该路径P2,其描述该机械臂叶片87的基材支撑区域中心点的移动，是一线性路径，其从该最终位置(FP)延伸至该最终位置和该终点(EP)位置间的某些中间点(IP)上。一般来说，该中间点是该机械臂叶片已缩回够远的点，因此其不会在沿着路径P3以简化或加速运动移至该终点位置时与任何腔室零组件接触。在一实施态样中，一旦该机械臂叶片已在该中间点位置上，该基材即利用所述传送机械臂组件86、该水平移动组件90和该系统控制器101沿着路径P3移动至该终点。在一实施态样中，该基材仅利用一个控制轴设置在该终点(EP)处，例如藉由与该控制器101交流的传送机械臂组件86的移动。在此配置法中，单一轴的使用可大幅度简化移动控制，并减少从该中间点(IP)移至该终点(EP)位置所需的时间。第IlF图示出三个传送路径的多阶段传送移动，其是用来将一基材从该该制程腔室532内的基材容纳零组件532A上移出。在执行该多阶段传送移动制程前，在第IlF图示出，该传送机械臂组件86 —般是设置在该起始位置上(第1IF图的SP)，其可能需要利用所述垂直移动组件95零组件将该基材移至一预期垂直方位(ζ方向)，并利用所述水平移动组件90零组件移至一预期水平位置(χ方向)。在一实施态样中，一旦该基材已经位于该起始位置上，接着就利用所述传送机械臂组件86、该水平移动组件90和该系统控制器101 将该基材沿着路径P1移至该中间位置(IP)。一般来说，该中间点是该机械臂叶片已伸入够远的点，因此其不会在沿着路SP1以简化或加速运动移至该中间点时与任何腔室零组件接触。在另一实施态样中，该基材是利用减少的控制轴数量沿着路径P1设置。例如，可藉由控制与该控制器101交流的传送机械臂组件86来使该机械臂叶片，以及该基材，移动来实现单一个控制轴。在此配置法中，单一轴的使用可大幅度简化该基材或机械臂移动的控制， 并减少从该起始点移至该中间位置所需的时间。在将该基材传送至该中间位置后，该机械臂叶片即可进一步依循路径P2伸入该腔室。该路径P2，在某些情况下，可能需要该传送机械臂组件86和该水平移动组件90间的协同移动，以确保该机械臂叶片87不会在延伸进入该制程腔室532时撞击到所述基材支撑零组件532A。在一实施态样中，如第IlF图所示，该路径P2,其描述该机械臂叶片87的基材支撑区域中心点的移动，是一线性路径，其从该中间点(IP)延伸至该最终位置(FP)。在该机械臂叶片已设置在该最终位置上之后，接着利用该垂直移动组件95在ζ方向上移动该传送机械臂组件86，或利用一基材容纳零组件促动器(未示出)垂直移动所述基材容纳零组件532A来将该基材从该制程腔室基材容纳零组件532A上移出。在将该基材从所述制程腔室容纳零组件上移出后，该机械臂叶片即可依循路径P3 缩回。该路径P3，在某些情况下，可能需要该传送机械臂组件86和该水平移动组件90间的协同移动。在一实施态样中，该基材仅利用一个控制轴设置在该终点(EP)处，例如藉由与该控制器101交流的传送机械臂组件86的移动。在此配置法中，单一轴的使用可大幅度简化移动控制，并减少从该最终位置(FP)移至该终点(EP)位置所需的时间。在一实施态样中，如第IlF图所示，该路径P3，其描述该机械臂叶片87的基材支撑区域中心点的移动，是一非线性路径，其从该最终位置(FP)延伸至某些终点(EP)。单轴机械臂组件第IOD和IlG-I图示出一机械臂组件11的另一实施例，其中该传送机械臂组件 86A是一单轴连结306 (第IOD图)配置，以传送并设置基材在留置于该群集工具10内的第二制程腔室532的预期位置上。该单轴连结306 —般含有一马达320(第IOD图)以及一机械臂叶片87，其是经连接而使该马达320的旋转导致该机械臂叶片87旋转。此配置法的优势在于该机械臂传送基材至该群集工具内的一预期位置的能力，其仅用较不复杂且更具成本效益的单一轴来控制该叶片87，同时也减少所述机械臂零组件延伸进入在该传送制程期间可能由另一个机械臂占据的空间内的机会。第IOD图示出一单轴连结306的侧剖面图，其一般含有一马达320、一支撑板321 及一机械臂叶片87，其是经连接至该马达320。在一实施例中，如第IOD图所示者，该机械臂叶片87是连接至一第一滑轮组件355。该第一滑轮组件355具有与该马达320连接的第一滑轮358，与该机械臂叶片87连接的第二滑轮356，以及连接该第一滑轮358和该第二滑轮356的皮带359。在此配置中，该第二滑轮356是装设在通过所述轴承354A与该支撑板 321连接的枢轴364上，因此该马达320可旋转该机械臂叶片。在该单轴连结306的一实施例中，该机械臂叶片87是直接与该马达320连接，以减少机械臂零组件的数量、减少该机械臂组件的成本和复杂度、并减少保养该第一滑轮系统中355的零组件的需要。该单轴连结 306可以是有优势的，因为该简化的移动控制系统，及因此改善的机械臂及系统可靠度。第IlG-J图是单轴连结306型的传送机械臂组件86的平面图，其示出该单轴连结 306的移动，藉由在基材被传送进入制程腔室532时，即时(例如物件Ttl-T2)示出各个传送机械臂组件86零组件的位置的若干连续图像。参见第IlG图，在时间Ttl时，该传送机械臂组件86 —般是利用所述垂直移动组件95零组件设置在一预期垂直方位上(ζ方向)，并利用所述水平移动组件90零组件设置在一预期水平方向上(χ方向)。在Ttl时的机械臂位置，于第IlC图示出，在此会称为起始位置(上面讨论的物件SP)。参见第IlH图，在时间 T1时，该机械臂叶片87以枢轴点V1为中心旋转，因而使该机械臂叶片87旋转，同时该传送机械臂组件86在χ方向上的位置是利用该系统控制器101来调整。参见第IlI图，在时间 T2时，该机械臂叶片87已经旋转至一预期角度，并且该机械臂组件已经设置在一预期的χ 方向位置上，因此该基材是在该制程腔室532内的预期最终位置(物件FP)上，或换手位置上。第IlD图，在上面讨论过，也示出可用来运用该单轴连结306将基材传送进入该制程腔室532的预期位置上的可能路径P1-P3的一些范例。在将该基材传送至该制程腔室容纳零组件上之后，然后可依照上述步骤但次序颠倒来缩回该机械臂叶片。水平移动组件第12A图取沿着与该y方向平行的平面示出该水平移动组件90的一实施例的剖面图。第12B图是该机械臂组件11的一实施例的侧剖面图，其已经中心地削减该水平移动组件90的长度。该水平移动组件90 —般含有一围封460、一促动器组件443和一长形安装座451。该促动器组件443 —般含有至少一个水平线性滑轨组件468和一移动组件442。 该垂直移动组件95通过该长形安装座451与该水平移动组件90连接。该长形安装座451 是支撑该水平移动组件90设置该垂直移动组件95时所创造出的各种负载的结构件。该水平移动组件90 —般含有两个水平线性滑轨组件468，其每一个皆拥有一线性轨道455、一轴承块458及一支撑安装座452，其支撑该长形安装座451和垂直移动组件95的重量。此配置因而提供该垂直移动组件95沿着该水平移动组件90长度方向的顺畅且准确的转移。该线性轨道455和该轴承块458可以是线性滚珠轴承滑轨或习知线性滑轨(linear guide)， 其在技艺中是熟知的。参见第12A-B图，该移动组件442 —般含有长形安装座451、一水平机械臂促动器 367 (第IOA和12A图)、一驱动皮带440、以及两个或多个驱动皮带滑轮454A，其适于沿着该水平移动组件90的长度控制该垂直移动组件95的位置。一般来说，该驱动皮带440与该长形安装座451连接(例如，粘着、栓锁或夹钳)以形成沿着该水平移动组件90的长度延伸的连续回路，并且在该水平移动组件90的端点处由该两个或多个驱动皮带滑轮454A支撑。第12B图示出具有四个驱动皮带滑轮454A的配置。在一实施例中，该水平机械臂促动器367与所述驱动皮带滑轮454A的其中一个连接，因此该滑轮454A的旋转运动会使与该垂直移动组件95连接的驱动皮带440和长形安装座451沿着该水平线性滑轨组件468移动。在一实施例中，该水平机械臂促动器367是一直接驱动线性无刷伺服马达，其适于相对于该水平线性滑轨组件468移动该机械臂。该围封460 —般含有一基座464、一或多个外壁463及一围封顶板462。该围封 460适于覆盖并支撑该水平移动组件90内的零组件，为了安全及减少污染。因为微粒是由转动、滑动、或彼此接触的机械零组件产生，确保该水平移动组件90内的零组件不会在所述基材传送通过该群集工具10时污染基材表面是很重要的。该围封460因此形成一封入区域，其最小化在该围封460内产生的微粒抵达基材表面的机会。微粒污染对于元件合格率，因此群集工具的CoO有直接影响。该围封顶板462含有复数个狭缝471，其使所述水平线性滑轨组件468的复数个支撑安装座452可以延伸通过该围封顶板462，并与该长形安装座451连接。在一实施态样中，所述狭缝471的宽度(该开口在y方向上的尺寸)是经量身订做以最小化微粒抵达该水平移动组件90外部的机会。该围封460的基座464是一结构构件，其经过设计以支撑该长形安装座451和垂直移动组件95的重量所创造出的负载，以及该垂直移动组件95的移动所创造出的负载。在一实施态样中，该基座464进一步含有复数个基座狭缝464A，其是沿着该水平移动组件90 的长度设置，以容许进入该围封顶板462的狭缝471的空气经由所述基座狭缝464A离开该围封，然后离开形成在该群集工具基座IOA内的狭缝10B。在该群集工具10的一实施例中，并未使用群集工具基座10A，因此该水平移动组件90和制程架可设置在其中安装有该群集工具10的区域的地板上。在一实施态样中，该基座464是利用所述围封支撑461设置在该群集工具基座10A，或地板，上，以提供空气流经该水平移动组件90的未受限且一致的流动路径。在一实施态样中，所述围封支撑461也可适于做为习知的减震器。以一方向，较佳地向下，流经该围封460的该环境控制组件110或无尘室环境产生的气流可帮助降低该围封 460内产生的微粒抵达基材表面的机会。在一实施态样中，形成在该围封顶板462内的所述狭缝471和所述基座狭缝464A是经设置以限制从该环境控制组件110流出的空气量，因此可在该围封顶板462外部和该围封460的内部区域间达到至少0. l”wg的压降。在一实施态样中，形成该围封460的中央区域以利用所述内壁465将此区域与该水平移动组件的其他部分隔开。内壁465的添加可最小化进入该围封460的空气再循环，并做为一气流引导特征。参见第12A和第13A图，在该围封460的一实施态样中，设置该驱动皮带以在驱动皮带440和形成在该围封顶板462内的驱动皮带狭缝472间形成小缝隙。此配置法可以是有优势的，以避免在该围封40内产生的微粒抵达该围封460外部。参见第12C图，在该围封460的另一实施态样中，一风扇单元481可与该基座464 连接，并适于通过形成在该基座464内的基座狭缝464A从该围封460内部汲取空气。在另一实施态样中，该风扇单元481促使含有微粒的空气通过一过滤器482，以在其通过该群集工具基座IOA或地板排出(见物件A)前除去微粒。在此配置法中，一风扇483，容纳在该风扇单元中，是经设计以在该围封460内创造负压，因此该围封外部的空气会被吸进该围封内，而限制该围封460内产生的微粒漏出的可能性。在一实施例中，该过滤器482是一HEPA 型过滤器或可从空气中除去所产生的微粒的其他型过滤器。在一实施态样中，所述狭缝471 的长度和宽度及该风扇483的尺寸是经选择以使在该围封460外部的一点和在该围封460 内部的一点间产生的压降介于约0. 02英寸水柱( 5帕)和约1英寸水柱( 250帕) 之间。在该水平移动组件90的一实施例中，设置一防护皮带479来覆盖所述狭缝471， 以避免该水平移动组件90内部产生的微粒抵达基材。在此配置法中，该防护皮带479形成沿着该水平移动组件90的长度延伸的连续回路，并且是设置在该狭缝471内，以使形成在该防护皮带479和该围封顶板462间的开放区域尽可能小。一般来说，该防护皮带479是与该支撑安装座452连接(例如粘着、栓锁或夹钳)，以形成沿着该水平移动组件90的长度延伸的连续回路，并且在该水平移动组件90的端点处由该两个或多个驱动皮带滑轮(未示出)支撑。在第12C图所示的配置中，该防护皮带479可在该狭缝471高度处与与该支撑安装座452连接(未示出)，并在制作在该基座464内的通道478中穿过该水平移动组件90绕回来，而形成一连续回路。该(等)防护皮带479因此围绕该水平移动组件90的内部区域。垂肓移动组件第13A-B图示出该垂直移动组件95的一实施例。第13A图是该垂直移动组件95 的平面图，示出该设计的各个实施态样。该垂直移动组件95 —般含有一垂直支撑570、一垂直促动器组件560、一风扇组件580、一支撑板321、以及一垂直围封590。该垂直支撑570 一般是一结构构件，其是栓锁、焊接、或安装在该长形安装座451上，并且适于支撑该垂直移动组件95内的各个零组件。该风扇组件580 —般含有一风扇582以及形成与该风扇582流体交流的充实区域 584的管状物581。该风扇582 —般是适于利用某些机械工具来使空气流动的元件，例如， 旋转的风扇叶片、移动的折箱、移动的隔板、或移动的高精度机械齿轮。该风扇582适于在该围封590内部区域586形成相对于该围封590外部的负压，藉由在充实区域584内创造负压，其与形成在该管状物581上的复数个狭缝585和该内部区域586流体交流。在一实施态样中，所述狭缝585的数量、尺寸和分布，其可以是圆形、椭圆形或矩形，是经设计以从该垂直移动组件95的所有区域平均地汲取空气。在一实施态样中，内部区域586也可适于容纳用来在各个机械臂硬件组件85和垂直移动组件95的零组件间及与该系统控制器101 传送讯号的复数个缆线(未示出)。在一实施态样中，该风扇582适于将从该内部区域586 排出的空气传送至该水平移动组件90的中央区域430内，其在此通过所述基座狭缝464A 从该水平移动组件90排出。该垂直促动器组件560 —般含有一垂直马达507 (第12A和13B图)、一滑轮组件 576 (第13B图)、以及一垂直滑轨组件577。该垂直滑轨组件577 —般含有一线性轨道574 和一轴承块573，其与垂直支撑570和该滑轮组件576的移动块572连接。该垂直滑轨组件577适于引导并提供该机械臂硬件组件85顺畅且准确的转移，并且也支撑该机械臂硬件组件85沿着该垂直移动组件95的长度移动所创造出的重量和负载。该线性轨道574和该轴承块573可以是线性滚珠轴承滑轨、精密轴滑轨系统、或习知线性滑轨，其在技艺中是熟知的。典型的线性滚轴承滑轨、精密轴滑轨系统、或习知线性滑轨可从SKF USA公司或宾州 Irwin 的 Parker Hannifin Corporation 的 Daedal Division 购得。参见第13A和13B图，该滑轮组件576 —般含有一驱动皮带571、一移动块572和两个或多个滑轮575 (例如元件575A和575B)，其与该垂直支撑570及垂直马达507旋转连接，而使一支撑板(例如第13B图的元件321A-321B)，因而机械臂硬件组件85，可以沿着该垂直移动组件95的长度设置。一般来说，该驱动皮带571与该移动块572连接(例如粘着、栓锁或夹钳)，以形成沿着该垂直移动组件95的长度延伸的连续回路，并且在该垂直移动组件95的端点处由该两个或多个驱动皮带滑轮575支撑(例如元件575A和575B)。第 13B图示出具有两个驱动皮带滑轮575A-B的配置。在一实施态样中，该垂直马达507与该驱动皮带滑轮575B的一连接，因此该滑轮575B的旋转运动会使该驱动皮带571和该(等) 支撑板，因而机械臂硬件组件85，沿着该垂直线性滑轨组件577移动。在一实施例中，该垂直马达507是一直接驱动线性无刷伺服马达，其适于相对于该垂直滑轨组件577移动该机械臂硬件组件85，因此不需要该驱动皮带571和两个或多个滑轮575。该垂直围封590 —般含有一或多个外壁591和一围封顶部592 (第9A图)以及狭缝593 (第9A、12A和13A图)。该垂直围封590适于覆盖该垂直移动组件95内的零组件， 为了安全及减少污染。在一实施态样中，该垂直围封590与该垂直支撑570连接并由其支撑。因为微粒是由转动、滑动、或彼此接触的机械零组件产生，确保该垂直移动组件95内的零组件不会在传送所述基材通过该群集工具10时污染基材表面是很重要的。该围封590 因此形成一封入区域，其最小化在该围封590内产生的微粒抵达基材表面的机会。微粒污染对于元件合格率，因此群集工具的CoO有直接影响。因此，在一实施态样中，该狭缝593 的尺寸(即长度和宽度)及/或该风扇582的尺寸(例如流速)是经配置得使可从该垂直移动组件95脱出的微粒数量最小化。在一实施态样中，该狭缝593的长度(Z方向)和宽度(X方向)和该风扇582的尺寸是经选择，而使在该外壁591外部的一点和在该内部区域 586间产生的压降介于约0. 02英寸水柱( 5帕)和约1英寸水柱( 250帕)之间。在一实施态样中，该狭缝593的宽度介于约0. 25英寸和约6英寸间。在此所述的实施例通常优于先前技艺设计，其是适于利用必须折迭、套迭或缩进自身内以达到其最低垂直位置的零组件来举起所述机械臂零组件。议题的产生是因为该机械臂的最低位置受到必须折迭、套迭或缩进自身内的垂直移动零组件的尺寸和方位所限是肇因于该垂直移动零组件的干扰。当其无法更进一步缩回时，该先前技艺垂直移动零组件的位置通常被称为「无效空间(dead space)」，或「坚实高度(solid height)」，因为该最低机械臂位置受到所述缩回零组件高度的限制的事实。一般来说，在此所述的实施例跳脱此问题，因为该一或多个传送机械臂组件86的底部并未有该垂直移动组件95内的零组件在下方支撑，因此该最低位置仅受到该线性轨道574的长度和所述机械臂硬件组件85零组件的尺寸所限。在一实施例中，如第13A-13B图所示，所述机械臂组件是由装设在该垂直滑轨组件577上的支撑板321以悬臂梁方式支撑。应注意到第10C-10E所示的该支撑板321和该机械臂硬件组件85的零组件配置法并不意欲限制在此所述的本发明的范围，因为该支撑板321和该机械臂硬件组件85的方位可以调整而达到预期的结构刚度，及/或预期的垂直移动组件95的垂直轨迹。在此所述的垂直移动组件95的实施例也优于先前技艺垂直移动设计，例如必须折迭、套迭或缩进自身内者，源自于该机械臂硬件组件85的移动因为沿着一垂直滑轨组件 577的强制移动而改善的精确度及/或准确度。因此，在本发明的一实施态样中，该机械臂硬件组件的移动总是由一刚性构件引导(例如垂直滑轨组件577)，其提供所述零组件结构刚度和位置精确度，当其沿着该垂直移动组件95的长度移动时。双水平移动组件配置法第14A图示出使用两个可用来做为一或多个上面第1-6图所示的机械臂组件 IlA-H的水平移动组件90的机械臂组件11的一实施例。在此配置法中，该机械臂组件11 一般含有一机械臂硬件组件85、一垂直移动组件95及两个水平机械臂组件90 (例如元件 90A和90B)。因此可利用所述机械臂硬件组件85、垂直机械臂组件95和水平机械臂组件 90A-B的协同移动及从该系统控制器101传来的指令将一基材设置在任何预期的χ、y和ζ 位置上。此配置法的一优势在于该垂直移动组件95沿着该传送方向(χ方向)的动态移动期间，该机械臂组件11结构的刚度可增强，容许移动期间有较高的加速度，因此具有改善的基材传送时间。在一实施态样中，该垂直移动组件95、该上水平移动组件90B和该下水平移动组件90A的零组件含有与上面讨论者相同的基本零组件，因此在适当时使用相同的元件符号。在一实施态样中，垂直移动组件95与该下长形安装座451A及上长形安装座451B连接， 其是利用留置在每一个水平移动组件90A和90B内的移动组件442沿着χ方向设置。在该机械臂组件11的另一实施例中，单一个移动组件442装设在所述水平移动组件的其中一个上(例如元件90A)，而其他水平移动组件(例如元件90B)作用仅为一支撑，以引导该垂直移动组件95的一端。基材分组
在尝试在市场上更有竞争力，因而需要降低持有成本的努力下，电子元件制造商通常花费大量时间试图最佳化制程程序和腔室制程时间，以在已知的群集工具结构限制及腔室制程时间下达到可能的最大基材产能。在具有短的腔室制程时间及大量制程步骤的制程程序中，处理基材的一大部分时间被在一群集工具的各个制程腔室间传送所述基材的制程占据。在该群集工具10的一实施例中，该CoO是藉由将基材分组并以两个或多个为一组的方式传送及处理所述基材来降低。此类的平行处理因此增加系统产能，并减少一机械臂在所述制程腔室间传送一批基材必须进行的移动，因此减少该机械臂的损耗并增加系统可靠度。在该群集工具10的一实施例中，该前端机械臂组件15、所述机械臂组件11(例如第1-6图的元件IlAUlB等等)及/或该后端机械臂组件40可适于以两个或多个一组的方式传送基材，以藉由平行处理所述基材来改善系统产能。例如，在一实施态样中，该机械臂硬件组件85具有多个可独立控制的传送机械臂组件86A和86B (第IOB图)，其是用来从复数个制程腔室汲取一或多个基材，然后传送并放置所述基材在复数个随后的制程腔室内。在另一实施态样中，每一个传送机械臂组件86(例如86A或86B)适于分开汲取、传送及放下多个基材。在此情况中，例如，具有两个传送机械臂组件86的机械臂硬件组件85可适于利用第一叶片87A从第一制程腔室汲取基材"W”，然后移至第二制程腔室以利用第二叶片87B汲取一基材，因此两基材可以一组的方式传送及放下。在该机械臂组件11的一实施例中，如第15A图所示者，该械臂硬件组件85含有两个机械臂硬件组件85 (例如元件85A和85B)，其具有至少一个传送机械臂组件86，其是隔开一预期距离或高度(元件A)，并且适于从两个不同的制程腔室同时汲取或放下基材。该两个机械臂硬件组件85间的距离，或高度差A可经配置以对应装设在所述制程架之内的两个制程腔室间的间隔，因此使该机械臂组件11可以一次同时存取该两个制程腔室。此配置法由于能够成组传送两个或多个基材，因此在改善基材产能和群集工具可靠度上是特别有优势的。机械臂叶片硬件配置法第16A-16D图示出一机械臂叶片组件900的一实施例，其可与在此所述的某些实施例并用以支撑并留置一基材”W”，在其由一机械臂组件传送通过该群集工具10时。在一实施例中，该机械臂叶片组件900可适于取代该叶片87，因此可在形成于该叶片基座901上的连接点处(元件CP)与第10A-10E图所示的所述第一滑轮系统355或第二滑轮系统361 零组件连接。本发明的机械臂叶片组件900适于抓持，「攫取」，或限制一基材”W”，因此基材在传送制程期间所经历的加速度不会使该基材位置从该机械臂叶片组件900上的已知位置上移开。基材在传送制程期间的移动会产生微粒而降低该机械臂的基材定位精确度及可重复性。在最糟的情况下，所述加速度会让基材从该机械臂叶片组件900上掉出来。该基材经历的加速度可分为三个部分水平径向加速度部分、水平轴向加速度部分及垂直加速度部分。该基材所经历的加速度在该基材在χ、γ和Z方向上加速或减速时产生，在该基材移动通过该群集工具10期间。参见第16Α图，该水平径向加速度部分和该水平轴向加速度部分是分别显示为力量Fa*!^所经历到的力量与该基材的质量乘以基材加速度减去该基材和该机械臂叶片组件900零组件间所创造出的任何摩擦力相关。在上述实施例中，该径向加速度通常是在基材被一传送机械臂组件86旋转进入定位时发生，并且可在任一方向(即+Y或-Y方向)上起作用。该轴向加速度通常是在基材由该水平移动组件 90及/或该传送机械臂组件86的移动设置在X方向上时产生，并且可在任一方向(即+X 或-X方向)上作用。该垂直加速度通常是在该基材由该垂直移动组件95设置在ζ方向上时发生，并且可在任一方向(即+Z或-Z方向)上或悬臂梁诱发结构震动时作用。第16A图是该机械臂叶片组件900的一实施例的简要平面图，其适于支撑该基材”W”。该机械臂叶片组件900 —般含有一叶片基座901、一促动器910、一制动机构920、 一位置感应器930、一夹钳组件905、一或多个反应构件908 (例如示出一个)、以及一或多个基材支撑零组件909。该夹钳组件905 —般含有一夹钳板906及装设在该夹钳板906上的一或多个接触构件907 (即第16A图所示的两个接触构件)。该夹钳板906、接触构件907、 反应构件908、及叶片基座901可由金属(例如铝、涂布镍的铝、SST)、陶瓷材料(例如碳化硅)、或能够可靠的承受该机械臂叶片组件900在该传送制程期间经历的加速度(例如 10-30m/s2)，并且不会因为与该基材间的交互作用而产生或吸引微粒的塑胶材料制成。第 16B图是第16A图所示的机械臂叶片组件900的侧面简要剖面图，其已经过该机械臂叶片组件900的中央切断。为了简明，设置在第16B图的剖面平面后的零组件向隅(例如接触构件907)，但是该制动组件930尚留在此图中。参见第16A和16B图，使用时该基材"W”被该促动器910通过该夹钳组件905的接触构件907传送至基材” W”的抓持力(F1)压迫倚靠该反应构件908的留置表面908B。在一实施态样中，所述接触构件907适于接触并迫使该基材”W”的边缘”E”倚靠该留置表面 908B。在一实施态样中，该抓持力可介于约0.01和约3公斤力(kgf)间。在一实施例中， 如第16A图所示，倾向于让所述接触构件907以一角距离”A”间隔分布，以提供该基材轴向和径向的支撑，当其由该机械臂组件11传送时。限制该基材以使其能够利用该机械臂叶片组件900可靠地传送通过该群集工具 10的制程通常需要三个步骤来完成。应注意到下面描述的一或多个步骤可以同步或依序完成，而不会偏离在此所述的本发明的基本范围。在开始汲取一基材的制程之前，该夹钳组件905在+X方向上缩回(未示出)。该第一步骤在从一基材支撑零组件(例如第11A-11I 图的元件532A、第2A、3A图的通道位置9A-H等等)上汲取一基材时开始，因此该基材分别停留在该反应构件908以及基材支撑零组件909上的基材支撑表面908A和909A上。接下来，该夹钳组件905在X方向上移动，直到该基材被该促动器910通过该夹钳组件905的接触构件907和该反应构件908传送至基材”W”的抓持力(F1)限制在该机械臂叶片组件900 上为止。在最后一个步骤中，该制动机构920将该夹钳组件905保持，或「锁」在适当位置上，以避免该基材在该传送制程期间的加速度显著地改变该抓持力(F1)，因而使该基材可相对于所述支撑表面移动。在该制动机构920限制住该夹钳组件905后，即可将该基材传送至该群集工具10的另一点。欲将基材放到一基材支撑零组件上，可以相反次序完成上述步骤。在该机械臂叶片组件900的一实施态样中，该制动机构920是适于在传送期间在至少一个方向上(例如+X方向)限制该夹钳组件905的移动。在与该夹钳组件905供给的抓持力(F1)相反的方向上限制该夹钳组件905移动的能力可避免该(等)水平轴向加速度使该抓持力显著降低，因而让该基材可以移动，这可能产生微粒，或在传送期间从该叶片组件900掉落。在另一实施态样中，该制动机构920适于在至少两个方向上(例如+X和-X方向)限制该夹钳组件905的移动。在此配置中，在与该抓持力(F1)方向平行的方向上限制该夹钳组件移动的能力可避免该(等)水平轴向加速度使该抓持力显著增加，这可能使基材毁坏或碎裂，或显著降低，这可能产生微粒或让该基材掉落。在又另一实施例中，该制动机构905适于限制该夹钳组件905所有的六个自由度，以避免，或最小化，该基材的移动。 在一预期方向上限制该夹钳组件905移动的能力可利用适于限制该夹钳组件905移动的零组件来完成。可用来限制该夹钳组件905移动的典型零组件包含习知栓锁机构(例如门闩型机构)，或其他类似装置。在一实施态样中，该夹钳组件905的移动是由供给一限制力 (第16A图的元件ig的机构来限制，例如上面讨论的相反制动组件920A。在一实施例中，使用一位置感应器930来感应该夹钳板906的位置，而使该控制器 101可以在传送期间的任何时间点判定该叶片组件900的状态。在一实施态样中，该位置感应器930适于感应到并没有基材设置在该叶片组件900上，或是该基材已经在该支撑表面上(元件908A和909A)错位，藉由注意到该夹钳板906在-X方向上移动得太远，因为该夹钳板906的位置和该促动器910传送的力量间的距离。同样地，该位置感应器930和控制器101可适于感应到一基材的存在，藉由注意到该夹钳板906的位置在相应于一基材存在时可接受的位置范围内。在一实施态样中，该位置感应器930是由设置在预期点上的复数个光学位置感应器、一线性差动变压器(LVDT)或可用来辨明该夹钳板906的可接受和不可接受的位置的其他可比拟的位置感应装置组成。第16C图简要示出一叶片组件(元件900A)的一实施例的平面图，其具有取代第 16A图的制动机构920的简要表示的相反制动组件920A。该相反制动组件920A适于在基材传送期间将该夹钳板906限制在定位上。第16C图所示的实施例与第16A-B图所示的配置法相似，除了添加该相反制动组件920A、促动器组件910A和多个支撑零组件之外，因此，为了简明，在适当时使用相同的元件符号。该机械臂叶片组件900A的实施例一般含有一叶片基座901、一促动器组件910A、一相反制动机构920A、一位置感应器930、一夹钳组件905、一反应构件908、以及一基材支撑零组件909。在一实施例中，该夹钳板906是装设在一线性滑轨(未示出)上，其与该叶片基座901连接以对准并限制该夹钳板906在预期方向(例如X方向)上的移动。在一实施例中，该促动器组件910A含有一促动器911、一促动器连结杆911A、一连结构件912、一滑轨组件914、一连接构件915、以及与该连结构件912连接并通过该连接构件915与夹钳板906连接的连接板916。该连结构件912可以是一般用来将各种移动控制零组件连接在一起的习知连结接合或「浮动接合(floating joint) J0在一实施例中，该连接板916是直接与该促动器911的促动器连结杆911A连接。该滑轨组件914可以是习知线性滑轨组件，或滚珠轴承滑轨，其与该连接板916连接以对准并引导该连接板的移动，因而该夹钳板906的移动。该促动器911适于藉由移动该连结杆911A、连结构件912、连接构件 915、和连接板916来设置该夹钳板906。在一实施态样中，该促动器911是一气压缸(air cylinder)、线性马达或其他可比拟的设置及传力装置。在一实施例中，该相反制动组件920A含有一促动器921，其与该叶片基座901连接，并与一制动接触构件922连结。在此配置法中，该相反制动组件921A适于「锁住」，或限制，该夹钳板906，源自于该相反制动组件920A产生的限制力F2。在一实施例中，该限制力 F2是由形成在该连接板916和该制动接触构件922间的摩擦力形成，当该促动器921迫使(元件F3)该制动接触构件922倚靠着该连接板916时。在此配置法中，该滑轨组件914是经设计以接受该促动器921传送的制动力所F3产生的侧负载(side load)。产生的将该夹钳板906保持在定位的限制力F3等于该制动力乘以该制动接触构件922和该连接板916间创造出的静摩擦是数。该促动器921的尺寸、以及制动接触构件922和该连接板916材料和表面处理的选择可以最佳化，以确保所产生的限制力总是比传送期间该基材加速期间所产生的任何力量大。在一实施态样中，所产生的限制力F2在约0. 5和约3. 5公斤力(kgf) 范围内。在一实施态样中，该制动接触构件922可由橡胶或聚合物型材料制成，例如聚氨酯 (polyurethane)、乙烯-丙烯橡胶(EPDM)、天然橡胶或其他适合的聚合物材料，而该连接板 916是由铝合金或不锈钢合金制成。在一实施例中，该促动器的连结杆911A直接与该夹钳板906连结，而该相反制动组件920A的制动接触构件922适于接触该连结杆911A或该夹钳板，以避免其移动。第16D图简要示出该叶片组件900A的一实施例的平面图，其具有与第16C图所示者不同的相反制动组件920A的配置。在此配置法中，该相反制动组件920A含有在一端与该制动接触构件922连接的杠杆臂923、在该杠杆臂另一端则具有该促动器921、以及设置在该杠杆臂两端之间某处的枢轴点”P”。在一实施态样中，该枢轴点与该叶片基座901连接， 并且适于在该制动接触构件922被压迫倚靠该连接板916时支撑该杠杆臂923和从该促动器921供给至该杠杆臂923的力量F4。在此配置法中，藉由策略性地设置该枢轴点”P”，可利用该杠杆臂923创造出机械优势，其可用来供给超过直接与该促动器921的力量产生零组件接触可达到的力量的制动力F3,因而限制力F2。第16D图也示出该叶片组件900A的一实施例，其含有设置在该夹钳板906和连接构件915间的顺应构件917，以帮助感应基材存在或不存在该叶片组件900A上。该顺应构件一般加入与该设置感应器930和控制器101并用的额外的自由度，以感应该基材是否存在该叶片组件900A上，一旦该限制力F2已经应用至连接板916上。若该叶片组件900A中没有其他自由度的存在，则防止或抑制该夹钳板906移动的限制力F2会因而使该位置感应器930和控制器101在基材传送之前或期间无法侦测基材的移动或损失。因此，在一实施例中，该促动器组件910—般含有一促动器911、一促动器连结杆 911A、一连结构件912、一滑轨组件914、一连接构件915、一顺应构件917、一夹钳板滑轨组件918、以及与该连结构件912连接并通过该连接构件915及顺应构件917与该夹钳板906 连接的连接板916。该夹钳板滑轨组件918 —般是一习知线性滑轨组件，或滚珠轴承滑轨， 其与该夹钳板906连接以对准并引导其移动。该顺应构件917 —般是一弹性零组件，例如一弹簧、弯曲件或其他类似装置，其可在释放施加抓持力F1期间其挠曲产生的位能时传送足够的力量，以在该基材移动或「迷途」 时使该夹钳板906移动可轻易由该位置感应器930测量到的量。在一实施态样中，该顺应构件917是一弹簧，其具有足够低的弹簧常数(spring rate)，而使其可在应用该抓持力F1 至该基材时达到「坚实高度」。在另一实施态样中，该连接构件915、顺应构件917和夹钳板 906是经设计而使得在应用该抓持力F1时，该连接构件915会与该夹钳板906接触，或底部接触在该夹钳板上。这些类型的配置法的一优势在于其避免抓持力F1在传送期间改变，因为该顺应构件917无法进一步挠曲，肇因于该基材在传送期间经历到的加速度，这会减少所产生的微粒数量并避免该基材的损失。
如下步骤意欲示出该顺应构件917如何可在施加该限制力F2至该连接板916之后用来感应该基材在该叶片组件900A上的存在的范例。在该第一步骤中，该促动器911通过该夹钳组件905内的接触构件907和该反应构件908施加该抓持力F1至该基材，这使该顺应构件917挠曲让该连接构件915和该夹钳板906间的缝隙”G”缩小的量。该控制器101 然后藉由监控并注记从该位置感应器930接收到的资讯来检查以确认该夹钳板906位于可接受的位置上。一旦感应到该基材，因此是在该叶片组件900A上的预期位置处，即施加该限制力F2至该连接板916以限制其在与该抓持力(F1)方向平行的方向上的移动。然后若该基材移动，及/或变为「去抓持(un-gripped)」，该顺应构件917内产生的位能，因为施加该抓持力F1期间的挠曲，会使该夹钳板906移离该受限制的连接板916，其接着由该位置感应器930和控制器101感应。该位置感应器930注记的该夹钳板906的移动会使该控制器 101停止该传送制程或避免传送制程发生，其可帮助避免该基材和系统的损害。虽然前述是针对本发明的实施例，但本发明的其他及进一步实施例可在不背离其基本范围下设计出，而其范围是由所附的权利要求所界定。
权利要求
1.一种机械臂组件，包括一第一移动组件，可在第一方向上移动；以及一第二移动组件，该第二移动组件耦合于所述第一移动组件并可相对于所述第一移动组件在基本垂直于所述第一方向的第二方向上移动，其中所述机械臂组件还包括 一围封，设置于所述第一移动组件或者所述第二移动组件之一中； 一促动器，在所述围封内；一风扇组件，设置于所述围封中，适于在所述围封内产生一小于该围封外部压力的压力。
2.如权利要求1所述的机械臂组件，其特征在于，所述围封包含垂直促动器组件的至少一部分。
3.如权利要求2所述的机械臂组件，其特征在于，所述垂直促动器组件包括一线性轨道。
4.如权利要求2所述的机械臂组件，其特征在于，所述垂直促动器组件包括一皮带。
5.如权利要求2所述的机械臂组件，其特征在于，所述垂直促动器组件包括一支撑板， 该支撑板上设置有一转移机械臂。
6.如权利要求2所述的机械臂组件，其特征在于，所述垂直促动器组件耦合于一滑轨板，该滑轨板可相对于一设置于所述第二移动组件中的水平促动器组件移动。
7.如权利要求2所述的机械臂组件，其特征在于，所述围封包含水平促动器组件的至少一部分。
8.如权利要求7所述的机械臂组件，其特征在于，所述水平促动器组件耦合于一基座结构。
9.如权利要求8所述的机械臂组件，其特征在于，所述基座结构包括多个穿孔。
10.一种用于在群集工具中转移基材的机械臂组件，该机械臂组件包括机械臂，适于将基材定位于基本上包含于一平面内的一个或多个点，该机械臂包括 一第一移动组件，包括一滑轨组件，其含有与沿第一方向定位的第一线性轨道耦合的块状物； 一支撑板，耦合于所述块状物和所述机械臂；一围封，具有一个或多个壁，所述一个或多个壁形成基本围绕所述滑轨组件的第一内部区域且一促动器设置于所述围封内；以及第一风扇组件，与所述第一内部区域连通并适于在所述第一内部区域中产生小于所述第一内部区域的外部压力的压力。
11.如权利要求10所述的机械臂组件，其特征在于，所述第一移动组件包括一狭缝，该狭缝形成于所述围封的一个或多个壁中的一个壁中，所述支撑板延伸通过该狭缝。
12.如权利要求10所述的机械臂组件，其特征在于，所述第一移动组件耦合于所述第二移动组件。
13.如权利要求12所述的机械臂组件，其特征在于，所述第二移动组件耦合于一沿第二方向定位的第二线性轨道。
14.如权利要求13所述的机械臂组件，其特征在于，所述第二方向基本垂直于所述第一方向。
15.如权利要求12所述的机械臂组件，其特征在于，所述第二移动组件包括 一个或多个壁，所述一个或多个壁形成与所述第一内部区域流体连通的第二内部区域。
16.一种用于在群集工具中转移基材的机械臂组件，该机械臂组件包括 一第一移动组件，包括一第一促动器组件，适于相对于沿第一方向定位的第一线性轨道来定位机械臂，所述第一促动器组件设置于所述第一移动组件内的第一围封中，所述第一围封具有一个或多个壁，所述一个或多个壁形成第一内部区域并包含第一风扇组件；以及一第二移动组件，耦合于沿基本垂直于所述第一方向的第二方向定位的第二线性轨道。
17.如权利要求16所述的机械臂组件，其特征在于，所述第一促动器组件还包括 一滑轨组件，当所述机械臂由所述第一促动器组件定位时引导该机械臂。
18.如权利要求16所述的机械臂组件，其特征在于，所述第二移动组件还包括一第二促动器组件。
19.如权利要求18所述的机械臂组件，其特征在于，所述第二移动组件还包括一第二围封，具有一个或多个壁，所述一个或多个壁围绕所述第二促动器组件以形成一第二内部区域。
20.如权利要求19所述的机械臂组件，其特征在于，所述第二移动组件还包括 一第二风扇组件，与所述第二内部区域流体连通。
21.如权利要求19所述的机械臂组件，其特征在于，所述第一内部区域与所述第二内部区域流体连通。
22.如权利要求19所述的机械臂组件，其特征在于，所述第一围封或第二围封之一包括一过滤器，适于包含所述第一内部区域和所述第二内部区域内的颗粒。
全文摘要
本发明涉及一种笛卡尔机械臂群集工具架构。兹提供一种使用多腔室制程系统来处理基材的方法及设备，该系统具有增加的产能、增强的系统可靠度、改善的元件合格率表现、再现性更高的晶片制程历史、以及较小的占地面积(foot print)。该群集工具的各种实施例可使用以平行制程配置法配置的两个或多个机械臂，以在留置在所述制程架内的各个制程腔室间传送基材，因而可执行预期的制程程序。在一实施态样中，该平行制程配置法包含两个或多个机械臂组件，其是适于在垂直和水平方向上移动，以存取留置在所述制程架内的若干制程腔室。在一实施例中，一机械臂叶片适于限制一基材，使得传送过程期间该基材所经历的加速不会使该机械臂叶片上的基材位置改变。
文档编号G03F7/20GK102176425SQ20111008000
公开日2011年9月7日 申请日期2006年4月7日 优先权日2005年4月22日
发明者C·卡尔森, D·C·鲁泽克, D·塞法缇, E·英格哈特, J·胡金斯, K·范凯特, M·利斯, M·库查, R·劳伦斯, S·洪乔姆, V·沙阿, V·霍斯金, W·T·威弗 申请人:应用材料股份有限公司