一种使用角度调谐滤光片的光纤光栅波长解调系统和方法

文档序号:2793573阅读:94来源:国知局
专利名称:一种使用角度调谐滤光片的光纤光栅波长解调系统和方法
技术领域
本发明属于光纤光栅传感、分布式光学测量、物联网技术领域,涉及到一种分布式传感用高精度光纤光栅波长解调系统。特别适合于高精度、高可靠性、宽带实时光纤光栅波长解调,能够实现大范围分布式光纤传感。
背景技术
随着光纤传感技术及物联网行业的快速发展,基于光纤光栅的分布式温度、压力、 应变、振动等类型光纤传感测量系统正大范围的应用于石化、电力、铁路、桥梁、隧道、土木工程等国民工程领域。光纤光栅传感器以其特有的高可靠性、抗电磁辐射、耐高压、质量轻、 寿命长及其对光强度不敏感的波长编码特性,在无源传感器领域具有极好的应用前景。在光纤光栅传感系统中,对环境中物理量(温度、压力、应变、加速度等)的感知是以测量光纤光栅结构的特征波长来实现的,因此该类型光学传感对波长解调系统有很高的使用需求, 要求该解调系统具有调谐范围宽、测量准确度高、稳定性好、可靠性高、产业化成本低的特点ο从光纤光栅的发明至今,在传感器应用领域科学家、工程师们已经开发出多种波长调制解调技术,主要有以下几种(1)直接使用光谱仪、波长计测量由光纤光栅反射的光谱,该种方式的测量速度较慢,且仪器设备价格昂贵,仅适合于实验室、工厂车间等具备较好操作环境;(2)利用可调谐激光器作为激光光源,在一定范围内进行光谱扫描,根据反射谱的最大值在往复扫描期内的相对时间来确定光栅的特征波长,该种方法对光源的功率要求不高,容易实现多路复用,但对光源的品质要求苛刻,光源成本高;C3)利用宽谱光源和可调谐滤波器作为光功率输入,通过功率计监测整形后峰值脉冲信号的相对位置来确定光纤光栅的特征波长,该种解调技术对宽谱光源的光功率的强度、光源的稳定性以及谱线宽度的要求较高,同时通过使用可调谐光学滤波器来实现光波长信号峰的确定。光学可调谐滤波器目前在市场上有比较好的应用前景的主要有如下几类光纤法布里-珀罗型可调谐滤波器、光纤光栅型可调谐滤波器、角度调谐滤光片型可调谐滤波器; 其中前两种光纤型可调谐滤波器使用压电陶瓷驱动,受限于压电陶瓷材料的特性,存在一定的迟滞效应,且使用寿命受限,并且目前该种器件主要依赖进口,价格较高,不利于产业化生产。光栅滤波器利用的是光纤布拉格衍射,采用控制温度变化或应力来调谐波长,其带宽和信道隔离度都较好,但其调谐范围小,容易受到外界环境的影响特性,长期稳定性不好,一直没有在实际工程中应用。F-P(法布里-珀罗)型可调谐光滤波器(参见中国专利CN1^8351A)的优点是插入损耗低,调谐速度快精细度高,是密集波分复用系统中的重要元件;另外还可以与探测器、激光器、波长转换器结合使用进行波长探测(参见中国专利 200610013454. 8);美国公司MOI的FFP(光纤法布里-珀罗)(参见美国专利US5212746) 采用的压电陶瓷带动FP移动进行滤波,调谐速度快,调谐范围宽,但结构复杂,价格昂贵, 且存在较大的漂移量,影响其长期使用寿命。介质薄膜滤波器(参见中国专利CN1532618, CN201449502, CN1996074A)具有很好的热稳定性,具有非常低的温度系数,能够保证长期的稳定性,且具有较低偏振相关损耗、低色散等优势;基于角度调谐型滤光片的可调谐滤波器因其结构稳定、可靠、易于加工,目前国内外市场上已有相关产品出现(参见中国专利 CN200920061296. 2,03128005. 6,200610125495. 6),但是应用领域集中在光纤通信行业,主要作为密集波分复用(DWDM)系统中的核心组件来使用,在光纤传感领域还未见相关产品出现。随着新技术的不断涌现,在一些刊物里面也介绍了其他集中类型的光学滤波器,例如马赫-曾德尔光滤波器、声光可调谐光滤波器(参见中国专利200910063191. 5)、液晶光调谐滤波器(参见中国专利201020129713.幻,其中马赫-曾德尔光滤波器的优点是信道间隔可以做到很小,制造成本低,对偏振很不灵敏,串音很低;缺点是频率间隔Δ ·必须非常精确地控制,且所有信道的频率间隔都必须是Δ f的倍数才行,调谐控制复杂、速度较慢;声光可调谐光滤波器(参见中国专利CN1449507A)具有较宽的调谐带宽(几百个nm),可同时选择多个波长,缺点是对偏振态敏感,分辨率较低(约Inm);液晶光调谐滤波器调谐电压低,属于块状结构,不利于与光纤的输入输出耦合;并且对光信号的偏振态敏感,液晶材料的吸收与散射的损耗较大,并不适合于大规模的工业化运用。鉴于光纤光栅传感器市场的逐步发展壮大,亟需高可靠性、低成本、长寿命、高重复性的可调谐滤波器模块及基于该种关键元件的解调仪表及相关系统。虽然光纤光栅波长解调技术有很多,也存在多种可调谐滤波技术及相关应用可供用户选择,但还没有一种方法能够同时满足高速、实时、宽带、高精度、低成本、长寿命、高可靠性等产业化生产需求的波长解调系统。

发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种使用角度调谐滤光片的光纤光栅波长解调系统和方法,使用本发明能够提高光纤光栅测量系统的产品可靠性,提高产品品质,加速光纤光栅传感器产业化实施,降低传感系统的成本,提高使用寿命,降低产品返修率,实现高速实时、宽带、高精度、低成本、长寿命、高可靠性的波长解调。本发明所采用的技术方案是一种高精度光纤光栅波长解调系统,包括依次相连的宽谱光源、可调谐滤波器和光分路器,光分路器接有光纤光栅阵列和梳状滤波器;光分路器还接有光电转换与信号处理系统。可调谐滤波器的工作带宽典型值为40nm,3dB带宽典型值为0. Inm0所述的系统,所述可调谐滤波器,光线经输入端口入射,沿着入射的方向依次通过包括角度调谐滤光片和反射棱镜,光线经反射棱镜反射后再通过角度调谐滤光片的另一端到达输出端口。滤光片由电机驱动,可绕自身轴线平稳旋转,并采用了反馈控制算法与电路。光线经过直角反射棱镜后两次通过可调谐滤波器。所述的系统,角度调谐滤光片采用介质薄膜滤光片。所述的系统,输入端口和角度调谐滤光片之间沿着光线入射的方向依次设有第一偏振分光器和第一半波片,角度调谐滤光片和输出端口之间沿着光线出射的方向依次设有第二半波片和第二偏振分光器。所述的系统,角度调谐滤光片和反射棱镜之间的入射光路上还设有第一光束整形棱镜,角度调谐滤光片和第二半波片之间的出射光路上还设有第二光束整形棱镜。所述的系统,输入端口和第一偏振分光器之间还接有第一光纤准直器,第二偏振分光器和输出端口之间还接有第二光纤准直器。所述的系统,角度调谐滤光片由PID反馈控制的电机进行驱动。所述的系统,光电转换与信号处理系统包括相连的光电转换与信号整形模块和信号处理模块,电转换与信号整形模块与光分路器的输出端相连。一种高精度光纤光栅波长解调系统的解调方法,包括宽谱光源发出的宽带光经过可调谐滤波器后形成中心波长周期变化的窄带光,再经过光分路器后进入光纤光栅阵列与梳状滤波器,由光纤光栅阵列反射回的载有待测物理量信息的光栅反射光信号与梳状滤波器的透射光谱信号经过光电转换与信号整形模块处理后,生成待测脉冲信号,最后根据待测脉冲信号与参考脉冲信号的时间关系解调出待测光纤光栅的特征波长。所述的方法,光电转换与信号整形模块输出的待测脉冲信号包括整形处理后的梳状滤波器的透射光谱信号和光纤光栅阵列的反射光信号,解调待测光纤光栅的特征波长 λ^的方法是根据下式进行λ0 = ·(λ ”、,入2,t2,t0)其中λ ρ λ 2分别表示在、、t2时刻所述透射光谱信号的参考波长值,t0对应所述反射光信号的时刻,f表示特征函数关系;根据附图3所示,利用待测脉冲信号与参考脉冲信号之间的相对位置关系,再结再结合可调谐滤波器的透射谱曲线,即可通过特种插值算法给出待测光纤光栅的特征波长。所述的方法,光电转换与信号整形模块输出的待测脉冲信号包括整形处理后的梳状滤波器的透射光谱信号和光纤光栅阵列的反射光信号,解调待测光纤光栅的特征波长入^的方法是首先使用梳状滤波器对角度调谐滤波片进行标定,给出一定角度偏移时对应的角度调谐滤波片的特征波长;然后再根据偏转角度与电机的驱动控制信号的关系给出所述一定角度偏移情况下的光纤光栅阵列的特征波长,即已知初始时刻特征波长λ κ和电机的转动速度ω,当检测出所述透射光谱信号的时间、和所述反射光信号出现的时间t,利用公式λ 0 = λ Rcos ( ω t) /cos ( ω t0),即可以解调出传感光栅波长信号。所述的方法,所述特种插值算法为四象限解调算法。若电机开始旋转时的角度为 0°,当滤光片的旋转角度历经0° 90°、90° 180°、180° 270°、270° 360°时, 根据滤光片与光线入射角度的对称性,旋转一周将四次透射同一个波长。这样当滤光片旋转一周时,后续信号处理系统可读取的光纤光栅特征波长的次数增加四倍;本发明是一种使用角度调谐滤光片的高精度光纤光栅波长解调系统,具有如下优点低成本、高可靠性、长使用寿命,低产品返修率,能够实现高速实时、宽带、高精度的波长解调,有利于光纤光栅传感产业的快速发展。


图1为光纤光栅传感解调系统的总体框图。图2为可调谐滤波器的光路结构示意图。图3光纤光栅传感器波长解调算法原理示意图。
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图4滤光片勻速旋转一周时获得的标准具信号。图中,1 宽谱光源;2 可调谐滤波器;3 光分路器;4 光纤光栅阵列;5 信号处理及计算机显示与通信模块;6 光电转换与信号整形模块;7 梳状滤波器;8 输入端口 ;9 输出端口 ;10 第一光纤准直器;11 第一偏振分光器;12 第一半波片;13 角度调谐滤光片;14 第一光束整形棱镜;15 反射棱镜;16 第二光束整形棱镜;17 第二半波片;18 第二偏振分光器;19 第二光纤准直器。
具体实施例方式本发明的基本原理宽谱光源发出的宽带光经过角度调谐型干涉滤光片后形成中心波长周期变化的窄带光,经过1*N分路器后进入光纤光栅传感器阵列与波长参考用梳状滤波器,由光纤光栅反射回的载有待测物理量信息的反射光信号与梳状滤波器的透射光谱信号经过光电探测与整形电路处理后,生成待测脉冲信号,当使用角度调谐型滤光片在电机的驱动下勻速旋转一周时,根据待测光栅脉冲信号与波长参考脉冲信号之间的相对时间间隔与相互关系,利用特殊的插值算法即可解调出待测光纤光栅的特征波长,滤光片每转过360°,解调系统可以对同一个光纤光栅可完成四次波长解调。本发明的角度调谐滤光片的高精度光纤光栅波长解调系统,解调系统中宽带光源通过可调谐滤波器滤波后经过分路器,分路器其中某一通道连接标准具,其他通道接传感光栅。传感光栅信号和标准具的信号经过光电转换电路,当通过滤波器的峰值波长和传感光栅的波长重合时光强最大,经光电转换后得到待测脉冲信号;同样通过标准具后经光电转换后得到参考脉冲信号,检测脉冲信号和参考脉冲信号经过对比解调出检测信号。该解调系统包括宽谱光源1、基于角度调谐型干涉滤光片的可调谐滤波器2、1*N 光分路器3、光纤光栅阵列4、梳状滤波器7、光电转换与信号整形电路模块6、信号处理及计算机显示与通信模块5。构成角度调谐型可调谐光滤波器的光路结构为宽谱光源发出的光信号经光纤准直器输出至偏振分光器件,该偏振分光器件将入射光信号中的两种偏振态进行空间分离,其中P光经过波片后变为S态偏振光,与另一路S 态偏振光同时射向滤光片,通过使用偏振分光器件与波片可以克服大角度入射时引起的光谱偏振分离现象;滤光片在电机的驱动下做勻速转动,为保证系统的可靠性,保证电机的平稳运转,在电机驱动控制电路中引入了反馈控制环节,通过合适的数字PID算法及相应的电路模块实现滤光片的平稳转动;光线离开滤光片后通过整形棱镜组,以克服光线经过滤光片时导致的光斑变形,将椭圆形光斑整形成为标准的高斯光斑;经过直角棱镜的反射后, 光线经过折射改变方向,沿着与原光路相反的方向射向滤光片,此时两光束的偏振态相同, 在经过滤光片后,同样需要一组整形棱镜实现光斑整形,通过波片后两光束偏振态恢复为正交形式,进过另一个类似的偏振合光器件后,利用准直器进入光纤系统进行传输。由于光线两次通过具有相同厚度的滤光片,不仅可以克服单次经过滤光片时引起的光斑偏移,传输损耗增加的难题,还能够通过两次滤波行为,增强透射谱的纯度,使得经过两次经过滤波片后的窄带光谱的3dB带宽进一步变小,提高系统的波长分辨能力。其中光线由宽带光源1射向角度调谐型可调谐滤波器2后连接1*N光分路器3,基于角度调谐型干涉滤光片的可调谐滤波器2的结构如附图2所示。该可调谐滤波器包括输入端口 8、输出端口 9、以及由电机驱动的可绕自身轴线平稳旋转的滤光片。该种可调谐滤光片由以下光学部件组成光纤准直器10、19,偏振分光器件11、18,半波片12、17,干涉滤光片13,光束整形棱镜组14、16,直角反射棱镜15,其中干涉滤光片由带有反馈控制的电机驱动。由于可调谐滤波器2中的介质薄膜滤光片的存在,当光束倾斜入射时会产生一定的形变和展宽,导致耦合效率的降低,增加了器件整体的损耗,通过使用整形棱镜组14、16 补偿光束通过后所产生的形变,降低由于光斑形变所带来的传输损耗。由于可调谐滤波器 2中的介质薄膜滤光片存在一定的厚度,当滤光片转动一定角度时,光信号的传播路径会发生一定的平移,若直接在其后采用准直器进行耦合会增大器件的插入损耗,本发明利用直角反射棱镜15,让光信号重复通过具有一定厚度的滤波片2,完全补偿了光束的横向移动, 使光信号两次通过干涉滤光片2,进一步压缩了可调谐滤波器的3dB带宽,增强了系统的波长分辨能力,进一步提高波长解调精度;由于本发明利用滤光片进行角度调谐,因此驱动电机转速的稳定性对于系统性能十分重要,为提高驱动电机转速的稳定性,本系统采用反馈机制,联合利用数字PID(比例-积分-微分)算法与嵌入式硬件控制电机转速的平稳性, 因而能够显著提高系统的稳定性,解决工程应用中出现的相应使用缺陷。该解调系统的带负载能力取决于宽谱光源的光谱宽度、光源功率水平、角度调谐型滤光片的可调谐范围、传感器测量范围、系统中各个部件的光学插入损耗以及参考用梳状滤波器的透射峰特性,例如滤光片的可调谐光谱宽度为40·,光纤光栅的测量谱宽为 2nm,这样经过1*N分路器后,解调仪的单通道可以串接20个传感光栅;同时系统的解调速度可以通过控制驱动滤光片旋转的电机的转速来控制。使得该解调系统具备结构紧凑、快速调谐、高精度波长解调的技术特点。该解调系统在实现波长解调时,使用了四象限解调算法,若电机开始旋转时的角度为0°,当滤光片的旋转角度历经0° 90°、90° 180°、180° 270°、270° 360°时,根据滤光片与光线入射角度的对称性,旋转一周将四次透射同一个波长。这样当滤光片旋转一周时,后续信号处理系统可读取的光纤光栅特征波长的次数增加四倍。解调系统给出的光纤光栅的传感特征波长为λ ^ λ0 = ”、,入2,t2,t0)其中λ ” λ 2分别表示在t1; t2时刻解调系统给出的梳状滤波器的参考波长值;、 对应可调谐滤波器扫描时检测到的光纤光栅传感脉冲信号出现的时刻,根据附图3所示, 利用待测脉冲信号与参考脉冲信号之间的相对位置关系,再结合角度调谐型滤光片的透射谱曲线,即可通过特种插值算法给出待测光纤光栅的特征波长。同时由于该解调系统使用了角度调谐滤光片与梳状滤波器作为波长参考,还可以使用另一种方式实现波长解调,即首先使用梳状滤波器对角度调谐滤波片进行标定,给出一定角度偏移时对应的特征波长,然后再根据偏转角度与电机的驱动控制信号的关系给出某一偏移角度情况下的光纤光栅的特征波长,即已知参考波长λ κ和电机的转动速度ω,根据滤光片的透射波长和旋转相位的相互关系λ = 2nh cos(cot)/k,上式中,λ是滤光片的透射波长,η是滤光片光学薄膜的等效折射率,h是滤光片光学薄膜的等效厚度,t是滤光片旋转时的时刻,k是等效光波矢;只要检测出现参考脉冲的时间tQ和待测传感脉冲出现的时间t,利用公式
λ 0 = λ Kcos ( ω t)/cos ( ω t0),即可以解调出传感光栅波长信号。需要指出的是,根据滤光片的旋转角度与透射波长的对应关系,当勻速转动的滤光片旋转一周时,同一透射波长值可以重复出现四次,利用该性质可以将波长解调的速度提高四倍;如果对高速解调的需求不苛刻的情况下,可以对测量结果进行两次或是四次平均处理,以便获得更高精度的波长解调。如附图4所示,图中展示了使用角度调谐滤光片对波长参考用梳状滤波器的透射谱信号进行的测量,测量结果展示了滤光片在旋转一周时出现的与梳状滤波器的透射峰对应脉冲信号,可以看到当滤光片由0°到180°时的脉冲信号与180°至360°时获得的脉冲信号是对称分布的,0°到180°范围内获得的脉冲信号是以90°位置呈对称分布,180°至360°范围内的脉冲信号是以270°位置呈对称分布, 这反映了四象限解调算法的根本原理;同时图中脉冲与脉冲间的间隔以及脉冲与脉冲之间的宽度的不一致主要反映了角度调谐滤光片在勻速旋转时进行波长调谐的非线性行为,即滤光片的透射峰位置在勻速电机驱动的情况下具有随时间呈余弦函数特性的变化关系,这在解调算法的处理上也要求采用特殊的非线性插值算法进行波长解调。总之,该波长解调系统利用梳状滤波器作为波长参考,联合使用宽谱光源、可调谐光滤波器、光电信号探测与整形处理模块实现快速准确的光纤光栅波长测定,结合信号处理与计算机显示及通信模块完成对待监测环境中的温度、压力、加速度等类型物理量的实时监测及分布式组网测量功能。结合上述内容,下文给出一个包含具体解调过程的实施例解调过程实施例一将系统安装图1、图2所示的连接方式接通后,可调谐滤波器开始工作,步进电机控制滤光片勻速旋转,通过选择合适的滤光片,可调谐滤波器的波长扫描范围控制在 1530 1570nm之内,滤光片的3dB带宽为0.015nm,通过PID程序控制滤光片的恒定转速为 lrad/s。假设系统中只有一个传感用光纤光栅。波长解调系统在初始化阶段,利用波长参考用标准具7对可调谐滤波器进行波长校准,获得一系列的标准波长数值,假设待测光栅的特征波长处于1550. OOOnm和1552. OOOnm两个标准波长λ ^ λ 2之间,当外界待测物理量发生变化时,传感用光纤光栅的特征波长将随之变化,光电探测器接收到的脉冲信号如图3 所示,由信号处理系统取得的两个参考用标准脉冲λ ρ λ 2的时间分别为、=0. 00702sa2 =0.01400s,而光电探测电路获得的传感光栅脉冲λ的时刻为t,根据波长解调公式即可获得待测光纤光栅的特征波长,即
权利要求
1.一种高精度光纤光栅波长解调系统,其特征在于其包括依次相连的宽谱光源(1)、 可调谐滤波器( 和光分路器(3),光分路器( 接有光纤光栅阵列(4)和梳状滤波器(7); 光分路器C3)还接有光电转换与信号处理系统。
2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于所述可调谐滤波器O),光线经输入端口 (8)入射,沿着入射的方向依次通过包括角度调谐滤光片(13)和反射棱镜(15),光线经反射棱镜(1 反射后再通过角度调谐滤光片(1 的另一端到达输出端口(9)。
3.根据权利要求2所述的系统,其特征在于角度调谐滤光片(13)采用介质薄膜滤光片。
4.根据权利要求2所述的系统,其特征在于输入端口(8)和角度调谐滤光片(13)之间沿着光线入射的方向依次设有第一偏振分光器(11)和第一半波片(12),角度调谐滤光片(1 和输出端口(9)之间沿着光线出射的方向依次设有第二半波片(17)和第二偏振分光器(18)。
5.根据权利要求3所述的系统,其特征在于角度调谐滤光片(13)和反射棱镜(15)之间的入射光路上还设有第一光束整形棱镜(14),角度调谐滤光片(1 和第二半波片(17) 之间的出射光路上还设有第二光束整形棱镜(16)。
6.根据权利要求3所述的系统,其特征在于输入端口(8)和第一偏振分光器(11)之间还接有第一光纤准直器(10),第二偏振分光器(18)和输出端口(9)之间还接有第二光纤准直器(19)。
7.根据权利要求2所述的系统,其特征在于角度调谐滤光片(13)由PID反馈控制的电机进行驱动。
8.根据权利要求1所述的系统,其特征在于光电转换与信号处理系统包括相连的光电转换与信号整形模块(6)和信号处理模块( ,电转换与信号整形模块(6)与光分路器 (3 的输出端相连。
9.一种高精度光纤光栅波长解调系统的解调方法,其特征在于包括宽谱光源(1)发出的宽带光经过可调谐滤波器( 后形成中心波长周期变化的窄带光,再经过光分路器 (3)后进入光纤光栅阵列(4)与梳状滤波器(7),由光纤光栅阵列(4)反射回的载有待测物理量信息的光栅反射光信号与梳状滤波器(7)的透射光谱信号经过光电转换与信号整形模块(6)处理后,生成待测脉冲信号,最后根据待测脉冲信号与参考脉冲信号的时间关系解调出待测光纤光栅的特征波长。
10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,光电转换与信号整形模块(6)输出的待测脉冲信号包括整形处理后的梳状滤波器(7)的透射光谱信号和光纤光栅阵列(4)的反射光信号,解调待测光纤光栅的特征波长λ^的方法是根据下式进行入 0 = f (入 ” t” 入 2,t2,tQ)其中λ ρ λ 2分别表示在tl、t2时刻所述透射光谱信号的参考波长值,t0对应所述反射光信号的时刻,f表示特征函数关系;再结合可调谐滤波器O)的透射谱曲线,即可通过特种插值算法给出待测光纤光栅的特征波长。
11.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,光电转换与信号整形模块(6)输出的待测脉冲信号包括整形处理后的梳状滤波器(7)的透射光谱信号和光纤光栅阵列(4)的反射光信号,解调待测光纤光栅的特征波长λ ^的方法是首先使用梳状滤波器(7)对角度调谐滤波片(1 进行标定,给出一定角度偏移时对应的角度调谐滤波片(1 的特征波长;然后再根据偏转角度与电机的驱动控制信号的关系给出所述一定角度偏移情况下的光纤光栅阵列⑷的特征波长,即已知初始时刻特征波长λ κ和电机的转动速度ω,当检测出所述透射光谱信号的时间、和所述反射光信号出现的时间t,利用公式 入 0 =入 Rcos ( ω t) /cos ( ω t0),即可以解调出传感光栅波长信号。
12.根据权利要求10所述的方法,其特征在于所述特种插值算法为四象限解调算法。
全文摘要
本发明提供了一种使用角度调谐滤光片的光纤光栅波长解调系统和方法。本发明的系统包括依次相连的宽谱光源(1)、可调谐滤波器(2)和光分路器(3),光分路器(3)接有光纤光栅阵列(4)和梳状滤波器(7);光分路器(3)还接有光电转换与信号处理系统。使用本发明能够提高光纤光栅测量系统的产品可靠性,提高产品品质,加速光纤光栅传感器产业化实施,降低传感系统的成本,提高使用寿命,降低产品返修率,实现高速实时、宽带、高精度、低成本、长寿命、高可靠性的波长解调。
文档编号G02B26/00GK102269910SQ20111019909
公开日2011年12月7日 申请日期2011年7月15日 优先权日2011年7月15日
发明者刘军荣, 印新达, 董雷, 闫奇众 申请人:武汉理工光科股份有限公司
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