大型表膜构件的框体的把持方法

专利名称：大型表膜构件的框体的把持方法
技术领域：
本发明涉及作为表膜构件(pellicle)的构成构件的框体，该表膜构件用于防止在制造构成LSI、液晶显示器(IXD)的薄膜晶体管(TFT)、滤色片(CF)等时的光刻工序中使用的光掩模、中间掩模(reticle)中附着异物。特别是涉及作为液晶用大型表膜构件的构成构件、即作为长边长度为Im以上的大型表膜构件的构成构件的框体。
背景技术：
、
本发明是涉及作为表膜构件的构成构件的框体的技术，首先说明表膜构件。以往，在半导体装置的制造中，在晶圆上形成电路图案的光刻工序中，通常使用被称作表膜构件的防尘部件来防止异物附着于光掩模、中间掩模。表膜构件是在形状与光掩模或者中间掩模的形状相符的、厚度为几毫米左右的框体的上缘面铺展并粘接厚度为IOiim以下的硝酸纤维素、纤维素衍生物(cellulose derivative)或者氟类聚合物等透明的高分子膜(以下称作“表膜”)而成的。通常，表膜构件大多以在该框体的下缘面涂敷粘合材料、并在该粘合材料层上层叠保护膜而成的产品状态出货。上述粘合材料层用于将表膜构件粘着于光掩模或者中间掩模，而且，上述保护膜为了在该粘合材料层被用于上述用途前维持粘合材料的粘接力而保护该粘合材料层的粘接面。该表膜构件通常由表膜构件制造者提供给制造光掩模或者中间掩模的制造者(以下称作“掩模制造者”)。掩模制造者自表膜构件剥离上述保护膜，利用粘合材料层将表膜构件粘贴于光掩模或者中间掩模之后，将该掩模或者中间掩模提供给进行光刻的制造者、例如半导体装置制造者或者液晶面板制造者。在表膜构件用作防尘部件的特性方面，该表膜构件的处理需要处理为不附着尘埃。通常，在处理表膜构件时，通常通过向形成在框体外侧面的孔中插入销状工具来把持，通过把持工具主体而使人手不会直接接触表膜构件(例如参照专利文献I )。另外，也提出了通过在框体的外侧面形成用于供旋转杆插入的槽而使用具有旋转杆的工具来把持，通过把持该工具的主体而使人手不会直接接触表膜构件(例如参照专利文献2)。另外，在将表膜构件从表膜构件制造者搬运到掩模制造者时，为了不附着灰尘，通常将表膜构件放入到具有密封性的容纳容器中来进行搬运。当然，由于要求表膜构件被可靠地固定在容纳容器内，因此，也提出了通过向形成在框体外侧面的孔中插入销状功具而将表膜构件固定于容纳容器内的方法(例如参照专利文献3 )。另外，也提出了通过由构成容纳容器的托盘和盖夹着形成在框体外侧面上的水平突出部而将表膜构件固定于容纳容器的方法(例如参照专利文献4或5)。并且，不仅注目于形成在框体外侧面上的突出部、槽或者孔对表膜构件的把持、固定功能，还对表膜构件的框体形状也进行了各种研究。例如，为了确保表膜构件内部与外部的透气性，提出了设置从框体外侧面贯穿到内侧面带有过滤器的孔(例如参照专利文献6)。另外，为了控制从光掩膜的图案面到表膜的距离(基准距)(例如参照专利文献7 9)、控制掩膜粘合材料的伸出(例如参照专利文献10或11)、形成掩模粘合材料的台阶(例如参照专利文献12)、确保粘贴于光掩模时的加压区域(例如参照专利文献13)，提出了在框体的上缘面或下缘面设槽、突起、台阶的各种形状。近年来，随着LCD的大型化，光掩模及其使用的表膜构件也大型化，最长边的长度大于Im的表膜构件面世了。一般认为,今后,为了应对LCD的大型化、提高生产效率,光掩模的大型化也是必不可少的。在大型光掩模的情况下，原料大多是合成石英基板，材料费非常昂贵。因此，相对于设定的有效曝光区域尺寸，光掩模尺寸通常设计得极小。在是粘贴于大型光掩模上的大型表膜构件的情况下，鉴于光掩模尺寸的制约，对于被粘贴在从有效曝光区域到光掩模的外周端之间的表模的框体宽度也存在制约，即使表膜构件大型化，框体的宽度实际上也无法增大。并且，由于从光掩模的图案面到表膜的距离(基准距)受到曝光机的光学系统制约，因此，对于框体的高度也存在制约，即使表膜构件大型化，框体的高度实际上也无法增大。另一方面，作为抑制表膜的面积为IOOOcm2以上的大型表膜构件的框体挠曲的方法，提出了使框体的长边宽度大于短边宽度(例如参照专利文献14)。另外，近年来，掩模等的制造者为了将表膜构件从容纳容器取出之后直接安装于掩模，采用在从容纳容器取出表膜构件时、在将保护膜粘贴于托盘的状态下从保护膜与粘合材料的界面取出表膜构件的方法，要求在取出时不会使表膜构件产生变形挠曲地将其取出的方法(例如参照专利文献15)。专利文献I :日本特开平9 - 204039号公报专利文献2 :日本特开2005 - 326634号公报专利文献3 :日本特开2006 - 267179号公报专利文献4 :日本特开平10 — 48812号公报专利文献5 :日本特开平10 — 48811号公报专利文献6 :日本特开2001 - 133960号公报专利文献7 日本特开2002 — 182373号公报专利文献8 :日本特开2002 — 182371号公报专利文献9 日本特开2000 - 298333号公报专利文献10 日本特开2005 - 338722号公报专利文献11 :日本特开2000 - 292910号公报专利文献12 日本特开2006 — 163035号公报、图6专利文献13 :日本特开2005 - 308901号公报专利文献14 :日本特开2001 - 109135号公报专利文献15 :日本特开2007 — 017811号公报如上所述，在大型表膜构件中，由于框体的宽度、高度的限制，框体边部的挠曲会、随着表膜构件的大型化而变大。于是，本发明人对最长边的大小为I. 4m 2. Om的大型表膜构件的制作进行了研究，结果发现采用以往的方法极难把持框体。S卩，如上述专利文献I 5所述，采用通过向形成在框体的相对的两条边外侧面上的槽、孔中插入销、滑块等工具来把持或固定的以往方法，存在由于框体边部的挠曲而易于导致销、滑块等工具自槽、孔脱离，采用框体外侧面的槽、孔已经无法把持、固定的状况。例如，在向孔中插入销的方法(专利文献I)、向槽中插入旋转杆的方法(专利文献2)的情况下，由于在框体各边的大致一点支承，因此，负载易于集中，有时会因框体边部的挠曲而容易脱离。由框体的原料变更实现的高刚性化也被考虑为对策，但鉴于表膜构件所要求的无尘等品质，实际上无法容易地变更框体的原料。
至此，如上所述，对框体形状进行了各种设想，但基本上是在受到制约的框体的宽度、高度的范围内设计框体形状(例如参照专利文献6 12)，因此，并不十分有助于框体的高刚性化。另外，对于在框体的宽度、高度的范围之外设计框体形状也进行了研究(例如参照专利文献4或5)。其相对于申请当时对框体的制约可以说是优良的技术。即，在专利文献4或5的申请当时，LSI用途的表膜构件是主流，LSI用途的光掩模尺寸通常一边为5 7英寸(127 178mm)，小于液晶显示器(IXD)用途的大型的光掩模尺寸(一边为330 1400mm)，因此，与大型的光掩模尺寸相比，能够使光掩模尺寸大于表膜构件尺寸。因此，在框体的宽度、高度的范围之外设计框体形状并不是问题。但是，今后，针对随着更加大型的表膜构件普及而考虑表面化的课题、即由于极力减小光掩模尺寸而无法针对表模大型化的期望来相应使框体的宽度、高度增大到所需程度以上这样的课题，需要改良表膜构件的把持方法。对于取出方法，例如也存在一边利用表膜构件保持器具保持后述的表膜构件且检测对表膜构件保持器具施加的负载、一边使保持器具与容纳容器拉开距离来剥离表膜构件的方法；前述的表膜构件是用粘接带将相当于配置在矩形框体的边的中央部附近的保护膜的标签(按压部分)固定于表膜构件容纳容器而成的(例如参照专利文献13)。但是，一般认为，采用该方法，在大型表膜构件的情况下，由于用粘接带将配置在边的中央部的标签(按压部分)保持于容纳容器，因此，即使一边检测负载一边剥离也无法避免框体的挠曲(参照专利文献13的图9)。S卩，表膜构件的框体要求一种在能够可靠地把持的基础上、在随后从容纳容器取出表膜构件时能够不使框体产生挠曲、扭转地取出的方法。而且，特别是对于表膜构件自身重量变大、处理也较为困难的大型表膜构件，在容纳、搬运、保管时要求一种这样的方法，即，可靠地保持自不必提，而且在从容纳容器取出时，为了在取出之后将其直接粘贴于掩模等上，使表膜构件不会从保护膜与粘合材料的界面产生歪斜挠曲地取出。

发明内容
S卩，本发明提供一种在表膜构件框体的处理时、容纳、搬运、保管时能够可靠地把持框体、而且在将表膜构件粘贴于光掩模等上时不会产生歪斜、挠曲而能够简单地将表膜构件从容纳容器取出的表膜构件的框体。另外，还提供一种使用该表膜构件的框体的大型表膜构件的把持方法。本发明的大型表膜构件的框体的把持方法所把持的框体具有由多条边构成的多边形形状，能够在该框体的上缘面粘接表膜，在该框体的下缘面涂敷粘合材料，上述框体的最长边的长度为Im以上，其中，上述框体在所有的边部分别具有把持用的凸部或凹部；在上述框体的所有边部上分别把持至少I处的把持用的凸部或凹部而进行搬运。此外，本发明的大型表膜构件的框体的把持方法优选在上述框体的所有边部上把持所有的把持用的凸部或凹部。本发明人等为了解决上述课题而进行深入的研究，结果发现，为了不受到光掩模的制约，通过在表膜构件框体的所有边部上分别形成把持用的凸部或凹部，能够解决把持最长边的长度为I. 4m 2. Om的大型表膜构件这样的上述课题。基于研究的结果发现，该方法也能够有效地用于最长边的长度为Im以上的大型表膜构件，从而完成了本发明。SP，本发明如下。 I. 一种大型表膜构件的框体，该框体具有由多条边构成的多边形形状，能够包括粘接在该框体的上缘面的表膜和涂敷在该框体的下缘面的粘合材料，上述框体的最长边的长度为Im以上，其中，上述框体在所有的边部上分别具有把持用的凸部或凹部。2.根据上述I所述的大型表膜构件的框体，其中，把持用的凸部或凹部处于框体的外侧面上。3.根据上述2所述的大型表膜构件的框体，其中，把持用的凸部或凹部处于框体的外侧面上的、自上缘面及下缘面离开的位置。4.根据上述I 3中任一项所述的大型表膜构件的框体，其中，把持用的凸部或凹部是槽或孔。5.根据上述4所述的大型表膜构件的框体，其中，把持用的凸部或凹部是具有向内变宽的空间部的槽或孔。6.根据上述4所述的大型表膜构件的框体，其中，把持用的凸部或凹部是具有向内变窄的空间部的槽或孔。 7.根据上述I 6中任一项所述的大型表膜构件的框体，其中，把持用的凸部或凹部在框体的各边上，该把持用的凸部或凹部所占的长度分别为边的长度的10%以上。8.根据上述7所述的大型表膜构件的框体，其中，把持用的凸部或凹部是设在框体的所有边部的整周上的槽。9.根据上述7所述的大型表膜构件的框体，其中，把持用的凸部或凹部是局部设于框体的边部上的槽。10.根据上述I 6中任一项所述的大型表膜构件的框体，其中，把持用的凸部或凹部是在框体的所有边部上各设有多个的孔。11. 一种大型表膜构件，该大型表膜构件由上述I 10中任一项所述的大型表膜构件的框体、粘接于该框体的上缘面上的表膜和涂敷在该框体的下缘面的粘合材料构成。12.根据上述11所述的大型表膜构件，其中，框体的最长边的长度为I. 4m 2. Om013.根据上述11 12中任一项所述的大型表膜构件，其中，框体的宽度与高度之比为I. 5 4. O。
14. 一种大型表膜构件的框体的把持方法,该大型表膜构件的框体如上述I 10中任一项所述，其中，在上述大型表膜构件的框体的所有边部上分别把持至少I处以上的把持用的凸部或凹部。15.根据上述13所述的大型表膜构件的框体的把持方法，其中，在大型表膜构件的框体的所有边部上把持所有的把持用的凸部或凹部。16. 一种大型表膜构件的框体形状的矫正方法,该矫正方法用于矫正上述11 13中任一项所述的大型表膜构件的框体形状，其中，在上述大型表膜构件的框体的所有边部上分别把持至少I处以上的把持用的凸部或凹部，通过对上述大型表膜构件的框体的至少I处施加应力来减小该框体的变形。17.根据上述I 3中任一项所述的大型表膜构件的框体，其中，把持用的凸部或凹部是装卸自由地固定于框体的边部上的突出部。18.根据上述I 3及17中任一项所述的大型表膜构件的框体，其中，把持用的凸部或凹部是板状的突出部或棒状的突出部。19.根据上述I 3及17中任一项所述的大型表膜构件的框体，其中，把持用的凸部或凹部是板状，且是该突出部的突出量从框体的四个角部朝向边的中央部变大的突出部。20.根据上述I 3及17 19中任一项所述的大型表膜构件的框体，其中，把持用的凸部或凹部是前端形成钩形状的突出部。21.根据上述I 3及17 20中任一项所述的大型表膜构件的框体，其中，把持用的凸部或凹部是形成为在将表膜构件粘贴于光掩模时、与光掩模的外周侧面及/或形成于光掩模上的槽接触的突出部。22.根据上述I 3及17 21中任一项所述的大型表膜构件的框体，其中，把持用的凸部或凹部是形成为在将表膜构件粘贴于光掩模时、通过与另一零件组合而能够利用物理方法将框体固定于该光掩模的突出部。23.根据上述7所述的大型表膜构件的框体，其中，把持用的凸部或凹部是设置在框体的所有边部的整周上的板状的突出部。24.根据上述7所述的大型表膜构件的框体，其中，把持用的凸部或凹部是局部设置于框体的边部上的板状的突出部。25.根据上述I 3及17 18中任一项所述的大型表膜构件的框体，其中，把持用的凸部或凹部是在框体的所有边部上各设有多个的棒状的突出部。26. 一种大型表膜构件,其中，该大型表膜构件由上述17 25中任一项所述的大型表膜构件的框体、粘接于该框体的上缘面上的表膜和涂敷在该框体的下缘面的粘合材料构成。27.根据上述26所述的大型表膜构件，其中，框体的最长边的长度为I. 4m
2.Om028.根据上述26 27中任一项所述的大型表膜构件，其中，框体的宽度与高度之比为I. 5 4. O。29. 一种大型表膜构件的框体的把持方法,该大型表膜构件的框体如上述17 25中任一项所述，其中，在上述大型表膜构件的框体的所有边部上分别把持至少I处以上的把持用的凸部或凹部。30.根据上述29所述的大型表膜构件的框体的把持方法,其中，在大型表膜构件的框体的所有边部上把持所有的把持用的凸部或凹部。31. 一种大型表膜构件的框体形状的矫正方法,该矫正方法用于矫正上述26 28中任一项所述的大型表膜构件的框体形状，其中，在上述大型表膜构件的框体的所有边部上分别把持至少I处以上的 把持用的凸部或凹部，通过对上述大型表膜构件的框体的至少I处施加应力来减小该框体的变形。采用本发明的大型表膜构件的框体及该 框体的把持方法，在表膜构件的处理时、容纳、搬运、保管时能够可靠地把持框体、而且在将表膜构件粘贴于光掩模时不会产生歪斜、挠曲而能够简单地将表膜构件从容纳容器取出。


图IA是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体的一个方式(把持用的凹部是槽)的立体图，表示粘接于光掩模的大型表膜构件。图IB是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体的一个方式(把持用的凹部是槽)的图，表示包含框体的局部放大纵剖视图。图IC是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体的一个方式(把持用的凹部是槽)的图，表示大型表膜构件的框体。图ID是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体的一个方式(把持用的凸部为板状)的立体图，表示粘接于光掩模的大型表膜构件。图IE是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体的一个方式(把持用的凸部为板状)的图，表示包含框体的局部放大纵剖视图。图IF是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体的一个方式(把持用的凸部为板状)的图，表示大型表膜构件的框体。图2A是用于说明以往的小型表膜构件的框体的一个方式的立体图，表示粘接于光掩模的表膜。图2B是用于说明以往的小型表膜构件的框体的一个方式的图，表示包含框体的槽的局部放大纵剖视图。图2C是用于说明以往的小型表膜构件的框体的一个方式的图，表示表膜构件的框体。图3A是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是从框体的外侧面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。图3B是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是从框体的外侧面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。图3C是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是从框体的外侧面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。图3D是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是从框体的外侧面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。图3E是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是从框体的外侧面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。图3F是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是从框体的外侧面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。图3G是表示本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是从框体的外侧面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。图4A是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是从框体的上缘面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。图4B是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是从框体的上缘面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。图5A是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是从框体的下缘面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。
图5B是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是从框体的上缘面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。图6A是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是从框体的内侧面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。图6B是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是从框体的内侧面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。图6C是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是从框体的内侧面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。图6D是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是从框体的内侧面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。图6E是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是从框体的内侧面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。图6F是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是从框体的内侧面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。图6G是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是从框体的内侧面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。图7A是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是设有多个把持用的槽或孔的方式例子。图7B是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是设有多个把持用的槽或孔的方式例子。图7C是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是设有多个把持用的槽或孔的方式例子。图8A是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体上的把持用的槽的配置的、看表膜的方向的概略图。图SB是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体上的把持用的槽的配置的、看表膜的方向的概略图。图SC是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体上的把持用的槽的配置的、看表膜的方向的概略图。
图8D是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体上的把持用的槽的配置的、看表膜的方向的概略图。图9A是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体上的把持用的槽的配置的、看表膜的方向的概略图。图9B是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体上的把持用的槽的配置的、看表膜的方向的概略图。图9C是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体上的把持用的槽的配置的、看表膜的方向的概略图。图IOA是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体上的把持用的槽的配置的、从框体的侧面方向看到的概略图。
图IOB是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体上的把持用的槽的配置的、从框体的侧面方向看到的概略图。图IlA是用于说明用把持构件把持、固定本实施方式的大型表膜构件的框体时的一个方式例子的局部放大纵剖视图。图IlB是用于说明用把持构件把持、固定本实施方式的大型表膜构件的框体时的一个方式例子的局部放大纵剖视图。图IlC是用于说明用把持构件把持、固定本实施方式的大型表膜构件的框体时的一个方式例子的局部放大纵剖视图。图IlD是用于说明用把持构件把持、固定本实施方式的大型表膜构件的框体时的一个方式例子的局部放大纵剖视图。图IlE是用于说明用把持构件把持、固定本实施方式的大型表膜构件的框体时的一个方式例子的局部放大纵剖视图。图12A是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体上的把持用的槽的方式例子的、从框体的外侧面方向看到的局部概略图。图12B是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体上的把持用的槽的方式例子的、从看表膜的方向看到的局部概略图。图12C是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体上的把持用的槽的方式例子的、从看表膜的方向看到的局部概略图。图12D是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体上的把持用的槽的方式例子的、从看表膜的方向看到的局部概略图。图13A是用于说明大型表膜构件的框体上的、设置于拐角部的孔的配置的图，是从框体的外侧面方向看到的局部概略图。图13B是用于说明大型表膜构件的框体上的、设置于拐角部的孔的配置的图，是从看表膜的方向看到的局部概略图。图14A是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是在框体的外侧面设有突出部的方式例子。图14B是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是在框体的外侧面设有突出部的方式例子。图14C是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是在框体的外侧面设有突出部的方式例子。图14D是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是在框体的外侧面设有突出部的方式例子。图14E是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是在框体的外侧面设有突出部的方式例子。图14F是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是在框体的外侧面设有突出部的方式例子。图14G是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是在框体的外侧面设有突出部的方式例子。图15A是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是在框体的上缘面设有突出部的方式例子。图15B是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是在框体的上缘面设有突出部的方式例子。图15C是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是在框体的上缘面设有突出部的方式例子。图I 是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是在框体的上缘面设有突出部的方式例子。图16A是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是在框体的下缘面设有突出部的方式例子。图16B是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是在框体的下缘面设有突出部的方式例子。图16C是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是在框体的下缘面设有突出部的方式例子。图16D是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是在框体的下缘面设有突出部的方式例子。图17A是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是在框体的内侧面设有突出部的方式例子。图17B是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是在框体的内侧面设有突出部的方式例子。图17C是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是在框体的内侧面设有突出部的方式例子。图17D是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是在框体的内侧面设有突出部的方式例子。图17E是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是在框体的内侧面设有突出部的方式例子。图17F是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是在框体的内侧面设有突出部的方式例子。图17G是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是在框体的内侧面设有突出部的方式例子。
图18A是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是设有多个突出部的方式例子。图18B是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是设有多个突出部的方式例子。图18C是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是设有多个突出部的方式例子。图18D是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是设有多个突出部的方式例子。图18E是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是设有多个突出部的方式例子。
图18F是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是设有多个突出部的方式例子。图18G是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，是设有多个突出部的方式例子。图19A是用于说明在本实施方式的大型表膜构件的框体中突出部的配置的、看表膜的方向的概略图。图19B是用于说明在本实施方式的大型表膜构件的框体中突出部的配置的、看表膜的方向的概略图。图19C是用于说明在本实施方式的大型表膜构件的框体中突出部的配置的、看表膜的方向的概略图。图19D是用于说明在本实施方式的大型表膜构件的框体中突出部的配置的、看表膜的方向的概略图。图20A是用于说明在本实施方式的大型表膜构件的框体中突出部的配置的、看表膜的方向的概略图。图20B是用于说明在本实施方式的大型表膜构件的框体中突出部的配置的、看表膜的方向的概略图。图20C是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体上的突出部的配置的、看表膜的方向的概略图。图20D是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体上的突出部的配置的、看表膜的方向的概略图。图20E是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体上的突出部的配置的、看表膜的方向的概略图。图21A是设置于大型表膜构件的框体上的突出部装卸自由地固定于框体边部的方式时的局部放大纵剖视图，表示螺纹固定。图21B是设置于大型表膜构件的框体上的突出部装卸自由地固定于框体边部的方式时的局部放大纵剖视图，表示利用联接器进行的固定。图21C是设置于大型表膜构件的框体上的突出部装卸自由地固定于框体边部的方式时的局部放大纵剖视图，表示利用弹性体进行的固定。图21D是设置于大型表膜构件的框体上的突出部装卸自由地固定于框体边部的方式时的局部放大纵剖视图，表示通过夹入进行的固定。图22A是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体的另一方式(突出部为棒状)的立体图，表示粘接于光掩模的大型表膜构件。图22B是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体的另一方式(突出部为棒状)的立体图，表示大型表膜构件的框体。图23A是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体上的棒状的突出部的配置的、看表膜的方向的概略图，是与图12的方式相同的、在短边和长边分别各设有3条突出部的情况。图23B是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体上的棒状的突出部的配置的、看表膜的方向的概略图，是与图12的方式相同的、在短边和长边分别各设有I条突出部、并且在4个角各设有I条突出部的情况。 图23C是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体上的棒状的突出部的配置的、看表膜的方向的概略图，是与图12的方式相同的、使图23A中的各边的突出部一体化的情况。图24A是包含设置于大型表膜构件的框体中的突出部的局部放大纵剖视图，表示突出部为L字形、前端弯曲的边部与光掩模接触的方式。图24B是包含设置于大型表膜构件的框体中的突出部的局部放大纵剖视图，表示突出部为L字形、前端刺入到设置于光掩模上的槽中的方式。图25是在设置于大型表膜构件的框体上的突出部组合另一构件而固定大型表膜构件时的局部放大纵剖视图。图26A是用于说明用把持构件把持、固定本实施方式的大型表膜构件的框体时的情形的局部放大纵剖视图，表示把持、固定截面为矩形的突出部的方式。图26B是用于说明用把持构件把持、固定本实施方式的大型表膜构件的框体时的情形的局部放大纵剖视图，表示把持、固定设置于框体的外侧面的突出部、即截面为L字形的突出部的方式。图26C是用于说明用把持构件把持、固定本实施方式的大型表膜构件的框体时的情形的局部放大纵剖视图，表示把持、固定设置于框体的上缘面的突出部、即截面为L字形的突出部的方式。图26D是用于说明用把持构件把持、固定本实施方式的大型表膜构件的框体时的情形的局部放大纵剖视图，表示把持、固定设置于框体的内侧面的突出部、即2个矩形的突出部的方式。图27是表示实施例I使用的保护膜的平面形状的示意图。附图标记说明I、表膜框；2、掩模粘合材料；3、框体的上缘面；4、框体的下缘面；5、框体的外侧面；6、框体的内侧面；7、把持用的槽或孔或者突出部；7a、把持用的槽或孔的向内变宽了的内部空间或者把持用的突出部的前端部；7b、把持用的槽的开口部；7c、把持用的槽的最深部；9、光掩模；10、20、框体；11、保护膜；lla、按压部分；llb、按压部分；15、另一构件；16、把持构件；21、槽；30、框体(以往产品)。
具体实施例方式参照

本发明的实施方式。以下说明的实施方式是本发明的构成例，本发明并不限定于以下实施方式。只要起到本发明的效果，也可以进行各种方式的变更。本发明的大型表膜构件的框体是具有由多条边构成的多边形形状的框体，该框体可以包括粘接于该框体的上缘面的表膜和涂敷于该框体的下缘面的粘合材料，在上述框体的最长边的长度为Im以上的大型表膜构件的上述框体中，上述框体在所有的边部分别具有保持用的凸部或凹部。在此，框体的多边形形状通常是大致四边形状，但也可以是在角部具有缺口、圆弧部(R部)的多边形形状。图IA是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体的一个实施方式的立体图，图IA及图ID表不粘接于光掩模的大型表膜构件，图IB及图IE表不包含框体的局部放大纵剖视图，图IC及图IF表示大型表膜构件的框体。图2是用于说明以往的小型表膜构件框体的一个实施方式(例如专利文献2的类型)的立体图，图2A表示粘接于光掩模的表膜构件，图2B表示包含框体的槽的局部放大纵剖视图，图2C表示表膜构件的框体。例如，如图I所示，大型表膜构件由框体10、粘接于框体10的上缘面3的表膜I、涂敷于框体10的下缘面4的粘合材料2构成。在此，表膜I借助粘接剂(未图示)粘接于框体10的上缘面3。另外，在图IA及图IB中，表膜构件框体10借助粘合材料2粘接于光掩模9。大型表膜构件在被粘接于光掩模9之前，具有在框体10的下缘面4借助粘合材料2粘合有保护膜(未图示)的构造。表膜I的材质、粘合材料2的材质、形状、粘接剂的材质、保护膜的材质、形状可以
使用以往通常采用的材质、形状。作为表膜，可以使用透明的高分子膜、例如硝酸纤维素、纤维素衍生物或者氟类聚合物。表膜的厚度考虑光线透射率、膜强度来设定，例如优选为0. Iiim IOii m。在将表膜粘接于框体的上缘面时，可使用粘接剂、例如丙烯酸树脂粘接剂、环氧树脂粘接剂、硅树脂粘接剂或者含氟的硅粘接剂等氟类聚合物。作为粘合材料,可以使用苯乙烯乙烯丁烯苯乙烯、苯乙烯乙烯丙烯苯乙烯或者烯烃类等的热熔粘合材料、硅类粘合材料、丙烯酸类粘合材料或者以发泡体为基材的粘合带。粘合材料层的厚度为，框体厚度与粘合材料厚度合计在不超过规定的膜与掩模之间的距离的范围内设定，例如优选为0. Olmm 10mm。作为保护膜，可以使用由聚对苯二甲酸乙二醇酯或聚乙烯树脂构成的膜。另外，也可以根据粘合材料的粘合力将脱模剂、例如硅类脱模剂或者氟类脱模剂涂敷在保护膜的表面。保护膜的厚度例如优选为0. Olmm 1mm。框体10的材质只要能保持机械强度即可，没有特别的限定。例如可列举金属、树月旨、复合材料，更详细地讲，优选采用铝或其合金例如硬铝、铁或铁类合金、例如不锈钢、工程塑料、纤维强化塑料(FRP)及碳纤维强化塑料(CFRP)。另外，考虑到由大型化导致自重增力口，优选轻量且具有刚性的材料，例如优选铝或其合金。框体10是以往通常进行的制法即可。例如，将一体物的板切断、切削加工即可。另 夕卜，在随着表膜构件的大型化而难以准备一体物的板的情况下，除切断、切削加工之外还可列举焊接加工、成型加工(若是金属则为压铸成型，若是树脂则为注射模塑成型)。此时，优选将把持用的凸部或凹部一体成型，如后所述，在为凸部的情况下，也优选成型为装卸自由的零件，之后再安装。另外，为了防止反射，也可以对框体的表面实施黑色镀铬、黑色耐酸铝、黑色涂装等黑色化处理。另外，为了捕捉异物，也可以在框体的内侧面涂敷粘合材料。本实施方式的大型表膜构件的框体10将框体10的最长边(以下也称作“长边”。同样将框体的最短边也称作“短边”)的长度为Im以上的大型表膜构件的框体作为对象。框体的宽度(图IB及图IE的W)、高度(图IB及图IE的h)相对于这样的框体、框体的边(图IA及图ID的长边长度L、短边长度S)的长度的比例较小，其刚性不得不低于小型表膜构件的框体。在框体10的长边长度L为Im以上时，明显地看到刚性降低的倾向。在图2所示的以往LSI用的小型表膜构件的框体30中，长边长度L最多为15cm以下，短边长度S最多为13cm以下，而且，框体30的宽度w与高度h之比为(w / h)= 0. 3 0. 8。但是，在本发明作为对象的大型表膜构件的框体中，长边长度L为Im以上，也存在达到2m的情况，今后 也可能存在更加大型化的情况。另外，在短边中，短边长度S也例如为75cm以上。另外，由于大型表膜构件的框体中的框体的宽度w与高度h之比大到例如(w / h)= I. 5 4.0，因此，刚性的降低较大，在(w / h)= 2. 3 4.0的框体中，刚性的降低特别大。另外，由于更加大型化，也可能存在(w / h)大于4的情况。因而，在本发明作为对象的大型表膜构件的框体中，与以往的框体相比，表膜表面的法线方向上的挠曲量非常大。这样，大型表膜构件的框体的挠曲方式与以往的小型表膜构件的挠曲方式完全不同。并且，在框体的宽度w与高度h之比(w / h)大于以往框体的宽度w与高度h之比(w / h)的基础之上，框体的边本身就很长，因此，根据表膜的张力不同，表膜的与表面平行的方向的挠曲量也会变大。在本实施方式的大型表膜构件的框体中，也能够利用把持用的凸部或凹部来矫正由表膜的张力导致的框体的变形。这一点见后述。本发明的框体通常是与掩模形状相似的矩形，但与掩模等的各种形状相对应，只要是多边形的框体即可，没有特别的限定。另外，在本发明中，将长边长度为Im以上的框体作为对象，但在框体形状为(I)矩形的情况下，将长边长度为Im以上的框体作为对象，在框体形状为(2)正方形的情况下，将一边长度为Im以上的框体作为对象，在框体形状为(3)多边形的情况下，将最长边长度为Im以上的框体作为对象。在本发明中，若满足以下说明的条件就能起到更大的效果，因此，以下进行说明。第一，对上述框体是在所有的边部分别具有把持用的凹部的框体的方式进行说明。作为该凹部，存在槽或孔。另外，在本发明中，槽是指形成在框体的外侧面、内侧面、上缘面或者下缘面的凹部、且这些面中的该凹部的开口部的圆周方向长度为该开口部的高度方向长度的I. 5倍以上，孔是指该开口部的圆周方向长度小于该开口部的高度方向长度的I. 5 倍。对形成于框体上的把持用的槽或者孔进行说明。图3是表示本实施方式的大型表膜构件框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，图3A G是从框体外侧面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。图4是表不本实施方式的大型表膜构件框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，图4A B是从框体的上缘面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。图5是表示本实施方式的大型表膜构件框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，图5A B是从框体的下缘面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。图6是表示本实施方式的大型表膜构件框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，图6A G是从框体的内侧面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。如图3所示，本实施方式的大型表膜构件的框体10具有自框体的外侧面5朝向内侧方向的把持用的槽或孔7。下面，在没有特别提示的情况下，不区分槽和孔而作为把持用的槽或孔7来说明。另外，如图4所示，本实施方式的大型表膜构件的框体10也可以具有自框体的上缘面3朝向下方的把持用的槽或孔7。另外，如图5所示，本实施方式的大型表膜构件的框体10也可以具有自框体的下缘面4朝向上方的把持用的槽或孔7。另外，如图6所示，本实施方式的大型表膜构件的框体10也可以具有自框体的内侧面6朝向外侧方向的把持用的槽或孔7。将把持用的槽或孔设置在框体的哪个面上都能够处于与用于把持的夹具或装置的设计相应的位置，但在夹具或装置的设计方面考虑优选设置在外侧面。另外，在将把持用 的槽或孔设置在框体的外侧面或内侧面的情况下，为了在把持时不对表膜的粘接剂层或者表膜与掩模粘合的粘合材料层施加额外的力，优选设置在自上缘面及下缘面离开的位置。因而，把持用的槽或孔更优选设置在框体的外侧面上的、自上缘面及下缘面离开的位置。自框体的上缘面3朝向下方的把持用的槽或孔7除了沿上缘面3的法线方向挖掘的方式之外，也可以做成沿相对于法线方向倾斜的方向挖掘的方式。自框体的下缘面4朝向上方的把持用的槽或孔7除了沿下缘面4的法线方向挖掘的方式之外，也可以做成沿相对于法线方向倾斜的方向挖掘的方式。自框体的内侧面6朝向外侧方向的把持用的槽或孔7除了沿内侧面6的法线方向挖掘的方式之外，也可以做成沿相对于法线方向倾斜的方向挖掘的方式。在是以框体的表面为基准而从外侧面或内侧面挖掘的槽或孔7的情况下，把持用的槽或孔7的深度优选为框体宽度的0. 01 0. 9倍，更优选0. 01 0. 5倍，进一步优选0. 01 0. 3倍的深度。另外，在是从上缘面或下缘面挖掘的槽或孔7的情况下，把持用的槽或孔7的深度优选为框体高度的0. I I倍(另外，I倍是贯穿的情况)，更优选0. I 0. 5倍，进一步优选0. I 0. 3倍。并且，如图I所示，本实施方式的大型表膜构件的框体10也可以在框体的各边部具有多个把持用的槽或孔7。图7是表示本实施方式的大型表膜构件框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，图7A C是设有多个把持用的槽或孔的方式例子。作为组合，存在具有自框体的上缘面朝向下方的把持用的槽或孔和自框体的下缘面朝向上方的把持用的槽或孔这两种槽或孔的情况、具有自框体的上缘面朝向下方的把持用的槽或孔和自框体的内侧面朝向外侧方向的把持用的槽或孔这两种槽或孔的情况(例如图7A)。另外，还存在具有自框体的下缘面朝向上方的把持用的槽或孔和自框体的内侧面朝向外侧方向的把持用的槽或孔这两种槽或孔的情况(例如图7C)。在本实施方式的大型表膜构件的框体10中，也可以相对于自框体的上缘面朝向下方的把持用的槽或孔、自框体的下缘面朝向上方的把持用的槽或孔或者自框体的内侧面朝向外侧方向的把持用的槽或孔，分别组合自框体的外侧面朝向内侧方向的把持用的槽或孔。例如，存在具有自框体的外侧面朝向内侧方向的把持用的槽或孔和自框体的上缘面朝向下方的把持用的槽或孔这两种槽或孔的情况(例如图7B)、具有自框体的外侧面朝向内侧方向的把持用的槽或孔和自框体的下缘面朝向上方的把持用的槽或孔这两种槽或孔的情况、具有自框体的外侧面朝向内侧方向的把持用的槽或孔和自框体的内侧面朝向外侧方向的把持用的槽或孔这两种槽或孔的情况。并且，也存在从框体的4个表面中的3个表面挖掘把持用的槽或孔的方式或者从框体的4个表面都挖掘把持用的槽或孔的方式。通过在框体的多个表面设置把持用的槽或孔，把持、固定更加可靠。另外，相对于把持框体的不同表面的2种以上把持器具，也具有能够以同一个框体来应对这样的优点。另外，除上述把持用的槽或孔7之外，本实施方式的大型表膜构件的框体10也可以具有用于透气用的孔(将表膜构 件安装于掩模时用于供由表膜构件和掩模封闭的空间与外部透气的孔)等其他用途的孔或槽。为了设置这样的用于其他用途的孔或槽，把持用的凹部或凸部是局部设置在框体边部的槽或孔，这样加工自由度升高，更为理想。把持用的槽或孔7的截面形状是矩形(例如图6A)、梯形(例如图4A、图5A、图6E)、多边形、圆形、半圆形或者椭圆形(例如图6B)等，并没有特别的要求。另外，例如图4A所示，也可以是沿着槽或孔变深的方向而槽的宽度或孔的内径变小的方式。也可以根据需要在槽或孔的角部设置曲率R、C面。在本实施方式的大型表膜构件的框体中，把持用的槽或孔7优选具有向内变宽的空间部7a。例如是L字形(例如图3C、图4B、图5B、图6C及G、图7C)、T字形(例如图3D、图6D)。与不存在向内变宽的空间部7a的情况相比，能够勾挂于把持构件，因此，把持、固定更加可靠。另外，作为向内变宽了的空间部的形状，如上所述，可以是框体的宽度方向的截面形状向内变宽，可以是框体的高度方向的截面形状向内变宽，也可以是框体的长度方向的截面形状向内变宽。另外，也优选把持用的槽或孔具有向内变窄的空间部。在这种情况下，在插入比槽或孔的入口更小的把持构件时，通过该把持构件与向内变窄的部分接触而被定位，能够在防止把持构件相对于槽或孔错位的同时进行把持。作为向内变窄的空间部的形状，如图3B、图4A、图5A所示，可以是框体的宽度方向的截面形状向内变窄，可以是框体的高度方向的截面形状向内变窄，也可以是框体的长度方向的截面形状向内变窄。作为框体的长度方向的截面形状为向内变窄的例子，可列举在边部局部存在的圆周方向的槽，即该槽的开口部的圆周方向长度大于该槽的深度(是指槽的开口部与槽的最深部的最短距离)的槽(参照图12)。另外，也可列举该槽的开口部的圆周方向长度小于该槽的深度的情况。若是具有该形状的把持部的框体，则能够将前端变窄的板状的把持器具定位于该槽中地利用该把持器具进行把持。另外，槽的开口部的圆周方向长度与槽的深度之比优选为0. 5 30倍，更优选为2 20倍，最优选为3 10倍。若该比为0. 5以上则易于插入把持构件，若该比为30以下则难以拆下把持器具。如图3所示，本实施方式的大型表膜构件的框体的另一实施方式是具有下述的把持用的槽或孔7的形态，上述的把持用的槽或孔7自框体10的外侧面5朝向内侧方向，且具有向内变宽了的空间部7a。在此，自框体的外侧面5朝向内侧方向的把持用的槽或孔7除沿外侧面5的法线方向挖掘的方式之外，也可以做成沿相对于法线方向倾斜的方向挖掘的方式。本实施方式的大型表膜构件的框体的、向内变宽的空间部7a的形状例如为L字形(例如图3C及G)、T字形(例如图3D)。与不存在向内变宽的空间部7a的情况相比，能够勾挂于把持构件，因此把持更加可靠。
图8和图9是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体上的、把持用的槽或孔7的配置的、看表膜的方向的概略图。如图8A、C及D和图9所示，把持用的槽或孔7的配置只要在4个边上都具有把持用的凹部即可，可以配置在框体10的边部整周上(图8A)，也可以局部配置在框体10的边部(图SC D、图9A C)上。在局部配置的情况下，也能够与工具、装置等把持构件的位置相应地在框体的指定部位配置把持用的槽或孔。在局部配置把持用的槽的情况下，优选预先配置在框体的任一个边部上。在把持表膜构件的框体时，能够均匀地分散由自重产生的负载偏置，从而能够抑制挠曲的产生。另一方面，如后述的比较例所示，在仅在相对的2条边上具有把持用的凸部或凹部的方式(图SB)中，无法充分抑制挠曲的产生。在本实施方式的大型表膜构件的框体上的、把持用的凹部是槽的情况下，该把持用的凹部所占的长度相对于各边的长度分别为10%以上，能够均匀地分散由自重产生的负载偏置，更为优选。进一步优选为20%以上，最优选为30%以上。另外，在框体上需要留有利用加工形成具有除把持之外的功能的部分的余地的情况下，优选该把持用的凹部所占的 长度相对于各边的长度分别为90%以下。更优选为80%以下，最优选为70%以下。若该把持用的凹部在各边部的配置为相对于各边部的各中心对称的方式，则能够均匀地分散由自重产生的负载偏置，较为理想。在本实施方式的大型表膜构件的框体上的、把持用的凹部是孔的情况下，其配置优选预先在框体的各边部上均配置多个。在把持表膜构件的框体时，能够均匀地分散由自重产生的负载偏置，从而能够抑制挠曲的产生。在本实施方式的大型表膜构件的框体中，把持用的槽7也可以是切削槽侧壁的一侧而成的阶梯式切削状的槽。另外，把持用的孔7也可以是切削孔的侧壁面的一侧而成的纵切筒状的孔。即，把持用的槽或孔7的槽的侧壁面或者孔的侧壁面也可以构成框体10表面的一部分。作为这样的方式，例如存在槽或孔的侧壁面到达框体的表面、从框体的表面挖掘槽或孔的侧壁面而成的形状的槽或孔。另外，在纵切圆筒的孔中，以通过主轴的纵截面切开的、横截面为半圆的孔自不必提，也包含以不通过主轴的纵截面切开的孔。若表示其截面形状的例子，例如为图3F及G、图6F及G、图7B。特别优选槽的侧壁面或者孔的侧壁面构成框体10的下缘面一部分的方式(例如图3F及G、图6F及G、图7B)。在框体10的下缘面4粘贴有粘合材料2，但下缘面4与光掩模9的表面之间的距离仅扩大粘合材料2的厚度的量，易于插入把持构件，而且，能够减小槽或孔的直径，因此，框体强度降低的可能性较小。但是，在使用上述方式的框体的情况下，在把持时需要留意不对粘合材料、表膜的粘接部施加多余的力。在本实施方式的大型表膜构件的框体中，为了防止起尘，也可以对槽或孔与把持构件的接触部的、槽或孔或把持构件的至少一方实施某种表面处理。例如可列举利用硅胶等缓冲材料包覆。图10是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体上的把持用的槽7的配置的、从框体的侧面方向看到的概略图。如图IOA所示，从框体的侧面方向看，把持用的槽7也能够在边方向上从上缘面侧向下缘面侧倾斜地配置。并且，如图IOB所示，从框体的侧面方向看，也能够在边方向上从上缘面侧向下缘面侧、从下缘面侧向上缘面侧这样重复地配置。另外，在框体的外侧面上，也可以在4个角部分设置沿图13所示的倾斜方向贯穿的孔。通过设置这样的贯穿孔，也能够将棒状的工具穿过该贯穿孔内来把持。在本实施方式的大型表膜构件的框体中，各个槽的宽度或孔的内径小于设有该槽或孔的框体的宽度W或者高度h，例如设置在上缘面3或者下缘面4的情况下，各个槽的宽度或孔的内径优选为框体宽度的0.01 I倍，更优选为0.01 0.5倍，进一步优选为0. 01 0. 2倍。例如设置在外侧面5或者内侧面6的情况下，各个槽的宽度或孔的内径优选为框体高度的0. 01 I倍，更优选为0. 01 0. 5倍，进一步优选为0. 01 0. 2倍。另夕卜，在槽或孔的深度较大的情况下，为了避免框体的刚性降低，优选槽的宽度或孔的内径较小。在设有向把持用的槽或孔7的内部变宽的空间7a的情况下，变宽的空间7a的宽度或内径小于框体的宽度W或者高度h。把持用的槽或孔7可用于把持表膜构件的框体(包括把 持粘接表膜之前的框体和把持粘接表膜之后的框体这两种)，能够在处理表膜构件时、将表膜构件容纳于容纳容器时、从容纳容器取出表膜构件时有效地利用。 对利用把持构件把持、固定把持用的槽或孔的方法进行说明。图11是用于说明利用把持构件把持、固定本实施方式的大型表膜构件的框体时的情形的局部放大纵剖视图，图IlA表示向截面为T字形的把持用的槽或孔7中插入并把持、固定具有由塑料等弹性体形成的锁定机构的把持构件16的方式，图IlB表示向设置在框体上缘面的、截面为L字形的把持用的槽或孔7中插入并把持、固定具有L字形的勾挂部的把持构件16的方式，图IlC表示向设置在框体外侧面的、截面为L字形的、侧壁面构成框体的表面一部分的把持用的槽或孔7中插入并把持、固定具有L字形的勾挂部的把持构件16的方式，图IlD表示向设置在框体下缘面的、截面为梯形的把持用的槽或孔7中插入并把持、固定L字形的把持构件16的前端部的方式，图IIE表示向设置在框体内侧面的、截面为矩形的把持用的槽或孔7中插入并把持、固定把持构件16的方式。在图IlA E中，把持构件16可靠地把持、固定在把持用的槽或孔中。在本发明中，对于上述大型表膜构件的框体，通过在框体的各边部分别同时把持至少I处以上的把持用的凸部或凹部的方式来减少挠曲，因此优选。更优选在大型表膜构件的框体的各边部同时把持所有的把持用的凸部或凹部。另外，在自光掩模剥离表膜构件时，能够在把持把持用的槽或孔之后进行剥离，在剥离时，能够可靠地传递剥离力。第二，对上述框体在所有的边部分别具有把持用的凸部的形态进行说明。作为该凸部，存在板状的形态或者棒状的形态。另外，在本发明中，板状的凸部是指形成在框体的外侧面、内侧面、上缘面或者下缘面的凸部，且这些面中的该凸部的圆周方向长度为高度方向长度的I. 5倍以上，棒状的凸部是指该凸部的圆周方向的长度小于该凸部的高度方向长度的I. 5倍。首先，说明形成于框体上的凸部(以下也称作“突出部”)。图14是表示本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，图14A G是在框体的外侧面设有突出部的方式例子。图15是表本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，图15A D是在框体的上缘面设有突出部的方式例子。图16是表示本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，图16A D是在框体的下缘面设有突出部的方式例子。图17是表示本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，图17A G是在框体的内侧面设有突出部的方式例子。如图14所示，本实施方式的大型表膜构件的框体10具有自框体的外侧面5朝向外侧方向突出的突出部7。另外，如图15所示，本实施方式的大型表膜构件的框体10也可以具有自框体的上缘面3朝向上方突出的突出部7。另外，如图16所示，本实施方式的大型表膜构件的框体10也可以具有自框体的下缘面4朝向下方突出的突出部7。另外，如图17所不，本实施方式的大型表膜构件的框体10也可以具有自框体的内侧面6朝向内侧方向突出的突出部7。在此，自框体的外侧面5朝向外侧方向突出的突出部7除了沿外侧面5的法线方向突出的方式之外，也可以做成沿相对于法线方向倾斜的方向突出的方式。自框体的上缘面3朝向上方突出的突出部除了沿上缘面3的法线方向突出的方式之外，也可以做成沿相对于法线方向倾斜的方向突出的方式。自框体的下缘面4朝向下方突出的突出部7除了沿下缘面4的法线方向突出的方式之外，也可以做成沿相对于法线方向倾斜的方向突出的方式。自框体的内侧面6朝向内侧方向突出的突出部7除了沿内侧面6的法线方向突出的方式之外，也可以做成沿相对于法线方向倾斜的方向突出的方式。自框体的外侧面朝向外侧方向突出的突出部及自框体的内侧面朝向内侧方向突出的突出部的突出量以突出的框体的表面为基准，突出长度为框体宽度的0. I 10倍，优选为0. I 5倍，更优选为0. I 3倍。另外，自框体的上缘面朝向上方突出的突出部及自框体的下缘面朝向下方突出的突出部的突出量以突出的框体的表面为基准，突出长度为框体宽度的0. I 10倍，优选为0. I 5倍，更优选为0. I 3倍。在设有自框体的上缘面3朝向上方突出的突出部7的情况、以及设有自框体的下缘面4朝向下方突出的突出部7的情况下，除把持、固定的可靠化之外，突出部7对于表膜I的表面的法线方向的挠曲起到加强肋的作用。另一方面，在设有自框体的外侧面5朝向外侧方向突出的突出部7的情况、以及设有自框体的内侧面6朝向内侧方向突出的突出部7的情况下，除把持、固定的可靠化之外，对于在铺展表膜I时由于向与表膜I表面平行的方向施加的张力而使框体向中央方向的挠曲起到加强肋的作用。并且，如图18所示，本实施方式的大型表膜构件的框体10也可以在框体上具有多个突出部7。图18是表不本实施方式的大型表膜构件的框体的各种方式例子的局部放大纵剖视图，图18A G是设有多个突出部的方式例子。作为组合，存在具有自框体的外侧面朝向外侧方向突出的突出部和自框体的上缘面朝向上方突出的突出部这两种突出部的情况、具有自框体的外侧面朝向外侧方向突出的突出部和自框体的下缘面朝向下方突出的突出部这两种突出部的情况、具有自框体的外侧面朝向外侧方向突出的突出部和自框体的内 侧面朝向内侧方向突出的突出部这两种突出部的情况。另外，还存在具有自框体的上缘面朝向上方突出的突出部和自框体的下缘面朝向下方突出的突出部这两种突出部的情况、具有自框体的上缘面朝向上方突出的突出部和自框体的内侧面朝向内侧方向突出的突出部这两种突出部的情况。还存在具有自框体的下缘面朝向下方突出的突出部和自框体的内侧面朝向内侧方向突出的突出部这两种突出部的情况。并且，也存在在框体的4个表面中的3个表面设置突出部的方式或者在框体的4个表面都设置突出部的方式。通过在框体的多个表面设置突出部而使把持、固定更加可靠，而且，能够增加框体的加强方向。另外，相对于把持框体的不同表面的2种以上把持器具，也具有能够以同一个框体来应对这样的优点。突出部7的截面形状是矩形(例如图14A及B、图15A、图16A、图17A及B)、梯形(例如图14F、图15D、图16A、图17F)、多边形、圆形、半圆形(例如图15B、图15C)或者椭圆形(例如图14G、图17G)等，并没有特别的要求。也可以根据需要在角部设置曲率R、C面。图19和图20是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体上的、突出部的配置的、看表膜的方向的概略图。如图19A、C及D和图20所示，突出部7的配置只要在4个边上都具有把持用的凸部即可，可以配置在框体10的边部整周上(图19A)，也可以局部配置在框体10的边部(图19C D、图20A E)上。在局部配置的情况下，也能够与处理粘贴的光掩模时的把持、固定位置、光掩模的对准标记位置、将光掩模固定于曝光机时的把持、固定位置相对应地在框体的指定部位配置突出部。在局部配置突出部的情况下，优选预先配置在框体的任一个边部上。相对于框体的挠曲加强强度。、在本实施方式的大型表膜构件的框体中把持用的凸部是板状的情况下，该把持用的凸部所占的长度相对于各边的长度分别为10%以上，能够均匀地分散由自重产生的负载偏置，更为优选。进一步优选为20%以上，最优选为30%以上。另外，在框体上需要留有通过加工形成具有除把持之外的功能的部分的余地的情况下，优选该把持用的凸部所占的长度相对于各边的长度分别为90%以下。更优选为80%以下，最优选为70%以下。该把持用的凸部在各边部的配置为相对于各边部的各中心对称的方式，能够均匀地分散由自重产生的负载偏置，较为理想。在本实施方式的大型表膜构件的框体中把持用的凸部是棒状的情况下，其配置优选预先在框体的各边部上都配置多个。在把持表膜构件的框体时，能够均匀地分散由自重产生的负载偏置，从而能够抑制挠曲的产生。图10是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体上的、突出部的配置的、从框体的侧面方向看到的概略图。如图IOA所示，从框体的侧面方向看，突出部7也能够在边方向上从上缘面侧向下缘面侧倾斜地配置。并且，如图IOB所示，从框体的侧面方向看，也能够在边方向上从上缘面侧向下缘面侧、从下缘面侧向上缘面侧这样重复地配置。图21是设置于大型表膜构件的框体上的突出部装卸自由地固定在框体边部的方式时的局部放大纵剖视图，图21A表示螺纹固定，图21B表示由联接器进行的固定，图21C是表示由弹性体进行的固定，图21D是表示通过夹持进行的固定。如图21所示，在本实施方式的大型表膜构件的框体中，框体10的突出部7优选装卸自由地固定在框体10的边部。在表膜构件的框体被粘贴于刚性比表膜构件的框体高的光掩模之后，由于不必担心表膜构件的框体的刚性，因此，用于提高刚性和固定、把持的突出部也可以拆下。通过这样操作，也能够避免受到处理光掩模时的把持、固定位置、将光掩模固定于曝光机时的把持、固定位置的制约。另外，在自光掩模剥离表膜构件时，也可以预先安装突出部。通过这样操作，谋求提高表膜构件的框体的刚性，能够把持、固定突出部，因此，在剥离时，能可靠地传递剥离力。装卸方法只要是能够装卸的机械的固定方法即可。例如图21所示，可列举螺纹、联接器、弹性体的插入、夹入等。为了防止起尘，优选为也可以对接触部预先实施某种表面处理。例如，可列举由硅橡胶等缓冲材料进行包覆。在突出部能够装卸的情况下，突出部也可以由刚性比框体高的原料形成。在框体的外侧面或内侧面带有突出部的情况下，用于安装突出部的孔或槽的尺寸(内径)为框体高度的0. Ol I倍，优选为框体高度的0. 01 0. 5倍，更优选为框体高度的0. 01 0. 2倍。另外，在框体的上缘面或下缘面带有突出部的情况下，用于安装突出部的孔或槽的尺寸(内径)为框体宽度的0. 01 I倍，优选为框体高度的0. 01 0. 5倍，更优选为框体高度的0. 01 0. 2倍。为了避免框体的刚性降低，优选孔或槽较小。在本实施方式的大型表膜构件的框体中，例如图19或图20所示，框体10的突出部形状优选为板状。板的厚度小于设置该板的框体的宽度W或高度h，例如优选为突出部7的突出量的0. 01倍以上的厚度，更优选为0. I倍以上的厚度。在使突出部7为钩形的情况下，钩形的弯曲的前端部7a也可以大于设置板的框体的宽度W或高度h。在此，如图20(c)所示，在突出部7为板状的情况下，也可以从框体的四个角部朝向边的中央部连续地增大突出部的突出量。通过这样,刚性较弱的边部中央附近的刚性会加强,框体四个角部的刚性和边部的刚性均匀。 在本实施方式的大型表膜构件的框体中，例如图22所示，也可以将框体20的突出部7的形状做成棒状。图22是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体的另一方式(突出部为棒状)的立体图，图22k表不粘接于光掩模的大型表膜构件，图22B表不大型表膜构件的框体。棒状突出部7的截面形状为矩形、梯形、多边形、圆形、椭圆形等，并没有特别的要求。也可以根据需要在角部设置曲率R、C面。突出部7也可以设置在框体20的上缘面、下缘面、外侧面或内侧面中的任一个面上。图22是在外侧面设有突出部的方式例子。例如，在设置于上缘面3或下缘面4的情况下，棒的直径优选为框体宽度的0. I 2倍的长度，更优选为0. I 0. 5倍的长度。例如在设置于外侧面5或内侧面6的情况下,棒的直径优选为框体高度的0. I 3倍的长度，更优选为0. I I倍的长度。图23是用于说明本实施方式的大型表膜构件的框体上的、棒状突出部的配置的、看表膜的方向的概略图，图23A与图22的方式相同，是在短边和长边分别各设有3条突出部的情况，图23B是在短边和长边分别各设有I条突出部、并且在4个角各设有I条突出部的情况，图23C是使图23A中的各边上的突出部一体化的情况。在图23C中，由于3条棒状突出部7 —体化，因此，除期待提高强度之外，拆卸时作业性也较佳。在本实施方式的大型表膜构件的框体中，突出部优选其前端做成钩形。例如为L字形(例如图14C及E、图15C、图16D、图17C及E)、T字形(例如图14D、图17D)。与没有键的情况相比，能够勾挂于把持构件，因此，把持、固定更加可靠。在本实施方式的大型表膜构件的框体中，将表膜构件粘贴于光掩模时，框体的突出部也可以形成为与光掩模的外周侧面接触。或者，在本实施方式的大型表膜构件的框体中，将表膜构件粘贴于光掩模时，框体的突出部也可以形成为与形成于光掩模上的槽接触。图24是包含设置于大型表膜构件的框体上的突出部的局部放大纵剖视图，图24A表示突出部为L字形、前端弯曲的边部与光掩模接触的方式，图24B表示突出部为L字形、前端刺入到设置于光掩模上的槽中的方式。如图24A所示，在与下缘面4垂直的方向上的L字形突出部的前端部7a自粘合材料2的下表面突出的情况下，L字形突出部的前端部7a配置为与光掩模9的外侧面大体接触。或者，如图24B所示，在必须将与下缘面4垂直的方向上的L字形突出部的前端部7a配置在比光掩模9的外侧面靠内侧的情况下，也可以将光掩模9的表面切削为与前端部7a相同的形状。在图24A及B的任一种情况下，在将表膜构件粘贴于光掩模时，都起到使表膜构件的对位简化、提高表膜构件的粘贴位置精度的效果。并且,在本实施方式的大型表膜构件的框体中，在将表膜构件粘贴于光掩模时，框体的突出部也可以形成为与光掩模的外周侧面及形成于光掩模上的槽接触。例如，是将框体的左右的突出部中的一个突出部形成为与光掩模的外周侧面接触、将另一个突出部形成为与形成于光掩模上的槽接触的方式。或者，是将框体的突出部做成F字形、将前端侧弯曲的部分形成为与光掩模的外周侧面接触、将跟前侧弯曲的部分形成为与形成于光掩模上的槽接触的方式。这样，只要在将表膜构件粘贴于光掩模时起到使表膜构件的对位简化、提高表膜构件的粘贴位置精度的效果，也可以将方式变形。图25在设置于大型表膜构件的框体上的突出部中组合另一零件而固定大型表膜构件时的局部放大纵剖视图。如图25所示，在本实施方式的大型表膜构件的框体中，优选为在将表膜构件粘贴于光掩模9时，框体的突出部7与另一零件15组合，从而形成为能够利用物理方法将框体10固定于光掩模9。通过这样，能将表膜构件可靠地安装于光掩模，能够防止脱落等。作为将另一零件15安装于框体的突出部7的方法，可以使用螺纹卡定、联接器、采用弹性体进行的嵌合、夹入等各种固定方法。突出部也能用于把持、固定，能够在处理表膜构件时、将其容纳于容纳容器时、从容纳容器取出表膜构件时有效地利用。说明由把持构件把持、固定突出部的方法。图26是用于说明由把持构件把持、固定本实施方式的大型表膜构件的框体时的情形的局部放大纵剖视图，图26A表示把持、固定截面为矩形的突出部的方式，图26B表示把持、固定设置于框体外侧面的突出部、即截面为L字形的突出部的方式，图26C表示把持、固定设置于框体上缘面的突出部、即截面为L字形的突出部的方式，图26D表示把持、固定设置于框体内侧面的突出部、2个矩形的突出部的方式。在图26A及C中，把持构件16可靠地把持、固定突出部。在图26B中，突出部的L字前端部(钩部分)勾挂于把持构件16而被更可靠地把持、固定。另外，在图26D中，在2个矩形的突出部之间勾挂把持构件16而被可靠地把持、固定。对于以上说明的、框体在所有的边部分别具有把持用的凹部的形态以及框体在所有的边部分别具有把持用的凸部的形态，不言而喻，也可以在一个框体中将把持用的凹部和凸部组合起来使用。在强调空间效率的情况下，优选为凹部，在强调框体的加强效果的情况下，优选为凸部，但在上述各种形态的范围内，可以与把持构件的设计相结合地进行设计。对于把持本发明的大型表膜构件的框体，优选在框体的各边部分别同时把持至少I处以上的把持用的凸部或凹部，更优选在框体的各边部分别同时把持至少2处以上的把持用的凸部或凹部，最优选在框体的各边部同时把持所有的把持用的凸部或凹部。对粘接有表膜的框体施加由表膜欲收缩的张力产生的向内侧方向拉伸的应力。在本实施方式中，在自框体的内侧面挖掘把持用的槽或孔的方式的情况下，能够通过插入到把持用的槽或孔中的把持构件对框体的边部施加外侧的应力。由此，能够矫正由上述应力产生的框体的微小变形。并且，在自框体的上缘面挖掘把持用的槽或孔的方式、自框体的下缘面挖掘把持用的槽或孔的方式或自框体的外侧面挖掘把持用的槽或孔的方式中的任一种方式中，例如通过设置向槽或孔的内部变宽的空间部，并在把持构件的插入的前端部设置锁定机构，均能够矫正框体由表膜产生的向内侧变形。同样，对于形成于框体上的凸部，、通过把持凸部，也能够矫正框体由表膜产生的向内侧方向变形。另外，不言而喻，矫正上述框体向内侧变形的方法除能够应用于矫正由表膜的收缩张力导致的向内侧变形的情况之外，也能够应用于由框 体的自重、除膜张力之外的外力导致的变形的情况。在矫正大型表膜构件的框体形状时，优选在上述大型表膜构件的框体的各边部分别同时把持至少I处以上的把持用的凸部或凹部，对上述大型表膜构件的框体的至少I处施加应力，从而减少该框体的变形。实施例本发明人等使用具有上述构造的本发明的大型表膜构件的框体进行实验，结果可获得以下实施例所示的好结果。实施例I准备长边长度为1600mm、短边长度为1400mm、宽度为14mm、高度为6mm的四边形的铝合金制的框体。在各边外侧面的高度为3mm的位置，以距各边的中央及各边的两端250mm的3点为中心，利用切削加工在框体的所有4条边中的各边上分别形成3处开口部的圆周方向长度为200mm、开口部的高度为I. 5mm、槽的深度为3mm的槽。在框体的下缘面，作为粘合材料层而粘贴表面涂敷有丙烯酸类粘接剂的聚乙烯发泡体基材(厚度为1mm)。接着，在该粘合材料层上层叠与上述框体相同的框状的保护膜，即在表面涂敷有硅类脱模剂的聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂制的保护膜，该保护膜被设置为在长边的中央部向框体的外侧方向伸出尺寸为宽IOmmX长900mm的按压部分、在短边的中央部向框体的外侧方向伸出尺寸为宽IOmmX长750mm的按压部分、在四角的顶点以顶点为中心向框体的外侧方向伸出半径IOmm的按压部分(参照图27)。将这样地获得的带有保护膜的大型表膜构件的框体搭载在利用ABS树脂材料真空成形的容纳容器的托盘上，借助粘合带(带尺寸长边15mmX940mm、短边15mmX790mm、四角15mmX60mm)将上述按压部分的8处粘合固定于托盘上。实施例2除长边长度为1800mm、短边长度为1600mm、宽度为16mm之外，准备与上述实施例I同样的框体，与实施例I同样地将其固定于托盘上。实施例3除长边长度为2000mm、短边长度为1800mm、宽度为18mm之外，准备与上述实施例I同样的框体，与实施例I同样地将其固定于托盘上。实施例4除在距各边的中央及各边的两端150mm的3点、在框体的外侧面、在框体的所有4条边中的各边上分别形成3处开口部的直径为3mm、深度为3mm的圆形的孔之外，准备与上述实施例2同样的框体，与实施例I同样地将其固定于托盘上。比较例I除在短边外侧面的整周上形成开口部的高度为I. 5mm、槽的深度为3mm的槽、在长边上未形成把持部之外，准备与上述实施例2同样的框体，与实施例I同样地将其固定于托盘上。实施例5除在距长边的中央及两端150mm的位置、在框体的外侧面各形成3处开口部的直径为3mm、深度为3mm的圆形的孔、在短边中央的框体的外侧面各形成I处开口部的直径为3mm、深度为3mm的圆形的孔之外，准备与上述实施例2同样的框体，与实施例I同样地将其固定于托盘上。以下表I中表示上述实施例I 5和比较例I的评价结果。利用粘接固定于托盘上之前的框体对表膜构件框体进行可靠的把持评价。在实施例I 3的情况下，作为把持构件，准备具有由强化塑料制成的宽度100mm、厚度0. 75mm的板状的把持构件的12组工具，将该把持构件插入到框体的各边的所有的把持用的槽中同时进行把持，水平地抬起框体。另外，在比较例I的情况下，将相同的工具插入到以距两短边的中央及两短边的两端250mm的共计6点为中心的6处，水平地抬起框体。另外，在实施例4 5的情况下，作为把持构件，准备由强化塑料制成的直径2mm的棒，将该把持构件插入到框体的各边上的所有的把持用的孔中同时进行把持，水平地抬起框体。在水平地抬起之后，在水平状态下以每I秒I次的比例使其在300mm的高度上下5次，用“〇”表示所有的把持构件都未从所有的把持用的槽或孔脱出的情况，用“A”表示一部分把持构件从对应的一部分把持用的槽或孔脱出的情况，用“ X ”表示所有的把持构件从所有的把持用的槽或 孔脱出而表膜构件框体落下的情况。另外，利用隔着保护膜粘接固定于水平放置的托盘上的框体对该表膜构件框体进行挠曲防止评价。在实施例I 3的情况下，作为把持构件，准备具有由强化塑料制成的宽度100mm、厚度0. 75mm的板状的把持构件的12组工具，将该把持构件插入到框体的各边上的所有的把持用的槽中同时进行把持，水平地抬起框体。另外，在比较例I的情况下，将相同的工具插入到以距两短边的中央及两短边的两端250mm的共计6点为中心的6处，水平地抬起框体。另外，在实施例4 5的情况下，作为把持构件，准备由强化塑料制成的直径2mm的棒，将该把持构件插入到框体的各边上的所有的把持用的孔中同时进行把持，水平地抬起框体。抬起的速度为每秒lcm，用“◎”表示即将完全剥开保护膜与粘合材料的界面之前的表膜构件框体的边的挠曲量小于IOmm的情况，用“〇”表示即将完全剥开保护膜与粘合材料的界面之前的表膜构件框体的边的挠曲量大于等于IOmm且小于15mm的情况，用“A”(在实际应用中没有问题的下限水平)表示即将完全剥开保护膜与粘合材料的界面之前的表膜构件框体的边的挠曲量大于等于15mm且小于20mm的情况，用“X”(在实际应用中存在问题的水平)表示即将完全剥开保护膜与粘合材料的界面之前的表膜构件框体的边的挠曲量大于等于20mm的情况。表I
权利要求
1.ー种大型表膜构件的框体的把持方法，该框体具有由多条边构成的多边形形状，能够在该框体的上缘面粘接表膜，在该框体的下缘面涂敷粘合材料，上述框体的最长边的长度为Im以上，其中， 上述框体在所有的边部分别具有把持用的凸部或凹部； 在上述框体的所有边部上分別把持至少I处的把持用的凸部或凹部而进行搬运。
2.根据权利要求I所述的大型表膜构件的框体的把持方法，其特征在于， 在上述大型表膜构件的框体的所有边部上把持所有的把持用的凸部或凹部。
全文摘要
本发明提供大型表膜构件的框体的把持方法。该框体具有由多条边构成的多边形形状的框体、由粘接在该框体的上缘面的表膜和涂敷在该框体的下缘面的粘合材料构成，在把持上述框体的最长边的长度为1m以上的大型表膜构件的上述框体时，上述框体在所有的边部上分别具有把持用的凸部或凹部，通过在上述框体的各边部上分别同时把持至少1处以上的把持用的凸部或凹部，能够可靠地把持框体，而且在将表膜构件粘贴于光掩模时不会产生歪斜、挠曲而简单地将表膜构件从容纳容器取出。
文档编号G03F1/64GK102681334SQ20121014072
公开日2012年9月19日 申请日期2008年7月2日 优先权日2007年7月6日
发明者前田拓郎, 谷村彰浩 申请人:旭化成电子材料株式会社