电光调变器的制造方法
【专利摘要】本发明提供一种电光调变器，包括基底和形成在基底上的光波导，该光波导包括第一分支和第二分支，该第一分支位于基底的第一部份，该第一部份中的一部份极化反转。与现有技术相比，利用极化反转，在提供相同方向的电场下，仍可对光波相位作对称式调变。
【专利说明】电光调变器
【技术领域】
[0001] 本发明涉及电光调变器，尤其涉及一种马赫任德（Mach Zehnder)电光调变器。
【背景技术】
[0002] 马赫任德（Mach Zehnder)电光调变器是一种常见的电光调变器。马赫任德电光 调变器主要是由两个平行波导及对称的y分岔型波导所构成。在设计对称电极结构的马赫 任德电光调变器，为利用在分支波导中所受到的异向(相反180度)电场，对分支中的光波作 对称式调变，以达到提高调变效率的方式，但因为需制作的电极数目较多，故会提高制作难 度及不良率。
【发明内容】
[0003] 有鉴于此，有必要提供一种马赫任德电光调变器，其能够解决上述问题。
[0004] -种电光调变器，包括基底和形成在基底上的光波导，该光波导包括第一分支和 第二分支，该第一分支位于基底的第一部份，该第一部份中的一部份极化反转。
[0005] 与现有技术相比，利用极化反转，在提供相同方向的电场下，仍可对光波相位作对 称式调变。
【专利附图】
【附图说明】
[0006] 图1为本发明的电光调变器的俯视图。
[0007] 图2为本发明的电光调变器的剖视图。
[0008] 主要元件符号说明
【权利要求】
1. 一种电光调变器，包括基底和形成在基底上的光波导，该光波导包括第一分支和第 二分支，该第一分支位于基底的第一部份，其特征在于，该第一部份中的一部份极化反转。
2. 如权利要求1所述的电光调变器，其特征在于，该基底的材料采用铌酸锂晶体。
3. 如权利要求1所述的电光调变器，其特征在于，第一分支和第二分支通过在该基底 上扩散金属钛形成。
4. 如权利要求1所述的电光调变器，其特征在于，该第一分支包括两个与第二分支相 连接的倾斜部以及一与第二分支相平行的平行部，该平行部的两端与两个倾斜部的末端相 连。
5. 如权利要求4所述的电光调变器，其特征在于，该第一部份中与该平行部对应的部 份极化反转。
6. 如权利要求5所述的电光调变器，其特征在于，还包括第一电极、第二电极和第三电 极，第一电极覆盖所述平行部以及部份第二分支，第二电极和第三电极位于第一分支和第 二分支的外侧。
【文档编号】G02F1/035GK104155779SQ201310175820
【公开日】2014年11月19日 申请日期:2013年5月14日 优先权日:2013年5月14日
【发明者】黄新舜 申请人:鸿富锦精密工业（深圳）有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司