偏振光照射装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种偏振光照射装置，可迅速调整偏振元件的安装角度，以使多个偏振元件彼此的所通过的紫外线的振动方向相对于基准方向为±0.1°以内。实施方式的偏振光照射装置包括线状光源、多个第1偏振元件、可动部、第2偏振元件、受光单元及控制装置。光源照射紫外线。在沿光源的长边方向的不同位置配置有多个第1偏振元件。可动部变更多个第1偏振元件的各个的安装角度。第2偏振元件被通过第1偏振元件的紫外线照射。受光单元接收通过偏振元件、偏振元件的紫外线。控制装置根据所接收的紫外线的强度，控制可动部，以使通过多个第1偏振元件的各个的紫外线的振动方向相对于基准方向为±0.1°以内。
【专利说明】偏振光照射装置
【技术领域】
[0001]本发明的实施方式涉及一种偏振光照射装置。
【背景技术】
[0002]先前，在液晶面板的配向膜或视角补偿薄膜的配向膜等的配向处理中，是使用偏振光照射装置，所述偏振光照射装置包括线状的灯及线栅(wire grid)的偏振元件。这种偏振光照射装置将灯与工件(work)的宽度方向平行地配置，并将偏振元件配置于灯与工件之间。而且，偏振光照射装置仅使灯所照射的紫外线中偏振元件为规定方向的振动方向的紫外线通过，将所通过的紫外线照射至工件等，借此进行配向膜的配向处理。
[0003][现有技术文献]
[0004][专利文献]
[0005][专利文献I]日本专利第4506412号公报
【发明内容】
[0006]然而，在现有技术中，伴随着液晶面板的大型化即工件的大型化，将多个所述偏振元件配置于沿灯的长边方向的不同位置。这时，偏振光照射装置优选更迅速地对偏振元件的安装角度进行调整，以使多个偏振元件彼此的所通过的紫外线的振动方向与基准方向相—致。
[0007]因此，本发明所要解决的问题在于提供一种偏振光照射装置，所述偏振光照射装置例如可以迅速地调整偏振元件的安装角度，以使多个偏振元件彼此的所通过的紫外线的振动方向相对于基准方向为±0.1°以内。
[0008]实施方式的偏振光照射装置包括线状光源、多个第I偏振元件、可动部、第2偏振元件、受光单元及控制装置。光源照射紫外线。第I偏振元件配置于沿光源的长边方向的不同位置。可动部变更多个第I偏振元件的安装角度。第2偏振元件被通过第I偏振元件的紫外线照射。受光单元接收通过第I偏振元件及第2偏振元件的紫外线。控制装置根据所接收的紫外线的强度，控制可动部，以使通过第I偏振元件的紫外线的振动方向相对于基准方向为±0.1°以内，所述基准方向成为振动方向的基准。
[0009][发明的效果]
[0010]偏振光照射装置能够迅速地调整偏振元件的安装角度，以使多个偏振元件彼此的所通过的紫外线的振动方向相对于基准方向为±0.1°以内。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]图1是表示实施方式的偏振光照射装置的整体构成的图。
[0012]图2是表示实施方式的偏振光照射装置的整体构成的框图。
[0013]图3是表示实施方式的偏振光照射装置的控制装置的处理的一例的流程图。
[0014]图4是表示实施方式的偏振光照射装置的控制装置的处理的另一例的流程图。[0015]图5是示意性地表示实施方式的偏振光照射装置的可动部的构成的平面图。
[0016]图6是示意性地表示实施方式的变形例I的偏振光照射装置的可动部的构成的平面图。
[0017]图7是示意性地表示实施方式的变形例2的偏振光照射装置的可动部的构成的平面图。
[0018]图8是示意性地表示实施方式的变形例3的偏振光照射装置的可动部的构成的平面图。
[0019]图9是表示实施方式的变形例4的偏振光照射装置的控制装置的处理的一例的流程图。
[0020]附图标记:
[0021]1:偏振光照射装置
[0022]11:光源
[0023]12:第I偏振部
[0024]13:可动部
[0025]14:第2偏振元件
[0026]15:受光单元
[0027]16:移动单元
[0028]17:筒槽状聚光镜
[0029]18:保持构件
[0030]19:第I偏振元件
[0031]19a:框构件
[0032]19b:线栅偏振兀件
[0033]20:控制装置
[0034]21:构件用可动马达(构件用可动部)
[0035]22:元件用可动马达(元件用可动部)
[0036]22a:输出轴
[0037]23:法线方向可动马达
[0038]24:受光侧可动部
[0039]25:照度计
[0040]61:齿轮
[0041]62:小齿轮
[0042]71:测微计
[0043]81:齿条
[0044]N、L:方向
[0045]P:轴心
[0046]Q冰平轴
[0047]RD:基准方向
[0048]ST31 ?ST33、ST41、ST91 ?ST93:步骤
[0049]UA、UB:紫外线[0050]ff:工件【具体实施方式】
[0051]实施方式的偏振光照射装置I包括:线状光源11，照射紫外线UA ;多个第I偏振元件19，配置于沿所述光源11的长边方向的不同位置，并且被所述光源11照射所述紫外线UA ;可动部13，能够变更所述多个第I偏振元件19的安装角度；第2偏振元件14，配置于与所述第I偏振元件19相对向的位置，被通过所述第I偏振元件19的所述紫外线UB照射；受光单元15接收通过所述第I偏振元件19及所述第2偏振元件14的所述紫外线；以及控制装置20，根据所述受光单元15所接收的所述紫外线的强度，控制所述可动部13，以使通过所述多个第I偏振元件19的所述紫外线UB的振动方向相对于基准方向为±0.1°以内，所述基准方向成为振动方向的基准。
[0052]而且，所述可动部13包括元件用可动部22，所述元件用可动部22能够变更围绕着轴心P的安装角度，所述轴心P是自所述光源11向所述第I偏振元件19的轴心。
[0053]而且，所述控制装置20根据所述受光单元15所接收的所述紫外线的强度，算出所述紫外线UB的所述基准方向RD与通过所述第I偏振元件19的所述紫外线UB的振动方向所成的角度，并对所述可动部13进行控制，以使所述角度为±0.1°以内。
[0054]而且，还包括受光侧可动部24，所述受光侧可动部24使所述第2偏振元件14围绕着所述轴心P旋转，所述控制装置20 —面使所述第2偏振元件14围绕着所述轴心P旋转，一面算出所述受光单元15所接收的所述紫外线的强度最强的所述第2偏振元件14的方向与所述基准方向RD之间的角度，作为所述基准方向RD与通过所述第I偏振元件19的所述紫外线UB的振动方向所成的角度。
[0055]而且，还包括移动单元16，所述移动单元16使所述第2偏振元件14及所述受光单元15沿所述光源11的长边方向移动。
[0056][实施方式]
[0057]其次，根据附图，说明本发明的实施方式的偏振光照射装置I。图1是表示实施方式的偏振光照射装置的整体构成的图，图2是表示实施方式的偏振光照射装置的整体构成的框图，图3是表示实施方式的偏振光照射装置的控制装置的处理的一例的流程图，图4是表示实施方式的偏振光照射装置的控制装置的处理的另一例的流程图，图5是示意性地表示实施方式的偏振光照射装置的可动部的构成的平面图。
[0058]图1所示的实施方式的偏振光照射装置I是对工件W(图1中以两点划线表示)的表面照射预先设定的振动方向的紫外线UB的装置，例如，用于液晶面板的配向膜或视角补偿薄膜的配向膜等的制造。照射至工件W的表面的紫外线UB的振动方向根据工件W的构造、用途或所要求的规格而预先设定。例如，在所述液晶面板的配向膜用的制造装置中，优选的是将紫外线UB的振动方向相对于基准方向RD设定在±0.1°以内。而且,偏振光照射装置I在对工件W照射紫外线UB之前，调整第I偏振元件19的安装角度，从而调整照射至工件W的紫外线UB的振动方向。再者，将工件W的宽度方向称为X轴方向，将与X轴方向正交且为工件W的长边方向称为Y轴方向，将与Y轴方向及X轴方向正交的方向称为Z轴方向。在本实施方式中，偏振光照射装置I以X轴方向为基准方向RD,仅将相对于基准方向RD为±0.1°以内的紫外线UB照射至工件W。[0059]在这里，所谓第I偏振元件19及第2偏振元件14，是指自紫外线UA取出仅在特定方向上振动的偏振成分的紫外线UB的元件，所述紫外线UA是光源11所照射，且一样地在所有方向上振动。所谓紫外线UA、紫外线UB的振动方向，是指所述紫外线UA、紫外线UB的电场及磁场的振动方向。而且，所谓第I偏振元件19的安装角度，是指围绕着轴心P的N方向(图1中以箭头表示)的角度、以及围绕着水平轴Q的L方向(图1中以箭头表示)的角度，所述轴心P是自光源11向第I偏振元件19的轴心，所述水平轴Q与光源11的长边方向平行并且与自光源11向第I偏振元件19的轴心P正交。再者，在本实施方式中，轴心P与Z轴平行，水平轴Q与X轴平行。
[0060]偏振光照射装置I如图1及图2所示，包括线状光源11 ;第I偏振部12，包括多块第I偏振元件19 (仅图1所示)；可动部13 ;第2偏振元件14 (仅图1所示)；受光单元15 ；移动单元16 ;以及控制装置20。光源11是例如，高压汞灯或金属卤化物灯(metal halidelamp)等管型灯，至少包括线状的发光部。光源11将发光部的长边方向配置成与图1中的X轴方向成平行。光源11自线状的发光部，例如照射波长为200nm至400nm的紫外线UA。光源11所照射的紫外线UA是具有各种振动方向成分的紫外线，即所谓非偏振的紫外线。光源11也可以设为如下构成:使例如能够照射波长为200nm至400nm的紫外线UA的发光二极管(light-emitting diode, LED)芯片、激光二极管(laser diode)、有机电致发光(electroluminescence, EL)等的小型灯相间隔而配置成直线状。
[0061]而且,在本实施方式中，光源11配置于工件W的上方。此外,在光源11的上方,设置有截面为椭圆形的筒槽状聚光镜17。自光源11照射至筒槽状聚光镜17的紫外线UA借由筒槽状聚光镜17反射而形成为平行光，向工件W照射。
[0062]第I偏振部12是与光源11相对向而配置，被紫外线UA照射，所述紫外线UA是自光源11照射且借由筒槽状聚光镜17而反射。第I偏振部12包括保持构件18及多个第I偏振元件19。保持构件18用于保持多个第I偏振元件19，形成为与光源11大致相等的长度的框状。保持构件18在内侧收纳有多个第I偏振元件19。而且，保持构件18在其长边方向与X轴方向平行的状态下，借由未图示的定位机构而定位并固定于工件W与光源11之间。
[0063]多个第I偏振元件19并排地配置于沿光源11的长边方向即沿X轴方向的不同位置。多个第I偏振元件19收纳于保持构件18内，被光源11照射紫外线UA。第I偏振元件19如图5所示，包括框构件19a及线栅偏振元件1%，所述线栅偏振元件19b收纳于框构件19a内。框构件19a收纳于保持构件18内。线栅偏振元件19b是在石英玻璃等的基板上等间隔地平行配置有多个直线状的电导体(例如铬或铝合金等的金属线)的元件。电导体的间距优选的是自光源11照射的紫外线UA的波长的1/3以下。线栅偏振元件19b使自光源11照射的紫外线UA中与电导体的长边方向平行的偏振成分的大部分反射,并且使与电导体的长边方向正交的偏振成分通过。再者，在本实施方式中，第I偏振元件19需要将电导体的长边方向与Y轴平行而配置，从而仅使振动方向为X轴方向的紫外线UB通过。
[0064]可动部13能够变更第I偏振元件19的安装角度。可动部13如图1所示，包括构件用可动马达21 (相当于构件用可动部)、多个元件用可动马达22 (相当于元件用可动部)及多个法线方向可动马达23 (相当于法线方向可动部)。
[0065]构件用可动马达21能够变更保持构件18的围绕着轴心P的N方向的安装角度，所述轴心P是与Z轴平行的轴心(相当于自光源向第I偏振元件的轴心)。在保持构件18上安装有一个构件用可动马达21。
[0066]多个元件用可动马达22与第I偏振元件19——对应，且能够变更所对应的第I偏振元件19的围绕着轴心P的N方向的安装角度。在本实施方式中，如图5所示，将元件用可动马达22的输出轴22a直接安装于框构件19a上，从而元件用可动马达22对框构件19a与线栅偏振元件19b —体地变更围绕着轴心P的N方向的安装角度。而且，在本实施方式中，第I偏振元件19是线栅偏振元件19b能够自平行于光源11的位置向围绕着轴心P的N方向例如在约±1度以下的范围旋转。
[0067]多个法线方向可动马达23与第I偏振元件19 一一对应，且能够变更所对应的第I偏振元件19的围绕着水平轴Q的L方向的安装角度，所述水平轴Q与X轴平行。在本实施方式中，法线方向可动马达23变更线栅偏振元件19b的围绕着水平轴Q的L方向的安装角度。
[0068]第2偏振元件14配设于与第I偏振元件19相对向的位置，被通过第I偏振元件19的紫外线UB照射。第2偏振元件14配置于第I偏振部12的下方，且配置于与光源11之间夹着第I偏振部12的位置。而且，第2偏振元件14借由受光侧可动部24(图1所示)而沿围绕着所述轴心P的N方向旋转。在本实施方式中，第2偏振元件14形成为被照射如下紫外线UB的大小，所述紫外线UB通过多个第I偏振元件19中的一个第I偏振元件19。第2偏振元件14在石英玻璃等的基板上等间隔地平行配置有多个直线状的电导体(例如铬或铝合金等的金属线)。电导体的间距优选的是自光源11照射的紫外线UA的波长的1/3以下。第2偏振元件14使通过第I偏振元件19的紫外线UB中与电导体的长边方向平行的偏振成分的大部分反射，且使与电导体的长边方向正交的偏振成分通过。
[0069]受光单元15接收通过第I偏振元件19及第2偏振元件14的紫外线。受光单元15配置于第2偏振元件14的下方。受光单元15向照度计(illuminance meter) 25输出表示所接收的紫外线的信息，照度计25算出所接收的紫外线的强度，并向控制装置20输出所算出的所接收的紫外线的强度。
[0070]移动单元16使第2偏振元件14及受光单元15 —体地沿光源11的长边方向移动。移动单元16包含众所周知的马达、球头螺钉(ball screw)及直线导轨(linear guide)等而构成。
[0071]控制装置20对构成偏振光照射装置I的上述构成要素分别进行控制，使偏振光照射装置I对工件W进行紫外线UB的照射。而且，控制装置20在对工件W照射紫外线UB之前，使偏振光照射装置I进行第I偏振元件19的安装角度的调整。再者，控制装置20以未图示的微处理器(microprocessor)为主体而构成，并与显示单元、未图示的操作单元相连接，所述微处理器包括例如由中央处理器(central processing unit,CPU)等所构成的运算处理装置，只读存储器(read only memory, ROM)、随机存取存储器(random access memory,RAM)等,所述显示单元显示加工动作的状态,所述操作单元用于操作员(operator)登记加工内容信息等时。
[0072]其次，参照图3及图4，说明实施方式的偏振光照射装置I的控制装置20的第I偏振元件19的安装角度调整的处理的一例。再者，安装角度调整是在如下时候进行:连同保持构件18 —起更换了第I偏振部12整体时、或者更换了第I偏振部12的多个第I偏振元件19中的至少一个第I偏振元件19时等。
[0073]在本实施方式中，安装角度调整将第I偏振元件19的安装角度设为仅使如下紫外线UB通过的安装角度，所述紫外线UB是以X轴方向为基准方向RD，振动方向相对于基准方向RD为±0.1°以内的紫外线UB。即，在本实施方式中，基准方向RD(图1中以一点划线表示)与X轴平行，所述基准方向RD成为通过第I偏振元件19的紫外线UB的振动方向的基准。再者，所谓基准方向RD，是指将第I偏振元件19定位于理想的安装角度时通过第I偏振兀件19的紫外线UB的直线偏振成分(也称为振动方向)。
[0074]首先，当自操作员发出调整动作的指令时，偏振光照射装置I的控制装置20开始安装角度调整的处理。在安装角度调整的处理中，控制装置20在图3所示的步骤ST31中，设为N = I，进入至步骤T32。
[0075]在步骤ST32中，控制装置20在移动单元16上将第2偏振元件14及受光单元15定位于多个第I偏振元件19中位于一端的一个第I偏振元件19的下方。并且，控制装置20对光源11进行点灯，向第I偏振元件19照射一样地在所有方向上振动的紫外线UA，并且借由受光侧可动部24而使第2偏振元件14旋转。于是，仅使如下紫外线UB向第2偏振元件14通过，所述紫外线UB是紫外线UA中与第I偏振元件19的线栅偏振元件19b的电导体正交的偏振成分的紫外线UB,即振动方向与第I偏振兀件19的线栅偏振兀件19b的电导体正交的紫外线UB。而且，第2偏振元件14也仅使如下紫外线通过，所述紫外线是与第I偏振兀件19同样地与电导体正交的偏振成分的紫外线，即振动方向与第2偏振兀件14的电导体正交的紫外线。于是，受光单元15仅接收如下紫外线，所述紫外线是光源11所照射的一样地在所有方向上振动的紫外线UA中通过第I偏振元件19及第2偏振元件14的紫外线。
[0076]这时，由于第I偏振元件19仅使紫外线UB通过并且第2偏振元件14在旋转，因此受光单元15所接收的紫外线的强度与第2偏振元件14的旋转进行联动而发生变化，所述紫外线是照度计25向控制装置20输出的紫外线。接着，控制装置20算出受光单元15所接收的紫外线的强度最强的围绕着轴心P的N方向的第2偏振元件14的位置。接着，控制装置20 —面使第2偏振元件14围绕着轴心P旋转，一面算出受光单元15所接收的紫外线的强度最强的第2偏振元件14的位置的自基准方向RD算起的围绕着轴心P的N方向的旋转角度。接着，控制装置20算出受光单元15所接收的紫外线的强度最强的第2偏振元件14的位置的自基准方向RD算起的旋转角度(即，受光单元15所接收的紫外线的强度最强的第2偏振元件14的方向与基准方向RD之间的角度)，作为基准方向RD与通过第I偏振元件19的紫外线UB的振动方向所成的角度。
[0077]并且，控制装置20按照所述角度的情况，对元件用可动马达22进行驱动(控制)，以使基准方向RD与通过第I偏振元件19的紫外线UB的振动方向所成的角度为±0.1°以内。这样一来，控制装置20根据受光单元15所接收的紫外线的强度，算出基准方向RD与通过第I偏振元件19的紫外线UB的振动方向所成的角度，对可动部13的元件用可动马达22进行控制，以使所述角度为±0.1°以内。然后，当基准方向RD与通过第I偏振元件19的紫外线UB的振动方向所成的角度达到预先设定的例如0.1°等容许角度以下时，控制装置20结束所述一个第I偏振元件19的安装角度调整，进入至步骤ST33。
[0078]在步骤ST33中，控制装置20判定是否结束了所有的第I偏振元件19的安装角度调整，如果尚未结束，则在步骤ST34中设为N = N+1，返回至步骤ST32。接着，控制装置20对移动单元16进行驱动，将第2偏振元件14及受光单元15定位于另一个第I偏振元件19的下方，与刚才同样地进行安装角度调整。这样一来，控制装置20重复进行步骤ST32至步骤ST34，直至结束所有的第I偏振元件19的安装角度调整为止，逐个依次进行多个第I偏振元件19的安装角度调整。当结束所有的第I偏振元件19的安装角度调整时，控制装置20结束安装角度调整的处理。
[0079]当结束所有的第I偏振元件19的安装角度调整时，通过所有的第I偏振元件19的紫外线UB的振动方向与基准方向RD平行，或者所述紫外线UB的振动方向与基准方向RD所成的角度为容许角度以下即±0.1°以下。这样，控制装置20根据受光单元15所接收的紫外线的强度，对可动部13的元件用可动马达22进行控制，以使通过多个第I偏振元件19的来自光源11的紫外线UB的振动方向相对于基准方向RD为±0.1°以内。
[0080]而且，在更换了第I偏振部12整体等情况下，当多个第I偏振元件19的所通过的紫外线UB的振动方向为相互平行时，本实施方式的偏振光照射装置I对构件用可动马达21进行控制而进行安装角度调整，所述多个第I偏振元件19预先收纳于保持构件18中。这时，在图4中的步骤ST41中，控制装置20在移动单元16上将第2偏振元件14及受光单元15定位于多个第I偏振元件19中任意的第I偏振元件19的下方。并且，控制装置20对光源11进行点灯，并且使受光侧可动部24让第2偏振元件14旋转。
[0081]接着，控制装置20算出受光单元15所接收的紫外线的强度最强的围绕着轴心P的N方向的第2偏振元件14的位置。控制装置20算出受光单元15所接收的紫外线的强度最强的第2偏振元件14的位置的自基准方向RD算起的围绕着轴心P的N方向的旋转角度。控制装置20将紫外线的强度最强的第2偏振元件14的位置的自基准方向RD算起的旋转角度，作为基准方向RD与通过第I偏振元件19的紫外线UB的振动方向所成的角度。控制装置20按照所述角度的情况，对构件用可动马达21进行驱动(控制)，以使基准方向RD与通过第I偏振元件19的紫外线UB的振动方向所成的角度为±0.1°以内。并且，当基准方向RD与通过第I偏振元件19的紫外线UB的振动方向所成的角度为容许角度以下时，控制装置20结束安装角度调整。
[0082]所述构成的偏振光照射装置I是在第I偏振元件19与受光单元15之间设置第2偏振元件14，并且根据受光单元15所接收的紫外线的强度，控制装置20对可动部13进行控制。因此，偏振光照射装置I借由预先掌握通过第2偏振元件14的紫外线的振动方向等，能够推测通过第I偏振元件19的紫外线UB的振动方向。因此，偏振光照射装置I能够推测通过第I偏振元件19的紫外线UB的振动方向，因此借由对可动部13进行控制，可以使通过多个第I偏振兀件19的紫外线UB的振动方向相对于基准方向RD为±0.1°以内。因此，偏振光照射装置I可以对第I偏振元件19的安装角度进行调整，以使多个第I偏振元件19的所通过的紫外线UB的振动方向相对于基准方向RD为±0.1°以内。
[0083]而且，偏振光照射装置I中，可动部13的元件用可动马达22能够变更作为安装角度的N方向的安装角度，所述N方向围绕着自光源11向第I偏振元件19的轴心P。因此，偏振光照射装置I借由控制装置20对元件用可动马达22进行控制，可以使通过多个第I偏振元件19的紫外线UB的振动方向相对于基准方向RD为±0.1°以内。
[0084]而且，偏振光照射装置I借由预先规定通过第2偏振元件的紫外线的振动方向等，可以根据受光单元15所接收的紫外线的强度，容易地算出基准方向RD与通过第I偏振元件19的紫外线UB的振动方向所成的角度。因此，偏振光照射装置I借由对元件用可动马达22进行控制，可以使通过第I偏振元件19的紫外线UB的振动方向相对于基准方向RD为±0.1°以内。
[0085]偏振光照射装置I将受光单元15所接收的紫外线最强的第2偏振元件14的自基准方向RD算起的旋转角度，作为通过第I偏振元件19的紫外线UB的振动方向。因此，偏振光照射装置I可以容易且准确地推测通过第I偏振元件19的紫外线UB的振动方向。因此，可期待能够对第I偏振元件19的安装角度进行调整，以使多个第I偏振元件19的所通过的紫外线UB的振动方向相对于基准方向RD为±0.1°以内。
[0086]偏振光照射装置I包括移动单元16，所述移动单元16使第2偏振元件14及受光单元15沿光源11的长边方向移动，因此无须对应于各第I偏振元件19的各个而设置第2偏振元件14及受光单元15。因此，偏振光照射装置I可以使第2偏振元件14及受光单元15的数量少于多个第I偏振元件19，可以针对多个第I偏振元件19，利用一组第2偏振元件14及受光单元15对第I偏振元件19的安装角度进行调整。因此，偏振光照射装置I可以抑制零件个数的增加或大型化。
[0087][变形例I?变形例3]
[0088]其次，根据附图，说明本发明的实施方式的变形例I?变形例3的偏振光照射装置
I。图6是示意性地表示实施方式的变形例I的偏振光照射装置的可动部的构成的平面图，图7是示意性地表示实施方式的变形例2的偏振光照射装置的可动部的构成的平面图，图8是示意性地表示实施方式的变形例3的偏振光照射装置的可动部的构成的平面图。再者，在图6至图8中，对与所述实施方式相同的部分标注相同符号，并省略说明。
[0089]在变形例I中，如图6所示，在元件用可动马达22与第I偏振元件19的框构件19a之间设置有至少I个以上的齿轮61。在变形例I中，借由小齿轮(pinion)62与齿轮61相咬合，而利用元件用可动马达22对第I偏振元件19的安装角度进行调整，所述小齿轮62安装于元件用可动马达22的输出轴22a上。
[0090]在变形例2中，如图7所示，在第I偏振元件19的框构件19a上设置有测微计(micrometer) 71等的推入螺钉。在变形例2中,借由元件用可动马达22,对测微计71进行推或拉，而对第I偏振元件19的安装角度进行调整。
[0091]在变形例3中，如图8(a)及图8(b)所示，在第I偏振元件19的框构件19a的外缘设置有齿条(rack) 81。在变形例3中，在齿条81上咬合着小齿轮62，所述小齿轮62安装于元件用可动马达22的输出轴22a上。在变形例3中，借由元件用可动马达22，借由元件用可动马达22使小齿轮62旋转，借此对第I偏振元件19的安装角度进行调整。而且，线栅偏振兀件19b的方向也可以设为相对于图1的实施方式，旋转90度的方向，可以根据偏振光照射装置I的用途而适时设定。
[0092][变形例4]
[0093]其次，根据附图，说明本发明的实施方式的变形例4的偏振光照射装置I。图9是表示实施方式的变形例4的偏振光照射装置的控制装置的处理的一例的流程图。
[0094]在变形例4中，在安装角度调整的处理中，控制装置20在图9所示的步骤ST91中，一面对光源11进行点灯，借由受光侧可动部24使第2偏振元件14旋转，一面使第2偏振元件14及受光单元15自第I偏振部12的一端的下方向另一端的下方移动。并且，控制装置20与第2偏振元件14及受光单元15的移动进行联动，而被输入信息，所述信息表示通过多个第I偏振元件19中的每一个且通过第2偏振元件14的紫外线的强度。并且，控制装置20算出所述基准方向RD与通过第I偏振元件19各个的紫外线UB的振动方向所成的角度。控制装置20算出基准方向RD与通过所有的第I偏振元件19的紫外线UB的振动方向所成的角度时，进入至步骤ST92。
[0095]在步骤ST92中，控制装置20按照所述角度的情况，对各元件用可动马达22进行驱动(控制)，以使基准方向RD与通过第I偏振元件19的紫外线UB的振动方向所成的角度为±0.1°以内。接着，进入至步骤ST93。
[0096]在步骤ST93中，控制装置20 —面借由受光侧可动部24使第2偏振元件14旋转，一面使第2偏振兀件14及受光单兀15自第I偏振部12的一端的下方向另一端的下方移动。接着，控制装置20判定基准方向RD与通过各第I偏振元件19的紫外线UB的振动方向所成的角度是否为预先设定的例如0.1度等容许角度以下，如果存在超过容许角度的第I偏振元件19，则将第2偏振元件14及受光单元15定位于超过容许角度的第I偏振元件19的下方，根据受光单元15所接收的紫外线的强度，对元件用可动马达22进行控制，以使所述角度为容许角度以下。这样一来，控制装置20进行所有的第I偏振元件19的安装角度调整。变形例I?变形例4的偏振光照射装置I可获得与所述实施方式相同的效果。
[0097]在所述实施方式中，揭示了进行第I偏振元件19的围绕着轴心P的N方向的安装角度的调整的示例，但是在本发明中，也可以对法线方向可动马达23进行控制而对第I偏振元件19的L方向的安装角度进行调整，所述L方向围绕着与光源11的长边方向平行的水平轴Q。作为对第I发光元件的19的围绕着水平轴Q的L方向的安装角度进行调整的方法，例如有如下方法，即，在第I偏振元件19的图中的长边部的中央部，以使第I偏振元件能够沿方向L旋转的方式而设置旋转轴(无图示)等，利用法线方向可动马达23使第I偏振元件19的短边部沿Z轴方向移动。或者，沿第I偏振元件19的至少一个短边部，以使第I偏振元件能够沿方向L旋转的方式而设置旋转轴(无图示)，利用法线方向可动马达23使第I偏振元件19的另一个短边部沿Z轴方向移动，借此也可以调整L方向的安装角度。例如，当多个第I偏振元件19的面方向能够分别相对于工件W的面方向而确保平行度时，也可以自可动部13中省略法线方向可动马达23 (法线方向可动部)。而且，此外还可以省略构件用可动马达21 (构件用可动部)，而将可动部13设为只有多个元件用可动马达22 (元件用可动部)的构成。这时，可以简化偏振光照射装置I的构成。
[0098]而且，在所述实施方式中，一面使第2偏振元件14旋转，一面利用受光单元15接收紫外线。然而，在本发明中，还可以不使第2偏振元件14旋转，而利用受光单元15接收紫外线。这时，控制装置20只要借由预先掌握通过第2偏振元件14的紫外线的振动方向或强度等，而根据受光单元15所接收的紫外线的强度，推测通过第I偏振元件19的紫外线UB的振动方向即可。
[0099]此外，在所述实施方式中，第I偏振元件19是使如下紫外线UB通过，所述紫外线UB的振动方向相对于X轴方向(基准方向RD)为±0.1°以内。但是,在本发明中，通过第I偏振元件19的紫外线UB的振动方向并没有特别限定，也可以根据工件W的商品编号或种类进行适当变更。[0100]以上已说明本发明的若干实施方式及变形例，但是所述实施方式及变形例是作为示例起提示作用，并不打算限定发明的范围。所述实施方式及变形例可以通过其它各种方式来实施，在没有脱离发明主旨的范围内，可以进行各种省略、置换、变更。所述实施方式及变形例包含于发明的范围或主旨内，与此同样地，包含于权利要求书中所记载的发明及其同等的范围内。
【权利要求】
1.一种偏振光照射装置，其特征在于包括: 线状光源，照射紫外线； 多个第I偏振元件，配置于沿所述光源的长边方向的不同位置，并且被所述光源照射所述紫外线； 可动部，能够变更所述多个第I偏振元件的安装角度； 第2偏振元件，配置于与所述第I偏振元件相对向的位置，被通过所述第I偏振元件的所述紫外线照射； 受光单元，接收通过所述第I偏振元件及所述第2偏振元件的所述紫外线；以及 控制装置，根据所述受光单元所接收的所述紫外线的强度，控制所述可动部，以使通过所述多个第I偏振元件的所述紫外线的振动方向相对于基准方向为±0.1°以内，所述基准方向成为振动方向的基准。
2.根据权利要求1所述的偏振光照射装置，其特征在于， 所述可动部包括元件用可动部，所述元件用可动部能够变更围绕着轴心的安装角度，所述轴心是自所述光源向所述第I偏振元件的轴心。
3.根据权利要求2所述的偏振光照射装置，其特征在于， 所述控制装置根据所述受光单元所接收的所述紫外线的强度，算出所述紫外线的所述基准方向与通过所述第I偏振元件的所述紫外线的振动方向所成的角度，并对所述可动部进行控制，以使所述角度为±0.1°以内。
4.根据权利要求3所述的偏振光照射装置，其特征在于还包括: 受光侧可动部，使所述第2偏振元件围绕着所述轴心旋转， 所述控制装置一面使所述第2偏振元件围绕着所述轴心旋转，一面算出所述受光单元所接收的所述紫外线的强度最强的所述第2偏振元件的方向与所述基准方向之间的角度，作为所述基准方向与通过所述第I偏振元件的所述紫外线的振动方向所成的角度。
5.根据权利要求1至权利要求4中任一所述的偏振光照射装置，其特征在于还包括: 移动单元，使所述第2偏振元件及所述受光单元沿所述光源的长边方向移动。
【文档编号】G02B27/28GK103869543SQ201310349796
【公开日】2014年6月18日 申请日期:2013年8月12日 优先权日:2012年12月14日
【发明者】田中贵章, 前田祥平, 三轮裕之, 田中正 申请人:东芝照明技术株式会社