一种曝光机的平行光镜调整机构的制作方法

文档序号:2707177阅读:306来源:国知局
一种曝光机的平行光镜调整机构的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种曝光机的平行光镜调整机构,包括具有四个侧边的平行光镜固定组,所述平行光镜固定组的四个侧边中的其中两个相对的侧边设有用于调节所述平行光镜固定组高度的第一调节装置,衔接该两个相对的侧边的其中一侧边设有用于调节所述平行光镜固定组的第二调节装置。本实用新型的曝光机的平行光镜调整机构可避免平行光镜破损,结构简单,实用性强。
【专利说明】一种曝光机的平行光镜调整机构
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种曝光机,尤其涉及一种曝光机的平行光镜调整机构。
【背景技术】
[0002]如图1所示为现有技术中的曝光机的平行光镜调整机构,这种曝光机的平行光镜调整机构采用四点调整和固定。在调整平行光镜的角度(以满足达到紫外光照射到工作平台的倾斜角度达到要求)过程中,需将平行光镜固定组Ia抬起来,多次反复调整平行光镜在四个角A、B、C、D固定螺丝2a处的高度,较为繁琐,花费的时间较长;同时,调整后,平行光镜固定组Ia需在该四个调节处固定,此时,平行光镜固定组Ia在该A、B、C、D四个点的位置往往不在一个平面,在这四个点的螺母3a固锁时,会导致平行光镜变形,而平行光镜为石英玻璃材质,因而易导致平行光镜破损。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的是提供一种曝光机的平行光镜调整机构,可避免平行光镜变形而破损。
[0004]为实现上述目的,本实用新型提供一种曝光机的平行光镜调整机构,包括具有四个侧边的平行光镜固定组,所述平行光镜固定组的四个侧边中的其中两个相对的侧边设有用于调节所述平行光镜固定组高度的第一调节装置,衔接该两个相对的侧边的其中一侧边设有用于调节所述平行光镜固定组的第二调节装置。
[0005]较佳地,所述第一调节装置包括第一平行光镜固定座,所述平行光镜固定座侧向延伸有上安装部和下安装部,所述上安装部上安装有竖向设置的可调节的上螺杆,所述上螺杆上紧固有夹持在所述上安装部上下侧的两个上螺母,所述下安装部上安装有竖向设置的可调节的下螺杆,所述下螺杆上紧固有夹持在所述下安装部上下侧的两个下螺母,所述第一平行光镜固定座上还安装有夹持在所述上螺杆和下螺杆之间的横向的平行光镜固定螺丝,所述平行光镜固定螺丝固定在所述平行光镜固定组上,所述平行光镜固定螺丝上紧固有夹持在所述平行光镜固定座两侧的两个第一螺母。
[0006]较佳地,所述第二调节装置包括第二平行光镜固定座,所述第二平行光镜固定座上固定有螺杆,所述螺杆安装在所述平行光镜固定组上,且所述螺杆上紧固有夹持在所述平行光镜固定组上下侧的两个第二螺母。
[0007]较佳地,所述平行光镜固定组设有所述第二调节装置的侧边侧向延伸有安装片,所述螺杆穿过所述安装片,所述的两个第二螺母夹持在所述安装片的上下侧。
[0008]较佳地,所述第一调节装置和所述第二调节装置均位于相应侧边的中部。
[0009]与现有技术相比,本实用新型的曝光机的平行光镜调整机构通过在平行光镜固定组的两个相对侧边设置第一调节装置,在衔接该两个侧边的其中一个侧边设置第二调节装置,两个第一调节装置和一个第二调节装置形成三点调整,可有效的调整平行光镜的角度及高度位置,以调整照射到工作台面上的紫外光的倾斜角度,降低了现有技术中的四点调整机构调整的难度,提高了工作效率,避免了平行光镜破损;且结构简单,实用性强。
[0010]通过以下的描述并结合附图,本实用新型将变得更加清晰,这些附图用于解释本实用新型的实施例。
【专利附图】

【附图说明】
[0011]图1为现有技术中的平行光镜调整机构的结构示意图。
[0012]图2为本实用新型曝光机的平行光镜调整机构的结构示意图。
[0013]图3为平行光镜固定组与其中一第一调节装置的分解示意图。
【具体实施方式】
[0014]现在参考附图描述本实用新型的实施例,附图中类似的元件标号代表类似的元件。
[0015]请参考图2-3,所述的曝光机的平行光镜调整机构包括平行光镜固定组1,所述平行光镜固定组I具有四个侧边,所述平行光镜固定组I的四个侧边中的其中两个相对的侧边分别设有用于调节所述平行光镜固定组I高度的第一调节装置2,衔接该两个相对的侧边的其中一侧边设有用于调节所述平行光镜固定组I的第二调节装置3。本具体实施例中,所述的两个第一调节装置2位于所述平行光镜固定组I的前后侧,所述第二调节装置3位于所述平行光镜固定组I的左侧。所述第一调节装置2和所述第二调节装置3均位于相应侧边的中部。所述的两个第一调节装置2和所述第二调节装置3构成A、B、C三点调整、固定的设计。
[0016]详细而言,所述第一调节装置2包括第一平行光镜固定座21,所述平行光镜固定座21侧向延伸有上安装部22和下安装部23。所述上安装部22上设有带螺牙的孔,所述带螺牙的孔内安装有竖向设置的可调节的上螺杆24,所述上螺杆24上紧固有夹持在所述上安装部22上下侧的两个上螺母25。所述下安装部23上也设有带螺牙的孔,该带螺牙的孔内安装有竖向设置的可调节的下螺杆26,所述下螺杆26上紧固有夹持在所述下安装部23上下侧的两个下螺母27。所述第一平行光镜固定座21上还安装有夹持在所述上螺杆24和下螺杆26之间的横向的平行光镜固定螺丝28,所述平行光镜固定螺丝28固定在所述平行光镜固定组I上,所述平行光镜固定螺丝26上紧固有夹持在所述平行光镜固定座21两侧的两个第一螺母29。
[0017]所述第二调节装置3包括第二平行光镜固定座31,所述第二平行光镜31固定座上固定有螺杆32,所述螺杆32安装在所述平行光镜固定组I上,且所述螺杆32上紧固有夹持在所述平行光镜固定组I上下侧的两个第二螺母33。更详细而言,所述平行光镜固定组I设有所述第二调节装置3的侧边侧向延伸有安装片11,所述螺杆32穿过所述安装片11,所述的两个第二螺母33夹持在所述安装片11的上下侧。
[0018]在调整平行光镜的角度的过程中,可从A、B、C三个点位置调整平行光镜固定组I的高度,从而调整平行光镜的角度,以使紫外光照射到工作平台的倾斜角度达到要求。C处的调整方式为:松开此处螺杆32上位于安装片11上侧的第二螺母33,通过调整此处螺杆32上位于安装片11下侧的第二螺母33,来调节平行光镜固定组I在C点的高度,从而调整平行光镜在X方向即左右方向的倾斜角度,整个平行光镜固定组I调整完毕后,将安装片11上侧的第二螺母33锁紧平行光镜固定组I。A处的调整方式为:松开此处两个上螺母25、两个下螺母27、上螺杆24和两个第一螺母29,在平行光镜固定座21上旋转下螺杆26,调整下螺杆26的高度,来调节平行光镜固定组I在A点的高度,从而调整平行光镜在Y方向即前后方向的倾斜角度,整个平行光镜固定组I调整完毕后,将上螺杆24下拧压紧平行光镜固定螺丝28,然后将两个上螺母25、两个下螺母27和两个第一螺母29锁紧即可。B处的调整方式与A相同,故不赘述。
[0019]通过A、B、C三点调整,可有效的调整平行光镜的角度及高度位置,以调整照射到工作台面上的紫外光的倾斜角度,降低了现有技术中四点调整机构调整的难度,提高了工作效率,避免了平行光镜破损。
[0020]以上结合最佳实施例对本实用新型进行了描述,但本实用新型并不局限于以上揭示的实施例,而应当涵盖各种根据本实用新型的本质进行的修改、等效组合。
【权利要求】
1.一种曝光机的平行光镜调整机构,包括具有四个侧边的平行光镜固定组,其特征在于:所述平行光镜固定组的四个侧边中的其中两个相对的侧边设有用于调节所述平行光镜固定组高度的第一调节装置,衔接该两个相对的侧边的其中一侧边设有用于调节所述平行光镜固定组的第二调节装置。
2.如权利要求1所述的曝光机的平行光镜调整机构,其特征在于:所述第一调节装置包括第一平行光镜固定座,所述平行光镜固定座侧向延伸有上安装部和下安装部,所述上安装部上安装有竖向设置的可调节的上螺杆,所述上螺杆上紧固有夹持在所述上安装部上下侧的两个上螺母,所述下安装部上安装有竖向设置的可调节的下螺杆,所述下螺杆上紧固有夹持在所述下安装部上下侧的两个下螺母,所述第一平行光镜固定座上还安装有夹持在所述上螺杆和下螺杆之间的横向的平行光镜固定螺丝,所述平行光镜固定螺丝固定在所述平行光镜固定组上,所述平行光镜固定螺丝上紧固有夹持在所述平行光镜固定座两侧的两个第一螺母。
3.如权利要求1所述的曝光机的平行光镜调整机构,其特征在于:所述第二调节装置包括第二平行光镜固定座,所述第二平行光镜固定座上固定有螺杆,所述螺杆安装在所述平行光镜固定组上,且所述螺杆上紧固有夹持在所述平行光镜固定组上下侧的两个第二螺母。
4.如权利要求3所述的曝光机的平行光镜调整机构,其特征在于:所述平行光镜固定组设有所述第二调节装置的侧边侧向延伸有安装片,所述螺杆穿过所述安装片,所述的两个第二螺母夹持在所述安装片的上下侧。
5.如权利要求1所述的曝光机的平行光镜调整机构,其特征在于:所述第一调节装置和所述第二调节装置均位于相应侧边的中部。
【文档编号】G02B7/198GK203551945SQ201320646978
【公开日】2014年4月16日 申请日期:2013年10月18日 优先权日:2013年10月18日
【发明者】黄建 申请人:志圣科技(广州)有限公司
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