适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置，包括装置本体、控制组件、菲林、多孔材料介质层、玻璃板，工件放置在所述多孔材料介质层的上表面，在多孔材料介质层的下部设置有平台，所述平台与空气泵相连，在玻璃板上部设置有第一驱动机构，所述菲林贴附在该玻璃板下表面，在所述平台下部设置有第二驱动机构，所述的多孔材料介质层上开设有若干分布均匀贯穿于上下两端面的细微小孔，通过对所述平台的充气使其在所述多孔材料介质层表面形成均匀的气浮压力，迫使所述工件与菲林紧密贴合。该密着装置形成气浮正压力的时间较形成真空负压时间缩短数倍，能显著提高生产效率，工件与菲林贴合的正压力可以无限制增大。
【专利说明】适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及曝光机使用【技术领域】，尤其涉及一种适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置。
【背景技术】
[0002]在批量生产印制电路板过程中，是经过紫外线曝光，使所需的电路图形通过菲林转移到工件上，如果菲林和工件间有间隙或气泡，就会引起图形失真，造成曝光不良，为此数十年来，行业内都是采用抽真空形成负压，使玻璃受压或变形来达到菲林和工件的贴合，但始终存在如下的问题:1、抽真空的时间过长，使生产效率变低；2、由于贴有菲林的玻璃易碎，所以真空度不能过高，这就使得变形应力较大的工件与菲林不能形成良好的贴合，另夕卜，必需用不同的垫片(对不同的工件)去填平真空腔的其余部分，以避免玻璃不被抽爆，费时费工，不适应自动化生产；3、由于工件的上下两面同时与高刚性的平台和玻璃接触，玻璃本身(与工件接触面)和铝合金平台的不平和凹陷就会造成贴合不良，也很难通过调节真空度来改善贴合的均匀度。
实用新型内容
[0003]本实用新型要解决的技术问题是提供一种适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置，该运用在影像转移曝光机的菲林与工件密着方法可以在吹气条件下使得影像转移曝光机中的菲林和工件紧密贴合，避免将玻璃板压碎，吹气时间短，吹气的气压可以无限制增大，生产效率高，自动化程度高。
[0004]为解决抽真空密着存在的上述技术问题，本实用新型提供的适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置包括包括装置本体、容置于所述装置本体中的控制组件、菲林、多孔材料介质层、装设于所述装置本体上的玻璃板，工件放置在所述多孔材料介质层的上表面，在多孔材料介质层的下部设置有与所述多孔材料介质层紧密贴合的平台，所述平台与空气泵相连，在玻璃板上部设置有第一驱动机构，所述菲林贴附在该玻璃板下表面，所述平台与空气泵相连，在所述平台下部设置有调整所述工件与菲林之间距离和平行度的第二驱动机构，所述菲林贴附在该玻璃板下表面，所述的多孔材料介质层上开设有若干分布均匀贯穿于上下两端面的细微小孔，通过对所述平台的充气使其在所述多孔材料介质层表面形成均匀的浮压力，迫使所述工件与菲林紧密贴合。
[0005]优选地，所述第二驱动机构包括四个可单独升降并用于调整所述工件与平之间距离与平行度的电缸及三个激光位移传感器，各所述升降的电缸设置于所述平台下部。
[0006]优选地，所述适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置还包括用于将所述工件抓取放置或移出所述平台上表面的机械手。
[0007]优选地，所述多孔材料介质层由陶瓷或铝金属材料组成，空气能从其分布均匀的细微小孔形成气浮和吸附。
[0008]优选地，所述第一驱动机构采用伺服控制，所述玻璃板可相对于所述装置本体沿X、Y移动及圆周转动。
[0009]优选地，所述第一驱动机构包括机构本体、容置于所述机构本体内的控制组件、装设于所述机构本体上的X轴丝杆、与所述X轴丝杆装配在一起的X轴丝杆座、装设于所述X轴丝杆座上的Y轴丝杆、与所述Y轴丝杆装配在一起Y轴丝杆座、装设于所述Y轴丝杆座上用于驱动所述玻璃板做圆周转动的第三伺服电机，用于驱动所述X轴丝杆转动的第一伺服电机、用于驱动所述Y轴丝杆转动的第二伺服电机、所述玻璃板与所述第三伺服电机装配在一起。
[0010]优选地，所述平台的下端面开设有一进气口，其上端面开设有若干与所述细微小孔相对应的气孔，所述进气口与各所述气孔连通，所述进气口与所述空气泵相连。
[0011]优选地，所述空气泵对所述工件的吹气压力可无限增大。
[0012]采用上述结构之后，将所述菲林贴好在所述玻璃板下表面，机械手将所述工件放置在所述多孔材料介质层上部，所述平台先移动到玻璃板下方的位置，CCD摄像头检测工件与菲林的位置是否初步对准；CCD摄像头对所述工件的四个定位孔与菲林的靶标进行找正，通过第一驱动装置驱动所述玻璃板进行X、Y轴移动及圆周转动，同时所述第二驱动装置驱动所述平台的上下移动，调整所述工件与所述菲林的间距，实现所述菲林与所述工件的准确对位，所述空气泵吹气，通过所述细微小孔对所述工件进行吹气，所产生的均匀气浮压力使所述工件与菲林紧密贴合，检测所述工件与所述菲林是否贴合到位，如果贴合到位，紫外光开始曝光，将所述菲林上面的影像转移到所述工件上。该密着方法的优点是:
[0013]1、该密着方法形成气浮正压力的时间较形成真空负压时间缩短数倍，能显著提高生产效率；
[0014]2、贴合的正压力可以无限制增大，并且可分别通过支撑平台的四个电缸的升降来调节工件与菲林间距的一致性，以改善贴合的均匀性；
[0015]3、由于密着时，工件与平台无接触，且是柔性工件变形去适应玻璃，所以平台和玻璃的凹陷等对贴合效果影响较小；
[0016]4、平台本身具备的吸附和气浮功能有利于工件的取放和传送，更适应自动化生产。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1为本实用新型适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置的结构示意图；
[0018]图2为图1所示结构示意图A区域的放大图；
[0019]图3为本实用新型适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置工作流程中步骤SI的工作示意图；
[0020]图4为本实用新型适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置工作流程中步骤S2的工作示意图；
[0021]图5为本实用新型适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置工作流程中步骤S3的工作示意图；
[0022]图6为本实用新型适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置工作流程中步骤S4的工作示意图；
[0023]图7为本发明适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置的工作流程图。
【具体实施方式】
[0024]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0025]请参阅图1及图2，图1为本实用新型适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置的结构示意图，图2为本实用新型适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置A区域的放大图；在本实施例中，适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置10包括包括装置本体17、容置于所述装置本体中的控制组件、菲林12、多孔材料介质层14、装设于所述装置本体17上的玻璃板11，工件13放置在多孔材料介质层14的上表面，在多孔材料介质层14的下部设置有与多孔材料介质层14紧密贴合的平台15，平台15与空气泵相连，在玻璃板11上部设置有第一驱动机构，菲林12贴附在玻璃板11下表面，平台15与空气泵相连，在平台15下部设置有调整工件13与菲林12之间距离和平行度的第二驱动机构16，菲林12贴附在该玻璃板11下表面，多孔材料介质层14上开设有若干分布均匀贯穿于上下两端面的细微小孔，平台15所产生的过虑空气经过所述细微小孔对工件13进行吹气，所产生的均匀的浮压力使工件13与菲林12紧密贴合。
[0026]在本实施例中，多孔材料介质层14优选的材料为陶瓷或铝金属材料，在其他实施例中，也可选用其他类型的材料，空气能从多孔材料介质层14分布均匀的细微小孔形成气浮和吸附。
[0027]第一驱动机构15采用伺服控制，吹气装置15可相对于装置本体17沿X、Y及Z轴移动。
[0028]第一驱动机构15包括装置本体、容置于所述装置本体内的控制组件、装设于所述装置本体上的X轴丝杆、与所述X轴丝杆装配在一起的X轴丝杆座、装设于所述X轴丝杆座上的Y轴丝杆、与所述Y轴丝杆装配在一起Y轴丝杆座、装设于所述Y轴丝杆座上用于驱动所述玻璃板做圆周转动的第三伺服电机，用于驱动所述X轴丝杆转动的第一伺服电机、用于驱动所述Y轴丝杆转动的第二伺服电机、所述玻璃板11与所述第三伺服电机装配在一起。平台15的下端面开设有一进气口，其上端面开设有若干与所述细微小孔相对应的气孔，所述进气口与各所述气孔连通，所述进气口与所述空气泵相连。
[0029]所述空气泵对所述工件13的吹气压力可无限制增大。
[0030]适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置的工作流程是:
[0031]请参阅图7，图7为本发明适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置的工作流程图；菲林12与工件13密着装置工作流程包括以下步骤:
[0032]S1:如图3所示，将所述菲林贴好在所述玻璃板下表面，机械手将所述工件放置在所述多孔材料介质层上部，所述平台先移动到玻璃板下方的位置，CCD摄像头检测工件与菲林的位置是否初步对准；
[0033]S2:如图4所示，CXD摄像头对工件13的四个定位孔与菲林12上的靶标进行对位标定，通过第一驱动装置驱动所述玻璃板进行X、Y轴移动及圆周转动，同时所述第二驱动装置驱动所述平台的上下移动，调整所述工件与所述菲林的间距，实现所述菲林与所述工件的准确对位；
[0034]S3:如图5所示，所述空气泵吹气，通过平台15与多孔材料介质层14的细微小孔对工件13进行吹气，所产生的均匀气浮压力使工件13与菲林12紧密贴合，检测工件13与菲林12是否贴合到位，如果贴合到位，紫外线开始曝光，将所述菲林上面的影像转移到所述工件上；
[0035]S4:如图6所示，所述空气泵吸气，使所述工件与所述菲林分离，将所述工件吸附回平台表面再移走。
[0036]该密着装置的优点是:
[0037]1、该密着装置形成气浮正压力的时间较形成真空负压时间缩短数倍，能显著提高生产效率；
[0038]2、贴合的正压力可以无限制增大，并且可分别通过支撑平台的四个电缸的升降来调节工件与菲林间距的一致性，以改善贴合的均匀性；
[0039]3、由于密着时，工件与平台无接触，且是柔性工件变形去适应玻璃，所以平台和玻璃的凹陷等对贴合效果影响较小；
[0040]4、平台本身具备的吸附和气浮功能有利于工件的取放和传送，更适应自动化生产。
[0041]应当理解的是，以上仅为本实用新型的优选实施例，不能因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的【技术领域】，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
【权利要求】
1.适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置，其特征在于:包括装置本体、容置于所述装置本体中的控制组件、菲林、多孔材料介质层、装设于所述装置本体上的玻璃板，工件放置在所述多孔材料介质层的上表面，在多孔材料介质层的下部设置有与所述多孔材料介质层紧密贴合的平台，所述平台与空气泵相连，在玻璃板上部设置有第一驱动机构，所述菲林贴附在该玻璃板下表面，所述平台与空气泵相连，在所述平台下部设置有调整所述工件与菲林之间距离和平行度的第二驱动机构，所述菲林贴附在该玻璃板下表面，所述的多孔材料介质层上开设有若干分布均匀贯穿于上下两端面的细微小孔，通过对所述平台的充气使其在所述多孔材料介质层表面形成均匀的气浮压力，迫使所述工件与菲林紧密贴合。
2.根据权利要求1所述的适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置，其特征在于:所述多孔材料介质层由陶瓷或铝金属材料组成，空气能从其分布均匀的细微气孔进行气浮和吸附。
3.根据权利要求1所述的适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置，其特征在于:所述第二驱动机构包括四个可单独升降并用于调整所述工件与平台之间距离与平行度的电缸及三个激光位移传感器，各所述升降的电缸设置于所述平台下部。
4.根据权利要求1所述的适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置，其特征在于:所述适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置还包括用于将所述工件抓取放置或移出所述平台上表面的机械手。
5.根据权利要求1所述的适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置，其特征在于:所述第一驱动机构采用伺服控制，所述玻璃板可相对于所述装置本体沿X、Y移动及圆周转动。
6.根据权利要求5所述的适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置，其特征在于:所述第一驱动机构包括机构本体、容置于所述机构本体内的控制组件、装设于所述机构本体上的X轴丝杆、与所述X轴丝杆装配在一起的X轴丝杆座、装设于所述X轴丝杆座上的Y轴丝杆、与所述Y轴丝杆装配在一起Y轴丝杆座、装设于所述Y轴丝杆座上用于驱动所述玻璃板做圆周转动的第三伺服电机，用于驱动所述X轴丝杆转动的第一伺服电机、用于驱动所述Y轴丝杆转动的第二伺服电机、所述玻璃板与所述第三伺服电机装配在一起。
7.根据权利要求1所述的适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置，其特征在于:所述平台的下端面开设有一进气口，其上端面开设有若干与所述细微小孔相对应的气孔，所述进气口与各所述气孔连通，所述进气口与所述空气泵相连。
8.根据权利要求1所述的适合影像转移曝光机的菲林与工件密着装置，其特征在于:所述空气泵对所述工件的吹气压力可无限增大。
【文档编号】G03F7/20GK204178122SQ201420479170
【公开日】2015年2月25日 申请日期:2014年8月22日 优先权日:2014年8月22日
【发明者】代毓平, 代童庆 申请人:深圳市大川光电设备有限公司