1.一种3D显微镜,包括:
照明装置,能够产生样品的3D图像,所述照明装置包括用于第一组件的第一插槽;
转台,安装在所述照明装置上,所述转台包括用于第二组件的第二插槽;
物镜,安装在所述转台上;
镜筒透镜和适配器,安装在所述照明装置上,所述适配器包括用于第三组件的第三插槽;
光学传感器和光学传感器耦合器,安装在镜筒透镜和适配器上,所述光学传感器被配置以采集样品的图像;
聚焦调节装置,给样品提供多个z步骤调节;以及
处理器,用于控制所述照明装置、所述聚焦调节装置和所述光学传感器,其中所述第一、第二和第三组件被用于Nomarski成像,并且第一和第三组件被用于偏振光成像。
2.如权利要求1所述的3D显微镜,其特征在于,所述光学传感器包括电荷耦合器件(CCD)相机和互补金属氧化物半导体(CMOS)相机中的一个。
3.如权利要求1所述的3D显微镜,其特征在于,所述光学传感器耦合器为所述光学传感器提供多个放大率。
4.如权利要求1所述的3D显微镜,其特征在于,还包括耦合至照明装置的光谱仪,其中用于光谱仪的光经由与通向光学传感器的成像路径无关的路径被收集。
5.如权利要求1所述的3D显微镜,其特征在于,所述聚焦调节装置被安装在样品卡盘和转台中的一个之上。
6.如权利要求1所述的3D显微镜,其特征在于,所述物镜包括安装在转台上的迈克尔逊干涉物镜和Mirau干涉物镜中的至少一个,其中对于相移干涉测量法(PSI)而言,所述第一组件包括与滤光器一起定位在照明光路中的滤光器组装件,并且其中聚焦调节装置被配置以进行四次相移移动,同时光学传感器捕获四个干涉图。
7.如权利要求1所述的3D显微镜,其特征在于,所述物镜包括安装在转台上的迈克尔逊干涉物镜和Mirau干涉物镜中的至少一个,其中对于垂直扫描干涉测量法(VSI)而言,所述第一组件包括与通孔一起定位在照明光路中的滤光器组装件,并且其中聚焦调节装置被配置以在Z方向上移动样品,同时光学传感器捕获干涉图,由此创建样品的真彩3D图像。
8.如权利要求1所述的3D显微镜,其特征在于,对于定量差分干涉对比度成像(q-DIC)而言,所述第一组件是包括具有机动转子的起偏器和四分之一波片的组装件,其中所述机动转子经由多引脚连接器连接至处理器,所述第二组件是Nomarski棱镜,所述第三组件是分析仪,以及其中所述机动转子被配置以使所述起偏器步进经过以45°间隔等间距的五个连续位置。
9.如权利要求1所述的3D显微镜,其特征在于,对于机动偏振光成像,所述第一组件是包括具有机动转子的起偏器和四分之一波片的组装件,其中机动转子经由多引脚连接器连接至处理器,第三组件是分析仪,并且其中机动转子被配置以将起偏器转动至多个预定义的位置。
10.如权利要求1所述的3D显微镜,其特征在于,所述照明装置包含定位在物镜的共轭焦平面处的销孔。
11.如权利要求10所述的3D显微镜,其特征在于,所述转台在被转动以在无物镜的情况下操作时,将所述3D显微镜转换成自动准直器。