本申请是申请日为2014年1月23日，申请号为201410032760.0，发明名称为“光取向用偏振光照射装置和光取向用偏振光照射方法”的原申请的分案申请。技术领域本发明涉及一种在进行光取向时进行的偏振光的照射技术。
背景技术：
近年来，在得到以液晶面板为代表的液晶显示元件的取向膜、视场角补偿膜的取向层时，逐渐采用通过光照射进行取向的被称为光取向的技术。下面，将通过光照射产生了取向的膜、层统称为光取向膜。此外，“取向”或“取向处理”是指针对对象物的某些性质赋予方向性。在进行光取向的情况下，通过对光取向膜用的膜(以下为膜材)照射偏振光来进行。膜材是例如聚酰亚胺那样的树脂制，向期望的方向(应取向的方向)偏振的偏振光被照射到膜材。通过照射规定波长的偏振光，膜材的分子结构(例如侧链)成为向偏振光的方向对齐的状态，能够得到光取向膜。光取向膜随着使用该光取向膜的液晶面板的大型化而变得大型化。因此，要求的偏振光的照射区域的宽度变大至1500mm及其以上。作为具备这种宽度大的照射区域的偏振光照射装置，例如有专利文献1所公开的装置。该装置具备与照射区域的宽度相当的长度的棒状光源、以及使来自该光源的光偏振的线栅偏振元件，对在相对于光源的长边方向正交的方向上输送的膜材照射偏振光。专利文献1：日本专利第4815995号公报在这种光取向用的偏振光照射装置中，存在偏振光照射的对象物(工件)为膜材连续地连接的长的构件(以下为长工件)的情况和膜材已经设置于液晶基板上的带膜材的液晶基板为工件的情况。在专利文献1中，公开了长工件以辊状卷绕而从辊抽出长工件来照射偏振光的装置。在辊对辊的输送时被照射偏振光的长工件在规定的位置处被切断之后，粘贴到液晶基板。另一方面，关于对带膜材的液晶基板照射偏振光的偏振光照射装置，没有发现公开了能够高效地(以短的节拍时间)加工的装置结构的现有文献。
技术实现要素：
本发明是鉴于这种状况而完成的，其要解决的课题为提供一种能够对如带膜的液晶基板那样的带膜材的板状构件进行光取向加工的、能够实现高的生产率的装置以及方法。为了解决上述问题，本申请的技术方案1所记载的发明的光取向用偏振光照射装置具备：照射单元，向所设定的照射区域照射偏振光；台，载置基板；以及台移动机构，通过使台向照射区域移动，使得向台上的基板照射偏振光，作为台，设置有第一台和第二台这两个台，台移动机构使第一台从设定于照射区域的一侧的第一基板搭载位置向照射区域移动，并且使第二台从设定于照射区域的另一侧的第二基板搭载位置向照射区域移动，台移动机构在第一台上的基板经过照射区域之后使第一台返回到第一侧，并且在第二台上的基板经过照射区域之后使第二台返回到第二侧，在位于第一基板搭载位置的第一台与照射区域之间确保第二台上的基板经过照射区域的量以上的空间，在位于第二基板搭载位置的第二台与照射区域之间确保第一台上的基板经过照射区域的量以上的空间。另外，为了解决上述问题，技术方案2所记载的发明的特征在于，在所述技术方案1的结构中，所述照射单元在所述第一台和第二台的各台进行去路移动时和进行回路移动时这双方向各台上的基板照射偏振光。另外，为了解决上述问题，技术方案3所记载的发明的特征在于，在所述技术方案1或2的结构中，在所述第一台和第二台的各台上设置有基板校准器，该基板校准器使所搭载的基板的朝向相对于被照射的偏振光的偏振轴成为规定的朝向。另外，为了解决上述问题，技术方案4所记载的发明的特征在于，在所述技术方案1、2或3的结构中，所述台移动机构沿着所述第一台和第二台的移动方向具备导向构件，该导向构件兼用于所述第一台的移动的导向和所述第二台的移动的导向。另外，为了解决上述问题，技术方案5所记载的发明是使用技术方案1至4中的任一个所记载的光取向用偏振光照射装置向基板照射光取向用的偏振光的光取向用偏振光照射方法，该光取向用偏振光照射方法的特征在于，具有：第一基板搭载步骤，在所述第一基板搭载位置处，在所述第一台上搭载基板；第二基板搭载步骤，在所述第二基板搭载位置处，在所述第二台上搭载基板；第一移动步骤，使搭载了基板的所述第一台从所述第一基板搭载位置移动，在基板经过所述照射区域之后，使所述第一台返回到设定于所述一侧的第一基板回收位置；第二移动步骤，使搭载了基板的所述第二台从所述第二基板搭载位置移动，在基板经过所述照射区域之后，使所述第二台返回到设定于所述另一侧的第二基板回收位置；第一基板回收步骤，在第一基板回收位置处从所述第一台回收基板；以及第二基板回收步骤，在第二基板回收位置处从所述第二台回收基板，进行第一基板回收步骤和第一基板搭载步骤的时间段与进行第二移动步骤的时间段全部或一部分重叠，进行第二基板回收步骤和第二基板搭载步骤的时间段与进行第一移动步骤的时间段全部或一部分重叠。发明效果如以下说明的那样，根据本申请的技术方案1或5所记载的发明，通过使两个台交替地经过照射区域来使得能够对各台上的基板照射偏振光，通过减少节拍时间来能够实现生产率高的光取向加工。此时，在第一基板搭载位置与照射区域之间确保第二台上的基板能够经过照射区域的量以上的空间，在第二基板搭载位置与照射区域之间确保第一台上的基板能够经过照射区域的量以上的空间，因此台彼此不干扰地能够进行均匀性高的光取向处理。另外，根据技术方案2所记载的发明，除了上述效果以外，由于第一台和第二台的各台上的基板在去路和回路这双方中被照射光，因此无能量浪费而能够高效地进行光取向处理，通过加快移动速度来能够进一步提高生产率。另外，根据技术方案3所记载的发明，除了上述效果以外，由于具备基板校准器，因此基板以相对于偏振光的偏振轴朝向规定的方向的状态高精度地被照射偏振光。因此，能够维持高的光取向处理的精度、质量。另外，根据技术方案4所记载的发明，除了上述效果以外，由于导向构件兼用于第一和第二台的移动，因此台移动机构的结构简单，而且装置的成本也能够廉价。附图说明图1是本发明的实施方式所涉及的光取向用偏振光照射装置的立体概要图。图2是图1所示的偏振光照射装置的正面概要图。图3是图1所示的台移动机构3的平面概要图。图4是示出台21、22中的用于基板S的搭载、回收的机构的立体概要图。图5是示出实施方式的装置所具备的基板校准器6的概要的立体图。图6是用于说明安装在控制单元4中的时序程序的图，是概要性地示出装置的动作的图。附图标记说明1：照射单元11：光源14：偏振元件21：台22：台20A：固定底座20B：可动底座3：台移动机构31：导向构件321：滚珠丝杠322：滚珠丝杠331：驱动源332：驱动源4：控制单元5：升降销6：基板校准器S：基板R：照射区域具体实施方式接着说明用于实施本发明的方式(以下为实施方式)。图1是本发明的实施方式所涉及的光取向用偏振光照射装置的立体概要图。图1所示的偏振光照射装置为以如带膜材的液晶基板那样的基板S为工件来进行光取向处理的装置。具体地说，图1的装置具备：向所设定的照射区域R照射偏振光的照射单元1；载置基板S的台21、22；以及通过使台21、22向照射区域R移动来使得向台21、22上的液晶基板S照射偏振光的台移动机构3。如图1所示，在本实施方式中，并排设置有两个照射单元1。并排设置的方向是台21、22的移动方向。各照射单元1是相同的结构，以大致矩形的图案R1照射偏振光。因而，在本实施方式中，由两个大致矩形的照射图案R1构成的(包络两个照射图案R1的)大致矩形的区域被设定为照射区域R。此外，两个照射图案R1既可以一部分重叠，也可以不重叠。另外，如图1所示，照射区域R是水平面内的区域。台移动机构3是使台21、22经过上述照射区域R地移动的机构。在本实施方式中，台21、22以水平的姿势配置，移动方向是水平方向。下面，为了便于说明，将台移动机构3的移动方向称为长度方向，将与移动方向垂直的水平方向称为宽度方向。图2是图1所示的偏振光照射装置的正面概要图。如图2所示，照射单元1由光源11、设置于光源11的背后的反射镜12、在内部收容了光源11、反射镜12的灯罩13以及偏振元件14等构成。光源11使用棒状的灯。在本实施方式中，利用紫外域的光进行光取向，因此使用高压水银灯、在水银中添加有其它金属的金属卤化物灯等。也可以将放射紫外域所需的波长的光的LED排列多个来得到长的照射图案。反射镜12用于高效地进行偏振光照射，使用截面呈椭圆或抛物线的一部分的形状的檐沟状反射镜。以形成狭缝的方式配置长的左右一对反射镜，形成大致檐沟状的反射镜。偏振元件14用于使从光源11放射的光成为光取向所需的偏振光。作为偏振元件14，能够使用在透明基板上设置了由条纹状的电介质(或导电性、半导体)材料形成的微细的光栅的线栅偏振元件。灯罩13具有光照射口，偏振元件14配置于光源11与光照射口之间的位置。此外，一个偏振元件14为矩形的小的构件的情况多，通常采用将偏振元件14在宽度方向(光源11的长度方向)上排列多个来向照射区域R照射偏振光的结构。另外，偏振元件14还有时采用作为与灯罩13分开的单元(偏振元件单元)安装于灯罩13的构造。除此之外，还有时配置用于进行波长选择等调整要照射的偏振光的特性的滤波器。另一方面，如图1所示，本实施方式的装置具备两个台21、22。下面，将两个台21、22设为第一台21、第二台22。使用图1、图2以及图3来更详细说明使这些台21、22移动的台移动机构3。图3是图1所示的台移动机构3的俯视概要图。另外，在图2中，将图1所示的台移动机构3与其控制系统一起示出。如图1～图3所示，台移动机构3包括贯穿照射区域R来延伸的导向构件31以及使第一和第二台21、22沿着导向构件31移动的驱动源321、322。如图1和图3所示，夹着照射区域R而设置有两个导向构件31。导向构件31具体为线性导向件，相互平行地延伸。两个台21、22的移动沿着两个导向构件31被导向。即，两个导向构件31兼用于第一台21的导向和第二台22的导向。在第一台21的下表面固定有一对导向块211。导向块211的固定位置对应于两侧的导向构件31的位置。在导向块211内设置有轴承，以两侧的导向构件31贯通导向块211的状态配置第一台21，由此第一台21通过导向构件31被导向。第二台22也是同样的构造，导向构件31贯通被固定于下表面的一对导向块221，由此移动被导向。各台21、22的移动是驱动源321、322使滚珠丝杠331、332转动来进行的。即，如图1和图3所示，台移动机构3具备使第一台21移动的第一滚珠丝杠331以及使第二台22移动的第二滚珠丝杠332。第一滚珠丝杠331的一端连结于第一驱动源321，另一端被轴承333支承。同样地，第二滚珠丝杠332的一端连结于第二驱动源322，另一端被轴承334支承。第一和第二滚珠丝杠331、332被配置成高精度地与一对导向构件31所延伸的方向平行地延伸。在第一台21的下表面的大致中央处固定有与第一滚珠丝杠331螺合的(螺纹啮合)被驱动块212。第一驱动源321是如AC伺服马达那样的马达，当第一驱动源321使第一滚珠丝杠331旋转时，第一台21一边被一对导向构件31导向，一边直线移动。同样地，在第二台22的下表面的大致中央处固定有与第二滚珠丝杠332螺合的被驱动块222，当第二驱动源322使第二滚珠丝杠332旋转时，第二台22一边被一对导向构件31导向，一边直线移动。另外，实施方式的偏振光照射装置具备控制装置整体的控制单元4。控制单元4具有存储了对台移动机构3等各部的动作进行控制的时序程序的存储部41、执行时序程序的运算处理部42等。来自控制单元4的控制信号被送至包括两个驱动源321、322在内的装置的各部。另一方面，实施方式的偏振光照射装置还具备用于将基板S搭载于台21、22上、从台21、22回收基板S的机构。使用图4来说明这一点。图4是示出用于台21、22上的基板S的搭载、回收的机构的立体概要图。为了进行偏振光照射而需要将基板S载置于台21、22上，而且需要从台21、22回收结束了偏振光照射的基板S。这些动作也有时通过手动作业进行，但是在量产线上通常由机器人进行。此时，需要使机器人的手不干扰台21、22。作为用于实现这一点的结构，实施方式的台21、22内置有升降销5。即，如图4所示，台21、22上设置有销用孔50。销用孔50是沿上下延伸的孔，到达台21、22表面。销用孔50在相对于台21、22的中央而言均等的位置处设置有3～4个左右，在各销用孔50内配置有升降销5。各升降销5通过未图示的升降机构能够同步地升降。在台21、22上载置基板S时，使各升降销5上升至上限位置。在该状态下，保持基板S的机器人使基板S移动到台21、22的上方，并以该状态使其下降将基板S放在各销上。之后，在使机器人的手退避之后，使各升降销5一体地下降来将基板S载置于台21、22上。在照射偏振光后回收基板S时是与上述相反的动作，使各升降销5一体地上升来托起基板S，使机器人的手进入被托起的基板S的下侧来回收基板S。此外，作为将基板S输送至机器人的工作范围的机构，使用如AGV(AutoGuidedVehicle：自动引导小车)那样的批量输送机构、或如气流输送机那样的单片输送机构。实施方式的装置通过台移动机构3使第一和第二台21、22移动，使第一和第二台21、22交替地经过照射区域R，由此向各台21、22上的基板S交替地照射偏振光。此时，设计成基板S上的各点处的偏振光的累计曝光量不会变得不均匀。下面，参照图3说明这一点。在实施方式的装置中，基板S向第一台21的搭载和从第一台21的基板S的回收在相同的位置处进行。下面，将该位置称为第一基板搭载回收位置。另外，基板S向第二台22的搭载和从第二台22的基板S的回收也在相同的位置处进行。下面，将该位置称为第二基板搭载回收位置。第一基板搭载回收位置被设定在照射区域R的一侧(例如图3所示那样为左侧)，第二基板搭载回收位置被设定在照射区域R的另一侧(例如图3所示那样为右侧)。台移动机构3使在第一基板搭载回收位置处搭载了基板S的第一台21移动到照射区域R并使其经过照射区域R，之后拉回。然后，在第一基板搭载回收位置处从第一台21回收基板S。另外，台移动机构3使在第二基板搭载回收位置处搭载了基板S的第二台22移动到照射区域R并使其经过照射区域，之后拉回。然后，在第二基板搭载回收位置处从第二台22回收基板S。此外，为了便于说明，将第一台21前进后转变为后退时的位置称为第一前进到达位置，将第二台22前进后转变为后退时的位置称为第二前进到达位置。另外，在图2和图3中，以符号21’表示位于第一前进到达位置的第一台，以符号22’表示位于第二前进到达位置的第二台。在这种实施方式的装置中，各基板搭载回收位置是根据各台21、22的大小、照射区域R的位置或大小等而被最优化。即，在实施方式的装置中，作为位于第一基板搭载回收位置的第一台21与照射区域R之间的空间(以下为第一空间)，至少确保第二台22上的基板S的长度(台21、22的移动方向上的长度)以上。即，第一空间成为即使第二台22’到达第二前进到达位置时也不干扰第一台21的程度的空间。优选的是，第一空间的长度(图2中以L1表示)被设为第二台22的长度以上。另外，作为位于第二基板搭载回收位置的第二台22与照射区域R之间的空间(以下为第二空间)，至少确保第一台21上的基板S的长度以上。即，第二空间成为即使第一台21’到达第一前进到达位置时也不干扰第二台22的程度的空间。优选的是，第二空间的长度(图2中以L2表示)被设为第一台21的长度以上。在本实施方式中，第一台21和第二台22是相同的尺寸W，因而L1＝L2>W。示出更具体的一例，当例如设基板S为1500×1800mm左右的尺寸时，各台21、22的长度W被设为1550×1850mm左右，L1＝L2被设为2600mm左右。以确保这种空间的方式选定台移动机构3中的滚珠丝杠331、332等的长度，设定各台21、22的移动行程。另外，实施方式的装置具备基板校准器6，该基板校准器6调节基板S的位置、朝向使得正确地进行用于光取向的偏振光照射。使用图5说明基板校准器6。图5是示出实施方式的装置所具备的基板校准器6的概要的立体图。在图5中，作为一例示出了设置于第一台21的基板校准器6，但是关于第二台22也同样。如图5所示，第一台21由固定底座20A以及固定底座20A上的可动底座20B等构成。前述的被驱动块212、导向块211为被固定于固定底座20A的下表面的构件。可动底座20B被设置成在固定底座20A上能够沿XYθ的方向移动。即，在固定底座20A上设置有XYθ移动机构62，XYθ移动机构62使可动底座20B沿XYθ方向移动来对可动底座20B的位置、姿势进行微调节。此外，此时的XY方向是水平面内的正交方向，例如X方向被设为长度方向(移动方向)，Y方向被设为宽度方向。θ是绕与XY方向垂直的轴的圆周方向，在该例子中是绕铅垂轴的圆周方向。关于这种XYθ移动机构62，从各公司出售各种类型的商品，能够选择适当的商品来安装，因此省略详细的说明和图示。此外，关于XYθ移动机构62，XY方向中的某一个方向也可以与台移动机构3的移动兼用，设为Xθ移动机构或Yθ移动机构。另一方面，对载置于台21、22的基板S做出校准标记S1。基板校准器6主要由拍摄校准标记S1的校准传感器61、上述XYθ移动机构62、以及按照来自校准传感器61的输出来控制XYθ移动机构62的校准用控制部63构成。校准标记S1通常在基板S上的规定位置设置有两处。以按照校准标记S1的位置和要校准的基准位置、基准方向在规定的位置处拍摄校准标记S1的方式设置有两个校准传感器61。示出一例，如图5所示，校准标记S1设置于方形的基板S的沿着宽度方向的两个角部。校准传感器61配置于对第一台21进行基板S的搭载动作的位置(以下为搭载位置)的上方。两个校准传感器61的位置与基板S上的校准标记S1的分离距离一致，将两个校准传感器61连接的线与台移动机构3的宽度方向一致。当如上所述那样在第一台21上搭载了基板S时，处于各校准传感器61拍摄各校准标记S1的状态。在各校准传感器61的摄像区域内设定有基准位置，该基准位置是校准标记S1的中心应存在的位置。校准用控制部63对来自各校准传感器61的输出数据(影像数据)进行处理，控制XYθ移动机构62来进行校准。具体地说，基于2个校准传感器61所检测出的各个校准标记S1的位置信息、以及预先输入到校准用控制部63的2个校准标记S1的距离信息，校准用控制部63以使校准传感器61所拍摄的校准标记S1的重心位于基准位置的方式运算台22在XYθ方向上的移动距离的数据，控制XYθ移动机构62来使可动底座20B沿XYθ方向移动。由此，校准完成。当校准完成时，处于将两个校准标记S1连接的线(所搭载的基板S的宽度方向)高精度地位于台移动机构3的宽度方向的状态。宽度方向上的基板S的位置也成为规定位置。规定位置例如是两个导向构件31的正中间的位置。在可动底座20B上载置有基板S的期间，XYθ移动机构62使可动底座20B的位置和姿势固定。因而，基板S的宽度方向高精度地与台移动机构3的宽度方向一致，基板S以位于宽度方向上的规定位置的状态向移动方向直线移动而被输送。此外，需要将基板S粗略地定位配置于由校准传感器61拍摄校准标记S1的可动底座20B上的位置，在由机器人进行基板S的搭载的情况下足以通过对机器人的示教来进行该配置。在进行手动操作的情况下，还有时在可动底座20B上设置如接受板那样的构件，通过对准此处来配置基板S，从而进行粗略的定位。另外，实施方式的装置具备用于确认两个台21、22的位置、状态的若干传感器。使用图2说明这一点。首先，在各台21、22内设置有检测基板S的载置的传感器(以下为基板传感器)71。另外，在台移动机构3中配置有：检测第一台21是否位于第一基板搭载回收位置的传感器(以下为第一加载位置传感器)72；检测第一台21是否位于前进到达位置的传感器(以下为第一到达位置传感器)73；检测第二台22是否位于第二基板搭载回收位置的传感器(以下为第二加载位置传感器)74；以及检测第二台22是否位于前进到达位置的传感器(以下为第二到达位置传感器)75。这些传感器71～75的输出被送至控制单元4。各传感器71～75能够从如接近传感器、限位开关那样的机械式传感器、或光电传感器等适当选择来使用。接着，参照图6说明安装在控制单元4中的时序程序。图6是用于说明安装在控制单元4中的时序程序的图，还成为概要性地示出装置的动作的图。以下的说明也是光取向用偏振光照射方法的实施方式的说明。在装置的工作开始的初始状态下，如图6(1)所示，第一台21位于第一基板搭载回收位置，第二台22位于第二基板搭载回收位置。在该状态下，图6中未图示的机器人将基板S首先载置于第一台21。当第一台21内的基板传感器71检测到基板S的载置且该信号被送至控制单元4时，时序程序使第一台21上的基板S用的基板校准器6动作。其结果，可动底座20B沿XYθ方向移动而基板S的位置和姿势成为规定的位置和姿势。接着，时序程序向台移动机构3送出控制信号，使第一驱动源321驱动使得第一台21前进规定的行程。规定的行程是如图6(2)所示那样第一台21经过照射区域R而到达第一前进到达位置的行程。第一前进到达位置是第一台21的后端与照射区域R的端一致的位置或稍微超过该位置的位置。当通过第一到达位置传感器73确认出第一台21到达第一前进到达位置时，时序程序向第一驱动源321送出控制信号以使第一台21反转而后退相同的行程。由此，如图6(3)所示，第一台21返回到第一基板搭载回收位置。在此期间，在第二基板搭载回收位置处进行基板S向第二台22的搭载动作。即，机器人根据来自时序程序的控制信号隔着规定的时滞而将基板S载置于第二台22。在第二台2中，同样地在基板传感器71确认出基板S的载置之后，时序程序使第二台22上的基板S用的基板校准器6动作来进行校准。在如图6(3)所示那样第一台21返回到第一基板搭载回收位置时，第二台22中的校准已结束。在该状态下，时序程序向第二驱动源322送出控制信号，使第二驱动源322驱动使得第二台22前进规定的行程。规定的行程是如图6(4)所示那样第二台22经过照射区域R而到达第二前进到达位置的行程。第二前进到达位置是第二台22的后端与照射区域R的端一致的位置或稍微超过该位置的位置。当通过第二到达位置传感器75确认出第二台22到达第二前进到达位置时，时序程序向第二驱动源322送出控制信号以使第二台22反转而后退相同的行程。由此，如图6(5)所示，第二台22返回到第二基板搭载回收位置。在此期间，在第一基板搭载回收位置处，在第一加载位置传感器72确认出第一台21位于第一基板搭载位置之后，进行从第一台21的基板S的回收和下一个基板S向第一台21的搭载。即，机器人从第一台21除去基板S，将下一个基板S搭载于第一台21。然后，在如图6(5)所示那样第二台22返回到第二基板搭载位置时，处于下一个基板S向第一台21的搭载动作已结束、且针对该基板S的校准已结束的状态。时序程序在图6(5)所示的状态下再次向第一驱动源321送出控制信号，使第一驱动源321驱动以使第一台21前进到第一前进到达位置并再返回到第一基板搭载回收位置。在此期间，在第二基板搭载位置处，在第二加载位置传感器74确认出第二台22返回到第二基板搭载回收位置之后，进行从第二台22的基板S的回收以及下一个基板S向第二台22的搭载、第二台22的校准。以后的动作同样，时序程序被编程为装置反复进行这种动作来在两个台21、22上交替地进行光取向。此外，基板S通过如AGV、输送机那样的输送机构被输送至机器人，在进行光取向之后通过输送机构被输送至用于进行接下来的加工的装置的位置。根据如上所述的结构和动作所涉及的实施方式的光取向用偏振光照射装置或方法，通过使两个台21、22交替地经过被照射偏振光的一个照射区域R来对各台21、22上的基板S照射偏振光，因此能够在正在向一方的台21、22上的基板S照射偏振光时在另一方台21、22中进行基板S的回收动作和下一个基板S的搭载动作。因此，能够大幅减少节拍时间(Tacttime)，实现生产率更高的光取向加工。此时，在第一基板搭载回收位置与照射区域R之间确保第二台22上的基板S的长度以上的空间L1，而且在第二基板搭载回收位置与照射区域R之间确保第一台21上的基板S的长度以上的空间L2，因此台21、22彼此不干扰地各基板S能够经过照射区域R。假如各基板搭载回收位置与照射区域R之间的空间小于各基板S的长度，则无法使台21、22彼此不干扰地使基板S经过照射区域R。在该情况下，基板S上的长度方向(移动方向)后侧的区域的偏振光的曝光量相比其它区域减少，光取向处理变得不均匀。若针对节拍时间进行稍微严格的讨论，则在将从一方的台21、22的基板S的回收所需的时间设为TL1，将基板S向一方的台21、22的搭载所需的时间设为TL2，将所搭载的基板S的校准所需的时间设为TL3，将从另一方的台21、22的基板搭载回收位置到前进到达位置的移动所需的时间设为TE1，将从另一方的前进到达位置返回到基板搭载回收位置的时间设为TE2的情况下，TL1+TL2+TL3≤TE1+TE2。但是，也可以接着一方的台21、22的回路移动(从前进到达位置返回到基板搭载回收位置的移动)之后进行另一方的台21、22的去路移动(从基板搭载位置到前进到达位置的移动)，在该情况下，TL1+TL2+TL3≤TE1。通过这样，能够进一步缩短节拍时间。上述的例子中，进行针对一方的台21、22的基板S的回收和搭载的时间段的全部与进行另一方的台21、22的移动的时间段重叠，但是也可以一部分重叠。在该情况下，由于即使在一方的台21、22中完成了基板S的搭载、但另一方的台21、22的移动也未完成，因此有时会产生待机的时间。如果存在待机时间则与此相应地节拍时间变长，而尽管如此，与只有一个台的情况相比也能够缩短节拍时间，生产率提高。此外，在上述实施方式中，各台21、22在到达各前进到达位置时和从各前进位置返回到基板搭载回收位置时被照射偏振光，两方的曝光量成为累计曝光量。但是，这不是必要特征，例如也可以在返回时通过遮板来遮挡光或熄灭光源11来设为不被照射偏振光的状态。尽管那样，但如果通过遮板来遮挡则会白白点亮光源11，如果使光源11时而点亮、时而熄灯则直到点亮状态变得稳定为止的不稳定的时间段变长。另外，如果设为只有去路和回路中的一方偏振光照射，则存在为了确保所需的累计曝光量而不得不使台21、22的移动速度变慢的问题。如果在去路和回路上照射偏振光，则没有这种问题，能够提高移动速度来进一步提高生产率。另外，在实施方式的装置中，在进行搭载于各台21、22的基板S的校准之后进行照射区域R的经过动作，因此被照射的偏振光的偏振轴的朝向高精度地与期望的朝向一致。因此，光取向处理质量变得更高。照射到照射区域R的偏振光的偏振轴的朝向是根据偏振元件14的姿势规定的。在前述的线栅偏振元件的情况下，会照射大量的在与线栅(条纹状的光栅)所延伸的方向垂直的方向上具有电场成分的偏振光，膜材向该方向取向。在实施方式的装置中，例如以偏振轴朝向图1所示的台移动机构3的宽度方向(照射单元1内的光源11的长度方向)的方式配置偏振元件14。在该情况下，如果台21、22上的基板S的宽度方向也与台移动机构3的宽度方向高精度地一致，则基板S上的膜材也向宽度方向高精度地进行光取向。各基板校准器6具有这样使光取向的方向高精度地与期望的方向一致的意义。此外，光取向的方向精度主要是θ方向的校准，而宽度方向的校准具有避免基板S其一部分超出照射区域R而被输送的意义。照射区域R被设定为在该区域内偏振光的照度充分均匀的区域，因此，如果超出该区域，则在超出的部分处偏振光的照度降低而曝光量不足。因而，在该部分，光取向变得不充分。在本实施方式中，还进行宽度方向的校准，因此没有这种问题。另外，在实施方式的装置中，一对导向构件31兼用于第一和第二台21、22的移动，因此台移动机构3的结构简单，而且装置的成本也能够廉价。但是，也可以设为针对各第一和第二台21、22分别通过不同的导向构件进行导向的结构。另外，台移动机构3也可以不使用滚珠丝杠，而使用悬浮而通过磁力进行移动的线性马达台。此外，在使用线性马达台的情况下还能够不需要导向机构。在上述实施方式中，需要将针对第一台21的基板S的搭载位置和回收位置设定于照射区域R的一侧，将针对第二台22的基板S的搭载位置和回收位置设定于照射区域R的另一侧，但是不需要在一侧中搭载位置与回收位置为相同的位置。关于另一侧也同样。例如在一侧，也可以在从基板搭载位置来看接近照射区域R的位置处设定基板回收位置。在该情况下，在进行了光取向的基板S在基板回收位置处从台21、22被除去之后，该台21、22进一步后退而到达基板搭载位置，在此处搭载下一个基板S。在该情况下还存在以下情况：关于基板回收位置，即使不确保前述的空间L1、L2也没有问题。另外，需要使两个台21、22交替地经过一个照射区域R，但是照射单元1不需要如上所述那样为2个，也可以是只有1个的照射单元1向1个照射区域R照射偏振光的结构，还可以是3个以上的照射单元1向一个照射区域R照射偏振光的结构。此外，在本发明中，“台”的用语需要解释为比通常广的范围。即，存在如下情况：在具有如真空吸附那样的吸附孔的多个销上搭载基板S来将基板吸附于这些多个销上，通过使多个销一体地移动来使基板S经过照射区域。因而，“台”只要是保持基板并能够使基板移动的构件即可，未必限于台状的构件。关于机器人，既存在一个机器人在第一和第二台21、22之间进行基板S的搭载和回收的情况，也存在对第一和第二台21、22分别设置机器人来分别进行基板S的搭载和回收的情况。另外，作为基板S假设了粘贴有膜材的液晶基板，但是既存在以液晶显示器以外的显示装置用的基板为对象物来进行光取向用偏振光照射的情况，也存在以视场角校正的目的来照射偏振光的情况。