1.一种修复光掩模的方法，包括︰
接收一光掩模，其包括一图案化特征部件及一缺陷，该图案化特征部件产生一相移且具有一透光率；以及
通过形成一修复特征部件来修复该缺陷，该修复特征部件产生该相移且具有该透光率。