一种衰减可调的宽带波长可调谐滤波器的制作方法

文档序号:11132475阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种衰减可调的宽带波长可调谐滤波器,其特征在于,其光路组成依次包括:光输入端口(1)、准直透镜(2)、衍射光栅(3)、MEMS反射镜(4)及光输出端口(5),

光输入端口(1),用于输入光信号;

准直透镜(2),用于将光信号准直;

衍射光栅(3),用于将光信号的不同波长分量在空间上分离;

MEMS反射镜(4),通过控制MEMS反射镜(4)绕一个轴转动,改变从光输出端口(5)输出的反射光波长,实现波长调谐;通过控制MEMS反射镜(4)绕另一个正交轴转动,改变反射光与光输出端口(5)的耦合,实现衰减可调;

光输出端口(5),用于接收MEMS反射镜(3)反射的光信号并输出光信号。

2.根据权利要求1所述的一种衰减可调的宽带波长可调谐滤波器,其特征在于,光输入端口(1)、光输出端口(5)设置于准直透镜(2)的前焦平面处。

3.根据权利要求1所述的一种衰减可调的宽带波长可调谐滤波器,其特征在于,二维可调的MEMS反射镜(4)设置于准直透镜(2)的后焦平面处。

4.根据权利要求1所述的一种衰减可调的宽带波长可调谐滤波器,其特征在于,所述光输出端口(5)数目大于1,通过控制MEMS反射镜(4)绕另一个正交轴转动,使反射信号选择其中一个光输出端口(5)输出。

5.根据权利要求1所述的一种衰减可调的宽带波长可调谐滤波器,其特征在于,光输入端口(1)的光纤端面、光输出端口(5)的光纤端面设置有光纤扩束装置。

6.根据权利要求1所述的一种衰减可调的宽带波长可调谐滤波器,其特征在于,对光输入端口(1)的光纤、光输出端口(5)的光纤采用烧结工艺处理,改变光纤中折射率分布,使得光纤端面处光斑半径增大,实现扩束装置的功能。

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