一种以梁型压电促动器为驱动的变形镜的制作方法

文档序号:12447112阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提供了一种以梁型压电促动器为驱动的变形镜。所述以梁型压电促动器为驱动的变形镜包括镜片、压电促动器组和杆垫组,所述压电促动器组包括多个间隔设置的压电促动器,所述杆垫组包括多个相对平行间隔设置的杆垫,每一所述压电促动器通过一个所述杆垫固定在所述镜片的背面,且每一所述杆垫具有横截面为正方形的长方体结构;每一所述压电促动器均是具有直梁结构的梁型双压电促动器,并包括依次层叠设置的第一条形压电层、条形金属层和第二条形压电层,所述压电促动器的第一条形压电层和第二条形压电层均与具有相同电压的外电源电连接,所述条形金属层是所述第一条形压电层和所述第二条形压电层的共同电极,且所述条形金属层接地设置。

技术研发人员:王海仁
受保护的技术使用者:中国科学院紫金山天文台
文档号码:201620444990
技术研发日:2016.05.16
技术公布日:2016.12.14

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