本实用新型涉及将薄膜覆于ITO Film和金属软膜表面,通过曝光、显影和蚀刻制作软膜电路,广泛应用触摸屏Senser、精密FPC和软性电池等柔性电子产品应用技术领域,尤其是卷对卷制作双面柔性电子线路上的曝光结构。
背景技术:
近年来,随着材料等基础产业的技术进步,使电路的设计和生产技术获得了较大发展,各种新的设计理念得到了广泛的应用和推广,电子产品的市场趋势皆走向追求轻薄化,使用电路的基材由传统的玻璃、硅晶圆转向薄化玻璃、金属箔与塑胶基板等软性材料取代,亦即现在泛称的软性电子(或可挠式电子)。工艺设备由于应软性材料的不同,需要导入卷对卷 ( RTR ) 的传输设备,制作电子线路具有配线密度高、重量轻、厚度薄的特点。在双面电路板在生产时,需要采用覆膜机将干膜贴合在导电基材表面,然后经紫外光对MASK照射曝光后,见光的干膜分解,在碱性显液中溶解,导电基材表面留下与MASK一样的图案,然后用蚀刻液喷淋导电基材,没有干膜保护的导电层被蚀刻,再除去基材上的残留干膜,使导电电路裸露出来,这是制作电路过程。而现有的是单面导电基板进行单面覆膜机,采用覆膜、曝光、显影、蚀刻和除膜,完成A面导电电路工作,同样方法,用另一卷膜制作B面导电电路,用A、B面导电电路组合在一起形成双面电路,工序繁琐,工作效率低,不良率高。
技术实现要素:
本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷,提供一种双面膜曝光结构,实现双面覆膜曝光,无需翻转重复单面工作,优化工艺,提升工作效率及工作质量。
为达到上述目的,本实用新型采用如下技术方案:
双面膜曝光结构,该结构具有:
一曝光工位,该曝光工位可实现上下两面曝光;
一上端球面镜和一下端球面镜分别设置在曝光工位的上下端,该上端球面镜将相应地紫外光投射到曝光工位的上表面,而下端球面镜将相应地紫外光投射到曝光工位的下表面。
上述方案进一步是:所述上端球面镜和下端球面镜投射同一光源发出的紫外光,上端球面镜和下端球面镜采用先后投射的工作模式。
上述方案进一步是:在光源和上端球面镜、下端球面镜之间有光学模组导光,光学模组至少包括:反光罩、第一冷镜、第二冷镜、复眼,反光罩收集光源发出的紫外光形成一束光,第一冷镜导引反光罩发出的集束紫外光,通过复眼和第二冷镜投射到上端球面镜,或者通过复眼投射到下端球面镜;第二冷镜设置在复眼与上端球面镜及下端球面镜之间,第二冷镜可以水平移动。
与现有技术对比,本实用新型提供了一种双面膜曝光结构,实现双面膜曝光,无需翻转重复单面曝光工作,优化工艺,提升工作效率及工作质量。结构简单,投资成本低,使用及维护简便,符合产业利用,极大提升机器设备的运行效,以及降低运行成本。
附图说明:
附图1为本实用新型较佳实施例结构示意图。
具体实施方式:
以下将结合附图对本实用新型的构思、具体结构及产生的技术效果作进一步说明,以充分地了解本实用新型的目的、特征和效果。
参阅图1所示,系本实用新型的较佳实施例示意图,本实用新型有关一种双面膜曝光结构,该结构具有一曝光工位1,由双面膜曝光结构100上相应工位构造,该曝光工位1可实现上下面曝光,即相应基材上下面覆好感光膜后,水平进入曝光工位1,即可实现上下面曝光,无需翻转重复单面工作,优化工艺,提升工作效率及工作质量。一上端球面镜2和一下端球面镜3分别设置在曝光工位1的上下端,该上端球面镜2将相应地紫外光投射到曝光工位1的上面,而下端球面镜3相应地紫外光投射到曝光工位1的下面,实现双面膜曝光工作。
图1所示,本实施例中,所述上端球面镜2和下端侧球面镜3投射同一光源9发出的紫外光,上端球面镜2和下端球面镜3采用先后投射的工作模式。即曝光工位1的上下面分开曝光,充分利用同一光源9,结构简单,投资成本低。本实施例还进一步地,在光源9和上端球面镜2、下端球面镜3之间有光学模组导光,光学模组至少包括反光罩4、第一冷镜5、复眼7和第二冷镜6。第二冷镜6设置在复眼7与上端球面镜2及下端球面镜3之间,第二冷镜6可以水平移动。工作时,反光罩4收集光源9发出的此紫外光形成一束光,紫外光束经过第一冷镜5时,其中部分红外光透过冷镜5,剩下大部分纯净的紫外光改变方向,反射到复眼7前面的快门8上;当快门8打开,而第二冷镜6移到旁边,紫外光束经过复眼7发散多束光线,投射在下端球面镜3上,反射形成平行光照射在曝光工位1下面,对基材下面的感光干膜进行曝光操作。当第二冷镜6移到中央位置(第二冷镜6移动时快门8先关闭,等移动到位后快门8再打开),紫外光束经过复眼7发散多束光线,投射在第二冷镜6上,再反射上端球面镜2上,形成平行光照射在曝光工位1上面,对基材上面的感光干膜进行曝光操作。同时下端球面镜3停止工作,达到上端球面镜2和下端球面镜3之间切换工作,如此循环。
以上结合实施方式对本实用新型做了详细说明,只为说明本实用新型的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施,并不能以此限定本实用新型的保护范围,故凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰,都应涵盖在本实用新型的保护范围内。