激光解析离子源激光光路的制作方法

文档序号:11760117阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种激光解析离子源激光光路,包括倾斜设置在离子源腔体(1)左上方的激光光纤头调节器(2),所述激光光纤头调节器(2)下方设置有透镜组支架,其特征在于:所述透镜组支架上依次设置有与激光光纤头调节器(2)主光轴同轴的准直用平凸透镜(3)、聚焦用双凸透镜(4)、聚焦用负弯月透镜(5)和聚焦用正弯月透镜(6),使入射光纤(7)直径为0.2mm,入射发散角为24.5度时,聚焦焦点(8)直径达到50~120um,当入射光为1W时,所述聚焦焦点(8)处平均功率密度能够达到160~252W/mm2

2.根据权利要求1所述的激光解析离子源激光光路,其特征在于:所述准直用平凸透镜(3)的直径为15~35mm,焦距为40~100mm;所述聚焦用双凸透镜(4)的外径为15~35mm,焦距为20~100mm;所述聚焦用负弯月透镜(5)的外径为8~20mm,焦距为-30~-100mm;所述聚焦用正弯月透镜(6)的外径为8~20mm,焦距为20~100mm;聚焦用负弯月透镜(5)和聚焦用正弯月透镜(6)的镜面相贴合,所述入射光纤(7)头部与准直用平凸透镜(3)的间距H1在25~35mm之间,聚焦用正弯月透镜(6)与聚焦焦点(8)的间距H2在25~35mm之间,准直用平凸透镜(3)与聚焦用双凸透镜(4)的间距H3在75~85mm之间,聚焦用双凸透镜(4)与聚焦用正弯月透镜(6)的间距H4在15~25mm之间。

3.根据权利要求1或2所述的激光解析离子源激光光路,其特征在于:位于所述聚焦用双凸透镜(4)和聚焦用负弯月透镜(5)之间、所述聚焦用负弯月透镜(5)和聚焦用正弯月透镜(6)之间的所述离子源腔体(1)壁面上均开设有排气孔(9)。

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