一种显示面板标识构件及显示面板的制作方法

文档序号:12304234阅读:322来源:国知局
一种显示面板标识构件及显示面板的制作方法与工艺

本发明涉及平板显示器制造领域,特别涉及一种显示面板标识构件及显示面板。



背景技术:

近年来,显示技术得到快速的发展,平板显示器已取代笨重的crt(cathoderaytube,阴极射线显像管)显示器日益深入人们的日常生活中。目前,常用的平板显示器包括lcd(liquidcrystaldisplay,液晶显示器)和oled(organiclight-emittingdiode,有机发光二极管)显示器。

精密测长机是薄膜晶体管液晶显示器的制程中重要的光学量测机台,其主要用于测量制作玻璃基板第一层像素图案时曝光机曝光精度的长寸量测,其量测结果直接决定了后续图像制程的曝光对位,以及最终对组贴合的精度。同时,该设备亦常用于线宽量测,精密测长机又称为ttp(totalpitch,对位精度测量检查标记)测长机。

ttp是基板形变量的一个指标,阵列工艺完成后会对基板进行x,y方向形变量的量测。如图1所示,为现有技术中ttp坐标标识构件101,所述标识构件采用正方形设计。形变之前,通过量测所述正方形各边与坐标轴的距离,即图中所示x1、x2、y1、y2,得出所述标识构件101的中心点坐标为基板发生形变之后,根据相同的方法量测所述标识构件的中心点。

在某些特殊情况下,如图2所示,形变之后,标识构件201的第一标识外边出现图形残留异常的现象,将无法准确量测所述标识构件的异常第一标识外边与坐标轴的距离,因此无法获得所述标识构件的中心点坐标,影响后续图像制程的曝光对位,最终对组贴合的精度也会产生一定的影响。



技术实现要素:

本发明提供一种显示面板标识构件及显示面板,以解决所述显示面板标识构件中因第一标识外边出现异常,而无法通过出现异常的所述第一标识外边,对所述显示面板标识构件进行准确的量测(定位)的问题。

为实现上述目的,本发明提供的技术方案如下:

本发明提供了一种显示面板标识构件,所述显示面板标识构件包括:

第一标识部,所述第一标记部具有第一标识外边,所述第一标识外边所构成的形状为矩形;以及

第二标识部,所述第二标记部具有第一标识内边;

其中,所述第一标识部包围所述第二标识部,所述第一标识外边和所述第一标识内边用于共同标识所述显示面板标识构件在与所述显示面板对应的二维平面中的坐标。

根据本发明一优选实施例,所述第一标识外边包括第一子外边、第二子外边、第三子外边和第四子外边;

所述第一子外边、所述第二子外边、所述第三子外边和所述第四子外边用于标识所述显示面板标识构件在所述二维平面中的第一坐标。

根据本发明一优选实施例,所述第一标识内边所构成的形状为三角形、矩形或圆形中的任意一者。

根据本发明一优选实施例,在所述第一标识内边所构成的形状为矩形的情况下,所述第一标识内边包括第一子内边、第二子内边、第三子内边和第四子内边;

所述第一子内边、所述第二子内边、所述第三子内边和所述第四子内边用于标识所述显示面板标识构件在所述二维平面中的第二坐标。

根据本发明一优选实施例,所述第一标识部和所述第二标识部均是在同一光刻制程中形成的。

本发明还提供了一种显示面板,所述显示面板包括:

显示面板主体;

显示面板标识构件,所述显示面板标识构件设置于所述显示面板主体上,所述显示面板标识构件包括:

第一标识部,所述第一标记部具有第一标识外边,所述第一标识外边所构成的形状为矩形;以及

第二标识部,所述第二标记部具有第一标识内边;

其中,所述第一标识部包围所述第二标识部,所述第一标识外边和所述第一标识内边用于共同标识所述显示面板标识构件在与所述显示面板对应的二维平面中的坐标。

根据本发明一优选实施例,所述第一标识外边包括第一子外边、第二子外边、第三子外边和第四子外边;

所述第一子外边、所述第二子外边、所述第三子外边和所述第四子外边用于标识所述显示面板标识构件在所述二维平面中的第一坐标。

根据本发明一优选实施例,所述第一标识内边所构成的形状为三角形、矩形或圆形中的任意一者。

根据本发明一优选实施例,在所述第一标识内边所构成的形状为矩形的情况下,所述第一标识内边包括第一子内边、第二子内边、第三子内边和第四子内边;

所述第一子内边、所述第二子内边、所述第三子内边和所述第四子内边用于标识所述显示面板标识构件在所述二维平面中的第二坐标。

根据本发明一优选实施例,所述第一标识部和所述第二标识部均是在同一光刻制程中形成的。

本发明的有益效果为:相比于现有技术,本发明在所述标识构件内设有第二标识部,所述第二标识部为规则的形状;由所述第一标识部(第一标识外边)所标识(定位)的所述第一坐标与由所述第二标识部(第一标识内边)所标识(定位)的所述第二坐标所共同构成的所述显示面板标识构件在所述二维平面中的坐标,能够使得针对所述显示面板标识构件的量测结果(定位结果)处于预定的偏差范围内,从而可以使得所述量测结果(定位结果)更准确。

附图说明

为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中量测标记发生形变之前的结构示意图;

图2为现有技术中量测标记发生形变之后的结构示意图;

图3为本发明优选实施例一显示面板标识构件的结构示意图;

图4位本发明优选实施例二显示面板表示构件的结构示意图;

图5位本发明优选实施例三显示面板表示构件的结构示意图。

具体实施方式

以下各实施例的说明是参考附加的图示,用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语,例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等,仅是参考附加图式的方向。因此,使用的方向用语是用以说明及理解本发明,而非用以限制本发明。在图中,结构相似的单元是用以相同标号表示。

本发明针对现有技术中,所述标识构件因所述第一标识中的第一标识外边出现图形异常,所述第一标识部无法准确用于标识所述显示面板标识构件在所述二维平面中的第一坐标,而提出了一种显示面板标识构件,本实施例能够解决该缺陷。

本发明提供了一种显示面板标识构件,所述显示面板标识构件包括:第一标识部301和第二标识部302,所述第一标识部301和所述第二标识部302均是在同一光刻制程中形成的。

所述第一标记部具有第一标识外边303,所述第一标识外边303所构成的形状为矩形;所述第一标识外边303包括第一子外边、第二子外边、第三子外边和第四子外边;所述第一子外边、所述第二子外边、所述第三子外边和所述第四子外边用于标识所述显示面板标识构件在所述二维平面中的第一坐标。

所述第二标记部具有第一标识内边304,所述第一标识部301包围所述第一标识部301,所述第一标识外边303和所述第一标识内边304用于共同标识所述显示面板标识构件在与所述显示面板对应的二维平面中的坐标。

在所述第一标识内边304所构成的形状为矩形的情况下,所述第一标识内边304包括第一子内边、第二子内边、第三子内边和第四子内边;所述第一子内边、所述第二子内边、所述第三子内边和所述第四子内边用于标识所述显示面板标识构件在所述二维平面中的第二坐标。

其中,所述第一标识内边304所构成的形状为三角形、矩形或圆形中的任意一者。

图3为本发明优选实施例一显示面板标识构件的结构示意图,本实施例中,所述第一标识部301和第二标识部302均为正方形。

从图中可以看出,在所述显示面板标识构件发生形变之后,所述第一标识部301的第一标识外边303中的某一第一标识子外边为不规则边缘,量测机台无法准确的量测所述第一标识子外边到坐标轴的间距,导致所述第一标识部301无法准确用于标识所述显示面板标识构件在所述二维平面中的第一坐标,影响后续图像制程的曝光对位。

在本实施例中,所述第二标识部302所标识的所述显示面板标识构件在所述二维平面中的第二坐标替代了所述第一标识部301所标识的所述第一坐标,对所述标识构件进行准确的量测。

形变之前,以基板上某一固定点为坐标原点,建立直角坐标系,量测所述第二标识部302中的所述第一子内边、所述第二子内边、所述第三子内边和所述第四子内边与所述坐标轴的间距,计算所述第二标识在所述坐标系中对应的坐标;在本实施例中,所述第一子内边和所述第三子内边与y轴平行,所述第二子内边和所述第四子内边与x轴平行。

形变之后,量测所述第一子内边和所述第三子内边与y轴的水平间距为a1、a2,所述第二子内边和所述第四子内边与x轴的垂直间距为b1、b2;因此得出所述第二标识部302在所述坐标系中对应的坐标为根据形变前后坐标得到显示面板的形变量。

图4为本发明优选实施例二显示面板标识构件的结构示意图,本实施例中,所述第一标识部401和第二标识部402均为正方形;其中,所述第一标识部401与所述第二标识部402的中心重合。

从图中可以看出,所述显示面板标识构件发生形变之后,所述第一标识部401的所述第一标识外边403中的子外边为规则边缘;此时,所述第一标识部401在所述二维平面中标识的第一坐标和所述第二标识部402在所述二维平面中标识的第二坐标对所述显示面板标识构件均起到定位作用;

由于所述第一标识部401和所述第二标识部402的中心点重合,因此,根据所述第一坐标和所述第二坐标的平均值,可以减小量测的误差,精确了后续图像制程的曝光对位。

与实施例类似,形变之前,以基板上某一固定点为坐标原点,建立直角坐标系,量测所述第一标识部401和所述第二标识部402各边与所述坐标系的距离,得到所述显示面板标识构件的坐标;形变之后,量测所述第一子外边和所述第三子外边与y轴的水平间距为c1、c4,所述第二子外边和所述第四子外边与x轴的垂直间距为d1、d4;量测所述第一子内边和所述第三子内边与y轴的水平间距为c2、c3,所述第二子内边和所述第四子内边与x轴的垂直间距为d2、d3;得到所述显示面板标识构件的坐标为

图5为本发明优选实施例三显示面板标识构件的结构示意图,本实施例中,所述第一标识部501为正方形,所述第二标识部502为圆形;其中,所述第一标识部501中心和所述第二标识部502的圆心不重合。

所述显示面板标识构件产生形变之后,所述第一标识部501中的第一标识外边503中的某一子外边为不规则边缘,量测机台无法准确的量测所述边缘到坐标轴的间距,导致所述第一标识部501无法准确用于标识所述显示面板标识构件在所述二维平面中的第一坐标,影响后续图像制程的曝光对位。

在本实施例中,形变之前,以基板上某一固定点为坐标原点,建立直角坐标系,量测所述第二标识部502中圆心与所述坐标轴的间距,计算所述第二标识部502在所述坐标系中对应的坐标;

形变之后,根据所述标记识别装置确定所述第二标识部502圆心的位置,测得所述圆心与y轴的水平间距为a3,与x轴的垂直间距为b3,计算得出所述第二标识部502的坐标为根据形变前后坐标得到显示面板的形变量。

本发明还提出了一种显示面板,所述显示面板包括:显示面板主体和显示面板标识构件,所述显示面板标识构件设置于所述显示面板主体上;

所述显示面板标识构件包括:第一标识部和第二标识部,所述第一标识部和所述第二标识部均是在同一光刻制程中形成的。

所述第一标记部具有第一标识外边,所述第一标识外边所构成的形状为矩形;所述第一标识外边包括第一子外边、第二子外边、第三子外边和第四子外边;所述第一子外边、所述第二子外边、所述第三子外边和所述第四子外边用于标识所述显示面板标识构件在所述二维平面中的第一坐标。

所述第二标记部具有第一标识内边,所述第一标识部包围所述第二标识部,所述第一标识外边和所述第一标识内边用于共同标识所述显示面板标识构件在与所述显示面板对应的二维平面中的坐标。

在所述第一标识内边所构成的形状为矩形的情况下,所述第一标识内边包括第一子内边、第二子内边、第三子内边和第四子内边;所述第一子内边、所述第二子内边、所述第三子内边和所述第四子内边用于标识所述显示面板标识构件在所述二维平面中的第二坐标。

其中,所述第一标识内边所构成的形状为三角形、矩形或圆形中的任意一者。

所述显示面板具体实施例与所述显示面板标识构件类似,此处不再一一赘述。

本发明提供了一种显示面板标识构件及显示面板,所述标识构件内设有第二标识部,所述第二标识部为规则的形状;由所述第一标识部(第一标识外边)所标识(定位)的所述第一坐标与由所述第二标识部(第一标识内边)所标识(定位)的所述第二坐标所共同构成的所述显示面板标识构件在所述二维平面中的坐标,能够使得针对所述显示面板标识构件的量测结果(定位结果)处于预定的偏差范围内,从而可以使得所述量测结果(定位结果)更准确。其中,所述显示面板标识构件的所述坐标在第一维度上的数值等于所述第一坐标与所述第二坐标在所述第一维度上的平均值(中间值),所述显示面板标识构件的所述坐标在第二维度上的数值等于所述第一坐标与所述第二坐标在所述第二维度上的平均值(中间值)。

或者,当所述标识构件中的第一标识外边出现图形残留异常时,所述第一标识部无法准确标识所述显示面板标识构件在所述二维平面中的第一坐标;所述第二标识部所标识的所述显示面板标识构件在所述二维平面中的第二坐标替代了所述第一标识部所标识的所述第一坐标,对所述标识构件进行准确的量测,改善了因图形边缘形变造成的量测失真,增加了量测成功率。其中,所述图形残留异常是指在利用光罩制程(包括曝光和蚀刻两个子制程)形成所述第一标识外边(所述第一标识部)的过程中,所述第一标识外边(所述第一标识部)因曝光不当或蚀刻不当而造成的所述第一标识外边(所述第一标识部)棱边(边缘线)不平直(例如:凹凸不平状、波浪状)的异常。

综上所述,虽然本发明已以优选实施例揭露如上,但上述优选实施例并非用以限制本发明,本领域的普通技术人员,在不脱离本发明的精神和范围内,均可作各种更动与润饰,因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

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