投影曝光装置及投影曝光方法与流程

本发明涉及提高投影曝光装置的吞吐量的技术，尤其涉及通过减少总的投影曝光时间来提高吞吐量的技术。

背景技术：

例如，参考文献1或参考文献2公开了通过使用光刻技术使光掩模(光罩)上的图案转印到晶圆或基板等工件上的投影曝光装置。

在参考文献1中，原板(光罩：光掩模)上的图案通过投影透镜而被投影到在可沿x(横)-y(纵)-θ(旋转)方向移动的载物台(或载置台)上载置的一个被曝光体(工件)上。通过使用激光干涉仪的位置检测设备来检测被曝光体(工件)在xy各个方向上的位置。在参考文献1中，公开了用于高精度地进行步进式曝光中的光罩与晶圆的对位的步进式移动方向，以及晶圆相对于位置检测设备的激光干涉仪的移动方向。

在参考文献2中，不仅载置一个工件的载物台(或载置台)能够沿x(横)-y(纵)-θ(旋转)方向移动，而且载置光掩模(光罩)的桌也能够沿x(横)-y(纵)-θ(旋转)方向移动。在参考文献2中，公开了能够单独地设定两个桌的扫描方向和扫描速度等的技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2001-203161号

专利文献2：特开平11-260697号

然而，由于作为工件的材料，有时使用例如像结晶材料这样的具有脆性的材料、或非结晶的如玻璃等的脆性的材料，因此需要谨慎处理，换句话说需要经过较慢的时间来进行。因此，将工件装载到载置台上的可曝光区域内以及从载置台上的可曝光区域内卸载所需的时间非常长，例如需要70秒等。

另外，由于近年来的转印图案的高精细化，因此对于利用投影曝光装置在工件上转印图案时的、载置台上的工件的位置检测需要高精度，并且位置检测所需的时间有增加的倾向。另外，如步进式曝光等，在向多个位置移动的同时实施多次曝光的情况下，需要更多位置检测时间。

在如专利文献1和2的以往的投影曝光装置中，首先，将工件装载到载置台上的规定位置，接着检测该工件在载置台上的位置，然后根据检测出的位置而将载置台或光掩模的位置在各个方向上进行调整并实施曝光。即，在以往的投影曝光装置及其投影曝光方法中，由于依次且单独地实施每个处理，因此为了缩短总的处理时间，只能缩短每个处理所需时间，或缩短各个处理之间的切换时间。

技术实现要素：

本发明鉴于上述问题而提出的，其目的在于，提供一种投影曝光装置及其投影曝光方法，该投影曝光装置通过能够并列实施投影曝光工序中的工件的装载/卸载、载置台上的被载置的工件的位置检测以及与工件的位置对应的投影曝光的各个处理中的至少两个处理，从而与以往相比能够缩短总的处理时间。

为了达成上述目的，根据本发明的投影曝光装置的一个实施方式中，通过使光掩模的规定图案与工件上的规定位置对准、并利用来自于光源的光进行投影曝光，在工件上形成规定图案，其中，该投影曝光装置具有：滑动载物台，在载置工件的部位的顶面上，以两个工件不重叠并且可以同时载置的方式形成第一区域和第二区域这两个区域，该滑动载物台能够交替向反方向滑动并且能够临时停止在各个方向端部的规定的第一停止位置与第二停止位置上；两个第一装载器，能够滑动载物台的各个区域内单独地装载并卸载各个工件；第一位置检测设备，在滑动载物台临时停止在规定的第一停止位置的情况下，在滑动载物台的第一区域的正上部，检测在该第一区域内载置的工件的载置位置；第二位置检测设备，在滑动载物台临时停止在规定的第二停止位置的情况下，在滑动载物台的第二区域的正上部，检测在该第二区域内载置的工件的载置位置；光源、光掩模以及投影光学系统，在滑动载物台临时停止在规定的第一停止位置的情况下，能够在滑动载物台的第二区域的正上部，对载置于该第二区域内的工件进行投影曝光，并且在滑动载物台临时停止在规定的第二停止位置的情况下，能够在滑动载物台的第一区域的正上部，对载置于该第一区域内的工件进行投影曝光；以及控制部，对滑动载物台的滑动和在各个停止位置的停止、由第一装载器对各个区域内进行的工件的装载和卸载、由位置检测设备进行的各个区域内的工件的载置位置的检测、以及由光源、光掩模以及投影光学系统进行的对各个区域内工件的投影曝光等各个处理进行控制，所述控制部实施并行处理，即，当通过光源、光掩模以及投影光学系统对载置于第二区域内的工件进行投影曝光时，并行地通过位置检测设备检测载置于第一区域内的工件的载置位置，相反地，当通过光源、光掩模以及投影光学系统对载置于第一区域内的工件进行投影曝光时，并行地通过位置检测设备检测载置于第二区域内的工件的载置位置。

为了达成上述目的，本发明的投影曝光方法的一实施方式使用投影曝光装置，该投影曝光装置通过使光掩模的规定图案与工件上的规定位置对准并利用来自于光源的光进行投影曝光，在工件上形成规定图案，并且该投影曝光装置具有滑动载物台，该滑动载物台在载置工件的部位的顶面上，以两个工件不重叠且可以同时载置的方式形成第一区域和第二区域这两个区域，该滑动载物台能够交替向反方向滑动并且能够临时停止在各个方向端部的规定的第一停止位置与第二停止位置上，其中，该投影曝光方法包括：(a)使滑动载物台滑动，使第一区域临时停止在规定的第一停止位置的步骤；(b)使工件装载到滑动载物台的第一区域内的步骤；(c)检测第一区域内的工件的载置位置的步骤；(d)使滑动载物台再滑动，使第一区域临时停止在规定的第二停止位置的步骤；(e)将光掩模上的图案投影曝光到第一区域内的工件上的步骤；(f)当滑动载物台的第二区域内有投影曝光结束的工件时，与步骤(e)的投影曝光处理并行地从所述第二区域内卸载投影曝光结束的工件的步骤；以及(g)将所述(a)～(f)的规定的第一停止位置的第一区域和规定的第二停止位置的第二区域来进行下一个周期的处理，并在以后的周期，将第一区域与第二区域互换来实施处理的步骤。

附图说明

图1(a)～(c)是表示当本发明第一实施方式的曝光装置的滑动载物台停止在第一停止位置时的概略结构的图，(a)是停止在第一停止位置时的侧视图，(b)是停止在第二停止位置时的侧视图，(c)是俯视图。

图2是本发明第一实施方式的曝光装置的动作流程图。

具体实施方式

整体说明

根据本发明的投影曝光装置的一个实施方式，通过使光掩模的规定图案与工件上的规定位置对准、并利用来自于光源的光进行投影曝光，在工件上形成规定图案，其中，该投影曝光装置具有：滑动载物台，在载置工件的部位的顶面上，以两个工件不重叠并且可以同时载置的方式形成第一区域和第二区域这两个区域，该滑动载物台能够交替向反方向滑动并且能够临时停止在各个方向端部的规定的第一停止位置与第二停止位置上；两个第一装载器，能够向该滑动载物台的各个区域内单独地装载并卸载各个工件；第一位置检测设备，在滑动载物台临时停止在规定的第一停止位置的情况下，在滑动载物台的第一区域的正上部，检测在该第一区域内载置的工件的载置位置；第二位置检测设备，在滑动载物台临时停止在规定的第二停止位置的情况下，在滑动载物台的第二区域的正上部，检测在该第二区域内载置的工件的载置位置；光源、光掩模以及投影光学系统，在滑动载物台临时停止在规定的第一停止位置的情况下，能够在滑动载物台的第二区域的正上部，对载置于该第二区域内的工件进行投影曝光，并且在滑动载物台临时停止在规定的第二停止位置的情况下，能够在滑动载物台的第一区域的正上部，对载置于该第一区域内的工件进行投影曝光；以及控制部，对滑动载物台的滑动和在各个停止位置的停止、由第一装载器对各个区域内进行工件的装载和卸载、由位置检测设备进行的各个区域内的工件的载置位置的检测、以及由光源、光掩模以及投影光学系统进行的对各个区域内工件的投影曝光等各个处理进行控制，所述控制部实施并行处理，即，当通过光源、光掩模以及投影光学系统对载置于第二区域内的工件进行投影曝光时，并行地通过位置检测设备检测在第一区域内载置的工件的载置位置，相反地，当通过光源、光掩模以及投影光学系统对载置于第一区域内的工件进行投影曝光时，并行地通过位置检测设备检测在第二区域内载置的工件的载置位置。

根据本发明的投影曝光装置的其他实施方式，投影曝光装置通过步进式曝光将要投影曝光的图案逐步曝光到一个工件上。

根据本发明的投影曝光装置的其他实施方式，使投影曝光的图案的位置与被检测出位置的工件的位置对准的设备，包括使光掩模沿纵(y)横(x)高度(z)方向中的至少一个方向直线移动的驱动设备。

根据本发明的投影曝光装置的其他实施方式，使投影曝光的图案的位置与被检测出位置的工件的位置对准的设备，包括使光掩模从与曝光光正交的正交面改变角度的倾斜驱动设备。

根据本发明的投影曝光装置的其他实施方式，使投影曝光的图案的位置与被检测出位置的工件的位置对准的设备，包括使配置于滑动载物台的下方的基台沿纵(y)横(x)高度(z)方向中的至少一个方向直线移动的驱动设备。

根据本发明的投影曝光装置的其他实施方式，使投影曝光的图案的位置与被检测出位置的工件的位置对准的设备包括，使投影光学系统沿纵(y)横(x)高度(z)方向中的至少一个方向直线移动的驱动设备。

使用本发明投影曝光装置的投影曝光方法的一个实施方式中，该投影曝光装置通过使光掩模的规定图案与工件上的规定位置对准并利用来自于光源的光进行投影曝光，在工件上形成规定图案，并且该投影曝光装置具有滑动载物台，该滑动载物台在载置工件的部位的顶面上，以两个工件不重叠且可以同时载置的方式形成第一区域和第二区域这两个区域，该滑动载物台能够交替向反方向滑动并且能够临时停止在各个方向端部的规定的第一停止位置与第二停止位置上，其中，该投影曝光方法包括：(a)使滑动载物台滑动，使第一区域临时停止在规定的第一停止位置的步骤；

(b)使工件装载到滑动载物台的第一区域内的步骤；

(c)检测第一区域内的工件的载置位置的步骤；

(d)使滑动载物台再滑动，使第一区域临时停止在规定的第二停止位置的步骤；

(e)将光掩模上的图案投影曝光到第一区域内的工件上的步骤；

(f)当滑动载物台的第二区域内有投影曝光结束的工件时，与步骤(e)的投影曝光处理并行地从所述第二区域内卸载投影曝光结束的工件的步骤，以及(g)将所述(a)～(f)的规定的第一停止位置的第一区域与规定的第二停止位置的第二区域互换来进行下一个周期的处理，并在以后的周期，将第一区域与第二区域互换来实施处理的步骤。

发明效果

根据本发明的曝光装置，通过设置在载置工件的部位的顶面上，以多个工件不重叠且能够同时载置的方式形成多个区域，能够滑动并且暂时停止在规定的多个停止位置上的往复运动型滑动载物台，并且以向工件投影光掩模上的图案的投影光学系统为中心，在该滑动方向的两侧使工件的第一装载器、滑动载物台上的工件的位置检测设备分别与滑动载物台上的不同区域对应地配置，从而能够实现各个处理的并行实施。由此，可提供一种与以往相比能够缩短工件的总曝光时间的投影曝光装置及其投影曝光方法。

图示的实施方式的说明

第一实施方式

以下，参照附图说明本发明的第一实施方式。在图1(a)、(b)中，示出了本发明第一实施方式的曝光装置1的概略结构，在工件用载物基台140之上设置有大致矩形的工件用滑动载物台120。

在工件用滑动载物台120上，工件载置用第一区域110和工件载置用第二区域111这两个区域配置在该滑动载物台120的长边的两端部。工件载置用第一区域110和工件载置用第二区域111大于第一工件510和第二工件511的各自的表面积，并且分别具有用于分别载置该各个工件的充分的面积，另外，在各个区域中，可以在各个工件不会干渉的部位上设置表示位置的识别标识(id)或位置测定的基准点的标记(未图示)。

工件用滑动载物台120通过xyz倾斜驱动部150与包括微型计算机或中央处理单元(cpu)的控制部410相连接。根据来自于控制部410的命令，从xyz倾斜驱动部150将驱动用信号向工件用滑动载物台120送出。能够通过未图示的驱动机构等准确地控制工件用滑动载物台120在平面上的滑动的距离和停止位置。另外，工件用滑动载物台120与未图示的电源连接而被供给滑动所需的电力。

工件用载物基台140用于使工件用滑动载物台120向x、y、z的各个方向移动或者倾斜，可根据需要设置驱动机构、导轨等。在本实施方式中，对仅向x方向滑动的情形进行说明，但是在用于使规定图案曝光的对位等时可使用向其他方向移动或倾斜的功能。

工件载置用第一区域110通过由控制部410控制的xyz倾斜驱动部150使工件用滑动载物台120滑动，从而能够移动至第一停止位置610或第二停止位置611，并停止在该位置上。被曝光的图案越详细，就越需要提高滑动精度、停止精度以及准确的控制。临时停止在第一停止位置610时的工件载置用第一区域110的正上部，例如，配置第一位置检测部210。另外，在图1(a)中，第一装载器310被配置在，临时停止在第一停止位置610时的工件载置用第一区域110的区域的上部或附近。第一装载器310能够从临时停止在第一停止位置610上的工件载置用第一区域110卸载曝光结束的工件，并能够将未曝光的工件装载于该区域。例如能够使用未图示的输送带等，将从工件用滑动载物台120上被取下来的曝光结束的工件移送到下一个工序，或使未曝光工件移动至第一装载器310的附近。另外，在第二停止位置611的正上部配置曝光用的投影光学系统50。

工件载置用第二区域111也通过使由控制部410控制的工件用滑动载物台120滑动，移动至第一停止位置610或第二停止位置611，并且停止在该位置上。由于第一停止位置610和第二停止位置611配置于大致矩形的工件用滑动载物台120的长边的两端部，因此在临时停止在第一停止位置610时，第一位置检测部210被配置在工件载置用第一区域110的正上部、第一装载器310被配置在工件载置用第一区域110的区域的上部或附近、曝光用的投影光学系统50配置在工件载置用第二区域111的正上部，而在临时停止在第二停止位置611时，第二位置检测部211配置在工件载置用第二区域111的正上部、第二装载器311配置在工件载置用第二区域111的区域的上部或附近、曝光用的投影光学系统50配置在工件载置用第一区域110的正上部。

在曝光用的投影光学系统50的更上部配置光源部10、光掩模20、掩模用xyθ载置台30、掩模用倾斜载置台40。在图1(a)的情形下，来自于光源部10的曝光光透过光掩模20和投影光学系统50，对临时停止在第一停止位置610时的、被载置在工件载置用第二区域111上的第二工件511进行曝光，由此，将光掩模20上的规定图案转印在第二工件511上。

掩模用xyθ载置台30通过掩模用xyθ载置台驱动部60，与包括微型计算机或中央处理单元(cpu)的控制部410相连接。根据来自于控制部410的命令，从掩模用xyθ载置台驱动部60将驱动用信号向掩模用xyθ载置台30送出。掩模用xyθ载置台30可通过能够在x方向(横向)、y方向(纵向)以及θ(旋转)方向移动的掩模用xyθ载置台驱动部60，在未图示的载置台平面上准确地控制在载置台平面上的xyθ(纵、横、旋转)方向上的停止位置。另外，掩模用xyθ载置台30也与未图示的电源相连接而被供给xyθ(纵、横、旋转)方向的移动所需的电力。

掩模用倾斜载置台40通过掩模用倾斜载置台驱动部70与包括微型计算机或中央处理单元(cpu)的控制部410相连接。根据来自于控制部410的命令，从掩模用倾斜载置台驱动部70将驱动用信号向掩模用倾斜载置台40送出。掩模用倾斜载置台40可通过掩模用倾斜载置台驱动部70，准确地控制台平面倾斜的(tilt)状态的停止位置，所述掩模用倾斜载置台驱动部70能够使未图示的台平面从与光轴垂直的角度倾斜。另外，掩模用倾斜载置台40也与未图示的电源相连接而被供给使载置台平面倾斜所需的电力。

控制部410控制工件用滑动载物台120、工件用载物基台140、掩模用xyθ载置台30以及掩模用倾斜载置台40的在平面上的位置，和在平面上的角度以及倾斜角度，以使光掩模20上的规定图案准确地被转印在第二工件511上的规定的位置上。此时，例如，可使用未图示的光掩模用显微镜和工件用显微镜等进行控制，以使仍旧未图示的光掩模上的掩模对准标记与工件上的工件对准标记对准。另外，根据需要，也可以在投影光学系统50设置驱动部，利用该驱动部来进行用于使光掩模上的规定图案投影至工件上的规定位置的控制。

接着参照图2说明本实施方式的动作。首先，当开始处理时，确认滑动载物台120是否临时停止在第一停止位置610上(s1)。如果滑动载物台120正临时停止在第一停止位置610上(s1：是)，则确认在滑动载物台120的工件载置用第一区域110上是否载置有未曝光的工件(s2)。如果滑动载物台120没有临时停止在第一停止位置610上(s1：否)，则由于滑动载物台120正临时停止在第二停止位置611上，因此进入步骤s7。

在滑动载物台120的工件载置用第一区域110上没有载置未曝光的工件的情况下(s2：是)，控制部410向第一装载器310输出命令，以将未曝光工件装载到工件载置用第一区域110内(s3)。在工件载置用第一区域110中载置有未曝光的工件的情况下(s2：否)，由于无需装载未曝光的工件，因此进入步骤s4，根据控制部41的命令利用第一位置检测部210检测工件载置用第一区域110上的第一工件510的位置(s4)。此时，例如，可利用工件用显微镜来检测台上的台对准标记和工件上的工件对准标记。

若检测出工件载置用第一区域110中的第一工件510的位置，则控制部410向xyz倾斜驱动部150输出使滑动载物台120从第一停止位置610滑动至第二停止位置611的命令(s5)，若滑动载物台120上的工件载置用第一区域110到达第二停止位置611的情况下的投影光学系统50的正下部，则输出临时停止命令(s6)。

若滑动载物台120临时停止在第二停止位置611，则确认第一停止位置610的滑动载物台120的工件载置用第二区域111内是否有曝光结束的工件(s7)。在工件载置用第二区域111内有曝光结束的工件的情况下(s7：是)，控制部410向第二装载器311输出命令，以使从工件载置用第二区域111卸载该曝光结束的工件(s8)，并将未曝光的工件装载到工件载置用第二区域111(s9)。在工件载置用第二区域111内没有曝光结束的工件的情况下(s7：否)，由于无需卸载工件，因此通过进入步骤s9而将未曝光的工件装载到工件载置用第二区域111(s9)。

在步骤s7的处理之后将工件装载到工件载置用第二区域111内的同时，并行地在第二停止位置611上对工件载置用第一区域110内的位置检测结束的第一工件510实施通过光掩模20的规定图案的投影曝光而对第一工件510上进行的转印(s10)。当该规定图案的转印结束时，控制部410向xyz倾斜驱动部150输出使其再次滑动的命令(s11)，若滑动载物台120到达第一停止位置610则输出临时停止的命令(s12)。

若滑动载物台120临时停止在第一停止位置610，则确认第一停止位置610的滑动载物台120的工件载置用第一区域110内是否有曝光结束的工件(s13)。在工件载置用第一区域110内有曝光结束的工件的情况下(s13：是)，控制部410向第一装载器310输出命令，以使从工件载置用第一区域110卸载该曝光结束的工件(s14)，并进入步骤s16确认是否有剩余的未曝光的工件(s16)。在工件载置用第一区域110内没有曝光结束的工件的情况下(s13：否)，由于无需卸载工件，因此进入步骤s16确认是否有剩余的未曝光的工件(s16)。

在步骤s12之后的对于在第一停止位置610的滑动载物台120的工件载置用第一区域110内是否有曝光结束的工件的确认的同时，并行地在第二停止位置611上对工件载置用第二区域111内的位置检测结束的第二工件511实施通过光掩模20的规定图案的投影曝光而对第二工件511上进行的转印(s15)，然后控制部410确认是否有剩余的未曝光的工件(s16)。

在没有剩余的未曝光的工件的情况下(s16：是)，结束处理，而在有剩余的未曝光的工件的情况下(s16：否)，返回步骤s1确认工件载置用第一区域110是否临时停止在第一停止位置610上(s1)，并且重复之后的处理。

因此，本实施方式的投影曝光装置1，通过使光掩模20的规定图案与工件510、511上的规定位置对准、并利用来自于光源的光进行投影曝光，从而在工件510、511上形成规定图案，该投影曝光装置具有：滑动载物台120，在载置工件510、511的部位的顶面上，以两个工件510、511不重叠且能够同时载置的方式形成第一区域110和第二区域111这两个区域，该滑动载物台能够交替向反方向滑动并且能够临时停止在各个方向端部的规定的第一停止位置610与第二停止位置611上；第一装载器310和第二装载器311，能够将工件510、511分别装载到滑动载物台120的各个区域内或从滑动载物台120的各个区域内卸载；第一位置检测设备210，在滑动载物台120临时停止在规定的第一停止位置610的情况下，在滑动载物台120的第一区域110的正上部，检测载置于该第一区域110内的工件510或511的载置位置；第二位置检测设备211，在滑动载物台120临时停止在规定的第二停止位置611的情况下，在滑动载物台120的第二区域111的正上部，检测载置于该第二区域111内的工件510或511的载置位置；光源10、光掩模20以及投影光学系统50，在滑动载物台120临时停止在规定的第一停止位置610的情况下，能够在滑动载物台120的第二区域111的正上部，对载置于该第二区域111内的工件510、511进行投影曝光，并且在滑动载物台120临时停止在规定的第二停止位置611的情况下，能够在滑动载物台120的第一区域110的正上部，对载置于第一区域110内的工件510、511进行投影曝光；以及控制部410，对滑动载物台120的滑动和在各个停止位置610、611上的停止、由第一装载器310对各个区域内进行的工件510、511的装载和卸载、由位置检测设备210、211进行的各个区域内的工件510、511的载置位置的检测、以及由光源10、光掩模20以及投影光学系统50进行的对各个区域内的工件510、511的投影曝光等各个处理进行控制，控制部410能够实施并行处理，即，当通过光源10、光掩模20以及投影光学系统50对载置于第二区域111内的工件511进行投影曝光时，并行地通过位置检测设备210检测载置于第一区域110内的工件510的载置位置，相反地，当通过光源10、光掩模20以及投影光学系统50对载置于第一区域110内的工件510进行投影曝光时，并行地通过位置检测设备211检测载置于第二区域111内的工件511的载置位置。

另外，本实施方式的投影曝光装置1能够对一个工件510或511，通过步进式曝光将要投影曝光的图案逐步曝光到一个工件上的曝光装置。另外，在上述各个实施方式的投影曝光装置1中，使投影曝光的图案的位置与被检测出位置的工件510、511的位置对准的设备可包括使光掩模20沿纵(y)横(x)高度(z)方向中的至少一个方向直线移动的驱动设备60，以及/或者，使投影曝光的图案的位置与被检测出位置的工件510、511的位置对准的设备可包括使光掩模20从与曝光光正交的正交面改变角度的倾斜驱动设备40、70，以及/或者，使投影曝光的图案的位置与被检测出位置的工件510、511的位置对准的设备可包括使配置于滑动载物台120的下方的台沿纵(y)横(x)高度(z)方向中的至少一个方向直线移动的驱动设备150，以及/或者，使投影曝光的图案的位置与被检测出位置的工件510、511的位置对准的设备可包括使投影光学系统50沿纵(y)横(x)高度(z)方向中的至少一个方向直线移动的驱动设备。

另外，本实施方式的投影曝光装置11的投影曝光方法使用投影曝光装置1，该投影曝光装置1通过使光掩模20的规定图案与工件510、511上的规定位置对准并利用来自于光源10的光来进行投影曝光，在工件510、511上形成规定图案，并且该投影曝光装置1具有滑动载物台120，该滑动载物台120在载置工件510、511的部位的顶面上，以两个工件510、511不重叠且能够同时载置的方式形成第一区域110和第二区域111这两个区域，该滑动载物台120能够交替向反方向滑动并且能够临时停止在各个方向端部的规定的第一停止位置610与第二停止位置611上，该投影曝光方法包括：(a)使滑动载物台120滑动，使第一区域110临时停止在规定的第一停止位置610的步骤；(b)使工件510、511装载到滑动载物台120的第一区域110内的步骤；(c)检测第一区域110内的工件510、511的载置位置的步骤；(d)使滑动载物台120再次滑动，使第一区域110临时停止在规定的第二停止位置611的步骤；(e)将光掩模20上的图案投影曝光于第一区域110内的工件510、511的步骤；(f)当在滑动载物台120的第二区域111内有投影曝光结束的工件510、511时，与步骤(e)的投影曝光处理并行地从该第二区域111内卸载投影曝光结束的工件510、511的步骤；以及(g)将所述(a)～(f)的规定的第一停止位置610的第一区域110与规定的第二停止位置611的第二区域111互换来进行下一个周期的处理，并在以后的周期，将第一区域110与第二区域111互换来实施处理的步骤。

在如上所述的第一实施方式中，投影光学系统50、第一位置检测部210、第二位置检测部211、第一装载器310以及第二装载器311在临时停止在各个第一停止位置或第二停止位置的情况下，能够对工件载置用第一区域或工件载置用第二区域的不同区域上的不同的工件，将工件的装载/卸载与位置检测或投影曝光这些不同的处理同时并行地实施。因此，与在相同的位置连续地顺序地实施各个处理的现有技术相比，由于在本实施方式中能够并行处理，因此能够缩短处理时间。

附图标记说明

1投影曝光装置1

10光源部

20光掩模(光罩)

30掩模用xyθ载置台

40掩模用倾斜载置台

50投影光学系统

60掩模用xyθ载置台驱动部

70掩模用倾斜载置台驱动部

110工件载置用第一区域

111工件载置用第二区域

120工件用滑动载物台

140工件用载物基台

150xyz倾斜驱动部

210第一位置检测部

211第二位置检测部

310第一装载器

311第二装载器

410控制部

510第一工件

511第二工件

610第一停止位置

611第二停止位置