技术特征：
技术总结
本发明涉及一种共聚焦三维测量装置及其多孔径尼普科夫圆盘，由于在多孔径尼普科夫圆盘上至少设有一个环形的扫描带，不同的扫描带中的透过孔的直径不同，这样，就可以根据显微物镜的放大倍率而选择具有合适直径的透光孔的扫描带来过滤和聚焦光线，从而使得合适直径的透光孔处于工作状态，使得测量装置的分辨力和精度指标达到最优状态。由此可见，本发明的一种共聚焦三维测量装置中的多孔径尼普科夫圆盘能够提高测量分辨力和精度。
技术研发人员：吴俊杰;李源;蔡潇雨;魏佳斯;陈欣;傅云霞
受保护的技术使用者：上海市计量测试技术研究院
技术研发日：2018.10.19
技术公布日：2019.02.22