1.一种光刻胶清洗剂,其特征在于,包括有机溶剂及腐蚀抑制剂;
所述有机溶剂含有二甲基苯甲醇、聚氧化丙烯三醇及壬基聚氧乙烯醚;
所述腐蚀抑制剂含有氨基苯甲酸甲酯和儿茶酚。
2.根据权利要求1所述的光刻胶清洗剂,其特征在于,所述光刻清洗剂的各组分的重量百分比分别为:二甲基苯甲醇1~3%,聚氧化丙烯三醇0.1~0.5%,壬基聚氧乙烯醚4~8%,对氨基苯甲酸甲酯1~5%,儿茶酚1~5%,余量为水。
3.根据权利要求2所述的光刻胶清洗剂,其特征在于,所述光刻清洗剂的各组分的重量百分比分别为:二甲基苯甲醇2%,聚氧化丙烯三醇0.3%,壬基聚氧乙烯醚6%,对氨基苯甲酸甲酯3%,儿茶酚3%,余量为水。
4.一种半导体基板上光刻胶的清洗方法,其特征在于,包括步骤:
s1,用权利要求1至3任一项所述的光刻胶清洗剂对待清洗的半导体基板进行清洗。
5.根据权利要求4所述的半导体基板上光刻胶的清洗方法,其特征在于,在用所述光刻胶清洗剂清洗所述半导体基板时,清洗温度为60-80℃,清洗时间为1-3小时。
6.根据权利要求4所述的半导体基板上光刻胶的清洗方法,其特征在于,在所述步骤s1之后,还包括:
s2,对清洗剂清洗后的所述半导体基板进行刷洗;
s3,将所述半导体基板放入去离子水中并进行超声波震动清洗,之后烘干。
7.根据权利要求6所述的半导体基板上光刻胶的清洗方法,其特征在于,在所述步骤s3中,超声波频率为18~22khz,去离子水的清洗温度为30~40℃,清洗时间为15~25min,并采用45~55℃的热风进行烘干,烘干时间为8~12分钟。
8.根据权利要求4至7任一项所述的半导体基板上光刻胶的清洗方法,其特征在于,在所述步骤s3之后,还包括:
s4,将所述半导体基板放入乙醇中并进行超声波震动清洗,之后烘干。
9.根据权利要求8所述的半导体基板上光刻胶的清洗方法,其特征在于,在所述步骤s4中,超声波频率为10~15khz,乙醇的清洗温度为19~21℃,清洗时间为15~25min,并采用45~55℃的热风进行烘干,烘干时间为1~3分钟。