一种光源偏振器的制作方法

本发明涉及一种光源偏振器，更具体地，涉及一种具有对高次谐波抑制功能的光源偏振器。

背景技术：

同步辐射是一种连续光谱，在通过单色器过滤后的单色光不可避免地含有高次谐波，而高次谐波严重影响光源、探测器和光学元件。在现有技术的光源偏振器中，普遍采用添加滤片的方法来抑制高次谐波，而且基本采用锡滤片放置在光路中，这使得光源的整体透过率大大降低。

针对目前传统的添加锡滤片抑制高次谐波带来的降低光源透过性，影响光路方向等技术问题，目前尚未提出有效地解决方案。

技术实现要素：

本发明提出一种新型光源偏振器，以解决现有光源偏振电路中存在的光源透过性低、光路方向易被改变等技术问题。

为解决上述技术问题，本发明提出一种光源偏振器，其包括3面反射镜，分别为中心镜，左侧镜，右侧镜，所述左侧镜和右侧镜相对中心镜对称放置，且光源在两侧镜的入射角是中心镜的2倍，其特征在于，所述中心镜采用镀膜结构，镀层为硅，厚度为400nm～600nm。

进一步地，所述左侧镜采用双层镀膜结构，第一层为硅，厚度为1～10nm，第二层镀金，厚度为10～30nm。

进一步地，所述右侧镜采用双层镀膜结构，第一层为硅，厚度为1～10nm，第二层镀金，厚度为10～30nm。

本发明的有益技术效果：本光源偏振器能有效地抑制相应波段的高次谐波，且光源通过光源偏振器后，透过率大大提高，拓展了偏振光的利用效率。

附图说明

图1示出了本发明实施例的光源偏振器结构。

图2示出了光源通过au-si-au三反射镜后的s和p分量的反射率。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的光源偏振器的一个实施方式进行说明。本发明公开的光源偏振器采用3块镜子的组合，两侧镜的入射角是中心镜的两倍。如图1所示，光源偏振器包括了包括3面反射镜，分别为中心镜m1，左侧镜m2，右侧镜m3。其中左侧镜m2和右侧镜m3相对中心镜m1对称放置，且夹角为30°，此时当光源以60°入射，从而保证光源在两侧镜的入射角是中心镜的2倍。

3块反射镜都采用镀膜结构，其中中心镜m1镀硅si，厚度为400nm～600nm；

左侧镜采用双层镀膜结构，第一层为硅si，厚度为1～10nm，第二层镀金au，厚度为10～30nm；

右侧镜采用双层镀膜结构，第一层为硅si，厚度为1～10nm，第二层镀金au，厚度为10～30nm。

本实施例中，3面反射镜都采用镀膜结构，其中中心镜m1镀硅si，厚度为500nm。左侧镜第一层镀硅si，其厚度取为3nm，第二层镀金au，其厚度取为30nm。右侧镜第一层镀硅si，其厚度取为3nm，第二层镀金au，其厚度取为30nm。

当光源以60°入射角从左侧就进入三反射镜后，其s和p分量的反射率如图2所示。从图2可以看出p分量的反射率几乎为0，而s分量在30ev以后几乎全被抑制，因此本光源偏振器能有效地抑制相应波段的高次谐波。图2可以看出当基波为12ev时的反射率为12％左右，而二次谐波24ev和三次谐波36ev的反射率几乎为0。光源通过本光源偏振器后的偏振度p在该波段的偏振性可达99％以上，大大提高了光源的偏振度，拓宽了光源的利用率。

本发明是通过具体实施过程进行说明的，在不脱离本发明范围的情况下，还可以对本发明专利进行各种变换及同等代替，因此本发明专利不局限于所公开的具体实施过程，而应该包括落入本发明专利权利要求范围内的全部实施方案，本发明的范围由所附权利要求而不是描述来指示，并且在等同物的含义和范围内的所有变化旨在被包含在其中。

技术特征：

1.一种光源偏振器，包括3面反射镜，分别为中心镜，左侧镜，右侧镜，所述左侧镜和右侧镜相对中心镜对称放置，且光源在两侧镜的入射角是中心镜的2倍，其特征在于，所述中心镜采用镀膜结构，镀层为硅，厚度为400nm～600nm。

2.根据权利要求1所述的光源偏振器，所述左侧镜采用双层镀膜结构，第一层为硅，厚度为1～10nm，第二层镀金，厚度为10～30nm。

3.根据权利要求1所述的光源偏振器，所述右侧镜采用双层镀膜结构，第一层为硅，厚度为1～10nm，第二层镀金，厚度为10～30nm。

技术总结
本发明公开了一种光源偏振器，包括3面反射镜，分别为中心镜，左侧镜，右侧镜。其中左侧镜和右侧镜相对中心镜对称放置，且保证光源在两侧镜的入射角是中心镜的2倍，中心镜采用镀膜结构，镀层为硅。本光源偏振器能有效地抑制相应波段的高次谐波，且光源通过光源偏振器后，透过率大大提高，拓展了偏振光的利用效率。

技术研发人员：陈云
受保护的技术使用者：陈云
技术研发日：2018.10.30
技术公布日：2020.05.08