本实用新型涉及一种曝光机，尤其涉及一种基于LCOS技术的LED曝光机。
背景技术：
印制电路板（PCB）是连接、组装集成电路电子元件的基板，几乎所有的电子设备都离不开印制电路板。在大型电子产品研究过程中，印制电路板的设计和制作直接影响到整个产品的质量和成本。在PCB及微电子器件的制造设备中，曝光机的研制至关重要。
传统的曝光机采用高压汞灯作为光源，高压汞灯光源的缺点是不节能、使用寿命短。高压汞灯的发射光谱较宽，但是只有一部分波段的光可以用于曝光，其他波段的光会造成周围物体和环境温度的升高。与高压汞灯光源相比，LED具有寿命长、节能、谱线窄等优势，在曝光机中受到广泛关注和应用。
随着电子产业的快速发展，尤其是手机、平板电视、摄像机等家电领域产品以及微型机器人、微型飞行器、微型鱼雷等微型武器产品，都表明高精度高分辨率LED曝光机有着广泛的应用前景和巨大的应用潜力，但到目前为止，现有的LED曝光机还不能满足高分辨率的需求。
同时传统曝光机为掩膜式曝光在曝光特定图形前需制作掩膜板，通过掩膜板将特定的图案透射到工作面上形成具有图案的曝光。而本实用新型所述曝光机并不需要掩膜形成图案，可减少工艺流程及生产成本。而相对于数字微镜器件（Digital Micromirror Device，简称DMD）无掩膜曝光路线，DMD芯片紫外系列芯片目前仅能支持1920 x 1080分辨率，本实用新型所述曝光机目前可实现4096 x 2400分辨率即实现超过现有无掩膜曝光像素数量的5倍，并在未来可进一步快速提高分辨率。
技术实现要素：
本实用新型要解决的问题是：
现有LED曝光机还不能满足高分辨率的需求问题。
而本实用新型采用一种基于LCOS技术的LED曝光机，LCOS即Liquid Crystal on Silicon硅基液晶，是一种反射元件，使入射p型偏振光转变成s型偏振光，通过控制LCOS上每个像素的开关形成所需图形，LCOS反射后的光线作为曝光图案的发生源， LCOS具有大于等于1920 x 1080的分辨率，基于LCOS技术的高分辨率LED曝光机，可以实现高分辨率高精度的无掩膜曝光，此曝光机具有重要的应用价值和经济意义，将大大推动我国电子产品行业的发展、提高我国在电子技术领域的竞争力。
本实用新型提供一种基于LCOS技术的LED曝光机，包括LED光源（1）、第一透镜组（2）、积分棒（3）、第二透镜组（4）、偏振分光元件PBS（5）、LCOS（6）、投影系统（7）和待曝光工件（8）。其中LED光源（1）发出的光通过第一透镜组（2）会聚进入积分棒（3），经积分棒（3）匀光后再通过第二透镜组（4）和偏振分光元件PBS（5）成像到LCOS（6）上，光源发出的光中p型偏振光通过偏振分光元件PBS（5）后入射到高分辨率的LCOS（6）上，LCOS（6）反射的光为s型偏振光，经偏振分光元件PBS（5）反射后进入投影系统（7），通过投影系统（7）投射到待曝光工件（8），使待曝光工件（8）形成曝光，为缩小曝光机整体体积，所述曝光机在光路上任意位置加入一个或多个反射镜或棱镜，对光路进行折叠。
所述LED光源（1）的波长范围为350~470nm。
所述第一透镜组（2）用于对LED光源（1）发出的光进行会聚，由N≥2片透镜组成，透镜可以是球面透镜，也可以是非球面透镜，透镜通光孔径范围为10~120mm。
所述积分棒（3）用于对LED光源（1）发出的光进行匀光，并整形成和LCOS（6）长宽比相匹配的光斑。
所述第二透镜组（4）成像到LCOS（6）上，由N≥2片透镜组成，透镜可以是球面透镜，也可以是非球面透镜，透镜通光孔径范围为10~120mm。
所述偏振分光元件PBS（5）是偏振分光棱镜，偏振分光元件PBS（5）用于分光，对p型偏振光透过，对s型偏振光反射，s型偏振光与p型偏振光成90度角，如图2所示，入射光A经过偏振分光元件PBS（5），形成反射光线As和透射光线Ap，反射光线As为s型偏振光，对成像没有作用不参与系统工作，透射光线Ap为p型偏振光，射向LCOS（6），LCOS（6）使透射光线Ap从p偏振态转变成s偏振态的反射光线Bs，Bs射向偏振分光元件（5），被偏振分光元件（5）反射。
所述偏振分光元件PBS（5）是偏振分光片，偏振分光元件PBS（5）用于分光，对p型偏振光透过，对s型偏振光反射，s型偏振光与p型偏振光成90度角，如图3所示，入射光A经过偏振分光元件PBS（5），形成反射光线As和透射光线Ap，反射光线As为s型偏振光，对成像没有作用不参与系统工作，透射光线Ap为p型偏振光，射向LCOS（6），LCOS（6）使透射光线Ap从p偏振态转变成s偏振态的反射光线Bs，Bs射向偏振分光元件（5），被偏振分光元件（5）反射。
所述LCOS（6）是一种反射元件，使入射p型偏振光转变成s型偏振光，同时通过控制LCOS（6）上每个像素的开关形成所需图形，LCOS（6）反射后的光线作为曝光图案的发生源，所述LCOS（6）具有大于等于1920 x 1080的分辨率。
所述投影系统（7）用于把光投影到待曝光工件（8），投影系统由透镜组组成，可以是放大系统，也可以是缩小系统。
所述待曝光工件（8）的表面是一平面，和光路垂直。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为偏振分光元件PBS是偏振分光棱镜的分光图；
图3为偏振分光元件PBS是偏振分光片的分光图。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。
请参阅附图所示，本实用新型提供一种基于LCOS技术的曝光机，包括：
—LED光源（1）的波长范围为350~470nm。
—第一透镜组（2）用于对LED光源（1）发出的光进行会聚，由N≥2片透镜组成，透镜可以是球面透镜，也可以是非球面透镜，透镜通光孔径范围为10~120mm。
—积分棒（3）用于对LED光源（1）发出的光进行匀光，并整形成和LCOS（6）长宽比相匹配的光斑。
—第二透镜组（4）成像到LCOS（6）上，由N≥2片透镜组成，透镜可以是球面透镜，也可以是非球面透镜，透镜通光孔径范围为10~120mm。
—偏振分光元件PBS（5）是偏振分光棱镜，偏振分光元件PBS（5）用于分光，对p型偏振光透过，对s型偏振光反射，s型偏振光与p型偏振光成90度角，如图2所示，入射光A经过偏振分光元件PBS（5），形成反射光线As和透射光线Ap，反射光线As为s型偏振光，对成像没有作用不参与系统工作，透射光线Ap为p型偏振光，射向LCOS（6），LCOS（6）使透射光线Ap从p偏振态转变成s偏振态的反射光线Bs，Bs射向偏振分光元件（5），被偏振分光元件（5）反射。
—偏振分光元件PBS（5）是偏振分光片，偏振分光元件PBS（5）用于分光，对p型偏振光透过，对s型偏振光反射，s型偏振光与p型偏振光成90度角，如图3所示，入射光A经过偏振分光元件PBS（5），形成反射光线As和透射光线Ap，反射光线As为s型偏振光，对成像没有作用不参与系统工作，透射光线Ap为p型偏振光，射向LCOS（6），LCOS（6）使透射光线Ap从p偏振态转变成s偏振态的反射光线Bs，Bs射向偏振分光元件（5），被偏振分光元件（5）反射。
—LCOS（6）是一种反射元件，使入射p型偏振光转变成s型偏振光，同时通过控制LCOS（6）上每个像素的开关形成所需图形，LCOS（6）反射后的光线作为曝光图案的发生源，所述LCOS（6）具有大于等于1920 x 1080的分辨率。
—投影系统（7）用于把光投影到待曝光工件（8），投影系统由透镜组组成，可以是放大系统，也可以是缩小系统。
—待曝光工件（8）的表面是一平面，和光路垂直。
LED光源（1）发出的光通过第一透镜组（2）会聚进入积分棒（3），经积分棒（3）匀光后再通过第二透镜组（4）和偏振分光元件PBS（5）成像到LCOS（6）上，光源发出的光中p型偏振光通过偏振分光元件PBS（5）后入射到高分辨率的LCOS（6）上，LCOS（6）反射的光为s型偏振光，经偏振分光元件PBS（5）反射后进入投影系统（7），通过投影系统（7）投射到待曝光工件（8），使待曝光工件（8）形成曝光，为缩小曝光机整体体积，所述曝光机在光路上任意位置加入一个或多个反射镜或棱镜，对光路进行折叠。基于LCOS技术的高分辨率LED曝光机，可以实现高分辨率高精度的无掩膜曝光，此曝光机具有重要的应用价值和经济意义，将大大推动我国电子产品行业的发展、提高我国在电子技术领域的竞争力。
应理解，在阅读了本实用新型的内容后，本领域技术人员可以对本实用新型做各种改动或修改，这些等价形式同样在本申请所附权利要求书所限定的范围。