一种开盒设备的制作方法

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种适用于开启光罩盒的开盒设备。

背景技术：

光刻工艺作为半导体工艺中的一个重要工艺，其利用光刻机将投影光罩片上的图形转移至晶圆上的光刻胶层内。在半导体制造过程中，为保护光罩片，延长光罩片的使用寿命，通过将光罩片放置在光罩盒内使用。由于每种型号的芯片在生产过程中涉及到多次光刻，每次光刻所使用的光罩片都不相同，因此半导体生产厂内储存有大量的光罩片，但是光罩盒的数量有限，并且将光罩片存放在光罩盒内进行储存会占用较大的空间，因此多数光罩片在使用前后存入在一光罩片存储装置内，在需要使用某个光罩片时，从光罩片存储装置内取出光罩片，并将光罩片放置在光罩盒内。

现有技术中，在光罩片的转移过程中，需要使用开盒设备在来开启光罩盒，然后通过人工操作将从光罩片存储装置内取出光罩片放置在光罩盒内。一般半导体生产厂具有不同型号的光刻机，不同型号的光刻机使用的光罩盒不同，光罩片放置在光罩盒内的方向也不同。若转移光罩片时，光罩片在光罩盒内的放置方向与光罩盒的型号不匹配可能会导到光刻机故障停机，或者需要对光刻后的晶圆返作业，降低生产效率。目前光刻工艺前的光罩片转移由人为动作，容易将光罩片的放置方向弄错，存在较高的误操作风险。

技术实现要素：

根据现有技术中存在的上述问题，现提供一种开盒设备，适用于开启光罩盒，通过设置传感器识别光罩盒的形状和光罩片的定位标志，以便在光罩盒的形状与光罩片的定位标志方向不符时提示工作人员，旨在解决现有技术中，人工转移光罩片时存在的误操作问题。本实用新型采用如下技术方案：

一种开盒设备，适用于开启光罩盒，所述光罩盒用于放置光罩片，所述开盒设备包括：

箱体，包括主箱体和设置于所述主箱体的一侧的背箱体；

盒座，设置于所述主箱体上，用于承载所述光罩盒；

盒座缘，围绕所述盒座设置，所述盒座缘的一侧通过一支撑架连接所述背箱体；

用于识别所述光罩盒形状的第一传感器，朝向所述盒座设置于所述盒座的上方；

用于识别所述光罩片的定位标志的第二传感器，朝向所述盒座设置于所述盒座缘上；

所述第一传感器和所述第二传感器连接所述开盒设备的控制装置。

较佳的，上述开盒设备中，还包括：

报警器，连接所述开盒设备的控制装置；

所述报警器设置于所述主箱体上。

较佳的，上述开盒设备中，还包括：

支撑件，平行于所述盒座设置于所述背箱体的顶部；

所述第一传感器朝向所述盒底设置于所述支撑件上。

较佳的，上述开盒设备中，所述支撑件为支撑板；

所述支撑板的中心位置对应于所述盒座的中心位置；

所述第一传感器设置于所述支撑板的中心位置。

较佳的，上述开盒设备中，所述支撑件为支撑杆；

所述支撑杆包括固定端和自由端，所述固定端固定于所述背箱体的顶部，所述自由端对应于所述盒座的中心位置；

所述第一传感器设置于所述自由端上。

较佳的，上述开盒设备中，所述盒座的表面设置多个定位销，多个所述定位销与所述光罩盒底部的多个定位孔一一对应。

较佳的，上述开盒设备中，所述第一传感器为图像传感器。

较佳的，上述开盒设备中，所述第二传感器为图像传感器。

较佳的，上述开盒设备中，所述第一传感器和所述第二传感器的型号为XG-7000。

上述技术方案的有益效果是：通过设置传感器识别光罩盒的形状和光罩片的定位标志，以便在光罩盒的形状与光罩片的定位标志方向不符时提示工作人员，以避免人工转移光罩片时的误操作问题，提高生产效率。

附图说明

图1是本实用新型的较佳的实施例中，一种开盒设备的结构示意图；

图2是本实用新型的较佳的实施例中，光罩片的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。

本实用新型的较佳的实施例中，如图1所示提供一种开盒设备，适用于开启光罩盒，其中光罩盒用于放置光罩片，开盒设备包括：

箱体，包括主箱体1和设置于主箱体1的一侧的背箱体2；

盒座3，设置于主箱体1上，用于承载光罩盒；

盒座缘4，围绕盒座3设置，盒座缘4的一侧通过一支撑架5连接背箱体2；

用于识别光罩盒形状的第一传感器6，朝向盒座3设置于盒座3的上方；

用于识别光罩片的定位标志的第二传感器7，朝向盒座3设置于盒座缘4上；

第一传感器6和第二传感器7连接开盒设备的控制装置。

本实用新型的较佳的实施例中，还包括：

报警器(附图中未示出)，连接开盒设备的控制装置；

报警器设置于主箱体上。

本实施例中，光罩盒的底部不对称地设置有多个定位孔，盒座3上对应于光罩盒上的定位孔设置有多个定位销(图1中未标示)，使用开盒设备开启光罩盒时，光罩盒在开盒设备上的放置方向唯一。光罩盒的盒盖的顶部设置有一个盖板，盖板的一对对边上具有突出盒盖的突边，光罩盒放置于盒座3上时，盒盖上的突边位于与背箱体2相邻的两侧，第二传感器7位于盒座缘4与光罩盒的间隙之间。开启光罩盒时，盒座缘4会托住盒盖的突边向上移动。如图2所示，光罩片的主体是一块石英基板，所有曝光区域都在铝合金框架以内，在框架上设置有一组米字标记为定位标志。

进一步地，本实施例中，包括对应于两种型号的光刻机的光罩盒，第一种光罩盒，其盖板的中部包括一个圆形区域，光罩片放置在第一种光罩盒内的正确方向为设置有定位标志的一边背向背箱体2；第二种光罩盒，其盖板的中部包括一个椭圆形的区域，光罩片放置在第一种光罩盒内的正确方向为设置有定位标志的一边朝向背箱体2。

本实施例中，使用第一传感器6获取光罩盒的顶部的图形，以及使用第二传感器7获取光罩片朝向背箱体2的一侧的图形，在开盒设备的控制装置内预设控制程序，并由开盒设备的控制装置根据第一传感器6和第二传感器7输入的信号分析光罩片的方向是否正确，并于方向错误触发报警器报警或暂停开盒设备。以提示工作人员调整光罩片方向，从而避免人工转移光罩片时的误操作问题，提高生产效率。

需要说明的是，通过控制装置根据预设的条件处理传感器信号并输出指令是现有技术。本实用新型通过在开盒设备上设置第一传感器6和第二传感器7，结合现有数据处理方法和控制方式，实现于光罩片方向错误时提示工作人员。

本实用新型的较佳的实施例中，如图1所示，还包括：

支撑件8，平行于盒座3设置于背箱体2的顶部；

第一传感器6朝向盒底3设置于支撑件8上。

本实用新型的一个较佳的实施例中，如图1所示，支撑件8为支撑板；

支撑板的中心位置对应于盒座3的中心位置；

第一传感器6设置于支撑板的中心位置。

本实用新型的另一个较佳的实施例中，支撑件8为支撑杆(附图中未示出)；

支撑杆包括固定端和自由端，固定端固定于背箱体2的顶部，自由端对应于盒座3的中心位置；

第一传感器6设置于自由端上。

本实用新型的较佳的实施例中，第一传感器6为图像传感器。

本实用新型的较佳的实施例中，第二传感器7为图像传感器。

本实施例中，第一传感器6和第二传感器7为IV系列，型号为XG-7000的图像传感器。

以上仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。